JP2011253209A - パターン転写方法およびフォトマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板11の主面の、遮光性膜12の非形成領域(透光部)を充填するように、屈折率が1よりも大きな高屈折率媒質13が設けられている。ここで、高屈折率媒質13は、SOG、酸化ケイ素、窒化珪素、酸窒化珪素などである。このような高屈折率媒質13を設けると、透明基板11と高屈折率媒質13との界面での屈折角が従来に比較して小さくなり、遮光性膜12によって遮られる露光光量を低減させることができる。この効果は、露光光の透明基板11への入射角(θ)が大きいほど顕著となる。その結果、フォトマスク面に非垂直入射する露光光成分などに起因して生じるパターン解像度の低下を抑制することが可能となる。
【選択図】図2
Description
2、12 遮光性膜
13 高屈折率媒体
14 レジスト
15 被転写基板
16 光学素子
Claims (4)
- フォトマスクを用いたパターン転写方法において、前記フォトマスクのパターン形成面を屈折率が1よりも大きな媒質としての固体で覆った状態で、前記フォトマスク面に非垂直入射する露光光成分を有する変形照明により露光する、パターン転写方法。
- 前記固体がSOG、酸化ケイ素、窒化珪素、酸窒化珪素の何れかである請求項1に記載のパターン転写方法。
- フォトマスク面に非垂直入射する露光光成分を有する変形照明を用いて露光するパターン転写方法に用いるフォトマスクであって、
透明基板の主面に遮光性膜がパターニングされており、該遮光膜の非形成領域に屈折率が1よりも大きな媒質としての固体が充填されている、フォトマスク。 - 前記固体は、SOG、酸化ケイ素、窒化珪素、酸窒化珪素の何れかである請求項3に記載のフォトマスク。
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