JP5865585B2 - ウエハーの層の検査に用いる候補として検査装置の一つ以上の光学モードを同定するためにコンピューターにより実施する方法、コンピューター可読の媒体、および装置 - Google Patents
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Description
本出願は2007年5月7日に出願された、“ウエハーの層の検査に用いる候補として検査装置の一つ以上の光学モードを同定するためのコンピューター実施の方法、担体の媒体、および装置”と題する米国仮出願60/916,377番の優先権を主張し、ここに参照として本明細書にそのまま組み入れてるものとする。
Claims (18)
- 検査装置とその検査装置で使用可能な異なった光学モードを用いて得られるウエハーの層の画像の一つ以上の特性を決定する第1の工程と、
その画像の一つ以上の特性に基づいて、前記複数の光学モードのうちから、前記ウエハーの層の検査に用いられる候補でない光学モードを同定する第2の工程と、
前記ウエハー層の画像が得られる複数の光学モードのうちから、前記候補でないとされた光学モードを除いた残余の光学モードを 前記ウエハーの層の検査に用いられる候補とし、該候補とされた各光学モードによるウエハー層の画像を生成する第3の工程と、
該候補とされた各光学モードにより生成された画像の特性に基づいて、前記候補とされた光学モードの中から、前記ウエハー層の検査に適した光学モードを特定する第4の工程と
を含み、
前記第1の工程では、前記異なった光学モードとして、検査装置における一つ以上の第一のパラメータを異なる値とし、前記検査装置の一つ以上の第二のパラメータを同一の値とした光学モードの各々により得られたウエハー層の画像から、前記一つ以上の特性を決定し、
前記第2の工程は、一つ以上の特性について最良値を持たない画像を得るために用いられる異なった光学モードを、前記候補でないとされる光学モードとして同定する工程を含む
ことを特徴する、検査装置の一つ以上の光学モードをウエハーの層の検査に用いる候補として同定するためのコンピューター実施の方法。 - 前記第1の工程における画像がウエハーの層の上の関心のある領域について得られた請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- ウエハーの層の上で実行される検査の種類に基づいて画像を得るために用いられる異なった光学モードを選ぶ工程をさらに含む請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 前記第1の工程における画像を得るために用いられる異なった光学モードが検査装置で使用可能な全ての光学モードを含む請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 光学理論、経験的証拠、またはそれらのいくつかの組み合わせに基づいてウエハーの層の検査に用いられる候補でない検査装置の一つ以上の光学モードをウエハーの層の画像を得る前に同定する工程をさらに含み、前記検査装置とその検査装置で使用可能な異なった光学モードを用いて得られるウエハーの層の画像の一つ以上特性を決定する前記第1の工程における画像を得ることが、前記ウエハーの層の画像を得る前に同定された前記一つ以上の光学モードで画像を得ることを含まない請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 請求項1に記載のコンピュータ実施の方法であって、
前記一つ以上の画像特性が空間的コントラスト、物質的コントラスト、パターンの抑制、飽和、またはそれらのいくつかの組み合わせを含むことを特徴とする、検査装置の一つ以上の光学モードをウエハーの層の検査に用いる候補として同定するためのコンピューター実施の方法。 - 検査装置とその検査装置で使用可能な異なった光学モードを用いて得られるウエハーの層の画像の一つ以上の特性を決定する第1の工程と、
その画像の一つ以上の特性に基づいて、前記複数の光学モードのうちから、前記ウエハーの層の検査に用いられる候補でない光学モードを同定する第2の工程と、
前記ウエハー層の画像が得られる複数の光学モードのうちから、前記候補でないとされた光学モードを除いた残余の光学モードを 前記ウエハーの層の検査に用いられる候補とし、該候補とされた各光学モードによるウエハー層の画像を生成する第3の工程と、
該候補とされた各光学モードにより生成された画像の特性に基づいて、前記候補とされた光学モードの中から、前記ウエハー層の検査に適した光学モードを特定する第4の工程と
を含み、
前記第1の工程では、前記異なった光学モードとして、検査装置における一つ以上の第一のパラメータを異なる値とし、前記検査装置の一つ以上の第二のパラメータを同一の値とした光学モードの各々により得られたウエハー層の画像から、前記一つ以上の特性を決定し、
前記第2の工程は、一つ以上の特性の各々についての最良値が決められる画像を特定する工程と、当該特定された画像を得るのに使用されなかった異なった光学モードを、前記候補でないとされた光学モードとして同定する工程を含む
コンピューター実施の方法。 - 前記候補であるとされた異なった光学モードは、一つ以上の特性についての各々の最良値を持つ画像を得るために用いられる異なった光学モードの各々を含む請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 自動的に前記候補であるとされた異なった光学モードを用いてウエハーの層の追加の画像を得る工程と、
その追加の画像の一つ以上の追加の特性を決定する工程と、
前記候補であるとされた異なった光学モードのどれが前記ウエハー層の検査に用いられる最良の候補であるかを決めるためにその追加の画像の一つ以上の追加の特性を比較する工程とをさらに含む請求項1に記載のコンピューター実施の方法。 - その追加の画像の一つ以上の追加の特性がその追加の画像の中の欠陥の信号対雑音を含む請求項9に記載のコンピューター実施の方法。
- 前記候補であるとされた異なった光学モードを用いて得られた追加の画像の信号対雑音を決定する工程と、
信号対雑音に基づいて前記候補であるとされた異なった光学モードの一つを、前記ウエハー層の検査に用いられる最良の候補として選ぶ工程とをさらに含む請求項1に記載のコンピューター実施の方法。 - 一つ以上の第一のパラメータが波長、開口度、画素サイズ、またはそれらのいくつかの組み合わせを含む請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 前記第3の工程は、前記検査装置の一つ以上の第二のパラメータを異なる値とした光学モードによる画像出力の生成をさらに含む請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 一つ以上の第二のパラメータが焦点のずれ、検査速度、偏光の設定、またはそれらのいくつかの組み合わせを含む請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 前記各工程がウエハーの層の上に想定される欠陥に関する知識なしで実行される請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 前記各工程がウエハーの層の上の関心のある欠陥を同定しないで実行される請求項1に記載のコンピューター実施の方法。
- 検査装置とその検査装置で使用可能な異なった光学モードを用いて得られるウエハーの層の一つ以上の画像特性を決定する第1の工程と、
その画像の一つ以上の画像特性に基づいて、前記複数の光学モードのうちから、前記ウエハーの層の検査に用いられる候補でない光学モードを同定する第2の工程と、
前記ウエハー層の画像が得られる複数の光学モードのうちから、前記候補でないとされた光学モードを除いた残余の光学モードを 前記ウエハーの層の検査に用いられる候補とし、該候補とされた各光学モードによるウエハー層の画像を生成する第3の工程と、
該候補とされた各光学モードにより生成された画像に基づいて、前記候補とされた光学モードの中から、前記ウエハー層の検査に適した光学モードを特定する第4の工程と
を含み、
前記第1の工程は、前記異なった光学モードとして、検査装置における一つ以上の第一のパラメータを異なる値とし、前記検査装置の一つ以上の第二のパラメータを同一の値とした光学モードの各々により得られたウエハー層の画像から、前記一つ以上の特性を決定し、
前記第2の工程は、一つ以上の特性について最良値を持たない画像を得るために用いられる異なった光学モードを、前記候補でないとされる光学モードとして同定する工程を含む
ことを特徴とする、検査装置の一つ以上の光学モードをウエハーの層の検査に用いられる候補として同定するためのコンピューター実施の方法を実行するためのコンピューター装置で実行可能なプログラム命令を含むコンピューター可読の媒体。 - 検査装置で使用可能な異なった光学モードを用いてウエハーの層の画像を得るように構成された検査装置と、コンピュータ装置とを含むシステムであって、
前記コンピュータ装置は、
検査装置とその検査装置で使用可能な異なった光学モードを用いて得られるウエハーの層の一つ以上の画像特性を決定し、
その画像の一つ以上の画像特性に基づいて、前記複数の光学モードのうちから、前記ウエハーの層の検査に用いられる候補でない光学モードを同定し、
前記ウエハー層の画像が得られる複数の光学モードのうちから、前記候補でないとされた光学モードを除いた残余の光学モードを 前記ウエハーの層の検査に用いられる候補とし、該候補とされた各光学モードによるウエハー層の画像を生成し、
該候補とされた各光学モードにより生成された画像に基づいて、前記候補とされた光学モードの中から、前記ウエハー層の検査に適した光学モードを特定する
ように構成され、
前記ウエハーの層の一つ以上の画像特性は、検査装置における一つ以上の第一のパラメータを異なる値とし、前記検査装置の一つ以上の第二のパラメータを同一の値として得られたウエハー層の画像から決定し、
前記前記ウエハーの層の検査に用いられる候補でない光学モードを同定は、一つ以上の特性について最良値を持たない画像を得るために用いられる異なった光学モードを、前記候補でないとされる光学モードとして同定すること
を特徴とする、検査装置の一つ以上の光学モードをウエハーの層の検査に用いられる候補として同定するように構成されたシステム。
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