JP2011243526A - 薄膜形成用基板の製造方法、薄膜形成用基板の製造装置、及び有機el装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】薄膜パターンの形成を行うことなく撥液層の態様を確認する。
【解決手段】一方の面に蛍光材料を含有する撥液材料から成る撥液材料層34を有するフィルム32と一方の面に凸部17を有する基板37とを、撥液材料層34と凸部17と面接触するように対向配置する第1の工程と、基板37に対してフィルム32を相対的に加圧して撥液材料層34を凸部17に転写することにより、凸部17の上面に撥液層36を形成する第2の工程と、基板37の一方の面に紫外線5を照射して撥液層36に含有される蛍光材料を蛍光させ、蛍光6を撮像して取得した画像を検査して撥液層36の欠陥情報を得る第3の工程と、を有することを特徴とする薄膜形成用基板37の製造方法。
【選択図】図4
【解決手段】一方の面に蛍光材料を含有する撥液材料から成る撥液材料層34を有するフィルム32と一方の面に凸部17を有する基板37とを、撥液材料層34と凸部17と面接触するように対向配置する第1の工程と、基板37に対してフィルム32を相対的に加圧して撥液材料層34を凸部17に転写することにより、凸部17の上面に撥液層36を形成する第2の工程と、基板37の一方の面に紫外線5を照射して撥液層36に含有される蛍光材料を蛍光させ、蛍光6を撮像して取得した画像を検査して撥液層36の欠陥情報を得る第3の工程と、を有することを特徴とする薄膜形成用基板37の製造方法。
【選択図】図4
Description
本発明は、薄膜形成用基板の製造方法、薄膜形成用基板の製造装置、及び有機EL装置の製造方法に関する。
有機EL装置等の薄型表示装置の製造過程において、対象となる基板すなわち薄膜形成用基板に対して液材(液体材料)を微細なノズル(孔)から吐出(滴下)した後、該液材を乾燥硬化させて薄膜パターンとするIJ法(インクジェット法)が多用されている。かかる場合、薄膜形成用基板上に隔壁を形成し、該隔壁で囲まれた凹部内に液材をIJ法により吐出することが多い。
かかる製造方法により薄膜パターンを形成する場合、例えば特許文献1に示すように、該隔壁の上面に撥液層を形成する製造方法が提示されている。該撥液層は、別の基板あるいはフィルム等に形成された撥液材料層を加圧することにより上述の隔壁上に転写して形成されている。かかる製造方法であれば、上述の凹部内に吐出された液材が隔壁を乗り越えて隣り合う凹部内に進入する現象を低減でき、高品質の薄膜パターンを形成できる。
かかる製造方法により薄膜パターンを形成する場合、例えば特許文献1に示すように、該隔壁の上面に撥液層を形成する製造方法が提示されている。該撥液層は、別の基板あるいはフィルム等に形成された撥液材料層を加圧することにより上述の隔壁上に転写して形成されている。かかる製造方法であれば、上述の凹部内に吐出された液材が隔壁を乗り越えて隣り合う凹部内に進入する現象を低減でき、高品質の薄膜パターンを形成できる。
ここで、撥液層は透明でありかつ極めて薄い膜層であるため、光学的手段による観察が困難である。したがって上述の従来の製造方法では、撥液層の検査は、隔壁で囲まれた凹部内に薄膜パターンの形成が良好に行われたか否かにより事後的に確認する手法が採られている。そのため、撥液層に欠陥等が生じていた場合、次工程(薄膜パターンを形成する工程)に費やしたコストが無駄となる可能性があった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる薄膜形成用基板の製造方法は、一方の面に蛍光材料を含有する撥液材料から成る撥液材料層を有するフィルムと一方の面に凸部を有する基板とを、上記撥液材料層と上記凸部とが面接触するように対向配置する第1の工程と、上記基板に対して上記フィルムを相対的に加圧して上記撥液材料層を上記凸部に転写することにより、上記凸部の上面に撥液層を形成する第2の工程と、上記基板の上記一方の面に紫外線を照射して上記撥液層に含有される蛍光材料を蛍光させ、該蛍光を撮像して取得した画像を検査して上記撥液層の欠陥情報を得る第3の工程と、を有することを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法。
このような製造方法であれば、上記凸部の上面に形成された撥液層における欠陥の有無あるいは欠陥の程度を短時間かつ容易に確認等できる。したがって、上述の欠陥が規格を超えた基板が次工程(IJ法により液材を吐出する工程)に流れることを低減でき、該薄膜形成用基板の製造コストを低減できる。
[適用例2]本適用例にかかる薄膜形成用基板の製造方法は、一方の面に蛍光材料を含有する撥水材料から成る撥液材料層を有するフィルムと一方の面に凸部を有する基板とを、上記撥液材料層と上記凸部と面接触するように対向配置する第1の工程と、上記基板に対して上記フィルムを相対的に加圧して上記撥液材料層を上記凸部に転写することにより、上記凸部の上面に撥液層を形成する第2の工程と、上記フィルムの上記一方の面に紫外線を照射して上記撥液材料層に含有される蛍光材料を蛍光させ、該蛍光を撮像して取得した画像を検査して上記撥液材料層の欠陥情報を得る第3の工程と、を有することを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法。
このような製造方法であれば、上記凸部の上面に形成された撥液層における欠陥の有無あるいは欠陥の程度を、上述の基板を直接検査することなく確認等できる。したがって、撥液層の検査と薄膜形成用基板の形成に要する次工程及びそれより後の工程とを並行して実施でき、該薄膜形成用基板の製品製造コストを低減できる。
[適用例3]上述の薄膜形成用基板の製造方法であって、上記撥液材料層は蛍光材料と撥液材料とが略1対99の比率で混合された材料からなることを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法。
このような混合比であれば撥液性を損ねず、かつ充分な蛍光が得られる。したがって、撥液層の態様を確実に検査できると共に、検査の結果が規格を満たした薄膜形成用基板に対してIJ法により良好な薄膜を形成できる。
[適用例4]上述の薄膜形成用基板の製造方法であって、上記蛍光材料はルブレン又はクマリン誘導体であることを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法。
上述の蛍光材料であれば充分な蛍光が得られるため、紫外線の照射により撥液層の態様をより一層確実に検査できる。したがって、撥液層が充分に形成されていない基板が次工程に流れることを低減でき、該薄膜形成用基板の製品製造コストを低減できる。
[適用例5]上述の薄膜形成用基板の製造方法で得られた薄膜形成用基板を用いることを特徴とする有機EL装置の製造方法。
このような製造方法であれば、規格を満たしている撥液層を有する薄膜形成用基板を用いてIJ法により薄膜を形成できるため、有機EL装置の製造コストを低減できる。
[適用例6]上述の薄膜形成用基板の製造方法で得られた薄膜形成用基板を用いることを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。
このような製造方法であれば、規格を満たしている撥液層を有する薄膜形成用基板を用いてIJ法により薄膜を形成できるため、カラーフィルター基板の製造コストを低減できる。
[適用例7]本適用例にかかる薄膜形成用基板の製造装置は、一方の面に凸部を有する基板を搬送可能な搬送手段と、表面に蛍光材料を含有する撥液材料層を有するフィルムを上記基板の上記一方の面に対向配置させることが可能なフィルム供給手段と、上記基板に対向配置された上記フィルムを上記基板に対して加圧して上記撥液材料層を上記凸部に転写させることが可能な加圧手段と、上記フィルムの上記撥液材料層が形成されている側の面に紫外線を照射できる紫外線照射手段と、上記紫外線の照射により上記蛍光材料から生じる蛍光を撮像して画像を形成できる撮像手段と、上記画像を検査して、上記凸部に上記撥液材料層が充分に転写されたか否かを判定可能な判定手段と、を備えることを特徴とする薄膜形成用基板の製造装置。
このような製造装置であれば、薄膜形成用基板の一方の面に撥液材料層を転写させた後、上述の転写が旅行に行われたか否かの検査と該薄膜形成用基板の次工程への流動とを並行して実施できる。したがって、該薄膜形成用基板の生産性を向上でき該薄膜形成用基板を構成要素として用いる有機EL装置等の製造コストを低減できる。
[適用例8]本適用例にかかるフィルムは、画素間で機能層を形成するための液剤を分離するための凸部の上面を処理するためのフィルムであって、上記フィルムは、ベースフィルムと上記ベースフィルムの少なくとも一方の面に積層されている機能材料層とを有し、上記機能材料層の材料は、蛍光材料を含むことを特徴とするフィルム。
このような構成のフィルムであれば、凸部の上面に、蛍光材料が混入された機能材料層を転写できる。そして、該蛍光材料により、機能材料層の転写性の良否を容易に確認できる。
[適用例9]上述のフィルムであって、上記機能材料層は、撥液性を有する材料で構成されていることを特徴とするフィルム。
このような構成のフィルムであれば、凸部の上面に、蛍光材料が混入された撥液層を転写できる。そして、該蛍光材料により撥液層の転写性の良否を、液滴等を滴下することなく確認できる。
[適用例10]上述のフィルムであって、上記機能材料層の厚さは、可視光波長の1/10以下であることを特徴とするフィルム。
このような構成のフィルムであれば、目視では確認できない厚さの機能材料層を形成できる。したがって、薄膜形成用基板の外観等に対する影響が低減された機能材料層を形成できる。
以下、本発明の実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法等について、図面を参照しつつ述べる。なお、以下の各図においては、各層や各部位を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部位の縮尺を実際とは異ならしめてある。
(第1の実施形態)
上述したように、本発明の製造方法は薄型表示装置を対象としている。そして、本実施形態及び後述する各実施形態においては、有機EL装置とその構成要素を対象としている。そこで、本実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法を説明する前に、有機EL装置の概略構成について述べる。
上述したように、本発明の製造方法は薄型表示装置を対象としている。そして、本実施形態及び後述する各実施形態においては、有機EL装置とその構成要素を対象としている。そこで、本実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法を説明する前に、有機EL装置の概略構成について述べる。
図1は、本実施形態の製造方法により得られる薄膜形成用基板を有する有機EL装置1の回路構成を示す図である。有機EL装置1は、規則的に配置された複数の有機EL素子の発光を個別に制御して、画像表示領域100にカラー画像を形成するアクティブマトリクス型の有機EL装置である。画像表示領域100には、複数の走査線102と該走査線と直交する複数の信号線104と該信号線に対して平行に延在する複数の電源供給線106が形成されている。そして、上記3種類の配線で囲まれる区画毎に、画素116が形成されている。
各々の画素116は、走査線102を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用TFT(薄膜トランジスタ)108と、スイッチング用TFT108を介して信号線104から供給される画素信号を保持する保持容量110と、保持容量110によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用TFT112と、駆動用TFT112を介して電源供給線106から駆動電流が供給される有機EL素子118と、で構成されている。
画素116は、赤色光を射出する赤色画素116Rと緑色光を射出する緑色画素116Gと青色光を射出する青色画素116Bの計3種類がある。有機EL装置1においては、かかる発光色の差異が、後述する発光機能層76(図2参照)を発光色に合せて形成することで得られている。なお、以下の記載において「画素116(R,G,B)」と表記した場合、上述の3種類の画素の総称を意味するものとする。他の構成要素についても同様である。
画像表示領域100の周辺には、走査線駆動回路120、及び信号線駆動回路130が形成されている。走査線102には、走査線駆動回路120から、図示しない外部回路より供給される各種信号に応じて走査信号が順次供給される。そして、信号線104には信号線駆動回路130から画像信号が供給され、電源供給線106には図示しない外部回路から画素駆動電流が供給される。なお、走査線駆動回路120の動作と信号線駆動回路130の動作とは、同期信号線140を介して外部回路から供給される同期信号により相互に同期が図られている。
走査線102が駆動されスイッチング用TFT108がオン状態になると、その時点の信号線104の電位が保持容量110に保持され、保持容量110の状態に応じて駆動用TFT112のレベルが決まる。そして、駆動用TFT112を介して電源供給線106から画素116に駆動電流が供給される。そして個々の画素116(R,G,B)は、該駆動電流の大きさに応じて光を射出する。夫々の画素116(R,G,B)が任意の強度で発光を射出することで、画像表示領域100にカラー画像が形成される。
なお、以下の記載において、画素116等の符号の後の「(R,G,B)」の表記は、一部省略している。
なお、以下の記載において、画素116等の符号の後の「(R,G,B)」の表記は、一部省略している。
図2は、有機EL装置1の画像表示領域100(図1参照)内における模式断面図であり、上述の3種類の画素116の断面を示す図である。ただし、スイッチング用TFT108と保持容量110については図示を省略している。図示するように有機EL装置1は、対向配置された素子基板10と対向基板11の一対の基板、及び該一対の基板間に形成された有機EL素子118等を有している。素子基板10は、ガラスあるいはプラスチック等からなる。有機EL装置1は、対向基板11側に光を射出するトップエミッション型の有機EL装置である。したがって、素子基板10は透明性を要しない。一方対向基板11は透明性が必要であり、有機EL装置1においてはガラスで形成されている。
素子基板10の対向基板11側の面上には、駆動用TFT(以下、単に「TFT」と称する)112が規則的に形成されている。TFT112は、ポリ(多結晶)シリコンからなる半導体層及びゲート電極等で構成されており、公知の技術を用いて形成されている。そのため、詳細の記述は省略する。なお、以下の記載において、素子基板10から見て対向基板11側となる面あるいは方向を「上面」、「上方」あるいは「上側」と称する。
TFT112の上面には、アクリル系の樹脂成分を主体とする層間絶縁膜80が形成されている。そして、該層間絶縁膜の上面には、画素電極(陽極)74が規則的に形成されている。なお、層間絶縁膜80は、酸化シリコン等の無機材料を主体とする第1層間絶縁膜とアクリル系の樹脂成分を主体とする第2層間絶縁膜とを積層した構成とすることもできる。画素電極74とTFT112とは、層間絶縁膜80を局所的に除去して形成されたコンタクトホール82を介して電気的に接続されている。
画素電極74はAl(アルミニウム)等の金属あるいはITO(酸化インジウム・錫合金)で形成されており、画素116毎に島状にパターニングされている。なお、画素電極74がITOで形成されている場合、該画素電極と素子基板10の間に、素子基板10側に向かう発光を対向基板11側に反射させる反射層を形成する必要がある。
画素電極74の上面には、例えば後述する、発光機能層等の機能層を形成するための液材18を隣の画素間で分離してそれぞれの画素において所望の発光機能層を形成するための凸部としての隔壁15が形成されている。隔壁15は感光性のアクリル樹脂からなり、平面視で画素電極74を囲むようにパターニングされている。なお画素電極74は、外縁部において隔壁15と重なっている。すなわち、画素電極74の外縁部には、隔壁15と該画素電極とが重なる環状の領域が形成されている。
上述したように画素電極74は島状にパターニングされているため、隔壁15は平面視で網状となる。そして、隔壁15の上面には撥液層36が形成されている。かかる撥液層36は、後述するように、発光機能層76(R,G,B)をIJ法で形成する際に、該発光機能層の形成材料が隔壁15を乗り越えて隣り合う画素電極74上に流出することを抑制する機能を果たしている。上面に撥液層36を有する凸部が形成された基板が薄膜形成用基板である。したがって、有機EL装置1においては素子基板10が薄膜形成用基板であり、発光機能層76(R,G,B)が薄膜(薄膜パターン)である。
隔壁15を側面として画素電極74を底面とする凹部内には、発光機能層76(R,G,B)が形成されている。そして該発光機能層及び撥液層36等の上面には、陰極78が形成されている。画素電極74と発光機能層76と陰極78との積層体が有機EL素子118である。陰極78は、ITO、又はAl、又はAgMg(銀−マグネシウム合金)等の材料からなり、透明導電性を有している。したがって、発光機能層76内で生じた発光は、該陰極を介して対向基板11側から図中の矢印の方向に射出される。
発光機能層76は、素子基板10側から順に、正孔注入層と、正孔輸送層と、通電によりすなわち正孔と電子の結合により発光する有機EL層と、電子輸送層と、電子注入層と、の計5層が積層されて形成されている。有機EL層を除く4層は上述の3種類の画素116間で共通である。有機EL層のみが、発光色に合せて3種類の画素116間で夫々異なる材料で形成されている。
陰極78の上面には、封止接着層88が、少なくとも画像表示領域100の全域に渡って形成されている。そして、該封止接着層により対向基板11が貼り合されている。封止接着層88は素子基板10側から順に封止層と接着層が積層されて形成されており、封止層はさらに素子基板10側から順に電極保護層と緩衝層とガスバリア層とが積層されて形成されている。
図3は、有機EL装置1とは異なる型の有機EL装置2の模式断面図である。有機EL装置2は、上述の有機EL装置1と同様の、カラー画像を表示可能なトップエミッション型の有機EL装置であり、回路構成も共通している。そこで、上述の図1に相当する図は省略すると共に、共通する構成要素には同一の符号を付与して説明の記載は省略する。
有機EL装置2は、3原色の射出光を対向基板11の素子基板10側に形成されたカラーフィルター84(R,G,B)によって得ている。発光機能層76は白色光を発光する有機EL層を含む層であり、3種類の画素116(R,G,B)間で共通である。そして発光機能層76は、IJ法ではなく蒸着法等で少なくとも画像表示領域100の全域に形成されている。したがって、有機EL装置2は素子基板10側の隔壁15の上面には、撥液層36(図2参照)を有していない。
機能層としてのカラーフィルター84(R,G,B)は、着色顔料を含有するアクリル等の透明樹脂材料で形成されている。カラーフィルター84Rは赤色光に相当する波長範囲の光を透過させ他の波長範囲の光は吸収する顔料を含有し、カラーフィルター84Gは緑色光に相当する波長範囲の光を透過させ他の波長範囲の光は吸収する顔料を含有し、カラーフィルター84Bは青色光に相当する波長範囲の光を透過させ他の波長範囲の光は吸収する顔料を含有している。
カラーフィルター84(R,G,B)は、上述の着色顔料を含有する透明樹脂材料を溶媒に分散させてなる液材をブラックマトリクス16で囲まれた凹部内にIJ法で供給した後、該溶媒を乾燥除去する方法で形成されている。したがって、有機EL装置2においては対向基板11が薄膜形成用基板であり、カラーフィルター84(R,G,B)が薄膜に相当する。そして、ブラックマトリクス16が後述する凸部17(図4等参照)に相当する。したがって、ブラックマトリクス16の上面(素子基板10側の面)には撥液層36が形成されており、IJ法でカラーフィルター84(R,G,B)を形成する際に上述の液材が隣り合う凹部内に流出する現象を低減している。
ブラックマトリクス16は、カーボンブラックが混入された感光性のアクリル樹脂をフォトリソグラフィー法でパターニングする方法で形成されている。そして、ブラックマトリクス16及びカラーフィルター84の上面(素子基板10側)には、保護層としてのオーバーコート層86が形成されている。発光機能層76内で生じた白色光はカラーフィルター84(R,G,B)透過することで3原色光の何れかの光となって、図中の矢印の方向に射出される。
図4は、第1の実施形態の薄膜形成用基板37の製造方法を示す工程断面図である。上述したように、薄膜形成用基板37は上面に撥液層36を有する凸部17が基板面に形成された基板である。なお、薄膜形成用基板37は有機EL装置1の素子基板10あるいは有機EL装置2の対向基板11等の総称であるため、符号を別途付与している。同様に、凸部17は有機EL装置1の隔壁15あるいは有機EL装置2のブラックマトリクス16の総称であり、符号を別途付与している。以下、工程順に説明する。なお、以下の記載においては、撥液層36が形成される前の段階の基板に対しても、「薄膜形成用基板」の名称を使用する。
まず、図4(a)に示すように、一方の面に凸部17が形成された薄膜形成用基板37に対してラミネートフィルム32を対向配置する。かかる工程が第1の工程である。本図では、双方の要素が若干の間隔を有するように図示しているが、双方の要素を完全に密着すなわち面接触させても良い。
ラミネートフィルム32は、薄膜形成用基板37を処理する毎に使い捨てされるフィルムである。具体的には、本工程が実施される度に、新しいラミネートフィルム32がフィルム供給ローラー22から供給される。そして、使用後のラミネートフィルム32は、フィルム巻き取りローラー24で巻き取られる。
本実施形態(及び後述する各実施形態)で用いるラミネートフィルム32は、ベースフィルム33上に撥液材料層34が形成されたフィルム、すなわち、ベースフィルム33と撥液材料層34とが積層されたフィルムである。ベースフィルム33は、厚さが略16μmのPET(ポリエチレンテレフタレート)からなる。撥液材料層34は、フッ素系撥液材である住友3M製のノベックEGC−1720に蛍光材料を分散させた材料からなり、層厚は略10〜20nmである。蛍光材料としてはクマリン誘導体あるいはルブレン等を用いており、分散濃度は0.8%以上1.0%未満である。
上記のように撥液材料層34の膜厚は10〜20nmであり、可視光波長の1/10以下であるので、後述するように凸部17に当該撥液材料層34が形成されているかどうかを通常の光学測定を用いて測定することは困難である。しかし、蛍光材料を含んだ撥液材料を用いることにより、後述するように、紫外線を凸部17に照射することにより、当該撥液材料層34が凸部17に形成されているか否かを検査することができる。
次に、図4(b)に示すように、第2の工程として、ラミネートフィルム32を薄膜形成用基板37に対して加圧する。そして、凸部17の上面に撥液材料層34を転写させる。本実施形態において、加圧は、加圧ローラー26をラミネートフィルム32に押し当てつつ、一方の端部からもう一方の端部まで移動させることで行う。
転写の方法は、かかる方法に限定されるものではない。平板型の加圧部材を用いて、ラミネートフィルム32を薄膜形成用基板37に対して全面的に加圧しても良い。また、加圧ではなく、ラミネートフィルム32と薄膜形成用基板37とを面接触させつつ加熱することで、撥液材料層34を転写させることもできる。さらには、加圧ローラー26を加熱して、熱と圧力を併用して転写させても良い。
図4(c)は、凸部17の上面に撥液層36が形成された状態を示す図である。なお、撥液層36は撥液材料層34と同一の材料からなる層であるが、平面視形状等が異なるため別途符号を付与している。図示するように、撥液材料層34は凸部17の上面にのみ転写されて撥液層36を構成しており、凸部17の側面及び凸部17で囲まれた凹部14内には転写されていない。
次に、図4(d)に示すように、第3の工程として薄膜形成用基板37の凸部17が形成されている面に対して紫外線5を照射する。そして、該照射により生じた蛍光6を検査して、撥液層36の態様、すなわち凸部17の上面に充分に撥液層36が形成されているか否かを検査する。
紫外線5は、図示するように薄膜形成用基板37の全面に同時に照射しても良い。また、帯状の照射領域を薄膜形成用基板37の一方の端部からもう一方の端部まで走査させても良い。撥液層36には蛍光材料が含有されているため、該照射により蛍光6が生じる。一方、凹部14内には撥液層36が形成されていないため、薄膜形成用基板37の全面に紫外線が照射されても蛍光6は生じない。そのため、かかる蛍光6を撮像して画像を形成し、上述の転写が完全に行われた場合の画像と比較することで、撥液層36の態様を検査することができる。検査の結果、撥液層36の態様、すなわち転写の出来具合が規格に満たない場合は、該薄膜形成用基板を不良として廃棄する。規格を満たしている場合は、該薄膜形成用基板を次工程すなわち発光機能層76等を形成する工程へ移送する。
図6は、紫外線の照射により生じた蛍光6を撮像して得られた画像を示す図である。図6(a)は、本実施形態における、ラミネートフィルム32の撥液材料層34が、凸部17の上面に完全に転写された場合の撥液層36を示す平面図である。図6(b)は、後述する第2の実施形態において、ラミネートフィルム32の撥液材料層34が凸部17の上面に完全に転写された後の、該ラミネートフィルムに残る撥液材料層34を示す平面図である。
上述したように、図6(a)は転写が完全(完璧)に実施された場合の撥液層36等の画像を示す図である。実際の工程においては、蛍光6が生じる領域すなわちハッチングが施された領域が一部欠ける態様となることが起り得る。かかる欠けた領域の位置、面積等を検査して、薄膜形成用基板37を良品として次工程に移送するか否かを決定するまでが第3の工程である。
撥液層36がどの程度欠けたものまでを良品とするかの規格は、目的に合せて任意に定めることができる。目的とは、IJ法により発光機能層76等を形成する工程において、吐出された液材18(図8参照)が隣り合う凹部14内に流出する現象が充分に低減されることである。例えば、隣り合う凹部14間における蛍光6が生じる領域(撥液層36が形成された領域)の幅の最低値を定め、かかる幅を満たすだけの撥液層36が全域で形成されていた場合は良品とすることもできる。また、蛍光6が生じる領域に切れ目が存在しなければ良品とすることもできる。
また、本工程では、凸部17の上面における撥液層36の態様だけではなく、凹部14内に撥液材料層34が転写されているか否かも検査する。そして転写されていた場合、その程度等を確認する。凹部14内は液材18が吐出される領域であるから親液性であることが好ましく、所定の規格を超えて転写されていた場合は、該薄膜形成用基板を不良と判定する必要がある。なお、かかる規格も、目的に合せて任意に定めることができる。
本実施形態にかかる製造方法によれば、凸部17の上面に形成された撥液層36の状態を、次工程を実施する以前に把握できる。従来の製造方法であれば、撥液層36を形成後、該撥液層を上面に有する凸部17で囲まれた凹部14内にIJ法で液材18を吐出し、該液材を硬化させる工程が終了するまで、撥液層36の状態を把握できなかった。そして、かかる撥液層36の状態は、上述の液材18を硬化させて得られる発光機能層76等が良好に形成されたか否かによって判定されていた。したがって、撥液層36が良好に形成されず、その結果発光機能層76等が良好に形成されなかった薄膜形成用基板37は廃棄処分とせざるを得なかった。
本実施形態の製造方法であれば、薄膜形成用基板37に撥液層36を形成した後に該撥液層の状態を直ちに判定できる。そして、撥液層36の状態が規格に満たない場合、その時点で該薄膜形成用基板を次工程に移送せずに廃棄等できる。あるいは、該薄膜形成用基板に対して、撥液層36を形成する工程を再度実施することもできる。したがって、本実施形態の製造方法によれば、IJ法に用いるインクジェット装置等の製造装置を効率的に利用でき、また発光機能層76等の薄膜パターンの形成材料も節減できる。そのため、薄膜形成用基板37及び該薄膜形成用基板を構成要素とする有機EL装置の製造コストを低減できる。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法等について、図面を参照しつつ述べる。図5は、第2の実施形態の薄膜形成用基板37の製造方法を示す工程断面図である。本実施形態にかかる製造方法の対象物は、上述の第1の実施形態の対象物と同様の薄膜形成用基板37すなわち図2に示す素子基板10あるいは図3に示す対向基板11である。また、製造工程自体も、第1の実施形態の製造工程と一部共通している。そこで、上述の図4に示す要素と共通する要素には同一の符号を付して説明の記載は省略する。以下、工程順に説明する。
次に、第2の実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法等について、図面を参照しつつ述べる。図5は、第2の実施形態の薄膜形成用基板37の製造方法を示す工程断面図である。本実施形態にかかる製造方法の対象物は、上述の第1の実施形態の対象物と同様の薄膜形成用基板37すなわち図2に示す素子基板10あるいは図3に示す対向基板11である。また、製造工程自体も、第1の実施形態の製造工程と一部共通している。そこで、上述の図4に示す要素と共通する要素には同一の符号を付して説明の記載は省略する。以下、工程順に説明する。
まず第1の工程として、図5(a)に示すように、薄膜形成用基板37に対してベースフィルム33と撥液材料層34とが積層されてなるラミネートフィルム32を対向配置する。次に、第2の工程として、図5(b)に示すように、ラミネートフィルム32を薄膜形成用基板37に対して加圧する。そして、凸部17の上面に撥液材料層34を転写させる。
ここまでの工程は上述の第1の実施形態にかかる製造方法と同一である。したがって、ベースフィルム33及び撥液材料層34との形成材料等は上述の第1の実施形態で用いたものと同一である。撥液材料層34に分散(混入)されている蛍光材料も同一である。ラミネートフィルム32の供給方法及び加圧方法も同一である。
ここまでの工程は上述の第1の実施形態にかかる製造方法と同一である。したがって、ベースフィルム33及び撥液材料層34との形成材料等は上述の第1の実施形態で用いたものと同一である。撥液材料層34に分散(混入)されている蛍光材料も同一である。ラミネートフィルム32の供給方法及び加圧方法も同一である。
図5(c)は、第1の工程及び第2の工程が実施された後の、ラミネートフィルム32及び薄膜形成用基板37を示す図である。薄膜形成用基板37の凸部17の上面には、撥液材料層34が転写されて撥液層36が形成されている。一方、ラミネートフィルム32の凸部17と対向しなかった領域には、撥液材料層34が転写されずに残留している。
次に、図5(d)に示すように、第3の工程として、ラミネートフィルム32の撥液材料層34が残留している面に紫外線5を照射する。そして、該照射により撥液材料層34に含有される蛍光材料が励起されて生じる蛍光6を検査する。紫外線5は、ラミネートフィルム32の全面に同時に照射しても良く、また、幅の狭い帯状の照射領域を形成し、該照射領域をラミネートフィルム32の一方の端部からもう一方の端部まで走査させても良い。
本実施形態の第3の工程において紫外線5が照射される対象は、薄膜形成用基板37の凸部17に撥液材料層34の一部が転写された後のラミネートフィルム32である。したがって、本工程で蛍光6が生じる領域の分布は、第1の実施形態の第3の工程で得られるパターンとは逆のパターンとなる。撥液材料層34のうち、上述の第2の工程の実施後にベースフィルム33上に残留していない部分は薄膜形成用基板37に転写されたものと考えることができる。したがって、第2の工程の実施後にラミネートフィルム32に紫外線5を照射して撥液材料層34が残留している領域を把握することにより、薄膜形成用基板37の凸部17の上面に形成された撥液層36の態様(すなわち出来具合)を間接的に確認できる。また、第2の工程において目的でない領域、すなわち凹部14内に撥液材料層34が転写されていた場合にも、その態様を把握できる。
図6(b)は、上述の転写が完全(完璧)に行われた場合におけるラミネートフィルム32に残留した撥液材料層34のパターン、すなわち本実施形態の第3の工程において蛍光6が生じる領域の分布を示す図である。凸部17のパターンは平面視で網状であるため、本工程において蛍光6が生じる領域はマトリクス状に配置された島状のパターンとなる。かかる島状のパターン以外の部分で蛍光6が生じている場合は、凸部17の上面に撥液層36が形成されなかった領域が存在することを意味している。また、かかる島状のパターン内に蛍光6が生じない部分が存在する場合は、撥液層36を形成すべきでない領域である凹部14内に撥液材料層34が転写されたことを意味している。
本工程では、個々の薄膜形成用基板37を処理する毎にラミネートフィルム32に紫外線5を照射して蛍光6が生じる領域、すなわち撥液材料層34が転写され撥液層36が形成された領域を確認する。そして、上述の図6(b)に示すパターンと比較して、撥液層36の態様、すなわち転写の出来具合が規格に満たない場合は、該当する薄膜形成用基板37を不良として廃棄する。規格を満たしている場合は、該当する薄膜形成用基板37を次工程すなわち発光機能層76等を形成する工程へ移送する。
本実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法は、凸部17の上面に形成された撥液層36の態様を紫外線5の照射により検査して確認する点で、上述の第1の実施形態の製造方法と共通している。しかし、本実施形態の製造方法は紫外線5の照射を薄膜形成用基板37ではなくラミネートフィルム32に対して行う点で、第1の実施形態の製造方法と異なっている。薄膜形成用基板37に形成された撥液層36の態様をラミネートフィルム32を介して間接的に検査するため、該検査を行いつつ、薄膜形成用基板37は次工程に移送できる。そして、検査の結果が撥液層36の態様が規格を満たしていると判定された場合は直ちに次工程すなわちIJ法による薄膜形成工程を実施できる。したがって、本実施形態の製造方法であれば、撥液層36の形成から発光機能層76等の薄膜を形成するまでに要する時間を短縮でき、生産性を向上できる。
(第3の実施形態)
次に第3の実施形態として、薄膜形成用基板の製造装置について説明する。図7は、本実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造装置の構成を模式的に示す図である。
次に第3の実施形態として、薄膜形成用基板の製造装置について説明する。図7は、本実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造装置の構成を模式的に示す図である。
本実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造装置(以下、「本製造装置」と称する。)は、薄膜形成用基板37を搬送可能な搬送手段としてのステージ50と、該ステージ上に薄膜形成用基板を移載可能なハンドリング機構(不図示)と、ステージ50上に固定された薄膜形成用基板37にラミネートフィルム32を対向配置させることが可能なフィルム供給手段としてのフィルム供給ローラー22及びフィルム巻き取りローラー24と、薄膜形成用基板37に対向配置されたラミネートフィルム32を該薄膜形成用基板に対して加圧することが可能な加圧手段としての加圧ローラー26と、平面視でステージ50と重ならない領域まで巻き取られたラミネートフィルム32に対して紫外線を照射可能な紫外線照射手段としてのUV光源28と、紫外線の照射によりラミネートフィルム32から射出される蛍光を撮像可能な位置に設けられた撮像手段としての撮像カメラ30と、撮像カメラ30で得られた画像を評価可能であり、かつ、上述の構成要素を制御可能な判定手段としての制御部40、等で構成されている。
なお、上述のラミネートフィルム32は、上述の第1の実施形態及び第2の実施形態で用いた、ベースフィルム33(図4参照)と撥液材料層34(図4参照)とが積層されてなるフィルムである。撥液材料層34には蛍光材料が混入されている。
なお、上述のラミネートフィルム32は、上述の第1の実施形態及び第2の実施形態で用いた、ベースフィルム33(図4参照)と撥液材料層34(図4参照)とが積層されてなるフィルムである。撥液材料層34には蛍光材料が混入されている。
本製造装置は、下記のように動作する。まず、図示しないハンドリング機構が、ステージ50上に薄膜形成用基板37を移載する。ハンドリング機構の動作も、制御部40の指示に基づいて行われる。
次に、制御部40が、ステージ制御部54に、ステージ50を転写位置(転写部)に移動させるよう指示を出す。ステージ制御部54から供給される電力によりステージ駆動モーター52が回転して、ステージ50を上記位置まで移動させる。ここで、本図では図示を省略しているが、ステージ50上に薄膜形成用基板37が移載等される位置が移載位置(移載部)であり、ステージ50上に載置された薄膜形成用基板37がラミネートフィルム32と対向する位置が転写位置である。ステージ50は図示しない移動レール上において、上述の移載位置と転写位置との間を移動する。この時点で、上記位置には未使用のラミネートフィルム32、すなわちステージ50と対向する面の全面に撥液材料層34(図4等参照)を有するラミネートフィルム32が準備されている。そして、薄膜形成用基板37とラミネートフィルム32は、所定の間隔を持って対向配置される。
次に、制御部40が、モータードライバー48に、ラミネートフィルム32をステージ50上に載置された薄膜形成用基板37に対して加圧するように指示を出す。モータードライバー48は加圧ローラー駆動モーター46を動作させて、加圧ローラー26を薄膜形成用基板37の一方の端部に押し当てる。上述したように薄膜形成用基板37上にはラミネートフィルム32が対向配置されている。したがって、加圧ローラー26は、ラミネートフィルム32を薄膜形成用基板37の一方の端部領域に押し当てることとなる。
その後、モータードライバー48は、加圧ローラー26を回転させつつ薄膜形成用基板37上を上述の一方の端部からもう一方の端部まで移動させる。そして、ベースフィルム33に積層されていた撥液材料層34を薄膜形成用基板37の凸部17(図4参照)に転写させる。
上述の転写をする工程が終了した後、本製造装置は、以下に記載する2つの処理を並行して実施する。まず、第1の処理として、薄膜形成用基板37を次工程へ移送する。制御部40がステージ制御部54に、ステージ50を移載位置に移動させるよう指示を出す。ステージ駆動モーター52は、ステージ制御部54から供給される電力により回転して、ステージ50を上述の図示しない移動レール上において移載位置まで移動させる。処理後の薄膜形成用基板、すなわち撥液材料層34が転写されて凸部17の上面に撥液層36(図4参照)が形成された薄膜形成用基板37は、該移載位置において、図示しないハンドリング機構により次工程に移送される。そして、次に処理されるべき薄膜形成用基板37が、該ハンドリング機構によりステージ50上に載置される。
同時に、第2の処理として、使用後すなわち転写工程を経たラミネートフィルム32を撮像する。そして、転写の良否判定すなわち、凸部17の上面に撥液層36が良好に形成されたか否かを間接的に検査する。
制御部40が、モータードライバー48に、ラミネートフィルム32を巻き取るように指示を出す。モータードライバー48はフィルム供給ローラー駆動モーター42とフィルム巻き取りローラー駆動モーター44に電力を供給して、双方のローラー(22,24)を回転させる。
同時に、制御部40は、巻き取られる途中のラミネートフィルム32を撮像するよう指示を出す。具体的には、UV光源28に、巻き取られる途中のラミネートフィルム32に対して紫外線5を照射させる。そして該紫外線により、凸部17に転写されずにラミネートフィルム32の表面に残留している撥液材料層34に混入されている蛍光材料を励起させる。そして励起されて生じた蛍光6を、撮像カメラ30に撮像させる。
UV光源28は集光用の反射鏡29を備えており、ラミネートフィルム32が巻き取られる方向に直交する帯状の領域に紫外線5を照射できる。そして撮像カメラ30は、焦点を、該帯状の領域を往復するように走査させることができる。ラミネートフィルム32は、薄膜形成用基板37に対して加圧された後、順次フィルム巻き取りローラー24に巻き取られる。したがって撮像カメラ30は、ラミネートフィルム32の、薄膜形成用基板37に対して加圧された領域の全てを撮像できる。
そして、制御部40は撮像された画像を検査して、薄膜形成用基板37に対する撥液材料層34の転写が良好に行われたか否かを判定する。判定の基準となる画像は、図6(b)に示されている画像である。上述したように、凸部17は平面視で網状に形成されている。したがって、転写されずにラミネートフィルム32に残留した撥液材料層34は、転写が正確に行われた場合、図6(b)に示されているような、島状の領域が規則的に(具体的にはマトリクス状に)配置された態様となる。制御部40は、撮像された画像と図6(b)に示されている画像を比較して、良否判定を行う。
転写が良好に行われている限り、すなわち転写が良好に行われているとの判定が続く限り、本製造装置の使用者は、本製造装置を用いて複数の薄膜形成用基板37を連続して処理することができる。転写が良好に行われていないと判定された場合、本製造装置の使用者は、該当する薄膜形成用基板37を、次工程の進展具合にかかわらず不良品として処分することとなる。
本製造装置は、ラミネートフィルム32をフィルム供給ローラー22から供給して薄膜形成用基板37に対して加圧した後に、フィルム巻き取りローラー24で回収するまでの一連の動作の間に、転写工程の良否を判定できる。したがって、本製造装置を用いれば、判定に要する工程等を別途定めることなく上述の良否判定を行うことができる。したがって、転写工程すなわち撥液層36の形成工程の生産性を向上でき、有機EL装置の製造コストを低減できる。
また、薄膜形成用基板37を直接検査することなく、間接的に上述の良否判定を行うことができるため、該薄膜形成用基板の取り扱いに伴う傷等の発生も低減できる。したがって、かかる観点においても生産性を向上でき、有機EL装置(1,2)の製造コストを低減できる。
(第4の実施形態)
次に第4の実施形態として、上述の第1の実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法を利用した有機EL装置の製造方法について説明する。図8は、本実施形態にかかる有機EL装置の製造方法を模式的に示す工程断面図である。
次に第4の実施形態として、上述の第1の実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法を利用した有機EL装置の製造方法について説明する。図8は、本実施形態にかかる有機EL装置の製造方法を模式的に示す工程断面図である。
本実施形態の対象となる有機EL装置は、上述の図2に示すカラー画像を表示可能なトップエミッション型の有機EL装置1である。有機EL装置1は、カラー画像の形成に必要な3原色光を、発光色に対応する発光機能層76(R,G,B)を画素116毎に形成することで得ている。したがって、発光機能層76(R,G,B)が薄膜であり、素子基板10が図4等に示す薄膜形成用基板37に該当する。そして、隔壁15が図4等に示す凸部17に該当する。以下、工程順に説明する。なお、有機EL装置1の各要素の説明は既になされているので、本実施形態においては、かかる説明の記載は一部省略する。
まず、図8(a)に示すように、素子基板10の一方の面上にTFT112及び画素電極74等を形成する。そして該画素電極を平面視で囲むように凸部としての隔壁15を形成する。そして隔壁15までが形成された素子基板10に、ラミネートフィルム32を対向配置する。ラミネートフィルム32は上述したようにベースフィルム33に撥液材料層34が積層された構成である。そして撥液材料層34は、撥液材に蛍光剤が混入された材料からなる。ラミネートフィルム32は、図示するように隔壁15の上面に対して若干の間隔を有するように配置しても良く、また、隔壁15の上面に密着させても良い。
次に、図8(b)に示すように、図示しない加圧手段によりラミネートフィルム32を素子基板10に対して加圧して、撥液材料層34を隔壁15の上面に転写する。隔壁15の上面に撥液層36が形成される。隔壁15と対向していなかった部分の撥液材料層34は、そのままラミネートフィルム32に残留する。
次に、図8(c)に示すように、ラミネートフィルム32を取り除き、素子基板10の全面に図示しないUV光源28を用いて紫外線5を照射する。そして、撥液層36に含有される蛍光剤を励起させて蛍光6を得る。そして該蛍光を図示しない撮像手段により撮像して画像を形成する。そして、かかる画像を検査して、隔壁15の上面に撥液層36が充分に形成されているか否かを判定する。同時に、隔壁15で囲まれた領域である凹部14内に規格以上の撥液材料層34が転写されているか否かを判定する。
判定の結果、規格内であると判断された素子基板10は、次工程に流動する。そして、図8(d)に示すように、凹部14内に図示しないIJ装置が備えるインクジェットヘッド19から発光機能層76の形成材料を溶媒に分散させてなるである液材18を吐出する。そして該液材を乾燥固化して発光機能層76(図2参照)を形成する。以降、図2に示す陰極78を形成し、封止接着層88により対向基板11を貼付して有機EL装置1を得る。
上述したように、発光機能層76は、正孔注入層と、正孔輸送層と、有機EL層と、電子輸送層と、電子注入層と、の計5層が積層されて形成されている。したがって、かかる5層を全てIJ法で形成する場合は、図示するような液材18の吐出と乾燥固化を5回繰り返す必要がある。一部の層を、素子基板10の全面に、蒸着法あるいはスパッタ法等で形成することもできる。また、一部の層を、マスク成膜法で形成することもできる。
上述したように、本実施形態の製造方法であれば、図8(d)に示す液材18の吐出を行う前に撥液層36の態様を把握できる。したがって、撥液層36の形成が良好に行われなかった場合でも液材18を無駄にすることが無く、また、IJ装置を無駄に動作させることも回避される。したがって、薄膜すなわち発光機能層76の形成工程の生産性を向上でき、有機EL装置1の製造コストを低減できる。
(第5の実施形態)
次に第5の実施形態として、上述の第1の実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法を利用したカラーフィルターの製造方法について説明する。図9は、本実施形態にかかるカラーフィルターの製造方法を模式的に示す工程断面図である。
次に第5の実施形態として、上述の第1の実施形態にかかる薄膜形成用基板の製造方法を利用したカラーフィルターの製造方法について説明する。図9は、本実施形態にかかるカラーフィルターの製造方法を模式的に示す工程断面図である。
本実施形態の対象となるカラーフィルターは、上述の図3に示す有機EL装置2の対向基板11に形成されているカラーフィルター84である。したがって、カラーフィルター84が薄膜であり、対向基板11が図4等に示す薄膜形成用基板37に該当している。そして、ブラックマトリクス16が図4等に示す凸部17に該当している。以下、工程順に説明する。なお、有機EL装置2の各要素の説明は既になされているので、本実施形態においては、かかる説明の記載は一部省略する。
まず、図9(a)に示すように、対向基板11の一方の面にカーボンブラックが混入された感光性のアクリル樹脂層を形成するそしてフォトリソグラフィー法によりパターニングしてブラックマトリクス16を形成する。そしてブラックマトリクス16までが形成された対向基板11に、ベースフィルム33に蛍光剤が混入され撥液材料層34が積層されてなるラミネートフィルム32を対向配置する。上述の第4の実施形態と同様にラミネートフィルム32は、ブラックマトリクス16の上面に対して若干の間隔を有するように配置しても良く、また、ブラックマトリクス16の上面に密着させても良い。
次に、図9(b)に示すように、図示しない加圧手段によりラミネートフィルム32を対向基板11に対して加圧して、撥液材料層34をブラックマトリクス16の上面に転写する。ブラックマトリクス16の上面に撥液層36が形成される。ブラックマトリクス16と対向していなかった部分の撥液材料層34は、そのままラミネートフィルム32に残留する。
次に、図9(c)に示すように、ラミネートフィルム32を取り除く。そして上述の第4の実施形態と同様に、対向基板11の全面に紫外線5を照射して蛍光6を得る。そして該蛍光を図示しない撮像手段により撮像して画像を形成する。そして、かかる画像を検査して、隔壁15の上面に撥液層36が充分に形成されているか否かを判定する。同時に、隔壁15で囲まれた領域である凹部14内に規格以上の撥液材料層34が転写されているか否かを判定する。
そして次に、判定の結果、規格内であると判断された対向基板11に対して、図9(d)に示すようにインクジェットヘッド19から着色顔料が混入されたアクリル等の透明樹脂材料を溶媒に分散させてなる液材18を吐出する。上述したように着色顔料は3原色に合せて3種類必要である。ただし、カラーフィルター84は発光機能層76とは異なり単一の層で構成されているため、液材18の吐出を複数回繰り返す必要はない。
以下、吐出した液材18を乾燥固化してカラーフィルター84とする。そしてオーバーコート層86(図3参照)を全面に形成する。かかるオーバーコート層86までが形成された対向基板11を、封止接着層88(図3参照)を介して陰極78(図3参照)までが形成された素子基板10と貼り合せて図3に示す有機EL装置2を得ることができる。
上述の第4の実施形態と同様に、本実施形態の製造方法であれば、液材18の吐出を行う前に、撥液層36の態様を把握できる。したがって、撥液層36の形成が良好に行われなかった場合でも液材18を無駄にすることが無く、また、IJ装置を無駄に動作させることも回避される。したがって、薄膜すなわちカラーフィルター84の形成工程の生産性を向上でき、有機EL装置の製造コストも低減できる。
本発明の実施の形態は、上述の各実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
(変形例)
上述の各実施形態においては、転写工程の良否判定を、薄膜形成用基板37若しくはラミネートフィルム32の全面を検査することで行う様に記載されている。しかし全面ではなく、一部の領域のみを検査することで判定を下す方法も実施可能である。実際の転写工程において、不良は、矩形である薄膜形成用基板37に対して中心が一致するように描かれた、所定の幅を有する「+(プラス)」の文字状の領域に発生し易いことが経験的に知られている。したがって、かかる「+」の文字状の領域のみに紫外線5を照射して検査することで、生産性をより一層向上させることもできる。
上述の各実施形態においては、転写工程の良否判定を、薄膜形成用基板37若しくはラミネートフィルム32の全面を検査することで行う様に記載されている。しかし全面ではなく、一部の領域のみを検査することで判定を下す方法も実施可能である。実際の転写工程において、不良は、矩形である薄膜形成用基板37に対して中心が一致するように描かれた、所定の幅を有する「+(プラス)」の文字状の領域に発生し易いことが経験的に知られている。したがって、かかる「+」の文字状の領域のみに紫外線5を照射して検査することで、生産性をより一層向上させることもできる。
1…有機EL装置、2…有機EL装置、5…紫外線、6…蛍光、10…素子基板、11…対向基板、14…凹部、15…凸部としての隔壁、16…凸部としてのブラックマトリクス、17…凸部、18…液材、19…インクジェットヘッド、22…フィルム供給手段としてのフィルム供給ローラー、24…フィルム供給手段としてのフィルム巻き取りローラー、26…加圧手段としての加圧ローラー、28…紫外線照射手段としてのUV光源、29…反射鏡、30…撮像手段としての撮像カメラ、32…ラミネートフィルム、33…ベースフィルム、34…撥液材料層、36…撥液層、37…薄膜形成用基板、40…判定手段としての制御部、42…フィルム供給ローラー駆動モーター、44…フィルム巻き取りローラー駆動モーター、46…加圧ローラー駆動モーター、48…モータードライバー、50…ステージ、52…ステージ駆動モーター、54…ステージ制御部、74…画素電極、76…発光機能層、78…陰極、80…層間絶縁膜、82…コンタクトホール、84…カラーフィルター、86…オーバーコート層、88…封止接着層、112…駆動用TFT、116…画素、118…有機EL素子。
Claims (10)
- 一方の面に蛍光材料を含有する撥液材料から成る撥液材料層を有するフィルムと一方の面に凸部を有する基板とを、前記撥液材料層と前記凸部とが面接触するように対向配置する第1の工程と、
前記基板に対して前記フィルムを相対的に加圧して前記撥液材料層を前記凸部に転写することにより、前記凸部の上面に撥液層を形成する第2の工程と、
前記基板の前記一方の面に紫外線を照射して前記撥液層に含有される蛍光材料を蛍光させ、該蛍光を撮像して取得した画像を検査して前記撥液層の欠陥情報を得る第3の工程と、
を有することを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法。 - 一方の面に蛍光材料を含有する撥水材料から成る撥液材料層を有するフィルムと一方の面に凸部を有する基板とを、前記撥液材料層と前記凸部と面接触するように対向配置する第1の工程と、
前記基板に対して前記フィルムを相対的に加圧して前記撥液材料層を前記凸部に転写することにより、前記凸部の上面に撥液層を形成する第2の工程と、
前記フィルムの前記一方の面に紫外線を照射して前記撥液材料層に含有される蛍光材料を蛍光させ、該蛍光を撮像して取得した画像を検査して前記撥液材料層の欠陥情報を得る第3の工程と、
を有することを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の薄膜形成用基板の製造方法であって、前記撥液材料層は蛍光材料と撥液材料とが略1対99の比率で混合された材料からなることを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法。
- 請求項3に記載の薄膜形成用基板の製造方法であって、前記蛍光材料はルブレン又はクマリン誘導体であることを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法。
- 請求項1〜4の何れか1項に記載の製造方法で得られた薄膜形成用基板を用いることを特徴とする有機EL装置の製造方法。
- 請求項1〜4の何れか1項に記載の製造方法で得られた薄膜形成用基板を用いることを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。
- 一方の面に凸部を有する基板を搬送可能な搬送手段と、
表面に蛍光材料を含有する撥液材料層を有するフィルムを前記基板の前記一方の面に対向配置させることが可能なフィルム供給手段と、
前記基板に対向配置された前記フィルムを前記基板に対して加圧して前記撥液材料層を前記凸部に転写させることが可能な加圧手段と、
前記フィルムの前記撥液材料層が形成されている側の面に紫外線を照射できる紫外線照射手段と、
前記紫外線の照射により前記蛍光材料から生じる蛍光を撮像して画像を形成できる撮像手段と、
前記画像を検査して、前記凸部に前記撥液材料層が充分に転写されたか否かを判定可能な判定手段と、
を備えることを特徴とする薄膜形成用基板の製造装置。 - 画素間で機能層を形成するための液剤を分離するための凸部の上面を処理するためのフィルムであって、
前記フィルムは、ベースフィルムと前記ベースフィルムの少なくとも一方の面に積層されている機能材料層とを有し、前記機能材料層の材料は、蛍光材料を含むことを特徴とするフィルム。 - 請求項8に記載のフィルムであって、
前記機能材料層は、撥液性を有する材料で構成されていることを特徴とするフィルム。 - 請求項8または9に記載のフィルムであって、
前記機能材料層の厚さは、可視光波長の1/10以下であることを特徴とするフィルム。
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