JP2011512030A - 複数の磁区を含む磁気トンネル接合セル - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
概して、磁気トンネル接合(MTJ)スタックの固定層と関連づけられた固定された磁場に対する自由層1900によって保持された磁場の相対的方向は、その特定の側壁1902、1904、又は1906によって又は底壁1908によって格納されるビット値を決定する。示される例においては、固定層と関連づけられた磁区の磁気方位及び自由層磁区1912、1914、1916、及び1918の方位は、(図20において磁場2014及び2016によって示されるように)反平行である。従って、書き込み電流1922、1924、1926及び1928の各々は、書き込み“1”電流を表し、MTJスタックを論理ハイ又はビット“1”状態にする。
MTJスタック2708は、第1の側壁2740と、底壁2750と、第2の側壁2760と、第3の側壁2770(ファントムが示される)と、を含む。これらの側壁2740、2760、及び2770及び底壁2750の各々は、ビット値を表すために好適する各々の磁区を保持する。MTJスタック2708は、上部電極2710を介してビットライン2720に結合される。MTJスタック2708の第1の側壁2740は、底部電極2706を介して第1のスイッチ2726に結合される。第1のスイッチ2726は、底部電極2706の第1の部分に結合される第1の端子2725と、ワードライン2722に結合された制御端子と、第1のソースライン(SL1)に結合された第2の端子2724と、を含む。第2の側壁2760は、底部電極2706を介して第2のスイッチ2738に結合される。第2のスイッチ2738は、底部電極2706の第2の部分に結合される第3の端子2737と、ワードライン2722に結合された第2の制御端子と、第2のソースライン(SL2)に結合された第4の端子2736と、を含む。第3の側壁2770は、底部電極2706を介して第3のスイッチ2730に結合される。第3のスイッチ2730は、第3の側壁2770に隣接する底部電極2706の第3の部分に結合される第5の端子2729と、ワードライン2722に結合された第3の制御端子と、第3のソースライン(SL3)に結合された第6の端子2728と、を含む。底壁2750は、底部電極2706を介して第4のスイッチ2734に結合される。第4のスイッチ2734は、底壁2750に隣接する底部電極2706の第4の部分に結合される第7の端子2733と、ワードライン2722に結合された第4の制御端子と、第4のソースライン(SL4)に結合された第8の端子2732と、を含む。
開示される実施形態に関する上記の説明は、当業者が開示される実施形態を製造又は使用できるようにすることを目的とするものである。これらの実施形態に対する様々な修正は、当業者にとって容易に明確になるであろう。さらに、ここにおいて定められる一般原理は、本開示の精神及び適用範囲を逸脱することなしにその他の実施形態に対しても適用することができる。以上のように、本開示は、ここにおいて示される実施形態に限定されることが意図されるものではなく、以下の請求項によって定義される原理及び斬新な特長に一致する限りにおいて最も広範な適用範囲が認められるべきである。
Claims (25)
- 磁気トンネル接合(MTJ)構造であって、
基板の表面に対して実質的に垂直に延びる複数の側壁を備えるMTJセルを備え、前記複数の側壁の各々は、一意の磁区を保持するための自由層を含み、前記一意の磁区の各々は、デジタル値を格納するために好適する、磁気トンネル接合(MTJ)構造。 - 前記複数の側壁の各々に結合された底壁をさらに備え、前記底壁は、前記基板の前記表面に対して実質的に平行に延び、前記底壁は、自由層を含む請求項1に記載のMTJ構造。
- 前記複数の側壁の各々の間における前記自由層内において磁区壁が形成され、前記複数の側壁の各々と前記底壁との間における前記自由層内において磁区壁が形成され、前記磁区壁は、前記一意の磁区を分離するために好適する請求項2に記載のMTJ構造。
- 前記複数の側壁のうちの少なくとも1つの側壁の奥行きは、前記複数の側壁のうちの少なくとも2つの側壁の間の距離よりも小さい請求項1に記載のMTJ構造。
- 前記MTJセルに結合された電極をさらに備え、前記電極は、前記MTJセルからデータを読み出すために又は前記MTJセルにデータを書き込むために電流を印加するために好適する請求項1に記載のMTJ構造。
- 前記複数の側壁の各々の側壁の奥行きは、前記複数の側壁の各々の側壁の長さよりも小さい請求項1に記載のMTJ構造。
- 前記MTJセルは、第1の磁区を有する第1の側壁と、第2の磁区を有する第2の側壁と、第3の磁区を有する第3の側壁と、を備える請求項1に記載のMTJ構造。
- 前記MTJセルは、前記第1、第2、及び第3の側壁に結合された底壁をさらに備え、前記底壁は、第4の磁区を保持するための自由層を含む請求項7に記載のMTJ構造。
- 前記第1の側壁に結合された第1の端子構造と、前記第2の側壁に結合された第2の端子構造と、前記第3の側壁に結合された第3の端子構造と、前記底壁に結合された第4の端子構造と、をさらに備える請求項8に記載のMTJ構造。
- 前記MTJセルは、実質的にU字形である請求項1に記載のMTJ構造。
- 磁気トンネル接合(MTJ)構造であって、
複数の側壁を備えるMTJセルを備え、前記複数の側壁は、第1のデータビットを表すための第1の磁区を保持するための第1の自由層を含む第1の側壁を含み及び第2のデータビットを表すための第2の磁区を保持するための第2の自由層を含む第2の側壁を含む、磁気トンネル接合(MTJ)構造。 - 前記第1の側壁は、前記第2の側壁に対して実質的に垂直である請求項11に記載のMTJ構造。
- 前記第1の磁区は、基板の表面に対して実質的に平行である第1の方向に延び、前記第2の磁区は、前記基板の前記表面に対して実質的に平行である第2の方向に延びる請求項11に記載のMTJ構造。
- 前記第1の磁区は、基板の平らな表面に対して実質的に平行である方向に延び、前記第2の磁区は、前記基板の前記平らな表面に対して実質的に垂直である方向に延びる請求項11に記載のMTJ構造。
- 前記複数の側壁は、
第3のデータビットを表すための第3の磁区を保持するための第3の自由層を含む第3の側壁と、
前記複数の側壁の各々に結合された底壁であって、第4のデータビットを表すための第4の磁区を保持するための第4の自由層を含む底壁と、をさらに備える請求項11に記載のMTJ構造。 - 前記MTJセルは、前記複数の側壁の各々及び前記底壁に隣接し及び前記複数の側壁の各々及び前記底壁からほぼ等しい間隔で配置された中央電極をさらに含む請求項15に記載のMTJ構造。
- 前記中央電極の厚さは、前記MTJセルの幅と前記複数の側壁の2つの反対の側壁の幅との間の差の約1/2である請求項16に記載のMTJ構造。
- 前記中央電極に結合された第1の端子と、
前記第1の側壁に結合された第2の端子と、
前記第2の側壁に結合された第3の端子と、
前記第3の側壁に結合された第4の端子と、
前記底壁に結合された第5の端子と、をさらに備える請求項16に記載のMTJ構造。 - 前記第1の磁区に結合された第1の端子と、
前記第2の磁区に結合された第2の端子と、
中央電極に結合された第3の端子と、をさらに備え、
前記第1の端子、前記第2の端子及び前記第3の端子は、選択的に前記第1及び第2の磁区にデータを書き込むために及び第1及び前記第2の磁区からデータを読み出すために協力するために好適する請求項11に記載のMTJ構造。 - 磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)であって、
磁気トンネル接合(MTJ)セルのアレイを備え、前記MTJセルの各々は、
複数の側壁を備え、前記複数の側壁の各々は、デジタル値を格納するために好適する各々の独立した磁区を保持するための自由層を含む、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)。 - 前記MTJセルの各々は、4つの独立した磁区を備える請求項20に記載のMRAM。
- 各MTJセルは、
第1のビットを格納するために好適する第1の磁区を保持するための第1の自由層を含む第1の側壁と、
第2のビットを格納するために好適する第2の磁区を保持するための第2の自由層を含む第2の側壁と、
第3のビットを格納するために好適する第3の磁区を保持するための第3の自由層を含む第3の側壁と、
第4のビットを格納するために好適する第4の磁区を保持するための第4の自由層を含む底壁と、を備える請求項20に記載のMRAM。 - 前記第1の側壁に結合された第1のスイッチと、
前記第2の側壁に結合された第2のスイッチと、
前記第3の側壁に結合された第3のスイッチと、
前記底壁に結合された第4のスイッチと、
前記側壁の各々に隣接する中央電極に結合されたビットラインと、
前記第1、第2、第3及び第4のスイッチの各々に結合されたワードラインであって、前記MTJセルからデータを読み出すために及び前記MTJセルにデータを書き込むために前記第1、第2、第3及び第4のスイッチのうちの少なくとも1つを選択的に駆動させるためのワードラインと、をさらに備える請求項22に記載のMRAM。 - 前記第1の側壁に第1の電流を選択的に印加するために前記第1のスイッチに結合された第1のソースラインと、
前記第2の側壁に第2の電流を選択的に印加するために前記第2のスイッチに結合された第2のソースラインと、
前記第3の側壁に第3の電流を選択的に印加するために前記第3のスイッチに結合された第3のソースラインと、
前記底壁に第4の電流を選択的に印加するために前記第4のスイッチに結合された第4のソースラインと、をさらに備え、
前記第1、第2、第3及び第4の電流のうちの少なくとも1つは、データ書き込み動作中に印加される請求項23に記載のMRAM。 - 前記MTJセルの各々は、実質的にU字形である請求項20に記載のMRAM。
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