JP2011524072A - イオン源、システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ガス電界電離型イオン源を使用する実施形態を例として説明したが、他の種類のイオン源を使用してもよい。幾つかの実施形態では、液体金属イオン源を使用することもできる。液体金属イオン源の例は、Gaイオン源(例えば、Ga集束イオンビームカラム)である。
Claims (61)
- 荷電粒子カラムと、
検出器と、
第1位置および第2位置を有する光学反射素子とを備えるシステムにおいて、
前記第1位置で、前記光学反射素子が、前記荷電粒子カラムを通過する光を前記検出器に反射することができ、前記第2位置で、前記光学反射素子が、前記荷電粒子カラムを通過する光を前記検出器に反射することができないようにしたことを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
前記第1位置と前記第2位置との間で前記光学反射素子を移動するように構成された位置決め装置をさらに備えるシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子カラムがイオンカラムであるシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
荷電粒子源をさらに備えるシステム。 - 請求項4に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源が、荷電粒子源によって生成された少なくとも一部の荷電粒子が使用時に前記荷電粒子カラムを通過するように構成されているシステム。 - 請求項4に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源が、光を放出する場合に光がカラムに進入し、前記第1位置で、前記光学反射素子によって光を反射できるように構成されているシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
前記検出器が、前記光学反射素子によって反射された光を検出するように構成されているシステム。 - 荷電粒子カラムと、
光学反射部分および開口部を有する光学反射素子とを備えるシステムにおいて、
前記光学反射素子が前記荷電粒子カラム内に位置し、前記光学反射素子の光学反射部分が、前記荷電粒子カラムを通過する光を反射することができ、前記荷電粒子源によって放出された荷電粒子が、前記光学反射素子の前記開口部を通過することができることを特徴とするシステム。 - 請求項8に記載のシステムにおいて、
前記光学反射素子が、前記荷電粒子カラムに対して固定されているシステム。 - 請求項8に記載のシステムにおいて、
荷電粒子カラムがイオンカラムであるシステム。 - 請求項8に記載のシステムにおいて、
荷電粒子源をさらに備えるシステム。 - 請求項11に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源が、荷電粒子源によって生成された少なくとも一部の荷電粒子が、使用時に前記光学反射素子の開口部を通過するように構成されているシステム。 - 請求項11に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源が、光を放出する場合に、光がカラム内に進入し、前記光学反射素子の光学反射部分によって光を反射できるように構成されているシステム。 - 請求項8に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子カラムが軸線を有し、前記光学反射素子が荷電粒子カラムの前記軸線に沿って位置決めされているシステム。 - 請求項8に記載のシステムにおいて、
前記光学反射素子によって反射された光を検出するように構成された検出器をさらに備えるシステム。 - 軸線を有する荷電粒子カラムと、
該荷電粒子カラム内に位置決めされ、荷電粒子カラムの軸線に対して軸外に変位された光学反射素子とを備えるシステムにおいて、
前記光学反射素子が前記荷電粒子カラムに結合されていることを特徴とするシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
前記光学反射素子が、前記荷電粒子カラムに対して固定されているシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
前記光学反射素子を取り付ける支持部をさらに備えるシステム。 - 請求項18に記載のシステムにおいて、
前記支持部が、前記荷電粒子カラムに対して固定されているシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子カラムがイオンカラムであるシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
荷電粒子源をさらに備えるシステム。 - 請求項21に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源が、荷電粒子源によって生成された少なくとも一部の荷電粒子が、使用時に前記光学反射素子と相互作用することなしに前記荷電粒子カラムを通過するように構成されているシステム。 - 請求項21に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源が、光を放出する場合に、光がカラムに進入し、前記光学反射素子によって光を反射できるように構成されているシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
前記光学反射素子によって反射された光を検出するように構成された検出器をさらに備えるシステム。 - 荷電粒子カラムと、
可動光学反射素子とを備えるシステムにおいて、
前記可動光学反射素子が、前記荷電粒子カラム内の第1位置および前記荷電粒子カラム外の第2位置を有することを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムを備えることを特徴とする荷電粒子システム。
- 請求項26に記載の荷電粒子システムにおいて、
前記システムは、ガス電界電離型イオン顕微鏡である荷電粒子システム。 - 請求項8に記載のシステムを備えることを特徴とする荷電粒子システム。
- 請求項28に記載の荷電粒子システムにおいて、
前記システムが、ガス電界電離型イオン顕微鏡である荷電粒子システム。 - 請求項16に記載のシステムを備えることを特徴とする荷電粒子システム。
- 請求項30に記載の荷電粒子システムにおいて、
前記システムが、ガス電界電離型イオン顕微鏡である荷電粒子システム。 - 請求項25に記載のシステムを備えることを特徴とする荷電粒子システム。
- 請求項32に記載の荷電粒子システムにおいて、
前記システムが、ガス電界電離型イオン顕微鏡である荷電粒子システム。 - 荷電粒子源から光を放出し、光を荷電粒子カラムに進入させるステップと、
前記荷電粒子カラム内の光の少なくとも一部を検出器に反射させるステップとを含むことを特徴とする方法。 - 請求項34に記載の方法において、
検出した光を使用して前記荷電粒子源の先端部を準備するための1つ以上のパラメータを決定するステップをさらに含む方法。 - 請求項35に記載の方法において、
前記パラメータを、前記荷電粒子源の前記先端部の温度とする方法。 - 請求項35に記載の方法において、
前記パラメータを、前記荷電粒子源を収容するチャンバのガス圧とする方法。 - 請求項35に記載の方法において、
前記パラメータを、前記荷電粒子源によって放出された光の強度とする方法。 - 請求項35に記載の方法において、
検出した光に基づいて、前記荷電粒子源の温度、前記荷電粒子源を収容する前記チャンバのガス圧を含むグループから選択した少なくとも1つのパラメータを増大させるステップをさらに含む方法。 - 請求項35に記載の方法において、
前記荷電粒子源をイオン源とする方法。 - 請求項35に記載の方法において、
前記荷電粒子源をガス電界電離型イオン源とする方法。 - 請求項1に記載のシステムを用いて荷電粒子源の先端部を形成するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項8に記載のシステムを用いて荷電粒子源の先端部を形成するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項16に記載のシステムを用いて荷電粒子源の先端部を形成するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項25に記載のシステムを用いて荷電粒子源の先端部を形成するステップを含むことを特徴とする方法。
- ドアを有する真空ハウジングと、
サンプルを支持するように構成されたステージを備えるステージアセンブリと、
前記ドアに結合された支持部材とを備えるシステムにおいて、
前記ステージが、摩擦機構によって支持部に結合されていることを特徴とするシステム。 - 請求項46に記載のシステムにおいて、
前記摩擦機構が少なくとも1つの摩擦軸受けを備えるシステム。 - 請求項46に記載のシステムにおいて、
前記摩擦機構が、開口部内に摩擦により嵌め込まれたチューブを備えるシステム。 - 請求項46に記載のシステムにおいて、
前記ステージが前記ドアに対して傾動可能であるシステム。 - 請求項46に記載のシステムにおいて、
前記ドアに対してステージを傾動させるために前記摩擦機構を用いることができるシステム。 - 請求項46に記載のシステムにおいて、
荷電粒子源をさらに備えるシステム。 - 請求項51に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源がイオン源であるシステム。 - 請求項51に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源が、電界電離型イオン源であるシステム。 - 請求項46に記載のシステムにおいて、
前記システムが、ガス電界電離型顕微鏡であるシステム。 - 第1表面および第1表面に対向した第2表面を有し、該第2表面が複数の孔を有するサンプルホルダと、
支持位置を設けた表面を有するステージと、
サンプルホルダをステージに固定するように構成された少なくとも1つの磁石とを備えるシステムにおいて、
前記サンプルホルダの前記第2表面の前記孔が、前記ステージの支持位置に係合するように構成されていることを特徴とするシステム。 - 請求項55に記載のシステムにおいて、
少なくとも1つの磁石が、複数の磁石を備えるシステム。 - 請求項55に記載のシステムにおいて、
少なくとも1つの磁石の露出表面が前記サンプルホルダの第2表面と一致するシステム。 - 請求項55に記載のシステムにおいて、
さらに荷電粒子源を備えるシステム。 - 請求項58に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源がイオン源であるシステム。 - 請求項58に記載のシステムにおいて、
前記荷電粒子源が、ガス電界電離型イオン源であるシステム。 - 請求項55に記載のシステムにおいて、
前記システムが、ガス電界電離型顕微鏡であるシステム。
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