JP2011513101A - 反射防止コーティングを有する透明基材 - Google Patents

Abstract

本発明の主題は、その表面の少なくとも一つに反射防止コーティングを有する透明基材であって、その反射防止コーティングが、交互に高い屈折率と低い屈折率を有する薄層の多層（Ａ）で作られている透明基材（６）、特にガラス基材である。
その多層は、高屈折率の第一層（１）、及び／又は高屈折率の第三層（３）が亜鉛−スズ混合酸化物に基づいており、原子％表示でスズの亜鉛に対する比が１超であることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、その表面の少なくとも一つに反射防止コーティングを与えられた透明基材、特にガラス基材に関する。

反射防止コーティングは、通常、最も単純な場合で、屈折率が、基材の屈折率と空気の屈折率との間である一つの薄い干渉層からなり、又はより複雑な場合で、複数の薄層（一般的には、高屈折率及び低屈折率を有する誘電体材料に基づく交互の層）からなる。

反射防止コーティングの最も通常の用途において、それらは、基材からの光反射を減少させて光透過を向上させるために用いられる。そのような基材は、例えば、絵画の保護、又は店のカウンター若しくは窓の生産を意図したグレージングである。それゆえ、それらは、可視域の波長を考慮に入れるのみで最適化されている。

しかし、特別の用途に関して、また単に可視域だけでなく、透明基材の透過率を向上させる必要性が現れてきている。

光起電太陽電池型の集光することができる素子が、光から電気エネルギーへの変換をもたらす吸収性物質を有することが知られている。

吸収体として機能することができる三元黄銅鉱化合物は、一般に銅、インジウム、及びセレンを含有する。これらは、ＣＩＳｅ_２吸収性物質層と呼ばれる。吸収性物質層は、ガリウム（例えば、Ｃｕ（Ｉｎ，Ｇａ）Ｓｅ_２又はＣｕＧａＳｅ_２）、アルミニウム（例えば、Ｃｕ（Ｉｎ，Ａｌ）Ｓｅ_２）、又は硫黄（例えば、ＣｕＩｎ（Ｓｅ，Ｓ））も含むことができる。それらを、一般的に、且つ本明細書で、黄銅鉱吸収性物質層という用語で表す。

薄層としての、吸収性物質の他の一つの群は、アモルファス又は微晶質となることができるシリコンに基づくか、カドミウムテルル化物（ＣｄＴｅ）に基づくかのどちらかである。また、薄層として堆積されるアモルファス又は微晶質のシリコン系とは異なり、５０μｍ〜２５０μｍの間の厚みを持つ厚い層として堆積される、多結晶シリコンウェハーに基づく吸収性物質の他の一つの群も存在する。

これら吸収性物質の様々な技術に関して、スペクトル全体にわたっての光透過率が最大化されない場合、それらの光起電効率（エネルギー変換率）は、有意に減少することが知られている。

それゆえ、それらの効率を向上させるため、太陽電池に関して重要である波長で、このガラスを通過する太陽エネルギーの透過率を最適化することが有利であると考えられる。

第一の解決法は、酸化鉄の含有量が低い特別に透明なガラスを用いることからなる。これは、例えば、Ｓａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｇｌａｓｓによる、「ＤＩＡＭＡＮＴ」等級、又は「ＡＬＢＡＲＩＮＯ」等級で販売されているガラスとすることができる。

他の一つの解決法は、多孔質の酸化ケイ素の単一層から作られた反射防止コーティングを、外側に有するガラスを与えることからなる。その材料の多孔性は、それらの屈折率を低下させることを可能とする。しかし、この単一層コーティングの性能は、決して高くない。また、それは、特に水分に関して、耐久性が不十分である。

他の一つの解決法は、誘電体材料で作られた高い屈折率と低い屈折率とを交互に有する複数の薄層の反射防止コーティングを、外側に有するガラス、例えば特許文献１及び特許文献２に記載されたものを与えることからなる。

それにもかかわらず、高屈折率層が亜鉛−スズ混合酸化物に基づき、且つ低屈折率層が二酸化ケイ素に基づく、このタイプの反射防止コーティングは、ある種の条件下で熱強化された場合、及びある種の気候条件（特に高い相対湿度）にさらされた場合に、基材から剥離するという大きな欠点があることが明らかとなっている。

この有害な現象は、全ての高屈折率層がＺｎ_７５Ｓｎ_２５Ｏ（重量％表示）、Ｚｎ_０．８５Ｓｎ_０．１５Ｏ（原子％表示）、Ｚｎ_５０Ｓｎ_５０Ｏ（重量％表示）又はＺｎ_０．６５Ｓｎ_０．３５Ｏ（原子％表示）に基づく多層に関して、より顕著に観察されている。

Ｚｎ_１００Ｓｎ_０Ｏ（重量％表示）の酸化物が、加水分解耐性を全く持たず、且つ他方でＺｎ_０Ｓｎ_１００Ｏ（重量％表示）がこの特性を有することも観察されている。

この観察から、且つ熱処理の影響下では、ＳｎＺｎＯ（ＳｎＺｎＯ_ｘで示す）の混合酸化物は、アモルファス状態に留まるが、別々に分けると、ＳｎＯ_２及びＺｎＯは、この同じ熱処理の下で、結晶化する傾向を有することも考慮することにより、発明者は、驚くべきことに且つ予想外に、特定の混合酸化物組成物が、反射防止多層（低屈折率を有する層がＳｉＯ_２で作られている）の層の高屈折率材料として、熱処理後に非常に強固な多層を得ることを可能とし、加えて、シリコン系太陽電池がエネルギー変換効率ピークの一部を有する、紫外スペクトルから青のスペクトルの間の波長の範囲において吸収性があまりないという利点を与えることを発見した。

国際公開ＷＯ０１／９４９８９ 国際公開ＷＯ２００４／００５２１０

本発明の目的は、熱処理条件にかかわらず、機械的に強固であり、且つ広域の波長において、特に可視スペクトル、赤外スペクトル、又は紫外スペクトルにおいてさえも同時に、そのコーティングを有する透明基材を通る透過率をさらに向上させる（又は反射率をさらに低減させる）ことができる、新規な反射防止コーティングの開発である。

加えて、本発明の目的は、太陽電池に適切な新規の反射防止コーティングの開発である。

加えて、本発明の目的は、その最終用途がアニール又は熱強化される必要があり、キャリア基材（ｃａｒｒｉｅｒ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）がガラスで作られる場合に特に、熱処理を与えることもできる、そのようなコーティングの開発である。

加えて、本発明の目的は、屋外使用に関して十分耐久性があるそのようなコーティングの開発である。

それゆえ、本発明の一つの主題は、第一に、誘電体材料で作られた交互に高屈折率と低屈折率とを有する複数の薄層から作られている反射防止コーティング、特に少なくとも可視域及び近赤外域で反射防止性である反射防止コーティングを少なくとも一つの表面に有する、透明基材、特にガラス基材である。ここで、上記の複数の薄層は、連続して下記の第一〜第四の層を有する：
−５５０ｎｍで１．８〜２．３の屈折率ｎ_１及び１５〜３５ｎｍの構造的厚みｅ_１を有する高屈折率の第一層；
−５５０ｎｍで１．３０〜１．７０の屈折率ｎ_２及び１５〜３５ｎｍの構造的厚みｅ_２を有する低屈折率の第二層；
−５５０ｎｍで１．８〜２．３の屈折率ｎ_３及び１３０〜１６０ｎｍの構造的厚みｅ_３を有する高屈折率の第三層；
−５５０ｎｍで１．３０〜１．７０の屈折率ｎ_４及び８０〜１１０ｎｍの構造的厚みｅ_４を有する高屈折率の第四層。
その低屈折率の第二層、及び／又はその低屈折率の第四層は、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素及び／若しくは酸炭化ケイ素、又はケイ素−アルミニウム混合酸化物に基づいている。
高屈折率の第一層及び／又はその高屈折率の第三層（３）は、スズの亜鉛に対する比が、原子％表示で１超である亜鉛−スズ混合酸化物に基づいている、又は窒化ケイ素に基づいている。

本発明の文脈内において、「層」という用語は、単一の層か、複数の層の重ね合わせのどちらかを意味し、ここで、複数の層の重ね合わせのそれぞれは、示された屈折率を尊重し、且つその構造的厚みの合計も、その層に関して示された値となる。

本発明の意味内において、後に詳細に説明されるように、層は、誘電体材料、特に酸化物又は窒化物のタイプの誘電体材料で作られる。しかし、これは、例えば金属酸化物をドーピングすることにより、層の少なくとも一つを、少なくともわずかに導電性となるように変性することを除外しない。これは、例えば、反射防止多層に帯電防止機能も与えるためになされることがある。

本発明は、好ましくはガラス基材に関するが、透明なポリマー系基材、例えばポリカーボネート製の透明なポリマー系基材にも適用することができる。

それゆえ、本発明は、４層型の反射防止多層に関する。この層の数が干渉相互作用に関して十分に大きく、顕著な反射防止効果を達成させるので、これは良好な妥協である。一方で、この数は、大きなスケールで、製造ラインで、大きな基材で、例えば、磁気強化（マグネトロン）スパッタリングタイプの真空蒸着技術を用いることにより、製品を製造することを可能とするのに十分に妥当性を有している。

本発明で用いられる高屈折率層を形成する材料中の組成物の選択の基準は、広域の、強固な、可視域だけでなくそれを超えて紫外から近赤外までのキャリア基材の透過率について実質的な向上を有する反射防止効果を得ることを可能とすることである。これは、少なくとも３００〜１２００ｎｍに広がる波長範囲に渡って高性能の反射防止となる。

高屈折率を有する第一層及び／又は第三層を作り上げるための最も適切な材料は、酸化亜鉛ＺｎＯ及び酸化スズＳｎＯ_２から選択される金属酸化物に基づく。それは、特に、スズ酸亜鉛型の、且つＳｎ／Ｚｎ比（原子％表示）が１超の、Ｚｎ／Ｓｎ混合酸化物とすることができる。それらは、窒化ケイ素Ｓｉ_３Ｎ_４に基づくこともできる。高屈折率層の一方又は他方、特に少なくとも第三層のために窒化物層を用いることは、多層に機能性を付加すること、すなわち１００ｎｍ未満の厚みに関してその光学特性を重大に損なうことなく熱処理に比較的良好に耐える能力を付加することを可能とする。一方、太陽電池の一部を形成する必要があるガラスは一般的に、ガラスを５００〜７００℃で加熱する必要がある高温の熱強化型の熱処理を受ける必要があるので、これは重要な機能性である。そして、任意の熱処理前に堆積を行うことは、工業的な観点から比較的単純なので、これが問題を引き起こすことなく熱処理前に薄層を堆積することが可能であることは有利である。それゆえ、キャリアガラスが熱処理を受けることを意図されているか否かに関わらず、反射防止多層の単一の構造を有することが可能である。

他の一つの実施態様によると、高屈折率を有する第一層及び／又は第三層を、複数の重ね合わせた高屈折率層で作ることもできる。これは、最も特には、ＳｎＺｎＯ／Ｓｉ_３Ｎ_４又はＳｉ_３Ｎ_４／ＳｎＺｎＯのタイプの二重層とすることができる。それゆえ、本発明によると、高屈折率の第一層及び／又は第三層を、スズの亜鉛に対する比が原子％表示で１超である、亜鉛−スズ混合酸化物だけ又は上記のタイプの二重層だけで作ることができる。

この利点は、次のとおりである：Ｓｉ_３Ｎ_４が、亜鉛−スズ混合酸化物より実質的に低い吸収性を有し、これが、同一の全厚みで、多層の強固性及び光学特性の両方の利点を兼ね備えることを可能とする。特に、最も厚く、且つ熱処理に起因して見込まれる劣化から多層を防護するために最も重要な第三層に関して、この第三層を二つの層に分け、それによって所望の熱処理に対する防護効果を得るために十分な厚さにＳｉ_３Ｎ_４の厚みを減らして、そしてスズ酸亜鉛型の亜鉛−スズ混合酸化物で、光学的に層を「継ぎ足す」ようにすることが有益となる場合がある。

低屈折率を有する第二層及び／又は第四層を作り上げるための最も適切な材料は、酸化ケイ素系、酸窒化ケイ素系及び／若しくは酸炭化ケイ素系、又はケイ素−アルミニウム混合酸化物系である。そのような混合酸化物は、純粋なＳｉＯ_２よりも良好な耐久性、特には化学的耐久性を有する傾向にある（この例は欧州特許第７９１，５６２号で与えられる）。二つの酸化物のそれぞれの割合を、層の屈折率を過度に増加させずに、耐久性についての期待された改良を得るために、調節してもよい。

本発明による多層のコーティング基材用に選択されるガラス、又はグレージングを形成するためにそれを結合させる他の基材用に選択されるガラスは、特に、例えば「ＤＩＡＭＡＮＴ」型の特別に透明なガラス（酸化鉄が特に少ない）、又は例えば「ＡＬＢＡＲＩＮＯ」型の特別に透明なロールドガラス、又は「ＰＬＡＮＩＬＵＸ」型の標準的なソーダ−ライム−シリカの透明ガラス（これら全てのタイプのガラスは、Ｓａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｖｉｔｒａｇｅにより販売されている）とすることができる。

本発明によるコーティングの特に有益な例は、次の一連の層を有する：
４層の多層に関して：
− ＳｎＺｎＯ_ｘ／ＳｉＯ_２／ＳｎＺｎＯ_ｘ／ＳｉＯ_２、ここで原子％表示でＳｎ／Ｚｎ＞１；
- ＳｎＺｎＯ_ｘ／ＳｉＯ_２／Ｓｉ_３Ｎ_４＋ＳｎＺｎＯ_ｘ／ＳｉＯ_２、ここで原子％表示でＳｎ／Ｚｎ＞１；
− ＳｎＺｎＯ_ｘ／ＳｉＯ_２／ＳｎＺｎＯ_ｘ＋Ｓｉ_３Ｎ_４／ＳｉＯ_２、ここで原子％表示でＳｎ／Ｚｎ＞１。

このタイプの多層を有するガラス型基材、特に特別に透明なガラスは、特に２ｍｍ〜８ｍｍの厚みに関して、３００〜１２００ｎｍの間で少なくとも９０％の積分透過率（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ）を、このようにして達成することができる。

本発明の他の一つの主題は、Ｓｉ若しくはＣｄＴｅに基づく吸収性物質、又は黄銅鉱物質（特にＣＩＳ）を有するタイプの太陽電池用の外側基材としての、本発明によるコーティングされた基材である。

このタイプの製品は、連続して取り付けられ、且つ２枚ガラス型の透明な固い基材の間に配置された太陽電池の形態で一般的に販売されている。太陽電池は、基材の間に一つのポリマー材料（又は複数のポリマー材料）によって保持される。欧州特許第０，７３９，０４２号に記載された発明の好ましい実施態様によると、太陽電池を二つの基材の間に配置することができ、そして基材の間の空洞を、硬化することができるキャストポリマーで充填する。そのポリマーは、最も特定的には、脂肪族イソシアナートプレポリマーと、ポリエーテルポリオールとの反応から生成されたポリウレタンに基づくポリマーである。そのポリマーは、熱（３０℃〜５０℃で）及び場合により、例えばオートクレーブ中での、わずかな加圧で硬化させることができる。他のポリマーを用いることもでき、例えばエチレン／酢酸ビニルポリマーＥＶＡがあり、他の配置も可能である（例えば、一以上の熱可塑性ポリマーのシートを、電池の二つのガラスパネルの間に積層することができる）。

「ソーラーモジュール」と呼ばれ、且つ販売されているのは、基材、ポリマー、及び太陽電池の組み合わせである。

それゆえ、本発明の他の一つの主題は、そのモジュールである。本発明により変性された基材を用いると、そのソーラーモジュールは、同じ基材であるがコーティングのないものを用いているモジュールと比較して、その効率を数パーセント、少なくとも１％、１．５％若しくは２％、又はそれより高く（積分電流密度（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ）で表す）向上させることができる。ソーラーモジュールが、平方メートル単位ではなく、供給する電力単位で販売されていることが知られている場合（おおよそ、太陽電池の１平方メートルが約１３０ワットを供給できると見積もることができる）、効率の各追加の割合は、電気的性能を向上させ、それゆえ所定のサイズのソーラーモジュールの価格を向上させる。

本発明の他の一つの主題は、本発明による反射防止コーティング（Ａ）を有するガラス基材の製造方法である。方法は、減圧技術、特にマグネトロンスパッタリング又はコロナ放電により、全ての層を連続的に堆積させることからなる。それゆえ、酸化物層を、酸素の存在下でその金属の反応性スパッタリングにより堆積させることが可能であり、また窒化物層を、窒素の存在下で堆積させることが可能である。ＳｉＯ_２又はＳｉ_３Ｎ_４を作るため、十分にそれを導電性とするために、金属、例えばアルミニウムで軽くドーピングされたケイ素のターゲットから開始することが可能である。亜鉛−スズ混合酸化物に基づく層に関して、酸素の存在下で、亜鉛とスズとでそれぞれ作製されたターゲットを同時スパッタリングする方法、又はスズ及び亜鉛の所望の混合物に基づくターゲットを、常に酸素の存在下においてスパッタリングする方法を使用することが可能である。

国際公開ＷＯ９７／４３２２４で推薦されたように、多層の層のいくつかを、ＣＶＤ型の熱間堆積技術により堆積させることも可能であり、多層の残りを、スパッタリングにより冷間で堆積させることが可能である。

本発明の詳細及び有利な特徴は、図の補助を伴う次の非限定的な実施例から明らかになるであろう。

本発明による４層の反射防止多層Ａを備えた基材。大きく概略化している図１は、断面図で、４つの層１，２，３，４を有する反射防止コーティング（Ａ）を載せたガラス６を示している。 図１による基材を一体化しているソーラーモジュール。

例１
この例において用いた反射防止多層を下記に示す。

この例１は、従来技術からの第一の例を構成する。

例２
この例において用いた反射防止多層を下記に示す。

この例２は、Ｓｎ／Ｚｎ比（原子％表示）が０．１８である従来技術からの第二の例を構成する。

例３
この例において用いた反射防止多層を下記に示す。

この例３は、Ｓｎ／Ｚｎ比（原子％表示）が０．５５である従来技術からの第三の例を構成する。

これらの例からの４層の反射防止多層を、上記のＤＩＡＭＡＮＴ等級からの厚み４ｍｍの特別に透明なガラスで作製された基材６上に堆積した。

例４、５、６は、本発明による例である。

例４
この例において用いた反射防止多層を下記に示す。

この例４は、Ｓｎ／Ｚｎ比（原子％表示）が１．６５である本発明による一例を構成する。

例５
この例において用いた反射防止多層を下記に示す。

この例５は、Ｓｎ／Ｚｎ比（原子％表示）が１．６５である、本発明による他の一例を構成する。第三層は、上記のＳｎ／Ｚｎ比に従う亜鉛−スズ混合酸化物層でコーティングした窒化ケイ素の層を有する二重層であった。

例６
この例において用いた反射防止多層を下記に示す。

この例６は、Ｓｎ／Ｚｎ比（原子％表示）が１．６５である本発明による他の一例を構成する。第三層は、窒化ケイ素の層でコーティングした上記のＳｎ／Ｚｎ比に従う亜鉛−スズ混合酸化物層を有する二重層であった。

例５及び６に関して、層（３）は、１００ｎｍのＳｎＺｎＯ及び５０ｎｍのＳｉ_３Ｎ_４を有する。

下に与えるものは概要表であり、これは、６つの例に関して、熱処理（例えば熱強化）後のＨＨ試験の結果を与える。

以下にＨＨ試験の説明を与える。

この試験は、多湿での熱に対する抵抗力の試験である。この試験は、サンプルが長期の水分侵入の影響に抵抗することができるかどうかを決定することを可能とする。

次の厳しい条件を適用した：
−試験温度：８５℃±２℃
−相対湿度：８５％±５％
−試験期間：１０００時間。

試験の妥当性条件：

眼で分かる大きな欠陥の様子が、試験後に検知されてはならない。この場合、そのサンプルが、適合していることが示される（ＯＫ）。
例の妥当性を立証するための他の一つの試験は、層を有するガラスを、一定の温度で中性塩の湿潤雰囲気にさらすことからなる（ＥＮ１０８６標準）。中性塩溶液は、２５℃（±２℃）で、５０ｇ／ｌ（±５ｇ／ｌ）の濃度を得るために、３０μｓ未満の電導率を有する脱塩した水にＮａＣｌを溶解することにより得られる。試験期間は、２１日である。上述したように、眼で分かる大きな欠陥のあらゆる様子が、試験後に検知されてはならない。

例４、５及び６による反射防止コーティングでコーティングされたガラスは、ソーラーモジュールの外側のガラスとして取り付けられる。図２は、非常に概略的に、本発明のソーラーモジュール１０を示している。そのモジュール１０は、次のようにして形成される：反射防止コーティング（Ａ）を備えたガラス６を、「内側」ガラスとして知られているガラス８と組み合わせる。このガラス８は、熱強化されたガラスで作られており、４ｍｍの厚みを有し、透明な／特別に透明なタイプ（Ｐｌａｎｉｄｕｒ ＤＩＡＭＡＮＴ）である。太陽電池９は、二つのガラスパネルの間に配置されており、上述の欧州特許第０，７３９，０４２号の教示に従って、ポリウレタン系の硬化性ポリマー７を、ガラス間の空間に注入する。

各太陽電池９は、公知の方法で、ｐ−ｎ接合を形成するシリコン「ウェハー」から作られ、且つ前面及び背面の電気的接触をプリントされる。シリコン太陽電池を、他の半導体（例えば、 黄銅鉱タイプ系、例えばＣＩＳ系、ＣｄＴｅ系、ａ−Ｓｉ系、ＧａＡｓ系、ＧａＩｎＰ系）を用いる太陽電池により置き換えることができる。

本発明の基材は、可視域の非法線入射での反射防止効果を最適化するために適切な反射防止コーティング（特に車両のフロントガラスのための用途を意図している）に関連する国際公開ＷＯ０００３２０９及び国際公開ＷＯ０１９４９８９に記載された発明への改良を構成する。その特徴（層の性質、屈折率、厚み）は、実際に、これらの以前に記載されたものに近い。しかし、有利には、本発明によるコーティングは、厚みを減少させ、特に厚みをソーラーモジュールの分野における有利な用途のために選択した層を有する。特に、亜鉛−スズ混合酸化物のＳｎ／Ｚｎ比が原子％表示で１超である組成物の、比較的厚い第三層（一般的には、少なくとも１２０ｎｍで、１２０ｎｍが最大限ではない）は、比較的強固な多層を得ることを可能とする。それゆえ、この特定の選択により、熱強化操作をされた後でも、長時間にわたって剥がれない層を得ることを可能となる。

Claims (12)

1. 誘電体材料で作られた交互に高屈折率と低屈折率とを有する複数の薄層（Ａ）から作られている反射防止コーティング、特に少なくとも可視域及び近赤外域で反射防止性である反射防止コーティングを、少なくとも一つの表面に有する、透明基材（６）、特にガラス基材であって、
   前記複数の薄層が、連続して、下記の第一層（１）〜第四層（４）を有し；
   −５５０ｎｍで１．８〜２．３の屈折率ｎ_１及び１５〜３５ｎｍの構造的厚みｅ_１を有する高屈折率の第一層（１）；
   −５５０ｎｍで１．３０〜１．７０の屈折率ｎ_２及び１５〜３５ｎｍの構造的厚みｅ_２を有する低屈折率の第二層（２）；
   −５５０ｎｍで１．８〜２．３の屈折率ｎ_３及び１３０〜１６０ｎｍの構造的厚みｅ_３を有する高屈折率の第三層（３）；
   −５５０ｎｍで１．３０〜１．７０の屈折率ｎ_４及び８０〜１１０ｎｍの構造的厚みｅ_４を有する高屈折率の第四層（４）、
   前記低屈折率の第二層（２）、及び／又は前記低屈折率の第四層（４）が、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素及び／若しくは酸炭化ケイ素、又はケイ素−アルミニウム混合酸化物に基づいており、
   ここで、前記高屈折率の第一層（１）、及び／又は前記高屈折率の第三層（３）が、スズの亜鉛に対する比が原子％表示で１超である亜鉛−スズ混合酸化物に基づいていることを特徴とする、
   透明基材（６）、特にガラス基材。
2. 前記基材が、透明な又は特別に透明な、そして好ましくは強化された又は焼き戻しされたガラスで作られていることを特徴とする、請求項１に記載の基材（６）。
3. 前記多層（Ａ）が、次の一連の層を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の基材（６）：
   ＳｎＺｎＯ_ｘ又はＳｉ_３Ｎ_４／ＳｉＯ_２／ＳｎＺｎＯ_ｘ又はＳｉ_３Ｎ_４／ＳｉＯ_２
   （原子％表示でＳｎ／Ｚｎ＞１）。
4. 前記高屈折率の第一層及び／又は前記高屈折率の第三層が、Ｓｉ_３Ｎ_４／ＳｎＺｎＯ_ｘ又はＳｎＺｎＯ_ｘ／Ｓｉ_３Ｎ_４タイプの二重層を構成することを特徴とする、請求項１又は２に記載の基材（６）。
5. 前記多層（Ａ）が、次の一連の層を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の基材（６）：
   ＳｎＺｎＯ_ｘ／ＳｉＯ_２／Ｓｉ_３Ｎ_４／ＳｎＺｎＯ_ｘ／ＳｉＯ_２
   （原子％表示でＳｎ／Ｚｎ＞１）。
6. 前記多層（Ａ）が、次の一連の層を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の基材（６）：
   ＳｎＺｎＯ_ｘ／ＳｉＯ_２／ＳｎＺｎＯ_ｘ／Ｓｉ_３Ｎ_４／ＳｉＯ_２
   （原子％表示でＳｎ／Ｚｎ＞１）。
7. 前記基材が、３００ｎｍ〜１２００ｎｍの波長範囲で、少なくとも９０％の積分透過率を有することを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の基材（６）。
8. Ｓｉ系、ＣｄＴｅ系、又は黄銅鉱系の吸収性物質を有するタイプの複数の太陽電池（９）を有する、ソーラーモジュール（１０）の透明な外側基材としての、請求項１〜７のいずれかに記載の基材（６）の使用。
9. Ｓｉ、ＣＩＳ、ＣｄＴｅ、ａ−Ｓｉ、ＧａＡｓ又はＧａＩｎＰタイプの複数の太陽電池（９）を有するソーラーモジュール（１０）であって、前記外側基材として、請求項１〜７のいずれかに記載の基盤（６）を有することを特徴とする、ソーラーモジュール（１０）。
10. 外側基材を使用するが反射防止多層（Ａ）を有さないモジュールと比較して、積分電流密度表示で、効率が少なくとも１％、１．５％又は２％向上していることを特徴とする、請求項９に記載のソーラーモジュール（１０）。
11. 二つのガラス基材（６、８）を有し、前記太陽電池（９）が、前記ガラス間の空間に配置されており、前記ガラス間の空間に硬化性ポリマー（７）が注入されていることを特徴とする、請求項９又は１０に記載のソーラーモジュール（１０）。
12. 前記反射防止多層（Ａ）を、スパッタリングにより堆積させることを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の基材（６）の製造方法。

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