KR20110066793A - 패터닝 장치 - Google Patents

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KR20110066793A
KR20110066793A KR1020090123583A KR20090123583A KR20110066793A KR 20110066793 A KR20110066793 A KR 20110066793A KR 1020090123583 A KR1020090123583 A KR 1020090123583A KR 20090123583 A KR20090123583 A KR 20090123583A KR 20110066793 A KR20110066793 A KR 20110066793A
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flexible substrate
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roller
stage
correctors
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KR1020090123583A
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이남석
남승희
이신복
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엘지디스플레이 주식회사
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    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

패터닝 장치가 개시된다. 패터닝 장치는 플렉서블 기판 아래에 배치되는 스테이지; 상기 스테이지에 인접하여 배치되고, 상기 플렉서블 기판에 부착되며, 상기 플렉서블 기판에 장력을 인가하는 다수 개의 보정부들; 및 상기 플렉서블 기판 상에 패턴을 형성하는 패턴 형성 유닛을 포함한다. 패터닝 장치는 보정부들에 의해서, 플렉서블 기판의 변형을 보정할 수 있다.
롤투롤, 플렉서블, 보정, 패턴, 변형

Description

패터닝 장치{PATTRNING APPARATUS}
실시예는 패터닝 장치에 관한 것이다.
현대의 정보화사회에서는 영상 산업에 있어 대형화, 평면화 그리고 여러가지 기능을 포함하는 디스플레이를 요구하고 있다. 또한 언제든지 자유로이 정보를 기록, 교환하는 것이 요구되어 휴대하기 편리하고 가벼운 디스플레이를 요구하고 있다.
기존의 평판디스플레이에 사용되는 유리기판은 소정의 두께로 형성되며, 유리의 특성상 깨지기 쉬운 단점이 있다. 그래서 이동성 디스플레이나 대형의 디스플레이에 적용되는 경우 추가의 보호창을 요구하게 된다. 또한 유리기판은 휘어지기 어려운 단점이 있다.
따라서 상기 유리기판의 휘어지기 어려운 단점을 극복하는 플렉서블기판은 깨지지 않으며 휘어지는 특성을 가진다. 따라서 상기의 특성을 갖는 기판으로 초경량이면서 휴대하기 편리한 유연한 플렉서블 표시장치에 대한 기술 개발이 진행되고 있다. 플렉서블 표시장치는 경제적이고 내구성이 강하며 곡면 등에 자유롭게 설치될 수 있는 표시장치이다.
상기 플렉서블 표시장치를 구현하기 위해서는 플라스틱 또는 메탈포일(metal foil)과 같은 플렉서블기판을 사용하게 된다. 그런데 상기 플렉서블기판은 기존 표시장치의 하드한 형상의 유리기판과 다른 특성인 유연성 때문에 기존의 공정에 대한 적합성을 만족시키기 어려울 수 있다.
즉, 상기 유연한 특성은 패턴(적층 구조를 갖는 박막트랜지스터, 다수의 라인 등)을 상기 플렉서블기판 상에 형성하는데 상기 패턴을 정렬하는데 어려움이 발생할 수 있기 때문이다.
따라서 상기 플렉서블기판을 고정할 수 있는 고정장치를 마련하여 반송 및 공정을 진행할 수 있는 기술 등이 제시되고 있다.
실시예는 변형된 플렉서블 기판을 보정하고, 정확하게 패턴을 형성할 수 잇는 패터닝 장치를 제공하고자 한다.
일 실시예에 따른 패터닝 장치는 플렉서블 기판 아래에 배치되는 스테이지; 상기 스테이지에 인접하여 배치되고, 상기 플렉서블 기판에 부착되며, 상기 플렉서블 기판에 장력을 인가하는 다수 개의 보정부들; 및 상기 플렉서블 기판 상에 패턴을 형성하는 패턴 형성 유닛을 포함한다.
실시예에 따른 패터닝 장치는 보정부들을 포함한다. 특히, 보정부들은 플렉서블 기판에 부착되어 플렉서블 기판에 수평 방향으로 장력을 가할 수 있다.
이에 따라서, 실시예에 따른 패터닝 장치는 수축된 플렉서블 기판을 펴거나, 늘어난 플렉서블 기판을 줄일 수 있다.
특히, 롤투롤 공정에서, 플렉서블 기판은 롤들에 감기거나 풀리는 방향에 대한 수직 방향으로 수축될 수 있다
이때, 보정부들에 의해서, 수축된 플렉서블 기판이 늘어날 수 있고, 실시예에 따른 패터닝 장치는 변형된 플렉서블 기판을 보정할 수 있다.
이에 따라서, 실시예에 따른 패터닝 장치는 플렉서블 기판의 변형에 따른 미스 얼라인을 감소시키고, 플렉서블 기판에 정밀하게 패턴을 형성할 수 있다.
실시 예의 설명에 있어서, 각 기판, 부, 스테이지, 롤러 또는 패턴 등이 각 기판, 부, 스테이지, 롤러 또는 패턴 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.
도 1은 실시예에 따른 롤투롤 장치를 도시한 도면이다. 도 2는 실시예에 따른 롤투롤 장치의 일부를 도시한 평면도이다. 도 3은 보정부를 도시한 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 실시예에 따른 롤투롤 장치는 언와인딩 롤러(100), 와인딩 롤러(200), 반송 롤러(300), 스테이지(500), 다수 개의 보정부들(600), 지지대(700) 및 프린팅 롤러(800)을 포함한다.
상기 언와인딩 롤러(100)는 플렉서블 기판(10)을 푼다. 즉, 상기 플렉서블 기판(10)은 상기 언와인딩 롤러(100)에 감긴 상태에서, 상기 언와인딩 롤러(100)의 회전에 의해서 풀린다.
상기 와인딩 롤러(200)는 상기 플렉서블 기판(10)을 감는다. 즉, 패턴이 형성된 플렉서블 기판(10)은 상기 와인딩 롤러(200)의 회전에 의해서 상기 와인딩 롤러(200)에 감긴다.
상기 플렉서블 기판(10)은 상기 언와인딩 롤러(100)로부터 상기 와인딩 롤 러(200)로 이동한다. 즉, 상기 플렉서블 기판(10)은 제 1 방향으로 이동된다. 이때, 상기 제 1 방향은 상기 플렉서블 기판(10)이 풀리고 감기는 방향이다.
상기 반송 롤러(300)는 상기 플렉서블 기판(10)을 평판 형상으로 반송한다. 즉, 상기 반송 롤러(300)는 상기 언와인딩 롤러(100)로부터 상기 프린팅 롤러(800)에 상기 플렉서블 기판(10)을 이송시킨다. 또한, 상기 반송 롤러(300)는 상기 플렉서블 기판(10)을 상기 프린팅 롤러(400)로부터 상기 와인딩 롤러(200)로 이송시킨다.
상기 스테이지(500)는 상기 프린팅 롤러(800) 아래에 배치된다. 상기 스테이지(500)는 상기 플렉서블 기판(10) 아래에 배치된다. 상기 스테이지(500)는 상기 플렉서블 기판(10)을 지지한다. 특히, 상기 스테이지(500)는 상기 플렉서블 기판(10)의 평판 형상을 유지한다.
상기 스테이지(500)는 평평한 상면을 가진다. 상기 스테이지(500)의 상면에 상기 플렉서블 기판(10)이 배치된다.
상기 스테이지(500)는 다수 개의 제 1 진공홀들(510)을 포함한다. 상기 제 1 진공홀들(510)은 상기 스테이지(500)의 상면에 배치된다. 상기 제 1 진공홀들(510)은 서로 일정한 간격으로 이격될 수 있다.
상기 스테이지(500)는 상기 제 1 진공홀들(510)의 흡입력에 의해서, 상기 플렉서블 기판(10)을 고정한다. 상기 스테이지(500)의 상면은 상기 플렉서블 기판(10)의 하면에 흡착 및 탈착될 수 있다. 즉, 상기 스테이지(500)는 상기 플렉서블 기판(10)을 고정하는 진공척이다.
상기 보정부들(600)은 상기 스테이지(500) 옆에 배치된다. 상기 보정부들(600)은 상기 스테이지(500)의 주위를 둘러싼다. 상기 보정부들(600)은 상기 스테이지(500)의 주위를 따라서 열을 지어 배치된다.
상기 보정부들(600)은 상기 플렉서블 기판(10) 아래에 배치된다. 상기 보정부들(600)은 상기 플렉서블 기판(10)의 하면에 부착된다. 더 자세하게, 상기 보정부들(600)은 상기 플렉서블 기판(10)의 하면에 흡착 및 탈착될 수 있다.
상기 보정부들(600)은 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가한다. 더 자세하게, 상기 보정부들(600)은 상기 플렉서블 기판(10)에 수평 방향으로 장력을 인가한다.
상기 보정부들(600)은 각각 다른 세기로 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가할 수 있다. 이와는 다르게, 상기 보정부들(600)은 동일한 세기로 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 보정부들(600)은 몸체(601), 제 2 진공홀(602) 및 서보 모터(603)를 포함한다.
상기 몸체(601)는 상기 플렉서블 기판(10)의 하면에 배치된다. 상기 몸체(601)는 상기 플렉서블 기판(10)의 하면에 흡착 및 탈착될 수 있다. 상기 몸체(601)는 탄성을 가질 수 있으며, 상기 몸체(601)로 사용되는 물질의 예로서는 고무계 수지 또는 폴리 우레탄계 수지 등을 들 수 있다.
상기 제 2 진공홀(602)은 상기 몸체(601)에 형성된다. 상기 제 2 진공홀(602)은 상기 플렉서블 기판(10)에 진공압을 제공한다. 상기 제 2 진공홀(602)은 파이프(604) 등에 의해 연결된 진공 펌프에 의해서, 상기 플렉서블 기판(10)의 하면에 진공압을 제공한다. 이와 같은 진공압에 의해서, 상기 제 2 진공홀(602)에 의해서, 상기 몸체(601)는 상기 플렉서블 기판(10)에 흡착된다.
상기 서보 모터(603)는 상기 몸체(601)에 연결된다. 상기 서보 모터(603)는 상기 몸체(601)를 구동시킨다. 즉, 상기 서보 모터(603)는 상기 몸체(601)를 수평 방향으로 이동시킨다. 상기 서보 모터(603)에 의해서, 상기 몸체(601)가 구동되고, 상기 플렉서블 기판(10)에 장력이 인가된다.
상기 서보 모터(603)는 상기 지지대(700)에 고정된다. 상기 서보 모터(603)는 상기 지지대(700)에 배치되는 구동 회로 등을 통하여 구동 신호를 인가받을 수 있다.
상기 보정부들(600)은 제 1 보정부들(610), 제 2 보정부들(620), 제 3 보정부들(630) 및 제 4 보정부들(640)로 구분된다.
상기 제 1 보정부들(610)은 일렬로 배치된다. 상기 제 1 보정부들(610)은 상기 스테이지(500)의 일 측면에 배치된다. 상기 제 1 보정부들(610)은 제 1 방향으로 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가한다.
상기 제 2 보정부들(620)은 일렬로 배치된다. 상기 제 2 보정부들(620)은 상기 스테이지(500)의 다른 측면에 배치된다. 상기 제 2 보정부들(620)은 상기 스테이지(500)를 사이에 두고, 상기 제 1 보정부들(610)과 마주본다. 상기 제 2 보정부들(620)은 상기 제 1 방향으로 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가한다.
상기 제 1 보정부들(610) 및 상기 제 2 보정부들(620)은 서로 반대 방향으로 장력을 인가할 수 있다. 즉, 상기 제 1 보정부들(610)이 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 바깥쪽으로 장력을 인가할 때, 상기 제 2 보정부들(620)도 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 바깥쪽으로 장력을 인가할 수 있다. 또한, 상기 제 1 보정부들(610)은 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 안쪽으로 장력을 인가할 때, 상기 제 2 보정부들(620)도 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 안쪽으로 장력을 인가할 수 있다.
상기 제 3 보정부들(630)은 일렬로 배치된다. 상기 제 3 보정부들(630)은 상기 스테이지(500)의 또 다른 측면에 배치된다. 상기 제 3 보정부들(630)은 제 2 방향으로 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가한다.
상기 제 4 보정부들(640)은 일렬로 배치된다. 상기 제 4 보정부들(640)은 상기 스테이지(500)의 또 다른 측면에 배치된다. 상기 제 4 보정부들(640)은 상기 제 2 방향으로 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가한다. 상기 제 4 보정부들(640) 및 상기 제 3 보정부들(630) 사이에 상기 스테이지(500)가 배치된다.
상기 제 3 보정부들(630) 및 상기 제 4 보정부들(640)은 서로 반대 방향으로 장력을 인가할 수 있다. 즉, 상기 제 3 보정부들(630)이 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 바깥쪽으로 장력을 인가할 때, 상기 제 4 보정부들(640)도 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 바깥쪽으로 장력을 인가할 수 있다. 또한, 상기 제 3 보정부들(630)은 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 안쪽으로 장력을 인가할 때, 상기 제 4 보정부들(640)도 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 안쪽으로 장력을 인가할 수 있다.
또한, 상기 제 1 보정부들(610)은 일체로 형성되거나, 일체로 결합되어, 일체로 구동될 수 있다. 마찬가지로, 상기 제 2 보정부들(620), 상기 제 3 보정부들(630) 및 상기 제 4 보정부들(640)은 각각 일체로 형성되거나, 일체로 결합되어, 일체로 구동될 수 있다.
이와 같은 경우, 상기 제 1 보정부들(610), 상기 제 2 보정부들(620), 상기 제 3 보정부들(630) 및 상기 제 4 보정부들(640)은 용이하게 구동할 수 있으며, 대칭 변형 등과 같은 비교적 간단한 구조의 변형을 용이하게 보정할 수 있다.
상기 지지대(700)는 상기 보정부들(600)을 지지한다. 상기 지지대(700)는 상기 보정부들(600)을 둘러싼다. 상기 보정부들(600)은 상기 지지대(700)의 내측에 고정된다.
상기 프린팅 롤러(800)는 상기 플렉서블 기판(10) 상에 배치된다. 상기 프린팅 롤러(800)는 상기 플렉서블 기판(10)상에 롤링되어, 패턴을 형성한다. 예를 들어, 상기 프린팅 롤러(800)의 외주면에 패턴이 형성되고, 상기 패턴은 상기 플렉서블 기판(10) 상에 압착될 수 있다.
이와는 다르게, 상기 플렉서블 기판(10)의 상면에 패턴 형성을 위한 유기막이 형성되고, 상기 유기막에 상기 프린팅 롤러(800)는 압력을 가하고, 상기 플렉서블 기판(10)에 패턴이 형성될 수 있다.
또한, 상기 프린팅 롤러(800)는 그라비아, 옵셋 또는 리버스 옵셋 방식들을 채용할 수 있으며, 상기 프린팅 롤러(800) 대신에, 임프린팅 롤러, 스탬핑 유닛 또는 포토 리소그래피 유닛 등이 사용되어, 상기 플렉서블 기판(10) 상에 패턴이 형 성될 수 있다.
상기 플렉서블 기판(10)에 패턴이 형성되는 과정은 다음과 같다.
먼저, 상기 언와인딩 롤러(100)는 상기 플렉서블 기판(10)을 풀고, 상기 와인딩 롤러(200)는 상기 플렉서블 기판(10)을 감는다. 또한, 상기 반송롤러는 회전한다. 이에 따라서, 상기 플렉서블 기판(10)의 패턴이 형성될 부분이 상기 프린팅 롤러(800)로 이송된다.
이후, 상기 제 2 진공홀(602)에 진공압이 인가되고, 상기 보정부들(600)은 상기 플렉서블 기판(10)의 하면에 흡착된다.
이후, 상기 서보 모터(603)가 구동되고, 상기 플렉서블 기판(10)에 장력이 인가된다. 이에 따라서, 상기 플렉서블 기판(10)은 보정된다. 이때, 상기 보정부들(600)은 각각 따로 구동된다.
이후, 상기 제 1 진공홀들(510)에 진공압이 인가되고, 상기 스테이지(500)는 상기 플렉서블 기판(10)의 하면에 흡착된다.
이후, 상기 프린팅 롤러(800)는 상기 플렉서블 기판(10) 상에 패턴을 형성한다.
이후, 상기 언와인딩 롤러(100)는 상기 플렉서블 기판(10)을 풀고, 상기 와인딩 롤러(200)는 상기 플렉서블 기판(10)을 감으며, 상기 반송 롤러(300)가 회전하여, 상기 플렉서블 기판(10)의 패턴이 형성된 부분은 상기 프린팅 롤러(800)로부터 외부로 이송된다.
상기 플렉서블 기판(10)은 열, 압력 및 화학물질 등에 의해서, 변형될 수 있 다. 특히, 상기 플렉서블 기판(10)은 한 방향으로만 변형되지 않고, 대칭 변형(symmetric distortion) 및 사다리꼴 변형(trapezoidal distortion), 전단 변형(shear distortion) 및 핀쿠션 변형(pincushion distortion) 등과 같은 비대칭 변형(nonsymmetric distortion)과 같이 다양한 방식으로 변형될 수 있다.
이때, 상기 보정부들(600)은 따로 구동되어, 상기 플렉서블 기판(10)을 보정한다. 따라서, 상기 보정부들(600)은 매우 정밀하게 상기 플렉서블 기판(10)을 보정할 수 있다. 특히, 상기 보정부들(600)에 의해서, 비대칭 변형을 용이하게 보정할 수 있다.
이에 따라서, 상기 프린팅 롤러(800)는 상기 플렉서블 기판(10)에 정확하게 패턴을 형성할 수 있고, 미스 얼라인을 감소시킬 수 있다.
도 4는 다른 실시예에 따른 롤투롤 장치를 도시한 평면도이다. 도 5는 도 4에서 A-A`를 따라서 절단한 단면을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서, 앞선 실시예에 대한 설명을 참조하고, 언와인딩 롤러, 와인딩 롤러 및 보정부들에 대해서 추가적으로 설명한다. 앞선 실시예에 대한 설명은 변경된 부분을 제외하고, 본 실시예에 대한 설명에 본질적으로 결합될 수 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 언와인딩 롤러(101) 및 와인딩 롤러(201)는 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가한다. 더 자세하게, 상기 언와인딩 롤러(101) 및 상기 와인딩 롤러(201)는 상기 제 2 방향으로 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가한다.
따라서, 상기 플렉서블 기판(10)의 상기 제 2 방향으로의 변형은 상기 언와인딩 롤러(101) 및 상기 와인딩 롤러(201)에 의해서 보정된다.
또한, 반송 롤러에 의해서, 상기 플렉서블 기판(10)에 장력이 인가될 수 있다. 상기 반송 롤러에 의해서, 상기 플렉서블 기판(10)의 상기 제 2 방향으로의 변형이 보정될 수 있다.
보정부들(650, 660)은 스테이지(500) 상에 배치된다. 상기 보정부들(650, 660)은 상기 플렉서블 기판(10)의 외곽영역을 따라서 일렬로 배치된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 보정부들(650, 660)은 그립퍼(605)를 포함한다. 상기 그립퍼(605)는 몸체(601)에 고정되며, 마찰력에 의해서, 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 인가한다. 즉, 서보 모터(603)의 작동에 의해서, 상기 그립퍼(605)는 상기 플렉서블 기판(10)에 제 1 방향으로 장력을 인가한다. 상기 그립퍼(605)는 기판을 미세하게 고정 및 조정을 해야하므로, 마찰 특성을 지니도록 재질 및 형상 설계를 실시한다.
상기 그립퍼(605)는 탄성을 가진다. 상기 그립퍼(605)로 사용될 수 있는 물질의 예로서는 플렉서블한 수지 등을 들 수 있다. 더 자세하게, 상기 그립퍼(605)로 사용되는 물질의 예로서는 폴리 우레탄계 수지, 고무계 수지 또는 폴리 에스테르계 수지 등을 들 수 있다.
상기 보정부들(650, 660)은 제 5 보정부들(650) 및 제 6 보정부들(660)로 구분될 수 있다.
상기 제 5 보정부들(650)은 상기 플렉서블 기판(10)의 일 가장자리에 일렬로 배치된다. 상기 제 6 보정부들(660)은 상기 플렉서블 기판(10)의 다른 가장자리에 일렬로 배치된다.
상기 제 5 보정부들(650) 및 상기 제 6 보정부들(660)은 서로 반대 방향으로 장력을 인가할 수 있다. 즉, 상기 제 5 보정부들(650)이 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 바깥쪽으로 장력을 인가할 때, 상기 제 6 보정부들(660)도 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 바깥쪽으로 장력을 인가할 수 있다. 또한, 상기 제 5 보정부들(650)은 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 안쪽으로 장력을 인가할 때, 상기 제 6 보정부들(660)도 상기 플렉서블 기판(10)에 대하여 안쪽으로 장력을 인가할 수 있다.
상기 제 5 보정부들(650)은 각각 따로 구동될 수 있지만, 이와는 다르게, 상기 제 5 보정부들(650)은 일체로 형성되거나, 일체로 결합되어, 일체로 구동될 수 있다.
마찬가지로, 상기 제 6 보정부들(660)도 일체로 형성되거나, 일체로 결합되어, 일체로 구동될 수 있다.
이와 같이, 상기 언와인딩 롤러(101), 상기 와인딩 롤러(202) 및 상기 보정부들(650, 660)은 상기 플렉서블 기판(10)에 장력을 가하여, 상기 플렉서블 기판(10)의 변형을 보정한다.
본 실시예에 따른 롤투롤 장치는 상기 제 2 방향으로의 변형에 대한 보정은 상기 와인딩 롤러(201) 및 상기 언와인딩 롤러(101)를 사용하고, 상기 제 1 방향으로의 변형에 대한 보정은 상기 보정부들(650, 660)을 사용한다.
본 실시예에 따른 롤투롤 장치는 적은 수의 보정부들을 사용하여, 효율적으로 상기 플렉서블 기판(10)의 변형을 보정할 수 있다.
또한, 이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 실시예에 따른 롤투롤 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 실시예에 따른 롤투롤 장치의 일부를 도시한 평면도이다.
도 3은 보정부를 도시한 사시도이다.
도 4는 다른 실시예에 따른 롤투롤 장치를 도시한 평면도이다.
도 5는 도 4에서 A-A`를 따라서 절단한 단면을 도시한 단면도이다.

Claims (10)

  1. 플렉서블 기판 아래에 배치되는 스테이지;
    상기 스테이지에 인접하여 배치되고, 상기 플렉서블 기판에 부착되며, 상기 플렉서블 기판에 장력을 인가하는 다수 개의 보정부들; 및
    상기 플렉서블 기판 상에 패턴을 형성하는 패턴 형성 유닛을 포함하는 패터닝 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 보정부들은 상기 플렉서블 기판의 하면에 부착되고, 상기 플렉서블 기판에 대하여 수평방향으로 장력을 인가하는 패터닝 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 보정부들은
    상기 플렉서블 기판의 하면에 흡착되는 흡입부;
    상기 흡입부와 연결되는 진공 펌프; 및
    상기 흡입부를 이동시키는 모터를 포함하는 패터닝 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 플렉서블 기판을 감는 제 1 롤러; 및
    상기 플렉서블 기판을 푸는 제 2 롤러를 포함하며,
    상기 보정부들은 상기 제 1 롤러가 상기 플렉서블 기판을 감는 제 1 방향에 대하여 교차하는 제 2 방향으로 상기 플렉서블 기판에 장력을 인가하는 패터닝 장 치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 보정부들은 상기 플렉서블 기판에 상기 제 1 방향으로 장력을 인가하는 패터닝 장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 제 2 방향은 상기 제 1 방향에 대하여 수직인 패터닝장치.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 롤러 및 상기 제 2 롤러는 상기 제 1 방향으로 상기 플렉서블 기판에 장력을 가하는 패터닝 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 보정부들은 상기 플렉서블 기판 상에 배치되고, 상기 스테이지와 함께 상기 플렉서블 기판에 압력을 가하는 그립퍼를 포함하는 패터닝 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 보정부들은 상기 스테이지의 주위를 둘러싸는 패터닝 장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 보정부들은
    상기 플렉서블 기판의 일 가장자리를 따라서 일렬로 배치되는 제 1 보정부 들; 및
    상기 플렉서블 기판의 반대 가장자리를 따라서 일렬로 배치되는 제 2 보정부들인 패터닝 장치.
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