JP2011242522A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014184513A (ja) * 2013-03-22 2014-10-02 Toshiba Corp 電気部品およびその製造方法
JP6236987B2 (ja) * 2013-08-23 2017-11-29 ミツミ電機株式会社 光走査装置及び光走査ユニット
JP2021149007A (ja) 2020-03-19 2021-09-27 株式会社リコー 光反射素子、光偏向装置、画像投影装置、光書込装置、物体認識装置、移動体、及び、ヘッドマウントディスプレイ
WO2022270475A1 (ja) * 2021-06-25 2022-12-29 Agc株式会社 ミラー及びその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08254612A (ja) * 1995-03-15 1996-10-01 Canon Inc 多層膜光学部品およびその製造方法
JP2000284275A (ja) * 1999-03-31 2000-10-13 Hitachi Ltd 反射型液晶表示装置
JP4033286B2 (ja) * 2001-03-19 2008-01-16 日本板硝子株式会社 高屈折率誘電体膜とその製造方法
JP5394663B2 (ja) * 2008-06-20 2014-01-22 キヤノン電子株式会社 光走査用マイクロミラーデバイス、光走査装置、画像形成装置、表示装置および入力装置

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