JP2011500319A - 連続フローピンウォッシャ - Google Patents
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Abstract
複チャンバ型デポジションピン洗浄ステーションを開示する。
【解決手段】
この洗浄ステーションは、複数の洗浄管によって接続された下方チャンバおよび上方ドレーンベースンを含んでいる。洗浄液は下方チャンバに提供されており、洗浄管を通過して上方ドレーンベースンに流入する。洗浄管は洗浄サイクル毎に1本の管を備えた1本のデポジションピンを洗浄するように設計されている。
【選択図】 図8
Description
Claims (25)
- ピン洗浄ステーションであって、
下方チャンバと、
ドレーンベースンと、
複数の洗浄管とを含んでおり、それぞれの前記洗浄管は入口端と出口端とを有しており、それぞれの前記洗浄管の前記入口端は前記下方チャンバと通流状態であり、全ての前記洗浄管の前記入口端の終端は略水平基準面の下方にあり、それぞれの前記洗浄管の前記出口端は、前記洗浄管の前記出口端から出る流体が前記ドレーンベースンに入るように該ドレーンベースンと通流状態であり、それぞれの前記洗浄管の前記出口端はデポジションピンの少なくとも一部を受領するように設計されており、
前記ピン洗浄ステーションは、
通気管をさらに含んでおり、該通気管は入口端と出口端とを有しており、前記入口端は前記下方チャンバと通流状態であり、前記通気管の前記入口端の終端は、前記略水平基準面に対して前記洗浄管の前記入口端の上方に存在し、前記出口端は前記ドレーンベースンと通流状態であることを特徴とするピン洗浄ステーション。 - 通気管の出口端は洗浄管の出口端から離れる方向に向けられた部分を含んでいることを特徴とする請求項1記載のピン洗浄ステーション。
- 通気管は、該通気管内の流体の表面張力を減少させるために前記通気管内に配置された表面張力減少機能部を含んでいることを特徴とする請求項1記載のピン洗浄ステーション。
- 前記表面張力減少機能部は通気管内に配置されたワイヤを含んでいることを特徴とする請求項3記載のピン洗浄ステーション。
- 前記略水平基準面は下方チャンバ内の洗浄液の水位に対応することを特徴とする請求項1記載のピン洗浄ステーション。
- 複数の洗浄管の出口端の少なくとも1本は表面張力減少機能部を有することを特徴とする請求項1記載のピン洗浄ステーション。
- 前記表面張力減少機能部は少なくとも1本の管の出口端の縁に設けられたノッチであることを特徴とする請求項6記載のピン洗浄ステーション。
- 前記表面張力減少機能部は少なくとも1本の管の出口端の外面上に表面加工部を含んでいることを特徴とする請求項6記載のピン洗浄ステーション。
- 前記表面加工部は、ビーズブラスト加工、グリットブラスト加工、親水性加工、および疎水性加工のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項8記載のピン洗浄ステーション。
- 複数の洗浄管の少なくとも1本は、デポジションピンの少なくとも一部の所定位置に対応するように設置された制水機能部を有することを特徴とする請求項1記載のピン洗浄ステーション。
- 所定位置とはデポジションピンの終端であることを特徴とする請求項10記載のピン洗浄ステーション。
- 前記制水機能部は洗浄管の少なくとも一部内のスエージであることを特徴とする請求項10記載のピン洗浄ステーション。
- 前記制水機能部は洗浄管の少なくとも一部内に狭化挿入部を含んでいることを特徴とする請求項10記載のピン洗浄ステーション。
- 前記制水機能部の内面は、該制水機能部を通過する洗浄液に回転流および乱流の少なくとも一方を発生させる表面処理を含んでいることを特徴とする請求項10記載のピン洗浄ステーション。
- システムであって、
受領面上に物質の点状物のアレイを堆積するように設計された複数のピンと、
ピン洗浄ステーションとを含んでおり、該ピン洗浄ステーションは、
下方チャンバと、
ドレーンベースンと、
複数の洗浄管とを含んでおり、それぞれの前記洗浄管は入口端と出口端とを有しており、それぞれの前記洗浄管の前記入口端は前記下方チャンバと通流状態であり、全ての前記洗浄管の前記入口端の終端は略水平基準面の下方にあり、それぞれの前記洗浄管の前記出口端は前記ドレーンベースンと通流状態であり、それぞれの前記洗浄管の前記出口端は前記複数のピンの少なくとも一本を受領するように設計されており、
前記ピン洗浄ステーションは、
通気管をさらに含んでおり、該通気管は入口端と出口端とを有しており、前記入口端は前記下方チャンバと通流状態であり、前記通気管の前記入口端の終端は、前記略水平基準面に対して前記洗浄管の前記入口端レベルの上方に存在し、前記出口端は前記ドレーンベースンと通流状態であることを特徴とするシステム。 - 略水平基準面は下方チャンバ内の洗浄液の水位に対応することを特徴とする請求項15記載のシステム。
- 複数のピンは少なくとも192本のデポジションピンを含んだ少なくとも1つのデポジションピンプリントアレイを含んでいることを特徴とする請求項15記載のシステム。
- 複数の洗浄管のうちの少なくとも1本は、流体の表面張力を減少させる機能部、流体の表面張力を減少させる表面加工部、および制水機能部のうちの少なくとも1つを含んでいることを特徴とする請求項15記載のシステム。
- 洗浄管の数はピンの数と等しく、洗浄管の配置はピンの配置と対応していることを特徴とする請求項15記載のシステム。
- 洗浄管の数はピンの数よりも少ないことを特徴とする請求項15記載のシステム。
- 複数のピンは列間に第1間隔を有する列状に配置されており、洗浄管は前記列間に第2間隔を有する列状に配置されており、前記第2間隔は前記第1間隔の整数倍であることを特徴とする請求項20記載のシステム。
- 下方チャンバ、ドレーンベースンおよび複数の洗浄管を備えたシステムによる複数のデポジションピンの洗浄方法であって、
それぞれの前記洗浄管は入口端と出口端とを有しており、それぞれの前記洗浄管の前記入口端は前記下方チャンバと通流状態であり、それぞれの前記洗浄管の前記出口端は前記ドレーンベースンと通流状態であり、それぞれの前記洗浄管の前記出口端は前記デポジションピンの少なくとも一部を受領するように設計されており、
前記洗浄方法は、前記下方チャンバ内の蒸気が洗浄液によって移動されるように、それぞれの前記洗浄管の前記出口端の上方にまで前記洗浄液を前記下方チャンバ内に提供するステップと、前記下方チャンバ内に残った蒸気が圧縮されて前記洗浄液が前記洗浄管を通って上方に流れるよう前記洗浄液を提供し続けるステップとを含んでおり、
前記洗浄方法は、前記洗浄管内で前記ピンを洗浄すべく、前記洗浄液が前記洗浄管を通る間に、1本の前記デポジションピンの少なくとも一部を、1本の前記洗浄管の前記出口端に配置するステップをさらに含んでいることを特徴とする方法。 - 複数の洗浄管のうちの少なくとも1本は制水機能部を含んでおり、前記洗浄管の出口端内にデポジションピンを配置するステップは、前記制水機能部内に前記デポジションピンの終端を配置するステップを含んでいることを特徴とする請求項22記載の方法。
- 洗浄管の出口端は列状に配置されており、
第1列のデポジションピンを前記洗浄管の前記出口端の列内に配置するステップをさらに含んでおり、前記列のそれぞれの前記洗浄管の前記出口端は前記第1列の前記デポジションピンの1本のデポジションピンだけを受領し、
前記第1列の前記デポジションピンを前記管の前記出口端の前記列から除去するステップと、
前記第1列の前記デポジションピンを前記洗浄管の前記出口端の前記列から除去するステップの後に、第2列のデポジションピンを前記洗浄管の前記出口端の前記列内に配置するステップとをさらに含んでおり、前記列のそれぞれの前記洗浄管の前記出口端は前記第2列の前記デポジションピンの1本だけを受領することを特徴とする請求項22記載の方法。 - 複数のピンはそれぞれ1本づつ対応するように複数の管内に配置されており、前記管の出口端は、前記複数のピンのそれぞれがそれぞれの洗浄管内で洗浄されるべく洗浄液の水面の上方に存在し、第1ピンを洗浄する流体が排水されて第2ピンと接触しないように、前記洗浄液は前記それぞれの管を通過して前記出口端から排水されることを特徴とする請求項22記載の方法。
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