JP2011522441A - レンズ加熱補償方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】
図4
Description
[0001] 本出願は、2008年6月3日出願の米国特許仮出願第61/058,502号および2008年12月15日出願の米国特許仮出願第61/122,537号の優先権を主張し、その内容の全体が参照することにより本明細書に組み込まれる。
{Z1h,Z2h,...Znh}からレンズマニピュレータを調整することにより実現できるゼルニケ状態は、以下のように表すことができる。
2次近似を使うと、
[本発明の特定の態様の補足説明]
Claims (41)
- フォトリソグラフィシステムを較正する方法であって、
レチクルデザインに対する低温レンズコンターを生成することと、
前記レチクルデザインに対する少なくとも1つの高温レンズコンターを生成することと、
補正モデルにおいて補正システムにより誘発される収差を特徴付けることと、
前記補正モデルを使用して前記フォトリソグラフィシステムのプロセスウィンドウを最適化することと、
を含み、
前記プロセスウィンドウは、前記低温レンズコンターと前記少なくとも1つの高温レンズコンターとに基づく、
方法。 - 低温レンズコンターまたは少なくとも1つの高温レンズコンターを生成することは、前記レチクルデザインに基づく回折計算を実行することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記低温レンズコンターは、前記レンズが公称動作温度範囲内に維持されている間に生成される、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの高温レンズコンターは、前記レンズの作用部分が光の透過により加熱された後に生成される、請求項1に記載の方法。
- 前記低温レンズコンターを生成することは、前記レンズが公称動作温度範囲内に維持されている間に得られる測定値に基づいたモデルを使用することを含む、請求項1に記載の方法。
- 各高温レンズコンターは、対応するレンズ加熱モデルを使用して生成され、前記レンズ加熱モデルは、フォトリソグラフィプロセスにおける前記レンズの光に誘発される加熱を特徴付ける、請求項5に記載の方法。
- 前記プロセスウィンドウを最適化することは、レンズの加熱に起因するクリティカルディメンジョンの変動を、レンズ収差に起因するクリティカルディメンジョンの他の変動を誘発することにより、最小化することを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記収差を特徴付けるステップは、
前記補正システムの複数の補正設定に対してレンズ収差に起因するクリティカルディメンジョンの変動を特定することと、
補正設定と収差との間の線形関係として前記補正システムの挙動をモデル化することと、を含む、
請求項6に記載の方法。 - レンズの加熱に起因するクリティカルディメンジョンの第1変動を特定することをさらに含み、前記収差を特徴付けるステップは、
補正設定と前記誘発された収差との間の線形関係として前記補正システムの挙動をモデル化することと、
複数の補正設定に対して前記誘発された収差に起因する前記クリティカルディメンジョンの第2変動を特定することと、を含む、
請求項6に記載の方法。 - 前記クリティカルディメンジョンは、前記レチクルのイメージ内で特定される、請求項9に記載の方法。
- クリティカルディメンジョンの前記第1変動は、レンズ加熱の関数として表現される、請求項9に記載の方法。
- クリティカルディメンジョンの前記第2変動は、補正設定の関数として表現される、請求項9に記載の方法。
- 前記クリティカルディメンジョンの前記第1および第2変動は、ゼルニケ係数の関数として表現される、請求項9に記載の方法。
- 前記ゼルニケ係数は、前記補正システムに起因する前記クリティカルディメンジョンにおける摂動を表す、請求項13に記載の方法。
- 前記ゼルニケ係数は、前記補正システムに誘発される収差を特徴付ける、請求項13に記載の方法。
- 前記ゼルニケ係数は、レンズの加熱に起因する前記クリティカルディメンジョンにおける摂動を表す、請求項13に記載の方法。
- プロセスウィンドウを最適化することは、一組の重要位置の費用関数を生成することを含む、請求項9に記載の方法。
- プロセスウィンドウを最適化することは、一組の重要ホットスポットの費用関数を生成することを含む、請求項9に記載の方法。
- プロセスウィンドウを最適化することは、前記費用関数を最小化することを含む、請求項17または18に記載の方法。
- 前記費用関数を最小化することは、最急降下法および共役勾配法のうち1つを使用して前記費用関数の勾配を計算することを含む、請求項18に記載の方法。
- フォトリソグラフィシステムを較正するデバイス製造方法であって、
投影システムを使用して、基板を少なくとも部分的に覆う放射感応性材料の層のターゲット部分を、断面にパターンを有する放射投影ビームで露光することと、
パターニング手段を使用して前記投影ビームの断面に前記パターンを付与することと、
前記パターニング手段に対する低温投影システムコンターを生成することと、
前記パターニング手段に対する少なくとも1つの高温投影システムコンターを生成することと、
補正モデルにおいて投影システム補正システムにより誘発される収差を特徴付けることと、
前記補正モデルを使用してプロセスウィンドウを最適化することであって、前記プロセスウィンドウは、前記低温投影システムコンターおよび前記少なくとも1つの高温投影システムコンターに基づく、プロセスウィンドウを最適化することと、
最適プロセスウィンドウを提供するように計算された補正設定に従い、前記フォトリソグラフィシステムの前記投影システムを操作することと、
を含む、方法。 - 前記補正システムはマニピュレータである、請求項21に記載の方法。
- フォトリソグラフィシステムを較正するためのコンピュータプログラムを保持するコンピュータ読み取り可能媒体であって、前記コンピュータプログラムは、実行されると、
レチクルデザインに対する低温レンズコンターを生成することと、
前記レチクルデザインに対する少なくとも1つの高温レンズコンターを生成することと、
マニピュレータモデルにおいてレンズマニピュレータにより誘発される収差を特徴付けることと、
前記マニピュレータモデルを使用して前記フォトリソグラフィシステムのプロセスウィンドウを最適化することとであって、前記プロセスウィンドウは、前記低温レンズコンターおよび前記少なくとも1つの高温レンズコンターに基づく、プロセスウィンドウを最適化することと、を含む、ステップをコンピュータに実行させる、
コンピュータ読み取り可能媒体。 - 前記低温レンズコンターまたは前記少なくとも1つの高温レンズコンターを生成することは、前記レチクルデザインに基づく回折計算を実行することを含む、請求項23に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記低温レンズコンターは、前記レンズが公称動作温度範囲内に維持されている間に生成される、請求項23に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記少なくとも1つの高温レンズコンターは、前記レンズの作用部分が光の透過により加熱された後に生成される、請求項23に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記低温レンズコンターを生成することは、前記レンズが公称動作温度範囲内に維持されている間に得られる測定値に基づいたモデルを使用することを含む、請求項23に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 各高温レンズコンターは、対応するレンズ加熱モデルを使用して生成され、前記レンズ加熱モデルは、フォトリソグラフィプロセスにおける前記レンズの光に誘発される加熱を特徴付ける、請求項27に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記プロセスウィンドウを最適化することは、レンズの加熱に起因するクリティカルディメンジョンの変動を、レンズ収差に起因するクリティカルディメンジョンの他の変動を誘発することにより、最小化することを含む、請求項28に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記収差を特徴付けるステップは、
複数のマニピュレータ設定に対してレンズ収差に起因するクリティカルディメンジョンの変動を特定することと、
マニピュレータ設定と収差との間の線形関係として前記マニピュレータの挙動をモデル化することと、を含む、
請求項28に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。 - 前記コンピュータプログラムは、前記コンピュータに、レンズの加熱に起因するクリティカルディメンジョンの第1変動を特定するステップをさらに実行させ、前記収差を特徴付けるステップは、
マニピュレータ設定と前記誘発された収差との間の線形関係として前記マニピュレータの挙動をモデル化することと、
複数のマニピュレータ設定に対して前記誘発された収差に起因する前記クリティカルディメンジョンの第2変動を特定することと、を含む、
請求項28に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。 - 前記クリティカルディメンジョンは、前記レチクルのイメージ内で特定される、請求項31に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- クリティカルディメンジョンの前記第1変動は、レンズ加熱の関数として表現される、請求項31に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- クリティカルディメンジョンの前記第2変動は、マニピュレータ設定の関数として表現される、請求項31に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記クリティカルディメンジョンの前記第1および第2変動は、ゼルニケ係数の関数として表現される、請求項31に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記ゼルニケ係数は、前記マニピュレータに起因する前記クリティカルディメンジョンにおける摂動を表す、請求項35に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記ゼルニケ係数は、前記マニピュレータに誘発される収差を特徴付ける、請求項35に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記ゼルニケ係数は、レンズの加熱に起因する前記クリティカルディメンジョンにおける摂動を表す、請求項35に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- プロセスウィンドウを最適化することは、一組のクリティカルホットスポットの費用関数を生成することを含む、請求項30に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- プロセスウィンドウを最適化することは、前記費用関数を最小化することを含む、請求項39に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
- 前記費用関数を最小化することは、最急降下法および共役勾配法のうち1つを使用して前記費用関数の勾配を計算することを含む、請求項39に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
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