JP2011251763A - ワーク検査装置およびワーク検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】良品のワークがポケットに収納されている場合には安定したワークの外観観察を可能とするワーク検査装置およびワーク検査方法を提供する。
【解決手段】ワーク検査装置は、キャリアテープ10のポケット11に供給されたワークWを、上方の検査用カメラ20によって検査を行う。キャリアテープ10を有するキャリアテープユニットUを支持する支持台17と、この支持台17に水平方向の振動を付与してキャリアテープ10のポケット11に収容されるワークWを正規姿勢に修正する振動機構18とを備える。キャリアテープ10に水平方向の振動を振動機構18にて付与する。これによって、ポケット11の底面12aのコーナ部に引っ掛かっているワークWに対して、その引っ掛かりを解除する。
【選択図】図1
【解決手段】ワーク検査装置は、キャリアテープ10のポケット11に供給されたワークWを、上方の検査用カメラ20によって検査を行う。キャリアテープ10を有するキャリアテープユニットUを支持する支持台17と、この支持台17に水平方向の振動を付与してキャリアテープ10のポケット11に収容されるワークWを正規姿勢に修正する振動機構18とを備える。キャリアテープ10に水平方向の振動を振動機構18にて付与する。これによって、ポケット11の底面12aのコーナ部に引っ掛かっているワークWに対して、その引っ掛かりを解除する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ワーク検査装置およびワーク検査方法に関する。
半導体素子の製造工場においては、テーピング梱包して出荷している。ここで、テーピング梱包とはキャリアテープに半導体素子等を収納する作業である。キャリアテープは、電子部品等の収納・搬送・保管等に使われるものであって、PS(ポリスチレン樹脂)やPVC(ポリ塩化ビニル)等のシートを押出成形や真空成形加工によりポケットを形成したものである。形状はテープ状であり、エンボス成形されたポケットが連続的に続いている。そのポケットに電子部品等を入れた後は、フィルム状のカバーテープで蓋をしてリールに巻かれて使用される。
そして、従来には、キャリアテープに収容された半導体製品が、正しい方向で収容されているか、収容された半導体製品に形状欠陥や異物の混入がないか、などの外観検査を行うのが一般的である(特許文献1)。すなわち、キャリアテープには多数の半導体製品を収容するが、そのなかに一つでも不良品が混入している場合には、キャリアテープ全体を廃棄しなければならないため、この外観検査による不良品の排出は非常に重要な工程である。
ところで、外観検査は、図5(a)に示すように、キャリアテープ1のポケット2に収納されたワーク(半導体チップ等の電子部品)3を、CCDカメラ等からなる検査用カメラ4にて観察することになる。
しかしながら、ワーク3がキャリアテープ1のポケット2に収納された状態においては、図5(b)に示すように、ワーク3の下面5のエッジ部5aが、ポケット2の底面2aのコーナ部のアール部6に引っ掛かる場合がある。このような状態になれば、ワーク3が傾斜することになる。
ワーク3が傾斜すれば、ワーク3を観察できない状態となる。すなわち、ワーク3が傾斜した状態となれば、ワーク3からの観察光が、図5(b)に示すように、カメラ4に入光しない状態となるからである。
このように、ワーク3からの観察光が、カメラ4に入光しない場合、ポケットにワーク3が供給されていないとして判断され、良品のワーク3がポケット2に収容されているにもかかわらず、キャリアテープとして不良品となる。
そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、良品のワークがポケットに収納されている場合には安定したワークの外観観察を可能とするワーク検査装置およびワーク検査方法を提供しようとするものである。
本発明のワーク検査装置は、キャリアテープのポケットに供給されたワークを、上方の検査用カメラによって検査を行うワーク検査装置であって、キャリアテープを有するキャリアテープユニットを支持する支持台と、この支持台に水平方向の振動を付与してキャリアテープのポケットに収容されるワークを正規姿勢に修正する振動機構とを備えたものである。
本発明のワーク検査装置によれば、振動機構にて支持台に振動を付与すれば、ワークが正規姿勢に修正される。すなわち、ワークの下面のエッジ部が、ポケットの底面のコーナ部のアール部に引っ掛かる場合において、キャリアテープに振動を付与することによって、その振動によって、引っ掛かりを解消することができ、ワークが、引っ掛かりが解消された正規姿勢となる。
キャリアテープユニットは、例えば、キャリアテープと、このキャリアテープを間欠的に搬送するキャリアテープ搬送機構とを備える。キャリアテープ搬送機構によって、キャリアテープを間欠的に搬送することができ、これによって、キャリアテープのポケットを順次観察部位に搬送していくことができる。
前記正規姿勢は、検査用カメラによる上方からのワークの存在を確認可能な姿勢である。振動付与によって、正規姿勢となれば、検査用カメラによって、ワークの存在を確認することができる。
前記振動機構によるキャリアテープの振動方向がX軸方向及び/又はY軸方向とすることができる。すなわち、振動方向がX軸方向の一次元的であっても、Y軸方向の一次元的であっても、X軸方向及びY軸方向の2次元的であってもよい。
前記振動機構を、前記支持台をメンテナンス位置に移動させるための移動機構にて構成することができる。このため、このワーク検査装置をほぼ既存の装置で構成することができる。
本発明のワーク検査方法は、キャリアテープのポケットに供給されたワークを、上方の検査用カメラによって検査を行うワーク検査方法であって、キャリアテープに水平方向の振動を付与して、ポケットの底面のコーナ部に引っ掛かっているワークに対して、その引っ掛かりを解除する姿勢修正工程を備えたものである。
前記振動の付与は、検査用カメラによる上方からのワークの存在を確認できないときに行うのが好ましい。このように設定することによって、検査用カメラにて上方からワークの存在を確認できれば、振動を付与する必要がなく、工程時間の短縮を図ることができる。
本発明のワーク検査装置およびワーク検査方法では、ワークの下面のエッジ部が、ポケットの底面のコーナ部のアール部に引っ掛かる場合において、キャリアテープに振動を付与することによって、その振動によって、引っ掛かりを解消することができ、ワークが、引っ掛かりが解消された正規姿勢となる。このため、良品のワークがポケットに供給されているにもかかわらず、ポケットにワークが供給されていないと判断したり、ワークが不良品であると判断されたりせず、ワーク検査が安定する。
キャリアテープユニットが、キャリアテープと、このキャリアテープを間欠的に搬送するキャリアテープ搬送機構とを備えたものでは、キャリアテープのポケットを順次観察部位に搬送していくことができ、各ポケットにワークを安定して観察することができる。しかも、振動機構にてキャリアテープユニットに振動が付与されることによって、キャリアテープが振動することになって、引っ掛かりを解消することができる。
正規姿勢となれば、検査用カメラによって、ワークの存在を確認することができる。このため、ワークの存在を確認することができなければ、ポケットに収納されていないか、または振動付与によってもワークが正規姿勢にならないかのいずれかである。ワークがポケットに収納されている場合に、振動が付与されれば、通常は正規状態に収まる。このため、ワークの存在を確認することができなければ、ポケットに収納されていないことになって、ワークが収納されていないポケットが存在するとして、このキャリアテープを不良品とすることができる。
振動方向がX軸方向の一次元的であっても、Y軸方向の一次元的であっても、X軸方向及びY軸方向の2次元的であってもよく、振動機構を既存の公知公用の振動機構にて安定した振動を付与することができる。しかも、構成の簡略化を図ってコスト低減を達成できる。
前記振動機構を、前記支持台をメンテナンス位置に移動させるための移動機構にて構成したものでは、このワーク検査装置をほぼ既存の装置で構成することができ、コスト低減を一層達成できる。
振動の付与は、検査用カメラによる上方からのワークの存在を確認できないときに行うように設定することによって、工程時間の短縮を図ることができ、作業性の能率化を図ることができる。
以下本発明の実施の形態を図1〜図4に基づいて説明する。
図1にワーク検査装置の簡略ブロック図を示す。このワーク検査装置は、キャリアテープ10のポケット11(図2参照)に供給されたワークW(図3参照)を、上方の検査用カメラ20によって検査を行うものである。ここで、ワークWとは、半導体チップ等の電子部品である。キャリアテープ10は、電子部品等の収納・搬送・保管等に使われるものであって、PS(ポリスチレン樹脂)やPVC(ポリ塩化ビニル)等のシートを押出成形や真空成形加工によりポケットを形成したものである。形状はテープ状であり、エンボス成形されたポケットが連続的に続いている。そのポケットに電子部品等を入れた後は、フィルム状のカバーテープで蓋をしてリールに巻かれて使用される。
キャリアテープ10は、キャリアテープ搬送機構15の駆動によって、その長手方向に沿って、間欠的に移動することになる。搬送機構は、外周面に周方向に沿って所定ピッチで係止用突起が複数個配設された一対の回転体と、この回転体を回転駆動させるモータ及び連動機構等の駆動手段とを備えたものである。また、キャリアテープ10には、図2に示すように、少なくとも一方の長辺に沿って複数の係止孔16が設けられている。そして、この係止孔16に回転体の係止用突起が係止し、回転体の回転に伴ってキャリアテープ10がその長手方向に沿って走行する。この際、駆動手段による駆動は、マイクロコンピュータ等からなる制御手段21(図1参照)によって制御される。
キャリアテープ10とキャリアテープ搬送機構15等でキャリアテープユニットUが構成され、このキャリアテープユニットUが支持台17に支持されている。そして、支持台17は、振動機構18にて水平面内の振動を付与される。すなわち、この支持台17は、いわゆる振動テーブルである。このため、この振動機構18としては、ボールねじ機構やサーボモータ等の公知・公用の機構を用いることができ、図2に示すX軸方向及びY軸方向の振動を可能としている。振動機構18による水平面内の振動付与は、X軸方向のみの一次元的であっても、Y軸方向のみの一次元的であっても、X軸方向及びY軸方向の二次元的であってもよい。
ところで、このような装置では、各部材、特に支持台17上のキャリアテープ搬送機構15等のメンテナンス作業が必要である。また、メンテナンス位置としては、後述するカメラ20や照明装置22に影響を受けない位置に支持台17を移動させる必要がある。そこで、メンテナンス位置に移動させるための移動機構を必要とする。このような移動機構としては、一般的にX軸方向及びY軸方向の移動を可能とするものである。このため、この移動機構を前記振動機構18に用いることができる。
この装置は、キャリアテープ10のポケット11内のワークWを観察する検査用カメラ20と、このカメラ20にて撮影したデータが入力される前記制御手段21とを備える。このカメラ20は例えばCCDカメラにて構成でき、観察すべきポケット11内のワークWが所定の観察位置に搬送された際にこのワークWの観察が可能である。この場合、ワークWには照明装置22によって照明される。照明装置22は、例えば、光源23と、ハーフミラー24とを備えたものであって、光源23からの照明光がハーフミラー24に反射されてポケット11内のワークWを照明し、この反射光(観察光)がハーフミラー24を介してカメラ20に入光する。
次に、図4を用いてワークの検査方法を説明する。この検査の前工程で、キャリアテープ10のポケット11にワークWを供給する必要がある。この場合、ピックアップ位置にて吸着コレット(図示省略)にてワークWを吸着し、この吸着コレットをワーク供給位置まで移動させ、このワーク供給位置において、吸着コレットによってワークWの吸着を解除するものである。ワークWとしては、例えばICチップ等である。
そして、ポケット11にワークWを供給したキャリアテープ10を搬送し、観察すべきワークWが観察位置に達したときに、カメラ20のワークWの観察を行う(ステップS1)。この際、図3(a)に示すように、ワークWの下面25のエッジ部25aが、ポケット11の底面12aのコーナ部のアール部26に引っ掛っている場合、ワークWが傾斜した状態となっている。このような状態では、反射光(観察光)がカメラ20に向かって反射せずに、カメラ20に入光しない場合がある。入光しなければ、ワーク表面全体が暗く撮像され、ワークWの検出ができない状態となる。
そこで、ステップS1では、ワークWの検出が可能か否かを判断する。ステップS1で検出できなければ、ステップS2へ移行し、検出できれば、図3(b)に示すように、ワークWの下面25がポケット11の底面12aに載置された状態である正規姿勢となっているとして、ステップS3へ移行する。ステップS2では、ワークWが図3(a)に示すように、傾斜した状態となっている。このため、振動機構18によって支持台17に対して振動を付与する。つまり、姿勢修正工程を行う。なお、X軸方向の振動とY軸方向の振動とが同一の周波数及び同一の振幅であっても、相違する周波数や相違する振幅を有するものであってもよい。このように、振動が付与されれば、ワークWの下面25のエッジ部25aのポケット11のアール部26の引っ掛かりが解除されて、図3(b)に示すような正規姿勢となる。
ワークWが正規姿勢であれば、ステップS4へ移行して次のポケット12に対するワークWの検出を行うかを判断する。ステップS4で検出が行われない場合、この作業が終了する。また、ステップS4で検出が行われる場合、ステップS1に戻る。
本発明のワーク検査装置およびワーク検査方法では、ワークWの下面25のエッジ部25aが、ポケット12の底面12aのコーナ部のアール部26に引っ掛かる場合において、キャリアテープ10に振動を付与することによって、その振動によって、引っ掛かりを解消することができ、ワークWが、引っ掛かりが解消された正規姿勢となる。このため、良品のワークWがポケット12に供給されているにもかかわらず、ポケット12にワークWが供給されていないと判断したり、ワークが不良品であると判断されたりせず、ワーク検査が安定し、歩留まりを高めることができる。
キャリアテープユニットUが、キャリアテープ10と、このキャリアテープ10を間欠的に搬送するキャリアテープ搬送機構15とを備えたものでは、キャリアテープ10のポケット12を順次観察部位に搬送していくことができ、各ポケット12にワークWを安定して観察することができる。しかも、振動機構18にてキャリアテープユニットUに振動が付与されることによって、キャリアテープ10が振動することになって、引っ掛かりを解消することができる。
正規姿勢となれば、検査用カメラ20によって、ワークWの存在を確認することができる。このため、ワークWの存在を確認することができなければ、ポケット12に収納されていないか、または振動付与によってもワークWが正規姿勢にならないかのいずれかである。ワークWがポケット12に収納されている場合に、振動が付与されれば、通常は正規状態に収まる。このため、ワークWの存在を確認することができなければ、ポケット12に収納されていないことになって、ワークWが収納されていないポケット12が存在するとして、このキャリアテープ10を不良品とすることができる。すなわち、振動を付与しても、ワークWが正規姿勢にならない場合や、ポケット12にワークWが供給されていない場合、ワークWの検出ができない。このような場合には、不良品として処理することになる。
振動方向がX軸方向の一次元的であっても、Y軸方向の一次元的であっても、X軸方向及びY軸方向の2次元的であってもよく、振動機構18を既存の公知公用の振動機構にて安定した振動を付与することができる。しかも、構成の簡略化を図ってコスト低減を達成できる。
振動の付与は、検査用カメラ20による上方からのワークWの存在を確認できないときに行うように設定することによって、工程時間の短縮を図ることができ、作業性の能率化を図ることができる。
前記振動機構18を、前記支持台17をメンテナンス位置に移動させるための移動機構にて構成したものでは、このワーク検査装置をほぼ既存の装置で構成することができ、コスト低減を一層達成できる。
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、キャリアテープ10の搬送ピッチ、加振時間等は、短いほど作業時間の短縮を図ることができるが、これらは、ワークWの検出時間、ワーク検査時間、ワークWが正規姿勢に戻る時間等を考慮して設定できる。また、振動の周期等もワークWの大きさや形状、ポケットの大きさや形状等に応じて種々変更できる。また、振動を付与する場合、前記したように、X軸方向のみの振動であっても、Y軸方向のみの振動であっても、X軸方向およびY軸方向の振動であってもよいが、X軸方向およびY軸方向の振動を付与する場合、X軸方向の振動とY軸方向の振動とを同時に付与しても、X軸方向の振動を付与した後に、Y軸方向の振動を付与したり、逆に、Y軸方向の振動を付与した後、X軸方向の振動を付与したりしてもよい。
10 キャリアテープ
11 ポケット
15 キャリアテープ搬送機構
U キャリアテープユニット
17 支持台
18 振動機構
20 検査用カメラ
W ワーク
11 ポケット
15 キャリアテープ搬送機構
U キャリアテープユニット
17 支持台
18 振動機構
20 検査用カメラ
W ワーク
Claims (7)
- キャリアテープのポケットに供給されたワークを、上方の検査用カメラによって検査を行うワーク検査装置であって、
キャリアテープを有するキャリアテープユニットを支持する支持台と、この支持台に水平方向の振動を付与してキャリアテープのポケットに収容されるワークを正規姿勢に修正する振動機構とを備えたことを特徴とするワーク検査装置。 - キャリアテープユニットは、キャリアテープと、このキャリアテープを間欠的に搬送するキャリアテープ搬送機構とを備えることを特徴とする請求項1に記載のワーク検査装置。
- 前記正規姿勢は、検査用カメラによる上方からのワークの存在を確認可能な姿勢であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のワーク検査装置。
- 前記振動機構によるキャリアテープの振動方向がX軸方向及び/又はY軸方向であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のワーク検査装置。
- 前記振動機構を、前記支持台をメンテナンス位置に移動させるための移動機構にて構成したことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のワーク検査装置。
- キャリアテープのポケットに供給されたワークを、上方の検査用カメラによって検査を行うワーク検査方法であって、
キャリアテープに水平方向の振動を付与して、ポケットの底面コーナ部に引っ掛かっているワークに対して、その引っ掛かりを解除する姿勢修正工程を備えたことを特徴とするワーク検査方法。 - 前記振動の付与は、検査用カメラによる上方からのワークの存在を確認できないときに行うことを特徴とする請求項6に記載のワーク検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010128972A JP2011251763A (ja) | 2010-06-04 | 2010-06-04 | ワーク検査装置およびワーク検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010128972A JP2011251763A (ja) | 2010-06-04 | 2010-06-04 | ワーク検査装置およびワーク検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011251763A true JP2011251763A (ja) | 2011-12-15 |
Family
ID=45416064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010128972A Pending JP2011251763A (ja) | 2010-06-04 | 2010-06-04 | ワーク検査装置およびワーク検査方法 |
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JP (1) | JP2011251763A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017056262A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品供給装置 |
-
2010
- 2010-06-04 JP JP2010128972A patent/JP2011251763A/ja active Pending
Cited By (2)
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WO2017056262A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品供給装置 |
JPWO2017056262A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2018-03-29 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品供給装置 |
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