JP2011520641A5

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Publication number: JP2011520641A5
Application number: JP2011502956A
Authority: JP
Filing date: 2009-04-01
Publication date: 2012-05-17
Anticipated expiration: 2029-04-01

Claims

膜シートの上に重合可能材料をパターニングするための方法であって、
前記膜シートの上に重合可能材料の複数の小滴を分与するステップと、
第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートと前記膜シート上の重合可能材料の前記小滴が接触するよう、前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートに力を印加するステップと、
残留層および少なくとも１つのフィーチャを有するパターン化された層を形成するために前記重合可能材料を凝固させるステップと
から構成され、
前記力は、前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートと接触している間に小滴が合体して連続層が形成されるよう、前記膜シート上の前記重合可能材料の前記小滴の局部トラッピングを最小化するように予め決定されている、ことを特徴とする方法。
前記膜シート上に分与されると前記小滴が合体して連続層が形成されるよう、前記小滴を分与するステップに先立って前記膜シートの張力を調整するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記膜シートの張力を調整するステップは、前記膜シートの引張り強さを強くするステップを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
前記膜シート上に分与されると前記小滴が合体して連続層が形成されるよう、前記小滴を分与するステップに先立って前記重合可能材料の表面接触角を調整するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の方法。
前記膜シート上に分与されると前記小滴が合体して連続層が形成されるよう、前記小滴を分与するステップに先立って前記重合可能材料の粘性を調整するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の方法。
前記膜シート上に分与されると前記小滴が合体して連続層が形成されるよう、前記小滴を分与するステップに先立って前記重合可能材料の前記小滴のサイズを調整するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の方法。
前記膜シート上に分与されると前記小滴が合体して連続層が形成されるよう、前記小滴を分与するステップに先立って前記重合可能材料の配置を調整するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の方法。
前記膜シートは、第１のローラおよび第２のローラに結合され、前記第１のローラおよび前記第２のローラが、前記膜シートの第１の部分が前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートに対して実質的に平行になるよう、互いに実質的に平行に配置されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の方法。
前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートは複数の型を含むことを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の方法。
前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートの前記複数の型は、実質的に類似していることを特徴とする請求項９に記載の方法。
前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートの前記複数の型は、第２のサブセットの型と相補をなす第１のサブセットの型を含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートに隣接するチャッキング・システムをさらに備え、前記チャッキング・システムは個々の型と重畳して複数のチャンバを画定することを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の方法。
個々のチャンバと流体連絡しているポンプ・システムをさらに備え、前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートの一部は前記膜シートから離れる方向に湾曲し、かつ、前記テンプレートの一部が前記膜シートに向かって湾曲するよう、前記ポンプ・システムは個々のチャンバを真空状態にすることが可能であることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
個々のチャンバと流体連絡しているポンプ・システムをさらに備え、前記ポンプ・システムは個々のチャンバを圧力状態にすることが可能であることを特徴とする請求項１２または１３に記載の方法。
第２のインプリント・リソグラフィ・テンプレートを使用して前記パターン化された層の上に第２のパターン化された層をパターニングするステップをさらに備え、そのステップにおいて、前記第２のインプリント・リソグラフィ・テンプレートは、前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートを使用して前記パターン化された層を形成している間、前記重合可能材料からオフセットして配置され、また、前記第２のインプリント・リソグラフィ・テンプレートを使用してパターニングしている間、前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートが前記パターン化された層からオフセットして配置されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートは、前記膜シートに向かって延在している複数の型、および型が実質的に存在しない複数の部分を含むことを特徴とする請求項１５に記載の方法。
前記第２のインプリント・リソグラフィ・テンプレートは前記第１のインプリント・リソグラフィ・テンプレートと相補をなすことを特徴とする請求項１５または１６に記載の方法。
膜シートが実質的に平らになるよう、前記膜シート中の起伏が最小化されるように、前記パターン化された層をパターン化するために前記第２のインプリント・リソグラフィ・テンプレートに印加される力を決定することができることを特徴とする請求項１５乃至１７のいずれか一項に記載の方法。
前記膜シートは第１のローラおよび第２のローラに結合され、
前記パターン化された層および前記第２のパターン化された層を有する前記膜シートを前記第２のローラによって巻き戻すステップと、
巻き戻すステップに先立って前記第２のパターン化された層の上に膜をパターニングするステップであって、前記膜シートを巻き戻している間、前記膜が前記第２のパターン化された層を損傷から保護するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項１５乃至１８のいずれか一項に記載の方法。