JP2011255342A - ウェブの洗浄方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高い清浄度でウェブを洗浄する。
【解決手段】ウェブ２の表裏面の少なくとも一方の面に対して、洗浄液が供給される。これにより、ウェブ２の面に沿った液流が発生させられる。この洗浄液には、ウェブ２の面に存在する異物１１に接触させるためのブラスト材１２が混入されている。したがって、ウェブ２の表面に沿った液流自体による剥離作用だけでなく、ブラスト材１２が接触することによる剥離作用が、異物１１に対して働く。このようにして、ウェブ２の面に沿った液流により、ウェブ２の面に存在する異物１１が除去される。
【選択図】図６

Description

本発明は、プラスチックフィルム、ガラスフィルム、金属フィルム等のウェブの洗浄方法および装置に関する。

プラスチックフィルム、ガラスフィルム、金属フィルム等の各種ウェブは、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）分野、エレクトロニクス分野、光学用分野等の様々な分野で使用されている。プラスチックフィルムは、製膜、塗工、貼合等の工程を経て、部材や、プロセス材として使用される。例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＳＥＤ、ＣＲＴ等の製品において、機能性光学用プラスチックフィルムが使用されている。また、リチウムイオン電池等の製品において、銅箔やアルミ箔等の金属フィルム（金属箔）が使用されている。

このようなウェブの製造工程においては、終始クリーンな環境下での取り扱いが必須であり、埃、繊維、フィルム粕等の異物の製品への混入や付着等の欠陥、及びそれらに起因するキズ、押し跡等の物理的欠陥の発生は厳重に管理されている。また、欠陥の程度についても、従来問題とされなかった非常に微細な欠陥が許容されなくなってきており、改善が要請されている。

このような問題を解消するため、近年では、プラスチックフィルム等のウェブを洗浄することにより、ウェブ上の異物を除去する取組みが行われている。

例えば、下記特許文献１では、超音波発生ノズルを有し、この超音波発生ノズルから噴出されるエアによる気流と超音波による振動とによって、フィルム上の塵埃を除去する洗浄ノズルが提案されている。

また、下記特許文献２では、洗浄手段が洗浄ノズルから連続して洗浄液を噴霧し、洗浄液再循環手段が落下した洗浄液を再循環させ、乾燥手段が連続して温風を吹き付ける光学用プラスチックフィルムの洗浄・乾燥方法が提案されている。

特開平１１−２３９７６１号公報 特開２００２−２９２３４７号公報

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、吹き付けたエアによって剥離した塵埃が付近に散乱して、フィルムに再付着する虞があり、また、フィルムに強固に付着したものについては十分に除去できないという問題がある。

また、特許文献２に記載の技術では、洗浄液としてアルコール、エステル等を使用した場合には、プラスチックフィルムの可塑剤が溶出して、フィルム特性の変化と均一性の低下を招くことが問題となる。また、ロールまたはバーによるスキージングのみでは洗浄液を十分除去できず、生産性が低いという問題もある。

このように特許文献１および２に記載の技術では、フィルムを洗浄しても、フィルムの表面に付着した非常に微細な異物を良好に除去することができないという問題があった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、高い清浄度でウェブを洗浄することが可能なウェブの洗浄方法および装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成すべく、本発明に係るウェブの洗浄方法は、ウェブの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を供給することにより、前記ウェブの面に沿った液流を発生させる液流発生ステップと、前記液流により前記ウェブの面に存在する異物を除去する除去ステップと、を有し、前記異物に接触させるためのブラスト材が前記洗浄液に混入されていることを特徴とする。

また、上記目的を達成すべく、本発明に係るウェブの洗浄装置は、ウェブの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を供給することにより、前記ウェブの面に沿った液流を発生させるノズル装置を有し、前記液流により前記ウェブの面に存在する異物を除去するようにしたウェブの洗浄装置であって、前記異物に接触させるためのブラスト材が前記洗浄液に混入されていることを特徴とする。

本発明によれば、高い清浄度でウェブを洗浄することが可能になる。

本発明の一実施形態に係るウェブの洗浄装置の概略構成を示す図である。 図１のII−II線に沿うノズル装置の概略断面図である。 図２のIII−III線に沿うノズル装置の概略断面図である。 ノズル装置の導入口および流出口の周辺を模式的に示す概略断面図である。 図４に対応する部分を示す概略斜視図である。 異物を除去する様子を説明するための図である。 本発明の他の実施形態に係るウェブの洗浄装置の概略構成を示す図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るウェブの洗浄装置１の概略構成を示す図、図２は、図１のII−II線に沿うノズル装置の概略断面図、図３は、図２のIII−III線に沿うノズル装置の概略断面図である。なお、各図面における各要素は、発明の理解を容易にするために適宜拡大、縮小または簡略化されて描かれており、実際とは異なる場合がある（以降の図面において同じ）。

図１に示すように、洗浄装置１は、ウェブ２を洗浄するための洗浄槽３と、当該洗浄槽３の後工程側に設けられ洗浄後のウェブ２をリンスするための３つのリンス槽４とを有している。洗浄装置１は、全体枠をなす壁部６を備えており、洗浄槽３およびリンス槽４の各槽間はそれぞれ隔壁７で区画されている。なお、隔壁７を設けることなく、各槽が独立した壁部を有していてもよい。

本実施形態では、洗浄対象のウェブ２として、例えば液晶ディスプレイ等に用いられるプラスチックフィルムが使用される。使用されるプラスチックフィルムの厚さは、５〜２０００μｍ、好ましくは１５〜５００μｍ、より好ましくは２０〜２００μｍの範囲内である。但し、本発明は、ガラスフィルム、金属フィルム等の他の種類のウェブにも適用可能である。

洗浄槽３には、ウェブ２上の異物１１に接触させるためのブラスト材１２（図６参照）を含有する洗浄液１３が収容されている。洗浄液１３としては、特に限定されるものではないが、例えば防錆剤を含む準水系の液体が好ましくは使用される。このようにすれば、ウェブ２がプラスチックフィルムの場合であっても、品質が損なわれることはない。但し、ウェブ２が例えば銅箔やアルミ箔等の金属フィルムの場合には、当該金属と反応するものでなければ洗浄液にアルコール、エステル等が含まれていてもよい。一方、リンス槽４には、リンス水１４が収容されている。リンス水１４としては、超純水が好ましくは使用される。なお、「洗浄液」の用語は、リンス水を含む概念として使用する。

異物１１（図６参照）は、ウェブ２の面に付着して存在する埃、繊維、フィルム粕、汚れ等を含む概念であり、１０μｍ程度の微細な塵埃を含むものである。

ブラスト材１２（図６参照）の材質は特に限定されないが、ブラスト材１２が洗浄後のウェブ２上に残りにくいように、ノズル装置５により発生させられる液流でウェブ２上から容易に除去されるものが望ましい。例えば、アルミナ、ガラスビーズ、セラミック、プラスチック等の粉粒体が使用され得る。また、ブラスト材１２は、洗浄対象を傷つけることなく、ノズル装置５のスリット状の貫通孔５１（図２参照）によって形成される狭い流路を通過することを考慮して、直径が数十μｍ以下の球体あるいは角の丸い粉粒体であることが好ましい。さらには、ブラスト材１２として、炭酸水素アルカリ金属塩等の水溶性粒子が使用され得る。この場合、洗浄後の超純水リンス時に、水溶性粒子を水中に溶解させることができ、ブラスト材を使い捨て材として使用することができる。また、ブラスト材１２は、ウェブ２上からより容易に除去されるように、ウェブ２の電位と同極性の電位を帯びていることが望ましい。

洗浄装置１は、ウェブ２の表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を供給することにより、ウェブ２の面に沿った液流を発生させるノズル装置５を有している。洗浄装置１は、このノズル装置５によって発生させられた液流によりウェブ２の面に付着して存在する異物１１を除去するようにしたものである。

図２および図３においては、ノズル装置５がウェブ２の表面（上面）に対して洗浄液を供給する場合について図示されているが（図４および図５においても同様）、裏面（下面）に対して洗浄液を供給する構成が採用されてもよい。さらには、ウェブ２の表裏両面に対して洗浄液を供給する構成が採用されてもよく、このようにすれば、ウェブ２の表裏両面を同時に洗浄することができるため好ましい。

図２および図３に示すように、ノズル装置５は、ウェブ２を内部に通過させて搬送するためのスリット状の貫通孔５１と、当該貫通孔５１の内面に開口するとともに搬送されるウェブの面に対向して設けられた洗浄液の流出口５２と、当該流出口５２に連通する洗浄液の導入口５３と、を有している。ここで、貫通孔５１の、ウェブ２の搬入側の開口を入口５４、搬出側の開口を出口５５と称する。

本実施形態では、洗浄槽３内に、洗浄用のノズル装置５が設置されている。すなわち、洗浄槽３内のノズル装置５は、ウェブ２上の異物１１に接触させるためのブラスト材１２が混入されている洗浄液の液流を発生させるものである。一方、各リンス槽４，４間に、リンス用のノズル装置５が設置されている。各リンス槽４，４間のノズル装置５は、リンス水の液流を発生させるものであり、貫通孔５１の入口５４および出口５５が隣接する２つのリンス槽４，４の内部にそれぞれ開口するように設置されている。

洗浄装置１は、複数のローラ９に懸架されたウェブ２を、図中矢印方向に搬送する図示しない搬送手段を備えている。搬送手段の動作により、ウェブ２は、各ノズル装置５の貫通孔５１を経由して洗浄槽３およびリンス槽４に順次搬送されるように構成されている。

各ノズル装置５には、洗浄液をノズル装置５に供給するための洗浄液供給ライン８（図１参照）が接続されており、洗浄液供給ライン８にはポンプＰが設置されている。したがって、洗浄槽３内から取り入れたブラスト材１２を含有する洗浄液は、洗浄用のノズル装置５の内部に一定圧力で導入され得る。また、リンス槽４内から取り入れたリンス水は、リンス用のノズル装置５の内部に一定圧力で導入され得る。最も後工程側のリンス槽４には、ポンプＰの動作により、図示しない供給源から超純水が供給される構成とされている。

また、洗浄装置１は、ウェブ２の洗浄に使用された後の洗浄液中のブラスト材１２を再利用のために回収する回収手段としてのブラスト材分級機構１０を備えている。これにより、ブラスト材１２の有効利用が図られ、ランニングコストが低減される。ブラスト材分級機構１０は、洗浄槽３内から取り入れた洗浄液を、ブラスト材１２を含有する洗浄液と、異物１１を含有する排液とに分離する。なお、ブラスト材１２や洗浄液は、ブラスト材分級機構１０から、洗浄槽３内に追加投入され得る。但し、図示しない投入装置により、ブラスト材１２や洗浄液が洗浄槽３内に追加投入されてもよい。

図４は、ノズル装置５の導入口５３および流出口５２の周辺を模式的に示す概略断面図、図５は、図４に対応する部分を示す概略斜視図である。図４に示すように、ノズル装置５の導入口５３と流出口５２とは、導入口５３から導入された洗浄液を減圧するための絞り５６を介して繋がっている。絞り５６を通って流出口５２から流出した洗浄液は、ノズル装置５の貫通孔５１の内面とウェブ２の表面との間の隙間５７を通って高速で流れてウェブ２を洗浄する。隙間５７は、ウェブ厚さ方向の幅寸法が例えば０．２５ｍｍ以下の狭い隙間であることが好ましい。

なお、図２および図３においては、流出口５２が貫通孔５１の内面に開口するとともに搬送されるウェブ２の面に対向して設けられていることと、導入口５３が流出口５２に連通していることとが示されているが、導入口５３、流出口５２、および絞り５６の形状や大きさは簡略化されている。

ノズル装置５の導入口５３に導入される洗浄液の圧力をＰｓとすると、洗浄液は絞り５６を通って流出口５２では圧力Ｐｉとなり、貫通孔５１を通ってウェブ２を洗浄した後、排出されてＰｏとなる。図４および図５の構成は、絞り５６として、複数の穿孔を用いた場合を示しており、ノズル装置５のウェブ長手方向（搬送方向と同じ）の長さ寸法を短くしてコンパクト化できる利点がある。但し、絞り５６の構成は適宜変更可能である。

ノズル装置５の内部にスリット状の貫通孔５１を通過させてウェブ２を搬送し、搬送されるウェブ２の面に対して流出口５２から洗浄液を供給するようにした上記構成は、ウェブ２の面に沿った液流を良好に発生させることができる。但し、ウェブ２の面に沿った液流を発生させるための構成は、上記構成に限定されるものではない。

次に、上記のように構成された洗浄装置１の動作について説明する。まず、ブラスト材１２を含有する洗浄液１３が、ポンプＰの動作により、洗浄槽３内からブラスト材分級機構１０に取り入れられる。ブラスト材分級機構１０により、ブラスト材１２を含有する洗浄液１３は、ブラスト材１２を含有する洗浄液と、異物１１を含有する排液とに分離される。そして、ブラスト材１２が混入している洗浄液は、洗浄用のノズル装置５に供給される。一方、異物１１を含有する排液は外部に排出される。

ウェブ２は、図示しない搬送手段により、洗浄槽３に搬入された後、スリット状の貫通孔５１を有するノズル装置５の内部に当該貫通孔５１を通過して搬送させられる。洗浄用のノズル装置５に供給される洗浄液は、搬送されるウェブ２の表面に対向して設けられた流出口５２に連通する導入口５３に導入される。この結果、ノズル装置５の内部を搬送させられるウェブ２の表面に対して、ブラスト材１２が混入されている洗浄液が流出口５２から供給される。これにより、ウェブ２の表面に沿った高速の液流が発生する。

図６は、異物１１を除去する様子を説明するための図である。図６に示すように、ウェブ２の表面に沿った高速の液流自体により、異物１１に対して剥離作用が働くことに加え、ブラスト材１２がウェブ２上の異物に接触ないし衝突することによっても異物１１に対して剥離作用が働くことになり、ウェブ２の表面に存在する異物１１がより確実に除去される。しかも、ブラスト材１２は液流に乗ってウェブ２の表面に平行に運ばれるため、ウェブ２の表面に略垂直に衝突するようなことはなく損傷を与えることがない。このようにして高い清浄度でウェブ２を洗浄することが可能となる。

洗浄用のノズル装置５に供給されたブラスト材１２を含有する洗浄液は、ウェブ２の洗浄後に、貫通孔５１の入口５４および出口５５の双方から、除去された異物１１とともに排出される。ここで、洗浄用のノズル装置５は、洗浄槽３の洗浄液１３中に設置されているため、貫通孔５１の入口５４または出口５５から排出された洗浄液の運動エネルギーを分散し、飛散を減少させる効果がある。

洗浄後のウェブ２は、洗浄槽３から引き上げられて、ウェブ搬送順で最初のリンス槽４（図中右側）内に搬入される。リンス槽４内に搬入されたウェブ２は、最初のリンス槽４と２番目のリンス槽４との間の隔壁７に設置されているリンス用のノズル装置５の内部に貫通孔５１を通過して搬送させられる。

このリンス用のノズル装置５には、２番目のリンス槽４内から一定圧力で加圧したリンス水が供給される。これにより、最初のリンス槽４から２番目のリンス槽４へのリンス水の持込みが抑制されるとともに、ウェブ２の表面に沿った高速の液流により、ウェブ２の表面にソフトに付着している可能性がある異物１１およびブラスト材１２が除去される。

また、隔壁７に設置されているリンス用のノズル装置５の内部の圧力損失は、貫通孔５１の入口５４側よりも出口５５側において大きくなるように設定されている。ここでは、具体的には、流出口５２から入口５４までの距離をＬ_１、流出口５２から出口５５までの距離をＬ_２とした場合に、Ｌ_２＞Ｌ_１となるように設定されている。これにより、リンス水の流れを入口５４側に集中できるため、異物１１やブラスト材１２等の汚染の後工程への持込みをより低減することができる。なお、圧力損失を入口５４側よりも出口５５側において大きく設定するために、隙間５７を入口５４側よりも出口５５側において狭くする方法や、後工程側の槽の液面よりも前工程側の槽の液面を低くして水頭差を設ける方法等の他の方法が採用されてもよい。

リンス後のウェブ２は、２番目のリンス槽４内に搬入された後、２番目のリンス槽４と３番目のリンス槽４との間の隔壁７に設置されているリンス用のノズル装置５の内部に貫通孔５１を通過して搬送させられる。このリンス用のノズル装置５においても、前述したリンス処理と同様の処理が行われる。

このように、隔壁７に設置されているリンス用のノズル装置５におけるリンス処理が繰り返し行われることにより、リンス槽４内のリンス水は一定量が引き抜かれてノズル装置５を介して清浄度のより低いリンス槽４へと供給されていく。なお、最初のリンス槽４内のリンス水は図示しないポンプの動作により洗浄槽３内に供給されることが望ましい。このため、必要に応じた数のリンス槽４を組み合わせることにより、各リンス槽４内に汚染が蓄積することなく、ウェブ２の仕上げ段階で高い清浄度を得ることができる。

以上述べたように、本実施形態では、ウェブ２の表裏面の少なくとも一方の面に対して、ウェブ２の面に存在する異物１１に接触させるためのブラスト材１２が混入されている洗浄液を供給することにより、ウェブ２の面に沿った液流が発生させられ、当該液流によりウェブ２の面に存在する異物１１が除去される。

このように本実施形態によれば、ウェブ２の表面に沿った液流自体による剥離作用だけでなく、ブラスト材１２が接触することによる剥離作用が、異物１１に対して働く結果、ウェブ２の表面に存在する異物１１がより確実に除去される。しかも、ブラスト材１２がウェブ２の表面に平行に運ばれるため、ウェブ２に損傷を与えることがない。このようにして高い清浄度でウェブ２を洗浄することが可能になる。

図７は、本発明の他の実施形態に係るウェブの洗浄装置１ａの概略構成を示す図である。図１に示した実施形態と同様の構成および作用は、この実施形態に取り込まれるものとして詳細な説明を省略し、図１に示した実施形態と相違する構成および作用について重点的に説明する。なお、図７において、図１に示した実施形態と機能が共通する部材には同一の符号を付してある。

この実施形態では、洗浄槽３とリンス槽４との間の隔壁７に、リンス水の液流を発生させるノズル装置５が、貫通孔５１の入口５４および出口５５が隣接する洗浄槽３およびリンス槽４の内部にそれぞれ開口するように設置されている。すなわち、図１に示した実施形態では、洗浄後のウェブ２は、洗浄槽３から引き上げられて最初のリンス槽４内に搬入されるが、この実施形態では、洗浄槽３から引き上げられることなく、リンス用のノズル装置５の内部を通過させられて最初のリンス槽４内に搬入される。

このリンス用のノズル装置５には、最初のリンス槽４内から一定圧力で加圧したリンス水が供給される。これにより、ブラスト材１２を含有する洗浄液が収容されている洗浄槽３から最初のリンス槽４への当該洗浄液の持込みが抑制されるとともに、ウェブ２の表面に沿った高速の液流により、ウェブ２の表面にソフトに付着している可能がある異物１１およびブラスト材１２が除去される。

また、この洗浄槽３およびリンス槽４間に設置されているノズル装置５の内部の圧力損失は、前述したリンス槽４，４間に設置されているノズル装置５と同様に、貫通孔５１の入口５４側よりも出口５５側において大きくなるように設定されている。これにより、リンス水の流れを入口５４側に集中できるため、異物１１やブラスト材１２等の汚染の後工程への持込みをより低減することができる。

この実施形態によれば、洗浄装置１ａの構造が簡単になる。また、ウェブ２は洗浄槽３から一旦空中に引き上げられることなく最初のリンス槽４に搬入されるため、空中で異物が付着してしまう虞を防止することができる。したがって、簡単な構成により、高い清浄度でウェブ２を洗浄することが可能となる。

本発明は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲内において、種々改変することができる。

例えば、上述した実施形態において、洗浄槽３は１つ、リンス槽４は３つ設置されているが、洗浄槽３およびリンス槽４の設置数は図示の例に限定されるものではない。例えば、洗浄用のノズル装置が内部に設置された洗浄槽３が１つのみ設けられた構成であっても、本発明の効果を得ることは可能である。但し、洗浄槽３およびリンス槽４がそれぞれ少なくとも１つずつ設置されていることが好ましい。このようにすれば、ブラスト材１２が洗浄後のウェブ２上に残置される事態がより確実に防止される。

そして、洗浄槽３およびリンス槽４をそれぞれ必要に応じた数だけ組み合わせることにより、各槽３，４内に汚染が蓄積することなく、ウェブ２の仕上げ段階で高い清浄度を得ることができる。一般に、ウェブ２の搬送速度を上げると、後工程の槽に持ち込まれるブラスト材１２の量が増えるため、複数の槽を多段化して使用することにより、高速化に対応することが可能となる。

１，１ａ 洗浄装置
２ ウェブ
３ 洗浄槽
４ リンス槽
５ ノズル装置
１０ ブラスト材分級機構（回収手段）
１１ 異物
１２ ブラスト材
１３ 洗浄液
１４ リンス水（洗浄液）
５１ 貫通孔
５２ 流出口
５３ 導入口
５４ 入口
５５ 出口

Claims (11)

1. ウェブの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を供給することにより、前記ウェブの面に沿った液流を発生させる液流発生ステップと、
   前記液流により前記ウェブの面に存在する異物を除去する除去ステップと、を有し、
   前記異物に接触させるためのブラスト材が前記洗浄液に混入されていることを特徴とするウェブの洗浄方法。
2. 前記液流発生ステップは、スリット状の貫通孔を有するノズル装置の内部に前記貫通孔を通過させて前記ウェブを搬送する搬送ステップと、前記ノズル装置の前記貫通孔の内面に開口するとともに搬送されるウェブの面に対向して設けられた流出口に連通する導入口に洗浄液を導入する導入ステップと、を有することを特徴とする請求項１に記載のウェブの洗浄方法。
3. 前記ブラスト材は、前記ウェブの電位と同極性の電位を帯びていることを特徴とする請求項１または２に記載のウェブの洗浄方法。
4. 前記ウェブの洗浄に使用された後の前記洗浄液中の前記ブラスト材を再利用のために回収する回収ステップをさらに有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のウェブの洗浄方法。
5. ウェブの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を供給することにより、前記ウェブの面に沿った液流を発生させるノズル装置を有し、前記液流により前記ウェブの面に存在する異物を除去するようにしたウェブの洗浄装置であって、
   前記異物に接触させるためのブラスト材が前記洗浄液に混入されていることを特徴とするウェブの洗浄装置。
6. 前記ノズル装置は、前記ウェブを内部に通過させて搬送するためのスリット状の貫通孔と、当該貫通孔の内面に開口するとともに搬送されるウェブの面に対向して設けられた前記洗浄液の流出口と、前記流出口に連通する前記洗浄液の導入口と、を有することを特徴とする請求項５に記載のウェブの洗浄装置。
7. 前記ブラスト材は、前記ウェブの電位と同極性の電位を帯びていることを特徴とする請求項５または６に記載のウェブの洗浄装置。
8. 前記ウェブの洗浄に使用された後の前記洗浄液中の前記ブラスト材を再利用のために回収する回収手段をさらに有することを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載のウェブの洗浄装置。
9. ウェブを洗浄するための少なくとも１つの洗浄槽と、当該洗浄槽の後工程側に設けられ前記ウェブをリンスするための少なくとも１つのリンス槽とを有し、
   前記洗浄槽内または各洗浄槽間に、前記ブラスト材を混入させた洗浄液の液流を発生させるノズル装置が設置され、
   前記リンス槽内または各リンス槽間に、リンス水の液流を発生させるノズル装置が設置され、
   前記ウェブは、前記各ノズル装置の貫通孔を経由して前記洗浄槽および前記リンス槽に順次搬送されることを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載のウェブの洗浄装置。
10. 前記洗浄槽と前記リンス槽との間に、前記リンス水の液流を発生させるノズル装置が、前記貫通孔の入口および出口が前記洗浄槽および前記リンス槽の内部にそれぞれ開口するように設置されていることを特徴とする請求項９に記載のウェブの洗浄装置。
11. 前記各洗浄槽間若しくは前記各リンス槽間又は前記洗浄槽と前記リンス槽との間に設置される前記各ノズル装置の内部の圧力損失は、前記貫通孔の前記入口側よりも前記出口側において大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項９または１０に記載のウェブの洗浄装置。

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