JP3236414U - 貼り付け用シート及び貼り付け装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】貼り付け作業の信頼性や歩留まりを向上させることができる貼り付け用シート及び貼り付け装置を提供する。【解決手段】基板５にフィルム４を貼り付けるための貼り付け装置１００であって、ベース１と、貼り付けユニット３と、搬送ユニット２と、を備えており、貼り付けユニット３は、本体層と、本体層と重なるように配置されてフィルム４と接触することができる接着面と、接着面から窪む複数の凹陥部と、を有する微細構造層と、を具える貼り付け用シート３３と、貼り付け用シート３３の張力を制御する２つの制御手段３２と、貼り付けローラー３４と、キャリアベース３１と、を有し、搬送ユニット２は、フィルム４を搬送するための第１の搬送手段２１と、基板５を搬送することができ、基板５を貼り付け用シート３３に吸着されたフィルム４の方に移動させることができる第２の搬送手段２２と、を有している。【選択図】図３

Description

本考案は貼り付け用シート及び貼り付け装置に関し、具体的には、基板にフィルムを貼り付けるための貼り付け用シート及び貼り付け装置に関する。
特許文献１に記載された従来の貼り付け装置９は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）などのディスプレイデバイスの製造工程において偏光板やタッチパネルなどのフィルムを表示パネルに貼り付けるために用いられるものである。
図１及び図２を参照して従来の貼り付け装置９の構成及びそれを用いて行なう貼り付け方法について説明する。ここで、図１は従来の貼り付け装置９の構成が示される模式図であり、また、図２は従来の貼り付け装置９を用いて行なう貼り付け方法を説明する模式図である。
従来の貼り付け装置９は、図１に示されるように、フィルム９０を基板９１に貼り付けるためのものであり、且つ基板９１を支持しながら水平方向Ｔまたは上下方向Ｈに沿って搬送するための搬送ユニット９３と、フィルム９０を支持するための支持ユニット９２と、搬送ユニット９３及び支持ユニット９２と接続されていて、吸引流を生成することによって基板９１及びフィルム９０の吸着搬送や位置決めを実現するための真空生成ユニット９４と、を備えている。ここで、当該フィルム９０は、一面が離型フィルム９０１により覆われているものである。
搬送ユニット９３は、図１に示されるように、水平方向Ｔまたは上下方向Ｈに沿って移動することができる移動ベース９３１と、移動ベース９３１の下側にあって真空生成ユニット９４と接続されていて基板９１を吸着することができる吸着プレート９３２と、を有している。
支持ユニット９２は、図１に示されるように、キャリアベース９２１と、キャリアベース９２１の上側にそれぞれ間隔をあけるように配置されていると共に真空生成ユニット９４と接続されていてフィルム９０を吸着することができる複数の吸着手段９２２と、離型フィルム９０１をフィルム９０から剥離するための剥離ローラー９２３と、それぞれフィルム９０を下方から基板９１と接触するまで押し付けながら水平方向Ｔに沿って転がることによりフィルム９０を基板９１に貼り付けることができる２つの押圧ローラー９２４と、を有している。
以下、上記のような従来の貼り付け装置９を用いて行なう貼り付け方法について説明する。
第１に、搬送ユニット９３の吸着プレート９３２が、貼り付けを実行しようとする基板１に接してから、真空生成ユニット９４を駆動することにより、図１に示されるように、基板９１が該吸着プレート９３２に吸着される。
第２に、フィルム９０を、支持ユニット９２の複数の吸着手段９２２の上に、離型フィルム９０１を上方に面するように載置し、即ち、該複数の吸着手段９２２が、図１に示されるように、フィルム９０における離型フィルム９０１のない一面と接触するようにする。そして、真空生成ユニット９４を駆動することにより、図１に示されるように、フィルム９０が該複数の吸着手段９２２に吸着される。
第３に、搬送ユニット９３の移動ベース９３１は、基板９１を、支持ユニット９２により吸着されているフィルム９０と位置合わせするように、水平方向Ｔに沿って移動する。同時に、図１に示されるように、剥離ローラー９２３は、当該フィルム９０の離型フィルム９０１を粘着して水平方向Ｔに沿って移動して離型フィルム９０１を剥離する。
第４に、移動ベース９３１は、基板１がフィルム９０へ接近するように、上下方向Ｈに沿って移動する。これと同時に、２つの押圧ローラー９２４は、該フィルム９０の中央部に移動する。
第５に、上記の２つの押圧ローラー９２４におけるいずれか１つは、先にフィルム９０の下側から基板９１に押し当たりながらフィルム９０の中央部からフィルム９０の水平方向Ｔに沿った一側へ転がってフィルム９０の一部を基板９１に貼り付ける。そして、他の１つの押圧ローラー９２４は、同様な方式で水平方向Ｔに沿った他側へ転がってフィルム９０の他の一部を基板９１に貼り付ける。これによって、基板９１とフィルム９０との貼り合わせが完了する。
台湾実用新案登録第Ｍ２９７８３５号明細書
上記のような従来の貼り付け装置は、基板とフィルムとの間に空気が残留しないようにフィルムの貼り付けを行なうことができる。しかしながら、フィルムが可撓性を有するので、複数の吸着手段が、該フィルムをそれぞれ間隔をあけて吸着すると、該フィルムにおけるそれら吸着箇所において凹陥が生じてフィルムに皺が付きやすい。そうすると、フィルムの貼り付け品質に影響を与える恐れがある。そのため、従来の貼り付け装置に関する設計を改善する余地がある。
よって、本考案は上記問題点に鑑みて、上記欠点を解決できる貼り付け用シート及び貼り付け装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成すべく、本考案は、基板にフィルムを貼り付けるためにフィルムを吸着するための貼り付け用シートであって、
上方に向かっている頂面と、前記頂面の反対側にある底面と、を有している本体層と、
可撓性を有する材料で作成されたものであり、前記頂面から前記本体層と重なるように配置されており、且つ上方に向かっていると共に前記フィルムと接触するための接着面と、それぞれ間隔をあけて、前記接着面から内空間があるように窪んでいる複数の凹陥部と、を有している微細構造層と、を具えており、
また、前記フィルムを前記微細構造層に敷設してから押圧すると、前記微細構造層が前記フィルムの押圧による外力を受けながら、前記複数の凹陥部における内空間が収縮することにより、前記微細構造層が前記フィルムを均一に吸着することができるように構成されている、ことを特徴とする貼り付け用シートを提供する。
また、本考案は、少なくともいずれか一面が剥離フィルムにより覆われているフィルムを基板に貼り付けるための貼り付け装置であって、
通常の使用状態では水平方向となって互いに直交する第１の方向と第２の方向、及び、前記第１の方向と前記第２の方向との両方と直交すると共に上下方向となる第３の方向とがあるように構成され、且つベースと、貼り付けユニットと、搬送ユニットと、を備えており、
前記貼り付けユニットは、前記ベースに取り付けられているものであり、且つ、
前記第１の方向及び前記第２の方向に沿って広がっていると共に、上面が前記フィルムの他面に接触して前記フィルムを吸着することができる上記の貼り付け用シートと、
前記貼り付け用シートの前記本体層における前記第２の方向に沿う両端にそれぞれ連接して前記貼り付け用シートの張力を制御することができる２つの制御手段と、
前記貼り付け用シートの下側及び前記２つの制御手段の間にあって前記貼り付け用シートを押圧しながら前記第２の方向に沿って転がることができる貼り付けローラーと、
前記貼り付け用シートと前記２つの制御手段と前記貼り付けローラーを下側から支えながら前記第３の方向に沿って移動させることができるキャリアベースと、を有しており、
前記搬送ユニットは、前記ベースに取り付けられているものであり、且つ、
前記フィルムを載せながら前記第1の方向に沿って搬送することができる上に、前記フィルムを前記貼り付け用シートの前記微細構造層に転送することができる第１の搬送手段と、
前記貼り付けユニットの上方に設置され、前記基板を保持しながら前記第２の方向に沿って搬送することができる第２の搬送手段と、を有しており、
また、前記キャリアベースが、前記フィルムを前記第３の方向に沿って前記第２の搬送手段に保持されている前記基板に近づくまで移動すると、前記貼り付けローラーが、前記貼り付け用シート及び前記フィルムを前記基板の方に押圧しながら、前記第２の方向に沿って転がることによって、前記フィルムを前記基板に貼り付けることができるように構成されている、ことを特徴とする貼り付け装置を提供する。
本考案に係る貼り付け用シート及び貼り付け装置は、複数の凹陥部における内空間が収縮することにより、フィルムが貼り付け用シートの微細構造層に均一に吸着され得るので、吸着されているフィルムにおいては、皺が生じることなく、優れた平坦度を確保することができる。
また、貼り付けローラーが貼り付け用シートの下側から貼り付け用シート及びフィルムを基板の方に押圧しながら転がることにより、貼り付けローラーがフィルムと直接接触せずに貼り付けを行なうことができるので、フィルムと基板の間に空気が巻き込まれて気泡が発生することを防ぐことができることに加え、フィルムに対して損傷を与えるリスクを大幅に減少させることもできる。このため、貼り付け作業の信頼性や歩留まりを向上させることができる。
従来の貼り付け装置の構成を示す模式図である。 従来の貼り付け装置を用いて行なう貼り付け方法を説明する模式図である。 本考案に係る実施形態の貼り付け装置の構成を示す斜視図である。 該実施形態の貼り付けユニットの一部を示す斜視図である。 該実施形態の貼り付け用シートの構成を示す一部断面図である。 該実施形態の貼り付け用シートがフィルムを吸着する状態を示す上面図である。 該実施形態の貼り付け用シートの接着面及び複数の凹陥部の一態様を示す上面図である。 該実施形態の貼り付け用シートの接着面及び複数の凹陥部の他の態様を示す上面図である。 該実施形態の貼り付け用シートの変化例を示す側面図である。 該実施形態の貼り付け装置の使用状態を説明する模式図である。 該実施形態の貼り付け用シートにおける微細構造層の内空間の収縮状態を示す模式図である。 該実施形態の貼り付け装置によりフィルムを基板に貼り付ける作業を説明する模式図である。 該実施形態の貼り付けユニットの貼り付けローラーの使用状態を示す模式図である。
以下、本考案に係る貼り付け装置１００について、図面を参照して説明する。
図３及び図４を参照して本考案に係る貼り付け装置１００の一実施形態の構成についてを説明する。ここで、図３は本考案に係る実施形態の貼り付け装置１００の構成を示す斜視図であり、また、図４は該実施形態の貼り付けユニット３の一部を示す斜視図である。
本考案に係る実施形態の貼り付け装置１００は、基板５にフィルム４を貼り付けるために用いられるものである。該フィルム４は、図３及び図４に示されるように、いずれか一面が剥離フィルム４１により覆われている。なお、本実施形態においてフィルム４の片面に剥離フィルム４１を有するが、他の実施形態においてフィルム４の両面とも剥離フィルム４１を有してもよい。
本実施形態において、基板５は、例えば、液晶パネルや有機ＥＬパネルやマイクロＬＥＤパネルのような表示パネル用の基板であり、フィルム４は、例えば、視野角制御フィルムや偏光板や反射防止フィルムや表面保護フィルムや光学補償フィルムや輝度上昇フィルムのような光学フィルムである。勿論、ここでそれらに限定されず、他の実施形態において本考案の貼り付け装置１００によって例えばマザーボードとフィルムとの貼り合わせを実行することもできる。
該実施形態の貼り付け装置１００は、図３に示されるように、通常の使用状態では水平方向となって互いに直交する第１の方向Ｄ１と第２の方向Ｄ２、及び、第１の方向Ｄ１と第２の方向Ｄ２との両方と直交すると共に上下方向となる第３の方向Ｄ３とがあるように構成され、且つベース１、ベース１にそれぞれ取り付けられている貼り付けユニット３及び搬送ユニット２と、を備えている。
ベース１は、図３に示されるように、第１の方向Ｄ１及び第２の方向Ｄ２に沿って広がるように構成され、貼り付けユニット３及び搬送ユニット２を載せるためのものである。
貼り付けユニット３は、図３及び図４に示されるように、貼り付け用シート３３と、２つの制御手段３２と、貼り付けローラー３４と、キャリアベース３１と、剥離手段３５と、位置検出手段３６と、を有している。
貼り付け用シート３３は、図３及び図４に示されるように、第１の方向Ｄ１及び第２の方向Ｄ２に沿って広がっていると共に、上面がフィルム４の他面（即ち、本実施形態では剥離フィルムのない表面）に接触し且つ吸着することができるように構成されている。
２つの制御手段３２は、図３及び図４に示されるように、貼り付け用シート３３（即ち、後述する本体層３３１）における第２の方向Ｄ２に沿う両端にそれぞれ連接して、貼り付け用シート３３の張力を制御し且つ維持することができるように構成されている。
具体的には、該２つの制御手段３２は、図４に示されるように、いずれも、駆動されることにより貼り付け用シート３３の張力を調整することができる張力ローラー３２１と、張力ローラー３２１の端部にそれぞれ設置されて張力ローラー３２１の駆動源とされる２つの空圧シリンダ３２２と、を有している。なお、本実施形態では、制御手段３２においては、空圧シリンダ３２２により張力ローラー３２１を駆動するが、他の実施形態において例えば、電気モーターのような駆動源を採用してもよい。
貼り付けローラー３４は、図３及び図４に示されるように、貼り付け用シート３３の下側及び２つの制御手段３２の間にあって貼り付け用シート３３を押圧しながら第２の方向Ｄ２に沿って転がることができるように構成されている。
具体的には、貼り付けローラー３４は、図３及び図４に示されるように、第１の方向Ｄ１に軸を有し、且つ当該軸を回転軸として回転できるものであり、駆動機構（図示せず）で駆動されると、２つの制御手段３２にそれぞれ近接する貼り付け用シート３３の第２の方向Ｄ２に沿った両端の間に貼り付け用シート３３を下側から上へ押圧しながら転がるようになる。また、上記した貼り付け用シート３３の両端のうちの一端を開始位置とし、他端を停止位置とする。
ここで、貼り付けローラー３４を駆動するための駆動機構について本考案の特徴ではないので、更なる詳細な記載がなくても、同業者であれば、本考案の内容に基づいて利用できると考えられる。
本実施形態では、貼り付け作業を行なう際に、貼り付けローラー３４が、貼り付け用シート３３を押圧しながら開始位置から停止位置へ転がって、フィルム４が貼り付け用シート３３の一端から他端に基板５に貼り付けられるようになる。
貼り付け用シート３３が２つの制御手段３２により張力を維持されるので、貼り付けローラー３４の貼り付け用シート３３に対する転がり速度や押圧強度は、その張力に対応するように設定する。これは、貼り付け作業において、貼り付けローラー３４の転がり速度や押圧強度が過大になって貼り付け用シート３３に曲がりが生じることを避け、貼り付け品質を確保するためである。
キャリアベース３１は、図３に示されるように、貼り付け用シート３３と２つの制御手段３２と貼り付けローラー３４を下側から支えながら第３の方向Ｄ３に沿って移動させることができるように構成されており、即ち、後述するように、貼り付け作業を行なう際に、フィルム４を第３の方向Ｄ３に沿って移動して基板５へ近づけるために用いられるものである。
剥離手段３５は、図３に示されるように、第２の方向Ｄ２に沿って移動可能に設けられて、フィルム４の剥離フィルム４１を剥離するためのものである。
また、剥離手段３５としては、例えば挟持具または剥離ローラーを選択することができる。具体的には、挟持具である場合は、剥離フィルム４１の一縁部を挟んで第２の方向Ｄ２に沿って移動して当該剥離フィルム４１を？がすことができるように構成される。一方、剥離ローラーである場合は、第１の方向Ｄ１に軸を有する円筒状となって円筒面に粘着性を有するローラーであり、且つ剥離フィルム４１を粘着して第２の方向Ｄ２に沿って転がることにより、当該剥離フィルム４１を？がすことができるように構成される。しかし、剥離手段３５としてはこれらに限定されず、他の実施形態において剥離フィルム４１を？がすことができる他の機構を採用してもよい。
位置検出手段３６は、図３に示されるように、後述する搬送ユニット２の第２の搬送手段２２の下方に第２の方向Ｄ２に沿って移動可能に設けられて、フィルム４に設けられた位置合わせ用マークの位置を検出するためのものである。
具体的に、該実施形態の位置検出手段３６は、例えばＣＣＤ（Charge-coupled Device、電荷接合素子）イメージセンサを用いた位置検出手段であり、フィルム４に設けられている位置合わせ用マークを撮影してフィルム４の実際位置を取得することで、使用者がその実際位置を目標位置と比べて当該フィルム４の位置ずれが生じているか否かを知ることができる。これによって、フィルム４の貼り付け精度の向上に寄与することができる。
搬送ユニット２は、図３に示されるように、フィルム４を載せながら第1の方向Ｄ１に沿って搬送することができる上に、当該フィルム４を貼り付け用シート３３（即ち、後述する微細構造層３３２）の上に転送することができる第１の搬送手段２１と、貼り付けユニット３の上方に設置され、基板５を保持しながら第２の方向Ｄ２に沿って搬送することができる第２の搬送手段２２と、を有している。
なお、本実施形態では、第１の搬送手段２１と第２の搬送手段２２とは、真空生成手段(図示せず)に接続されており、且つ当該真空生成手段によりフィルム４または基板５を吸着し且つ固定することができる。勿論、ここで真空生成手段に限定されず、他の実施形態において例えば静電吸着させるための電極を用いてフィルム４または基板５の付着を行なってもよい。
ここで、該搬送ユニット２に関する具体的な構成や搬送の作動原理は、本考案の特徴ではないので、更なる詳細な記載がなくても、同業者であれば、本考案の内容に基づいて利用できると考えられる。
以下、該実施形態に係る貼り付け装置１００におけるフィルム４を吸着するための貼り付け用シート３３の詳細な構造について説明する。
図５～図９を参照して該実施形態に係る貼り付け装置１００に用いられる貼り付け用シート３３の構成を説明する。ここで、図５は該実施形態の貼り付け用シート３３の構成を示す一部断面図であり、図６は該実施形態の貼り付け用シート３３がフィルム４を吸着する状態を示す上面図であり、図７は該実施形態の貼り付け用シート３３の接着面３３６及び複数の凹陥部３３７の一態様を示す上面図であり、図８は該実施形態の貼り付け用シート３３の接着面３３６及び複数の凹陥部３３７の他の態様を示す上面図であり、図９は該実施形態の貼り付け用シート３３の変化例を示す側面図である。
該実施形態の貼り付け用シート３３は、図３～図６に示されるように、矩形に形成され、第２の方向Ｄ２に沿う両端にある両端部が２つの制御手段３２にそれぞれ連接されていて、当該２つの制御手段３２の作動に応じて張力が変化できるものであり、且つ本体層３３１と、該本体層３３１の上に敷設されていると共にフィルム４に接触してフィルム４を吸着するための微細構造層３３２と、を具えている。
本体層３３１の材料としては、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル樹脂、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、ＰＥＴ繊維を用いることができる。また、本体層３３１は、図５及び図６に示されるように、上方に向かっている頂面３３５と、頂面３３５の反対側にある底面３３４と、制御手段３２が設けられている側の両端部にそれぞれ頂面３３５から底面３３４に貫通して２つの制御手段３２と連接するための複数の貫通孔３３３と、を有している。
また、該本体層３３１の厚さは、０．０１ｍｍ～１ｍｍの範囲内にあり、０．０５ｍｍ～０．３ｍｍにあることが好ましい。本体層３３１の厚さが０．０１ｍｍ未満となると機械強度が弱くて破損しやすい一方、１ｍｍを超えると形状が変化しにくくて後述する貼り付け作業に影響を与える。なお、本実施形態では、厚さが０．０５ｍｍのステンレス鋼製の本体層３３１を採用している。
貫通孔３３３は、図６に示されるように、上記の両端部に４つずつ配置されている。なお、該貫通孔３３３の数量は、上記したように限定されず、使用者のニーズに応じて変更することができる。また、本実施形態の貼り付け装置１００の貼り付けユニット３は、本体層３３１が、複数の固定具を用いてそれらの貫通孔３３３を通して制御手段３２の張力ローラー３２１に螺着されている。これによって、該２つの制御手段３２が貼り付け用シート３３の張力を調整する際に、該本体層３３１のいずれか一端が対応する制御手段３２から脱離することを防ぐことができる。
更に、使用者は、実際の作業環境や条件に応じて、本体層３３１の材質を変更することができる。例えば、図９に示されるように、本体層３３１は、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、またはＰＥＴ繊維といった可撓性を有する材質を選定して作成され得、一端部を巻回するように収納できるようにすることも可能である。
微細構造層３３２は、可撓性を有する材料で作成されたものであり、図５及び図６に示されるように、頂面３３５から本体層３３１と重なるように配置されており、且つ上方に向かっていると共にフィルム４に接触してフィルム４を吸着するための接着面３３６と、それぞれ間隔をあけて、接着面３３６から内空間があるように窪んでいる複数の凹陥部３３７と、を有している。
具体的には、該微細構造層３３２がフィルム４の押圧による外力を受けると、接着面３３６が変形するが、各凹陥部３３７の内空間が、圧迫された接着面３３６の変形を受け入れる伸縮空間となるため、その変形による接着面３３６の突起が発生することが防がれ、フィルム４の良好な平坦度を確保することができる。
また、該微細構造層３３２の材料としては、例えば、シリカゲル、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＯＣＡ（optical clear adhesive、光学用透明粘着材）、ゴム、エポキシ樹脂を用いることができる。なお、本実施形態では、微細構造層３３２は、低粘度の材料であるシリカゲルを硬化させて造形することにより作成されている。更に、微細構造層３３２の厚さは、１μｍ～５００μｍの範囲内にあり、５０μｍであることが好ましい。
なお、微細構造層３３２の面積については、貼り付けようとするフィルム４の面積に応じて選択することができ、即ち、フィルム４よりも広ければよい。なお、本実施形態では、微細構造層３３２は、２つの制御手段３２の作動において張力ローラー３２１に巻き込まれることにならないように、図６に示されるように、面積が本体層３３１よりも小さく設計されている。
複数の凹陥部３３７は、これらに限らないが、上下方向視での形状が例えばＬ字形状、十字形状、円形状、楕円形状、菱形（図７を参照）、ストリップ形状（図８を参照）となるように形成することができ、且つ互いに連通しても連通しなくてもよい。
ここで、微細構造層３３２の様式の具体例について、図７及び図８に示されるものを挙げて説明する。図７の例では、上下方向視において、複数のそれぞれ円形状の接着面３３６がアレイ配置されていて、これに対し、各凹陥部３３７がその円形状に対応する形状（図７に示されるような４辺が内側に曲がった菱形）となっている。図８の例では、上下方向視において接着面３３６が菱形となっていて、これに対し、各凹陥部３３７が互いに交差したストリップ形状となっている。このような配列方式によって、押圧時の微細構造層３３２の接着面３３６における突起の発生が防がれ、フィルム４は、表面に接着面３３６の吸着力のむらによる凹陥が発生することなく、より平らに且つ均一に吸着され得る。
更に、微細構造層３３２の形成については、スプレー塗布により本体層３３１の頂面３３５の上に材料層を形成し、そして凹版印刷により当該材料層に複数の凹陥部３３７を形成して、接着面３３６及び複数の凹陥部３３７を有する微細構造層３３２となる。
該実施形態の貼り付け用シート３３を２つの制御手段３２に装着するとき、まず、貼り付け用シート３３における複数の貫通孔３３３を有する両端部を、貫通孔３３３に挿通させた固定具により第２の方向Ｄ２に沿った２つの張力ローラー３２１に螺着する。次に、所定の張力値を入力し、空圧シリンダ３２２が当該張力値に応じて張力ローラー３２１を駆動し、該２つの張力ローラー３２１が貼り付け用シート３３の両端部を反対方向へ巻き回して貼り付け用シート３３に対して張力を与える。そして、貼り付け用シート３３の本体層３３１及び微細構造層３３２がその張力により引締状態となると、貼り付け用シート３３の取り付けが完了する。
以下、本実施形態に係る貼り付け装置１００を用いた基板５とフィルム４との貼り付け作業について説明する。
図１０～図１３を参照して該実施形態の貼り付け装置１００を用いた貼り付け作業を行なうことについて説明する。ここで図１０は該実施形態の貼り付け装置１００の使用状態を説明する模式図であり、図１１は該実施形態の貼り付け用シート３３における微細構造層３３２の内空間の収縮状態を示す模式図であり、図１２は該実施形態の貼り付け装置１００によりフィルム４を基板５に貼り付ける作業を説明する模式図であり、また、図１３は該実施形態の貼り付けユニット３の貼り付けローラー３４の使用状態を示す模式図である。
第１に、図３に示されるように、搬送ユニット２の第１の搬送手段２１は、貼り付け作業を実行しようとするフィルム４の剥離フィルム４１により覆われている一面を、上記の真空生成手段（図示せず）の作動により吸着して、当該フィルム４を載せながら第１の方向Ｄ１に沿って貼り付けユニット３の貼り付け用シート３３へ近づくように搬送する。
また、第１の搬送手段２１がフィルム４を第１の方向Ｄ１に沿って搬送している途中で、フィルム４の表面に対して異物除去を行なう。これによって異物による貼り付け品質の低下を防止することができる。
第２に、図１０に示されるように、第１の搬送手段２１は、フィルム４を貼り付け用シート３３の近傍に搬送してから反転し、そしてフィルム４を貼り付け用シート３３の上方に移動する。この場合、フィルム４の他面（即ち、剥離フィルム４１のない表面）が貼り付け用シート３３の微細構造層３３２に向かっている。
第３に、図１０に示されるように、第１の搬送手段２１は、フィルム４を貼り付け用シート３３の微細構造層３３２の方へ移動し、フィルム４を微細構造層３３２に敷設してから押圧する。すると、図１１に示されるように、該微細構造層３３２がフィルム４の押圧による外力を受けながら、複数の凹陥部３３７における内空間が収縮することにより、微細構造層３３２がフィルム４を均一に吸着するようになる。これによって、フィルム４の設置が完了する。
より具体的に言うと、内空間の収縮で、その中にある空気が排出されて気密状態となるので、フィルム４に対する吸着力が発生する。即ち、凹陥部３３７における内空間の収縮による吸着力、及び微細構造層３３２の材質による接着面３３６の接着力は、共にフィルム４の平坦性を提供する。
第４に、図１０に示されるように、第２の搬送手段２２は、貼り付け作業を実行しようとする基板５を、第１の搬送手段２１と同じく上記の真空生成手段により吸着するように保持しながら、第２の方向Ｄ２に沿って微細構造層３３２に固定されているフィルム４の上方まで搬送する。
第５に、位置検出手段３６（図３を参照）によりフィルム４と基板５との位置ずれが発生しているか否かを判断する。当該位置ずれが検出されると校正を行ない、これに対し、当該位置ずれがなければ、剥離手段３５（図３を参照）が第２の方向Ｄ２に沿って剥離フィルム４１を剥離する。
なお、微細構造層３３２のフィルム４に対する吸着力は、剥離フィルム４１のフィルム４に対する付着力よりも大きい必要があり、それで剥離フィルム４１を剥離している際にフィルム４が微細構造層３３２から離れることはない。
第６に、図１２に示されるように、キャリアベース３１を作動して、フィルム４を第３の方向Ｄ３に沿って第２の搬送手段２２に保持されている基板５の方に、基板５と接触しないだけの距離があるように移動させる。
なお、本実施形態では、キャリアベース３１によりフィルム４を移動して基板５へ接近するが、他の実施形態において第２の搬送手段２２を作動して、基板５を貼り付け用シート３３にあるフィルム４の方に、フィルム４と接触しないだけの距離があるように移動させてもよい。或いは、フィルム４と基板５との移動を同時に実行しても、同様な目的を達成することもできる。
第７に、キャリアベース３１が、フィルム４を第３の方向Ｄ３に沿って第２の搬送手段２２に保持されている基板５に近づくまで移動すると、図１２及び図１３に示されるように、貼り付けローラー３４が、貼り付け用シート３３及びフィルム４を基板５の方に押圧しながら、第２の方向Ｄ２に沿って上記の開始位置から停止位置へ転がることによって、フィルム４を基板５に貼り付ける。これによって、フィルム４と基板５との貼り付け作業が完了する。
総括すると、本考案に係る貼り付け用シート３３及び貼り付け装置１００は、複数の凹陥部３３７における内空間が収縮することにより、フィルム４が貼り付け用シート３３の微細構造層３３２に均一に吸着され得るので、吸着されているフィルム４においては、皺が生じることなく、優れた平坦度を確保することができる。
また、貼り付けローラー３４が貼り付け用シート３３の下側から貼り付け用シート３３及びフィルム４を基板の方に押圧しながら転がることにより、貼り付けローラー３４がフィルム４と直接接触せずに貼り付けを行なうことができるので、フィルム４と基板５の間に空気が巻き込まれて気泡が発生することを防ぐことができることに加え、フィルム４に対して損傷を与えるリスクを大幅に減少させることもできる。このため、貼り付け作業の信頼性や歩留まりを向上させることができる。
上記実施形態のように、本考案は、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
上記のように構成された貼り付け用シート及びそれを有する貼り付け装置は、貼り付け作業の信頼性の飛躍的な向上に有用である。そのため、本考案は産業上の利用可能性がある。
９ 貼り付け装置
９０ フィルム
９０１ 離型フィルム
９１ 基板
９２ 支持ユニット
９２１ キャリアベース
９２２ 吸着手段
９２３ 剥離ローラー
９２４ 押圧ローラー
９３ 搬送ユニット
９３１ 移動ベース
９３２ 吸着プレート
９４ 真空生成ユニット
Ｈ 上下方向
Ｔ 水平方向
１００ 貼り付け装置
１ ベース
２ 搬送ユニット
２１ 第１の搬送手段
２２ 第２の搬送手段
３ 貼り付けユニット
３１ キャリアベース
３２ 制御手段
３２１ 張力ローラー
３２２ 空圧シリンダ
３３ 貼り付け用シート
３３１ 本体層
３３２ 微細構造層
３３３ 貫通孔
３３４ 底面
３３５ 頂面
３３６ 接着面
３３７ 凹陥部
３４ 貼り付けローラー
３５ 剥離手段
３６ 位置検出手段
４ フィルム
４１ 剥離フィルム
５ 基板
Ｄ１ 第１の方向
Ｄ２ 第２の方向
Ｄ３ 第３の方向

Claims (13)

  1. 基板にフィルムを貼り付けるためにフィルムを吸着するための貼り付け用シートであって、
    上方に向かっている頂面と、前記頂面の反対側にある底面と、を有している本体層と、
    可撓性を有する材料で作成されたものであり、前記頂面から前記本体層と重なるように配置されており、且つ上方に向かっていると共に前記フィルムと接触するための接着面と、それぞれ間隔をあけて、前記接着面から内空間があるように窪んでいる複数の凹陥部と、を有している微細構造層と、を具えており、
    また、前記フィルムを前記微細構造層に敷設してから押圧すると、前記微細構造層が前記フィルムの押圧による外力を受けながら、前記複数の凹陥部における内空間が収縮することにより、前記微細構造層が前記フィルムを均一に吸着することができるように構成されている、
    ことを特徴とする貼り付け用シート。
  2. 前記本体層は、ステンレス鋼、アルミニウム、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル樹脂、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、ＰＥＴ繊維のいずれかの１種から作成されたものである、
    ことを特徴とする請求項１に記載の貼り付け用シート。
  3. 前記本体層の厚さは、０．０１ｍｍ～１ｍｍの範囲内にある、
    ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の貼り付け用シート。
  4. 前記微細構造層は、シリカゲル、ＰＶＣ、ＯＣＡ、ゴム、エポキシ樹脂のいずれかの１種から作成されたものである、
    ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の貼り付け用シート。
  5. 前記微細構造層の厚さは、１μｍ～５００μｍの範囲内にある、
    ことを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載の貼り付け用シート。
  6. 各前記凹陥部の上下方向視での形状は、Ｌ字形状、十字形状、円形状、ストリップ形状、楕円形状のいずれか一者である、
    ことを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載の貼り付け用シート。
  7. 前記本体層の両端部には、それぞれ前記頂面から前記底面に貫通している複数の貫通孔があるように構成されている、
    ことを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載の貼り付け用シート。
  8. 前記フィルムは光学フィルムである、
    ことを特徴とする請求項１～７のいずれか一項に記載の貼り付け用シート。
  9. 少なくともいずれか一面が剥離フィルムにより覆われているフィルムを基板に貼り付けるための貼り付け装置であって、
    通常の使用状態では水平方向となって互いに直交する第１の方向と第２の方向、及び、前記第１の方向と前記第２の方向との両方と直交すると共に上下方向となる第３の方向とがあるように構成され、且つベースと、貼り付けユニットと、搬送ユニットと、を備えており、
    前記貼り付けユニットは、前記ベースに取り付けられているものであり、且つ、
    前記第１の方向及び前記第２の方向に沿って広がっていると共に、上面が前記フィルムの他面に接触して前記フィルムを吸着することができる請求項１～７のいずれか一項に記載の貼り付け用シートと、
    前記貼り付け用シートの前記本体層における前記第２の方向に沿う両端にそれぞれ連接して前記貼り付け用シートの張力を制御することができる２つの制御手段と、
    前記貼り付け用シートの下側及び前記２つの制御手段の間にあって前記貼り付け用シートを押圧しながら前記第２の方向に沿って転がることができる貼り付けローラーと、
    前記貼り付け用シートと前記２つの制御手段と前記貼り付けローラーを下側から支えながら前記第３の方向に沿って移動させることができるキャリアベースと、を有しており、
    前記搬送ユニットは、前記ベースに取り付けられているものであり、且つ、
    前記フィルムを載せながら前記第１の方向に沿って搬送することができる上に、前記フィルムを前記貼り付け用シートの前記微細構造層に転送することができる第１の搬送手段と、
    前記貼り付けユニットの上方に設置され、前記基板を保持しながら前記第２の方向に沿って搬送することができる第２の搬送手段と、を有しており、
    また、前記キャリアベースが、前記フィルムを前記第３の方向に沿って前記第２の搬送手段に保持されている前記基板に近づくまで移動すると、前記貼り付けローラーが、前記貼り付け用シート及び前記フィルムを前記基板の方に押圧しながら、前記第２の方向に沿って転がることによって、前記フィルムを前記基板に貼り付けることができるように構成されている、
    ことを特徴とする貼り付け装置。
  10. 前記２つの制御手段は、いずれも、駆動されることにより前記貼り付け用シートの張力を調整することができる張力ローラーと、前記張力ローラーの端部に設置されて前記張力ローラーの駆動源とされる空圧シリンダと、を有している、
    ことを特徴とする請求項９に記載の貼り付け装置。
  11. 前記貼り付けユニットは、前記第２の方向に沿って移動可能に設けられて、前記フィルムの前記剥離フィルムを剥離するための剥離手段を更に有している、
    ことを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の貼り付け用シート。
  12. 前記貼り付けユニットは、前記第２の搬送手段の下方に前記第２の方向に沿って移動可能に設けられて、前記フィルムに設けられた位置合わせ用マークの位置を検出するための位置検出手段を更に有している、
    ことを特徴とする請求項９～１１のいずれか一項に記載の貼り付け装置。
  13. 前記フィルムは光学フィルムであり、前記基板は表示パネル用の基板である、
    ことを特徴とする請求項９～１２のいずれか一項に記載の貼り付け装置。
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