JP2011242339A - テストヘッド、試験ボードおよび試験装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】テストヘッド上に被試験デバイスを載置するための接続部を載置している状態で、内部の試験ボードを挿抜する。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験ボードを保持するテストヘッドであって、試験ボードの挿抜用の開口が1つの側面に形成され、試験ボードの上辺を上面に向けた状態で試験ボードを内部に保持する筐体と、試験ボードの下辺を開口から予め定められた位置までガイドし、試験ボードの下辺に対して上側への力を加えて試験ボードを筐体に装着させる装着用部材と、を備えるテストヘッドを提供する。
【選択図】図6
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験ボードを保持するテストヘッドであって、試験ボードの挿抜用の開口が1つの側面に形成され、試験ボードの上辺を上面に向けた状態で試験ボードを内部に保持する筐体と、試験ボードの下辺を開口から予め定められた位置までガイドし、試験ボードの下辺に対して上側への力を加えて試験ボードを筐体に装着させる装着用部材と、を備えるテストヘッドを提供する。
【選択図】図6
Description
本発明は、テストヘッド、試験ボードおよび試験装置に関する。
半導体装置を試験する試験装置は、被試験デバイスとの間で信号を授受する試験ボードを内部に保持するテストヘッドと、被試験デバイスを搭載する接続部とを備える。被試験デバイスを搭載する接続部は、テストヘッド上に載置され、被試験デバイスと試験ボードとの間を電気的に接続する。
特許文献1 米国特許第7385385号明細書
特許文献2 日本国特許第4365213号明細書
特許文献1 米国特許第7385385号明細書
特許文献2 日本国特許第4365213号明細書
ところで、従来、試験装置は、試験ボードとテストヘッドとの間を確実に接続するために、接続用ボードの載置に先立って試験ボードをテストヘッド内に装着していた。従って、テストヘッド内の試験ボードを交換する場合には、テストヘッドから接続部を取り外さなければならなかった。
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、被試験デバイスを試験する試験ボードを保持するテストヘッドであって、前記試験ボードの挿抜用の開口が1つの側面に形成され、前記試験ボードの上辺を上面に向けた状態で前記試験ボードを内部に保持する筐体と、前記試験ボードの下辺を前記開口から予め定められた位置までガイドし、前記試験ボードの前記下辺に対して上側への力を加えて前記試験ボードを前記筐体に装着させる装着用部材と、を備えるテストヘッドを提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、本実施形態に係る試験装置10の外観の第1例を示す。試験装置10は、複数の被試験デバイスを並行して試験する。試験装置10は、複数のテストヘッド20と、1つの接続部22と、DUTボード24と、複数の連結部26と、制御部28とを備える。
複数のテストヘッド20のそれぞれは、被試験デバイスを試験する少なくとも1つの試験ボード30を内部に保持する。試験ボード30は、被試験デバイスと信号を授受して、被試験デバイスの良否を判定する。
複数のテストヘッド20のそれぞれは、外観形状が互いに同一の直方体である。複数のテストヘッド20は、一つの側面32同士が互いに接続するように並べて配置される。なお、テストヘッド20同士は、互いに機械的に固定がされない。
ここで、テストヘッド20の上面とは、被試験デバイスが搭載される面の側をいう。また、テストヘッド20の側面32とは、上面に対して垂直な面をいう。なお、試験をする場合において、テストヘッド20の上面が天井側に向いて配置されなくてもよい。
接続部22は、並べて配置された複数のテストヘッド20の上面に載置され、複数のテストヘッド20のそれぞれに個別に取り付けられる。接続部22は、一例として、並べて配置された複数のテストヘッド20における上面の全体以上の大きさを有するボード状の部材である。接続部22は、複数のテストヘッド20のそれぞれが内部に保持する複数の試験ボード30のそれぞれと、対応する被試験デバイスとを電気的に接続する。
DUTボード24は、接続部22上に載置される。DUTボード24は、試験において複数の被試験デバイスを搭載する。本例においては、試験装置10は、複数のテストヘッド20のそれぞれに対応した複数のDUTボード24を備える。
複数の連結部26は、接続部22と複数のテストヘッド20のそれぞれと連結する。複数の連結部26のそれぞれは、一例として、接続部22の上側から挿入され、接続部22を貫通して対応するテストヘッド20にネジ止めされるボルトである。
制御部28は、複数のテストヘッド20のそれぞれ内の試験ボード30とネットワークを介して接続される。そして、制御部28は、複数の試験ボード30のそれぞれによる試験を制御する。
このような試験装置10において、複数のテストヘッド20のそれぞれは、接続部22が取り付けられた状態で側面32から試験ボード30を取付けおよび取外しが可能とされる。複数のテストヘッド20のそれぞれは、一例として、接続部22が取り付けられた状態で、側面32を形成する板が取り外し可能となっている。そして、複数のテストヘッド20のそれぞれは、側面32を形成する板を取り外したことにより形成された開口を介して、試験ボード30を内部へ挿入し、または、内部から試験ボード30を取り出すことができる。
以上のような試験装置10によれば、複数のテストヘッド20が1つの接続部22により連結される。従って、試験装置10は、既存のテストヘッド20を用いて並行に試験可能な被試験デバイスの数を増やすことができる。これにより、試験装置10によれば、既存設備を有効に活用して、設備投資額を小さくすることができる。
図2は、ハンドラ装置100および本実施形態に係るテストヘッド20および接続部22を示す。接続部22が取り付けられた状態の複数のテストヘッド20は、一例として、ハンドラ装置100により被試験デバイスが搭載される。ここで、接続部22が取り付けられた状態の複数のテストヘッド20は、試験に先立って、ハンドラ装置100が被試験デバイスを接続部22上に搬送できる位置に移動される。この場合、接続部22が取り付けられた状態の複数のテストヘッド20は、接続部22を保持して移動される。
例えば、図2に示されるように、ハンドラ装置100は、接続部22の両辺を把持して、接続部22が取り付けられた状態の複数のテストヘッド20を、被試験デバイスを接続部22上に搬送できる位置に移動させる。これにより、ハンドラ装置100は、複数のテストヘッド20同士が互いに固定されていなくても、複数のテストヘッド20をまとめて移動することができる。
図3は、本実施形態に係る試験装置10の外観の第2例を示す。図4は、本実施形態に係る試験装置10の外観の第3例を示す。
試験装置10は、2つのテストヘッド20に限らず、3以上のテストヘッド20を備えてもよい。また、試験装置10は、上面が同一の方向を向いていれば、複数のテストヘッド20をどのように配置してもよい。
例えば、試験装置10は、図3に示されるように、4つのテストヘッド20を2列、2行に配置してもよい。また、例えば、試験装置10は、図4に示されるように、4つのテストヘッド20を1列に並べて配置してもよい。また、例えば、試験装置10は、図4に示されるように、複数のテストヘッド20を天井に対して垂直方向に配置してもよい。
このように、試験装置10は、複数のテストヘッド20の数および配置を自在に設定することができる。これにより、試験装置10によれば、複数のテストヘッド20をハンドラ装置100の仕様等に適した大きさに組み合わせることができる。
図5は、本実施形態に係るテストヘッド20の内部に1つの試験ボード30を挿入している状態を示す。図6は、本実施形態に係るテストヘッド20の内部に1つの試験ボード30を装着した状態を示す。
テストヘッド20は、筐体42と、少なくとも1つ装着用部材44とを備える。
筐体42は、中空の直方体であって、試験ボード30の挿抜用の開口46が1つの側面32に形成される。開口46は、試験においては、板等により塞がれる。開口46は、一例として、試験ボード30の取り付けおよび取り外しにおいて板が外されることにより、筐体42の一つの側面32に形成される。これにより、筐体42は、試験ボード30を側面32から内部に挿入させ、または、側面32から試験ボード30を抜き出すことができる。
筐体42は、試験において、試験ボード30の上辺34を上面48に向けた状態で試験ボード30を内部に保持する。試験ボード30は、被試験デバイスとの間で信号を授受するためのボード側コネクタ38を上辺34に有する。筐体42は、上面48における、試験ボード30が予め定められた位置に移動された場合にボード側コネクタ38と対向する位置にテストヘッド側コネクタ50を有する。
このような筐体42は、試験ボード30が上辺34を上面48に向けた状態で、上面48に装着されることにより、上面48に設けられたテストヘッド側コネクタ50が、試験ボード30の上辺34に設けられたボード側コネクタ38に電気的に接続する。そして、テストヘッド側コネクタ50は、筐体42の上部に載置される接続部22と電気的に接続している。従って、試験ボード30は、試験において、被試験デバイスとの間で信号を授受することができる。
装着用部材44は、試験ボード30を筐体42の内部に挿入する場合において、試験ボード30の下辺36を開口46から、筐体42の内部における予め定められた位置までガイドする。そして、装着用部材44は、筐体42の内部における予め定められた位置まで挿入された状態の試験ボード30の下辺36に対して上側への力を加えて、試験ボード30を筐体42に装着させる。より具体的には、装着用部材44は、試験ボード30における上辺34に設けられたボード側コネクタ38を、筐体42の上面48に設けられたテストヘッド側コネクタ50に装着させる。
また、装着用部材44は、筐体42に装着させた状態の試験ボード30に対して下側への力を加えて、試験ボード30を筐体42から離脱させる。より具体的には、装着用部材44は、試験ボード30における上辺34に設けられたボード側コネクタ38を、筐体42の上面48に設けられたテストヘッド側コネクタ50から離脱させる。
装着用部材44は、一例として、略棒状の部材である。装着用部材44は、一端52が開口46から筐体42の外部に露出している。さらに、装着用部材44は、筐体42の下面58から予め定められた高さまでの間で上下移動が可能に筐体42に取り付けられる。
装着用部材44は、一例として、他端54が開口46とは反対側の面(奥面56)に取り付けられる。この場合、装着用部材44の他端54は、筐体42の下面58から予め定められた高さの位置に取り付けられる。また、装着用部材44の他端54は、一例として、一端52が奥面56の取り付け位置(即ち、筐体42の下面58から予め定められた高さの位置)を中心に回転可能に、奥面56に取り付けられる。
このような装着用部材44は、図6に示されるように、試験ボード30が開口46から筐体42の内部まで挿入されて予め定められた位置に配置された状態で、一端52が上方向に押し上げられる。一端52は、一例として、てこ110により上方向に押し上げられる。
装着用部材44は、一端52が上方向に押し上げられると、試験ボード30の下辺36に突き当たり、試験ボード30の下辺36に上側の力を加える。これにより、装着用部材44は、試験ボード30の下辺36を予め定められた高さまで押し上げることができる。
そして、装着用部材44は、試験ボード30の下辺36を予め定められた高さまで押し上げることにより、試験ボード30におけるボード側コネクタ38を筐体42の上面48のテストヘッド側コネクタ50に装着させることができる。このように、装着用部材44は、試験ボード30の下辺36に対して上側への力を加えて試験ボード30を筐体42に装着させることができる。
また、装着用部材44は、試験ボード30の下辺36が予め定められた高さに位置する状態から、一端52が下方向に引き下げられる。一端52は、一例として、てこ110により下方向に引き下げられる。
装着用部材44は、一端52が下方向に引き下げられると、試験ボード30の下辺36に形成された爪等に引っかかり、試験ボード30の下辺36に下側の力を加える。これにより、装着用部材44は、試験ボード30の下辺36を予め定められた高さから引き下げることができる。
そして、装着用部材44は、試験ボード30の下辺36を予め定められた高さから引き下げることにより、試験ボード30におけるボード側コネクタ38を筐体42の上面48のテストヘッド側コネクタ50から離脱させることができる。このように、装着用部材44は、試験ボード30の下辺36に対して下側への力を加えて試験ボード30を筐体42から離脱させることができる。
さらに、装着用部材44は、図6に示されるように、固定部材60を有する。固定部材60は、装着用部材44における一端52を、試験ボード30の下辺36が予め定められた高さまで押し上げられた状態で固定する。固定部材60は、一例として、装着用部材44における一端52と筐体42の下面58との間に挿入されて、試験ボード30が下側に下がらないように保持する。これにより、装着用部材44は、試験中において、ボード側コネクタ38がテストヘッド側コネクタ50から脱落しないように、試験ボード30を保持することができる。
以上のような試験装置10は、テストヘッド20の上部に接続部22が載置されている状態で、テストヘッド20の内部の試験ボード30の挿抜をすることができる。これにより、試験装置10によれば、テストヘッド20から接続部22を取り外さずに、容易に試験ボード30を交換させることができる。
図7から図11は、本実施形態に係るテストヘッド20の部分的な構成の一例を示す。より詳しくは、図7は、試験ボード30が挿入され、装着用部材44が下げられた状態におけるテストヘッド20の部分的な構成を示す。図8は、試験ボード30が挿入され、装着用部材44が上げられた状態におけるテストヘッド20の部分的な構成を示す。図9は、図8のX1−X2線の断面を示す。図10は、試験ボード30が挿入されておらず、装着用部材44が下げられた状態におけるテストヘッド20の部分的な構成を示す。図11は、試験ボード30が挿入されておらず、装着用部材44が上げられた状態におけるテストヘッド20の部分的な構成を示す。
試験ボード30の上辺34には、ボード側コネクタ38が設けられている。筐体42の上面48におけるボード側コネクタ38に対応した位置には、テストヘッド側コネクタ50が設けられている。ボード側コネクタ38は、試験ボード30が装着用部材44により押し上げられたことに応じて、対応するテストヘッド側コネクタ50に装着する。このようなボード側コネクタ38およびテストヘッド側コネクタ50は、試験ボード30とテストヘッド20の上部に載置される接続部22とを電気的に接続することができる。
また、試験ボード30の上辺34には、位置決めピン62が設けられている。筐体42の上面48における位置決めピン62に対応した位置には、位置決め穴64が設けられている。位置決めピン62は、試験ボード30が装着用部材44により押し上げられたことに応じて、対応する位置決め穴64の内部に挿入する。このような位置決めピン62および位置決め穴64は、試験ボード30が装着用部材44により押し上げられたときに、試験ボード30の上辺34が予め定められた位置に移動するようにガイドして、ボード側コネクタ38を対応するテストヘッド側コネクタ50に確実に装着させることができる。
また、筐体42の上面48には、図9に示されるように、上側ガイド部66が設けられている。上側ガイド部66は、試験ボード30の上辺34の近傍において試験ボード30の両表面を挟み込むように支持する。このような上側ガイド部66は、試験ボード30が装着用部材44により押し上げられたとき、および、試験ボード30が開口46から筐体42の内部に挿入されたときにおいて、試験ボード30の上辺34が予め定められた位置に移動するようにガイドすることができる。
装着用部材44は、ボード支持部70と、レバー部72とを有する。ボード支持部70は、試験ボード30の下辺36を開口46から予め定められた位置までガイドするとともに、試験ボード30の下辺36を下側から支持する。レバー部72は、ボード支持部70を支持するとともに、筐体42の外部から与えられる力によりボード支持部70を押し上げる。また、レバー部72は、予め定められた高さまで押し上げたボード支持部70を、筐体42の外部から与えられる力により引き下げる。
ボード支持部70は、一例として、2つの内板76と、複数の中間部材78とを含む。
2つの内板76のそれぞれは、略長尺状の薄板であって互いに同一形状である。2つの内板76は、予め定められた間隔で、互いの平面が平行となるように配置される。2つの内板76は、筐体42内の下面58側であって、長辺に沿った方向の一端が開口46側に、他端が奥面56に突き当たる位置に配置される。さらに、2つの内板76は、互いの平面が筐体42の上下方向(即ち、筐体42の下面58から上面48へと向かう方向またはその逆方向)に対して平行となるように配置される。
複数の中間部材78のそれぞれは、2つの内板76における対向する平面の間に配置され、2つの内板76を連結する。複数の中間部材78のそれぞれは、2つの内板76を、試験ボード30における下辺36部分の厚さよりも少なくとも広い間隔で平行に固定する。複数の中間部材78のうち一部は、2つの内板76における上側の辺の近傍に配置される。
2つの内板76のそれぞれの平面には、長辺に沿った方向に並んだ複数の孔80が形成されている。本例においては、2つの内板76のそれぞれは、奥面56側に形成された第1の孔80−1と、略中間位置に形成された第2の孔80−2と、開口46側に形成された第3の孔80−3とを有する。
また、試験ボード30における下辺36には、当該試験ボード30を下側に引き下げるための係合爪92が形成されている。また、ボード支持部70における2つの内板76のそれぞれの上側の辺には、試験ボード30が筐体42内の予め定められた位置まで挿入された場合において、試験ボード30の下辺に形成された係合爪92に係合する係合ピン90が設けられている。
このようなボード支持部70は、2つの内板76における上側の辺の近傍に配置された中間部材78により、筐体42の内部に挿入された試験ボード30の下辺36を、下側から、下面58および上面48に対して平行に支持することができる。また、このようなボード支持部70は、2つの内板76における上側の辺の近傍部分および中間部材78により、溝が形成される。ボード支持部70は、この溝により、試験ボード30の下辺36を開口46から予め定められた位置までガイドすることができる。
レバー部72は、2つの外板82と、複数の連結ピン86と、ずれ防止部88と、固定部材60とを含む。
2つの外板82のそれぞれは、略長尺状であって互いに同一形状である。2つの外板82は、ボード支持部70を挟んで支持する。より具体的には、2つの外板82は、平行に配置された2つの内板76を挟んで支持する。
2つの外板82は、長辺に沿った方向の一端52が開口46から筐体42の外部に露出し、他端54が開口46とは反対側の奥面56に取り付けられる。2つの外板82の他端54は、一端52が上下方向に移動可能に奥面56に取り付けられる。2つの外板82は、一例として、他端54が軸84により奥面56における筐体42の下面58から予め定められた高さの位置に取り付けられる。そして、2つの外板82は、軸84を支点として回転することにより一端52が上下に動作する。
複数の連結ピン86のそれぞれは、ボード支持部70に形成された複数の孔80のそれぞれを貫通して、2つの外板82を連結する。本例においては、レバー部72は、第1の孔80−1を貫通する第1の86−1と、第2の孔80−2を貫通する第2の86−2と、第3の孔80−3を貫通する第3の86−3とを有する。
ここで、外板82の一端52が上方向に移動した場合、複数の連結ピン86のうち一部の連結ピン86が、対応する孔80の上部に突き当たる。これにより、レバー部72は、筐体42の外部からの力により一端52が上方向に移動すると、これにともなってボード支持部70を上方向に移動させることができる。
また、外板82の一端52が下方向に移動した場合、複数の連結ピン86のうち一部の連結ピン86が、対応する孔80の下部に突き当たる。これにより、レバー部72は、筐体42の外部からの力により一端52が下方向に移動すると、これにともなってボード支持部70を下方向に移動させることができる。
ずれ防止部88は、下面58に設けられ、ボード支持部70における開口46側の端部が筐体42の外側にずれないように規制する。これにより、ずれ防止部88および奥面56は、ボード支持部70における長辺に沿った方向の端部間を挟み込むことができる。従って、ずれ防止部88および奥面56は、ボード支持部70を平行に保った状態で上下に移動させることができる。
固定部材60は、外板82の一端52が上方向に予め定められた位置まで移動した状態において、一端52と下面58との間に挿入される。これにより、固定部材60は、外板82を予め定められた高さにおいて略平行に保持することができる。また、固定部材60は、一端52が予め定められた位置から下方向に移動する場合には、一端52と下面58との間から取り外される。固定部材60は、一例として、一端が折り込み可能に外板82に取り付けられ、外板82を平行な状態で固定する場合には、外板82に対して直角に折り込まれる部材である。
このようなレバー部72は、外板82における一端52が、上方向に移動可能となっている。レバー部72は、一端52が上方向に移動すると、ボード支持部70を共に上方向に移動させることができる。また、この場合において、ボード支持部70は、ずれ防止部88および奥面56により平行な状態で上方向に移動する。
また、このようなレバー部72は、外板82における一端52が、予め定められた高さから下方向に移動可能となっている。レバー部72は、一端52が下方向に移動するとボード支持部70を共に下方向に移動させることができる。また、この場合において、ボード支持部70は、ずれ防止部88および奥面56により平行な状態で下方向に移動する。
以上のようなボード支持部70およびレバー部72を有する装着用部材44は、次のような動作をする。まず、装着用部材44の一端52が筐体42の下面58に接している状態において、ユーザの手により試験ボード30が筐体42の内部に挿入される。この場合において、試験ボード30の下辺をボード支持部70に形成された溝に沿って挿入することにより、試験ボード30は、装着用部材44により筐体42内の予め定められた位置までガイドされる。
続いて、試験ボード30が筐体42の予め定められた位置まで挿入された状態において、装着用部材44におけるレバー部72の一端52がてこ110等により上方向に押し上げられる。レバー部72における一端52が上方向に押し上げられると、複数の連結ピン86のうち一部の連結ピン86が孔80の上部に突き当たり、ボード支持部70を上方向に移動させる。そして、ボード支持部70は、上方向に移動することにより、試験ボード30の下辺36を予め定められた高さまで押し上げることができる。これにより、試験ボード30における上辺34に設けられたボード側コネクタ38は、筐体42の上面48に設けられたテストヘッド側コネクタ50に装着する。このように装着用部材44は、試験ボード30を筐体42の内部に装着させることができる。
また、試験ボード30が筐体42に装着されている状態において、装着用部材44におけるレバー部72の一端52がてこ110等により下方向に引き下げられる。レバー部72における一端52が下方向に引き下げられると、複数の連結ピン86のうち一部の連結ピン86が孔80の下部に突き当たり、ボード支持部70を下方向に移動させる。ボード支持部70は、下方向に移動すると、係合ピン90が、試験ボード30の下辺36に形成された係合爪92に係合して、試験ボード30を下方向に引き下げる。試験ボード30は、下方向に引き下げられると、ボード側コネクタ38がテストヘッド側コネクタ50から離脱する。
そして、装着用部材44の一端52が筐体42の下面58に接している状態まで引き下げられると、ユーザの手により試験ボード30が筐体42の内部から取り出される。このように、装着用部材44は、筐体42に装着された試験ボード30を取り出し可能とすることができる。
なお、試験ボード30は、一例として、筐体42に挿入された状態における開口46側の横辺に、この横辺を補強する横辺補強部96が形成されていてもよい。横辺補強部96は、ユーザが試験ボード30を筐体42の内部に挿入する場合において、試験ボード30を容易にユーザに保持させることができる。
また、試験ボード30は、一例として、下辺36にこの下辺36を補強する下辺補強部98が形成されていてもよい。下辺補強部98は、筐体42が試験ボード30を押し上げる場合において、比較的に強い力を試験ボード30に加えて、ボード側コネクタ38とテストヘッド側コネクタ50とを確実に装着させることができる。
また、テストヘッド20は、試験ボード30が筐体42に装着された状態において、試験ボード30が開口46から外部へと脱落しないように規制する脱落防止部94を更に備えてもよい。脱落防止部94は、一例として、筐体42の上面48における開口46の近傍に、ヒンジ等を介して取り付けられる。そして、脱落防止部94は、試験ボード30が筐体42に装着された状態において、試験ボード30が筐体42の外部に脱落しないようにネジ止めがされる。また、脱落防止部94は、試験ボード30を着脱する場合において、ネジが外される。
以上のようなテストヘッド20は、上部に接続部22が載置されている状態で、内部の試験ボード30の挿抜をすることができる。これにより、テストヘッド20によれば、接続部22を取り外さずに、容易に試験ボード30を交換させることができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
10 試験装置、20 テストヘッド、22 接続部、24 DUTボード、26 連結部、28 制御部、30 試験ボード、32 側面、34 上辺、36 下辺、38 ボード側コネクタ、42 筐体、44 装着用部材、46 開口、48 上面、50 テストヘッド側コネクタ、52 一端、54 他端、56 奥面、58 下面、60 固定部材、62 位置決めピン、64 位置決め穴、66 上側ガイド部、70 ボード支持部、72 レバー部、76 内板、78 中間部材、80 孔、82 外板、84 軸、86 連結ピン、88 ずれ防止部、90 係合ピン、92 係合爪、94 脱落防止部、96 横辺補強部、98 下辺補強部、100 ハンドラ装置、110 てこ
Claims (14)
- 被試験デバイスを試験する試験ボードを保持するテストヘッドであって、
前記試験ボードの挿抜用の開口が1つの側面に形成され、前記試験ボードの上辺を上面に向けた状態で前記試験ボードを内部に保持する筐体と、
前記試験ボードの下辺を前記開口から予め定められた位置までガイドし、前記試験ボードの前記下辺に対して上側への力を加えて前記試験ボードを前記筐体に装着させる装着用部材と、
を備えるテストヘッド。 - 前記試験ボードは、前記被試験デバイスとの間で信号を授受するためのボード側コネクタを上辺に有し、
前記筐体は、前記上面における、前記試験ボードが予め定められた位置に移動された場合に前記ボード側コネクタと対向する位置にテストヘッド側コネクタを有し、
前記装着用部材は、前記試験ボードにおける前記ボード側コネクタを前記筐体の前記上面の前記テストヘッド側コネクタに装着させる
請求項1に記載のテストヘッド。 - 前記装着用部材は、
前記試験ボードの前記下辺を前記開口から予め定められた位置までガイドするとともに、前記試験ボードの前記下辺を下側から支持するボード支持部と、
前記ボード支持部を支持するとともに、前記筐体の外部から与えられる力により前記ボード支持部を押し上げるレバー部と、
を有する
請求項2に記載のテストヘッド。 - 前記レバー部は、一端が前記開口から前記筐体の外部に露出しており、他端が前記開口とは反対側の面に前記一端が上下方向に移動可能に取り付けられる
請求項3に記載のテストヘッド。 - 前記レバー部は、前記開口とは反対側の面における、前記筐体の下面から予め定められた高さの位置を中心として移動可能に設けられる
請求項4に記載のテストヘッド。 - 前記レバー部は、前記試験ボードが前記ボード支持部における予め定められた位置に配置された状態で、前記試験ボードの前記下辺が予め定められた高さまで押し上げられることにより、前記試験ボードにおける前記ボード側コネクタを前記筐体の前記上面の前記テストヘッド側コネクタに装着させる
請求項5に記載のテストヘッド。 - 前記装着用部材は、前記レバー部における前記一端を、前記試験ボードの前記下辺が前記予め定められた高さまで押し上げられた状態で固定する固定部材を更に有する
請求項6に記載のテストヘッド。 - 前記装着用部材は、前記試験ボードの前記下辺を前記予め定められた高さとしている状態から下側へ移動した場合、前記ボード支持部をともに下側に移動させ、
前記ボード支持部は、当該ボード支持部が下側に移動した場合、前記試験ボードに下側への力を加える
請求項7に記載のテストヘッド。 - 前記ボード支持部は、当該ボード支持部が下側に移動した場合、前記試験ボードの前記下辺に係合する係合ピンを有する
請求項8に記載のテストヘッド。 - 前記試験ボードが前記筐体に装着された状態において、前記試験ボードが前記開口から外部へと脱落しないように規制する脱落防止部
を更に備える請求項1から9の何れかに記載のテストヘッド。 - 請求項1から10の何れかに記載のテストヘッドに装着される試験ボード。
- 前記下辺を補強する下辺補強部が形成された
請求項11に記載の試験ボード。 - 前記下辺に前記係合ピンに係合する係合爪が形成された
請求項9に記載のテストヘッドに装着される試験ボード。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
請求項1から10の何れかに記載のテストヘッドと、
前記テストヘッド上に設けられ、前記上面に前記被試験デバイスを載置し、前記テストヘッド内の前記試験ボードと前記被試験デバイスとを接続する接続部と、
前記試験ボードによる試験を制御する制御部と、
を備える試験装置。
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