JP2011521229A - 検査システムの偏光設定選択のための、コンピュータを利用した方法、キャリアメディアおよびシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハの層の検査用検査システムの偏光設定を選択するためにコンピュータを利用した方法、キャリアメディアおよびシステムを提供する。1つの方法は、ウエハから散乱される光の照明と集光の検査システムの偏光設定の異なる組合せを使って行われるウエハの走査の各々の結果を使ってウエハの層上の欠陥の母集団を検出するステップを含む。本方法はまた、各々が異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通する欠陥を含む、異なる組合せの各々の欠陥の亜母集団を識別するステップと、当該亜母集団の各々の信号対雑音比の測定の特性を決定するステップも含む。本方法は、特性の最善値を持つ亜母集団に対応する検査に使用される照明と集光の偏光設定を選択するステップをさらに含む。
【選択図】図1
Description
Claims (21)
- ウエハから散乱される光の照明と集光に対する検査システムの偏光設定の異なる組合せを使って実行されるウエハの2つ以上の走査の各々の結果を使って、ウエハの層上の欠陥の母集団を検出するステップと、
前記異なる組合せの各々の前記欠陥の亜母集団を識別するステップであって、該亜母集団の各々は前記異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通する欠陥を含む、識別するステップと、
前記亜母集団の各々の信号対雑音比の測定の特性を決定するステップと、
前記特性の最善値を持つ亜母集団に対応するウエハの層の検査に使用される前記照明と集光の偏光設定を選択するステップと
を含む、ウエハの層の検査用検査システムの偏光設定を選択する方法。 - 前記2つ以上の走査の各々は前記ウエハの一部分のみの走査を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記検出するステップは前記2つ以上の走査の各々の結果に1つのパラメータ閾値を与えるステップを含み、前記信号対雑音比の測定は、該与えるステップの結果を含む、請求項1に記載の方法。
- 本方法の全てのステップはウエハ上の注目欠陥の知識なしに行われる、請求項1に記載の方法。
- 本方法の全てのステップはウエハ上の注目欠陥の識別なしに行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通する欠陥は、前記異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通しない欠陥よりも顕著な欠陥となるより高い可能性を持つ欠陥を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記異なる組合せは前記検査システムで使用可能な照明と集光の偏光設定の全ての組合せを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記信号対雑音比の測定の特性は平均値を含み、そして、最善値は該平均値の最大値を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記選択するステップは、集光の1つ以上の偏光設定を選択する前に照明の1つ以上の偏光設定を選択するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記選択するステップは、照明のために選択される前記1つ以上の偏光設定に対応する亜母集団に基づいて照明の1つ以上の偏光設定を選択するステップと、集光の1つ以上の偏光設定を選択するステップとを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記選択するステップは、亜母集団の第1サブセットを使って照明の1つ以上の偏光設定を選択するステップと、亜母集団の第2サブセットを使って集光の1つ以上の偏光設定を選択するステップとを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1サブセットは、照明の偏光設定の全てと集光の偏光設定の1つのみの異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通する欠陥を含む亜母集団を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記第2サブセットは、照明のために選択される偏光設定と集光に使用可能な全ての偏光設定の異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通する欠陥を含む亜母集団を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記検査システムは1つ以上の照明チャネルを含み、前記選択するステップは1つ以上の照明チャネルのうちの少なくとも1つに少なくとも1つの偏光設定を選択するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記検査システムは2つ以上の集光チャネルを含み、前記選択するステップは、2つ以上の集光チャネルのうちの少なくとも2つに偏光設定を選択するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記検査システムは2つ以上の集光チャネルを含み、前記選択するステップは、2つ以上の集光チャネルのうちの少なくとも2つのために選択された偏光設定が同じとなるように集光の偏光設定を選択するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記検査システムは2つ以上の集光チャネルを含み、前記選択するステップは、2つ以上の集光チャネルのうちの少なくとも2つのための偏光設定を個々に選択するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 本方法はウエハ上の異なる層に対して実行される、請求項1に記載の方法。
- 本方法の全てのステップはユーザの介入なしに実行される、請求項1に記載の方法。
- ウエハの層の検査用検査システムのための偏光設定を選択するためにコンピュータを利用した方法を実行するコンピュータシステムで実行可能なプログラム命令を含むキャリアメディアであって、該コンピュータを利用した方法は、
ウエハから散乱される光の照明と集光に対する検査システムの偏光設定の異なる組合せを使って実行されるウエハの2つ以上の走査の各々の結果を使って、ウエハの層上の欠陥の母集団を検出するステップと、
前記異なる組合せの各々の欠陥の亜母集団を識別するステップであって、該亜母集団の各々は前記異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通する欠陥を含むステップと、
前記亜母集団の各々の信号対雑音比の測定の特性を決定するステップと、
前記特性の最善値を持つ亜母集団に対応するウエハの層の検査に使用される前記照明と集光の偏光設定を選択するステップと
を含む、キャリアメディア。 - ウエハから散乱される光の照明と集光の偏光設定の異なる組合せを使ってウエハの2つ以上の走査を行うことによって出力を生成するように構成される検査システムと、
コンピュータシステムであって、
前記2つ以上の走査の各々によって生成される前記出力を使って、前記ウエハの欠陥の母集団を検出し、
前記異なる組合せの各々の欠陥の亜母集団を識別し、該亜母集団のうちの各々は前記異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通する欠陥を含み、
前記亜母集団のうちの各々の信号対雑音比の測定の特性を決定し、
前記特性の最善値を持つ前記亜母集団に対応するウエハの層の検査に使用される照明と集光の偏光設定を設定する、コンピュータシステムと
を含む、ウエハの層の検査の偏光設定を選択するように構成されるシステム。
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