JP2011241038A - 液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロ - Google Patents

Abstract

【課題】液状処理剤を使用してワークを加工処理する装置内において加工処理するワークを搬送するコンベアコロの表面の汚れのワークへの付着を防止してワークが搬送コロと接触することによる加工処理製品の不良品の発生を低減させる。
【解決手段】
処理液使用の加工処理装置内にて回転軸１に支持され回転しながらその回転周面に加工処理用のワークＷを接触させながら搬送する搬送コロＡであって、回転軸１を軸方向として該回転軸に支持されて回転可能な円周面部２と回転軸方向の両側端面部３、３とを備え、円周面部に対して同心円内の同じ高さにワークと接触する搬送用凸部４と、処理液Ｌを排出する液排出用溝部５とを繰り返し略等間隔に備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス板や金属板等のワークを搬送しながら現像液やエッチング液等の加工処理液あるいは洗浄用水や洗浄処理液等の液体を供給して、現像、腐食、洗浄、乾燥処理するための液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロに関する。

一般的にガラス板や金属板等のワークをコンベア上に載置し搬送しながら、各種の処理液を用いて加工処理する液体加工処理装置としては、現像、腐食、洗浄、乾燥処理装置等がある。

液体加工処理装置の一例としては、フォトリソグラフィー法によるカラーフィルタの製造に使用され、例えばガラス基材上にレジストを塗布した後に、露光装置にてフォトマスクパターン（オリジナルパターン：原版）を露光して、その後にガラス基板に現像液をノズル等にて流し掛けながら余分なフォトレジスト（未露光部又は露光部のフォトレジスト）を除去することにより、ガラス基板面にはフォトマスクパターンにより描画されたフォトレジストパターンが形成される。このような液体加工処理装置としては、例えば特許文献１がある。

フォトリソグラフィー法を用いてガラス基材にパターンを形成する場合は、液体加工処理装置として、例えば、図５に示すように、現像装置内の現像処理部１１に設けられたワーク搬送用コンベア１２の回転する搬送コンベアコロＡの上にガラス基板Ｗを載置して、又は回転する搬送コンベアコロＡにより、ガラス基板Ｗを押さえて移動させながら、ガラス基板Ｗのワーク搬送用コンベア１２による搬送路の上方部に設けられた現像液吐出（噴出）ノズル部１３から、ガラス基板Ｗ面に現像液Ｌを吐出して現像処理が行われる。

また現像処理後の現像液Ｌの洗浄除去処理においても、その現像装置内の洗浄処理部１１にあるワーク搬送用コンベア１２に設けた回転する搬送コンベアコロＡの上に、現像されたガラス基板Ｗを載置して移動しながら、同様に洗浄液噴出ノズル部１３からガラス基板Ｗ面に、洗浄液Ｌ（水等）を吐出してガラス基板Ｗに付着する現像液Ｌの除去処理が行われる。

このように従来の現像処理装置においては、搬送コンベアコロＡ上を移動するガラス基板Ｗ（ワーク）の上部に設けられた現像ノズル１３より現像液Ｌを吐出して現像処理を行う。

このような液体加工処理装置にはノズルから吐出する加工処理液（フォトレジスト液、現像液、洗浄液など）が、ワーク（ガラス基板等）にほぼ均等に懸かるように、ノズルはガラス基板の搬送方向に対して垂直方向に揺動するようにした構造及び処理方式のものがあるが、このような加工処理においてワークＷを搬送する際には、搬送タイミングとして先行するワークＷと後続のワークＷとの間に僅かな隙間を設定して連続的に搬送したり、あるいはワークＷが搬送中にワーク搬送用コンベア１２上にて多少移動して搬送タイミングがずれ、連続的に搬送される先行するワークＷと後続のワークＷとの間に、不用意に隙間が生じたりする場合がある。

このような場合、現像液等の加工処理液Ｌは常に吐出ノズル１３より吐出されているため、搬送タイミングとして、ワークが搬送されていない場合でも、搬送コロ上に、加工処理液が降り掛かり、乾燥固化したり、未乾燥の状態で付着して、搬送コロを不用意に汚損
する問題があった。

フォトレジスト液や、現像液等の加工処理液が乾燥固化して汚れた状態の搬送コロ表面に、さらに加工処理液が降り掛かり、そのため加工処理液が搬送コロ表面に残留し易くなり、搬送コロ表面に残留液として付着した加工処理液が、搬送コロ表面に載置され、又は搬送コロにより上部から押さえられて、コロと接触しながら搬送されるワーク（ガラス基板等）の表面や裏面に転写してワークを汚す場合があった。

このようにワークに汚れが発生することにより製品不良を発生させ、良品率（歩留り）を低下させてしまうという問題があり、搬送コロの表面の汚れの付着や汚損を低減させ、加工処理装置内にて搬送されるワークの汚れを防止する必要ある。

特開２００５−３０３２３０号公報

本発明は、上記の問題点を解決することを課題とするものであり、液状処理剤を使用してワークを加工処理する装置内において、加工処理するワークを搬送するコンベアコロの表面の汚れのワークへの付着を防止して、ワークが搬送コロと接触することによる加工処理製品の不良品の発生を低減させることにある。

本発明の請求項１に係る発明は、処理液使用の加工処理装置内にて回転軸に支持され回転しながらその回転周面に加工処理用のワークを接触させながら搬送する搬送コロであって、回転軸を軸方向として該回転軸に支持されて回転可能な円周面部と回転軸方向の両側端面部とを備え、該円周面部に沿って回転軸を通る平面に対して同じ角度の傾斜方向に螺旋状に、円周面部に対して同心円内の同じ高さにワークと接触する搬送用凸部と、処理液を排出する液排出用溝部とを繰り返し略等間隔に備えることを特徴とする液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロである。

本発明の請求項２に係る発明は、処理液使用の加工処理装置内にて回転軸に支持され回転しながらその回転周面に加工処理用のワークを接触させながら搬送する搬送コロであって、回転軸を軸方向として該回転軸に支持されて回転可能な円周面部と回転軸方向の両側端面部とを備え、該円周面部に沿って回転軸を通る平面に対して同じ角度の傾斜方向に螺旋状に、円周面部に対して同心円内の同じ高さにワークと接触する搬送用凸部と、処理液を排出する液排出用溝部とを繰り返し略等間隔に備え、前記液排出用溝部は、前記両側端面部のうちいずれか一方の側端面部から他方の側端面部の方向に向かう深度が、その溝部が螺旋状に低く傾斜されている方向に深く形成されていることを特徴とする液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロである。

本発明の請求項３に係る発明は、上記請求項１又は２に係るワーク搬送コロにおいて、ワークと接触する前記搬送用凸部は、その頂部が回転軸と直交する方向の断面形状において、平坦面、凸湾曲面、丸突起状面、先鋭突起状面、鋸歯状面のいずれかを呈していることを特徴とする液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロである。

本発明の請求項４に係る発明は、上記請求項１又は２に係るワーク搬送コロにおいて、ワークと接触する前記搬送用凸部は、その回転軸と直交する方向の断面形状において、急傾斜面と緩傾斜面、又は急傾斜面と緩傾斜面とを備えた鋸歯状面を呈していることを特徴
とする液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロである。

本発明の請求項５に係る発明は、上記請求項４に係るワーク搬送コロにおいて、前記急傾斜面が回転上流側に、前記緩傾斜面が回転下流側に形成されていることを特徴とする液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロである。

本発明は、現像液やエッチング液、洗浄液などの液状処理剤を使用して、金属板や樹脂板などのワーク（加工材）を加工処理する装置内において、ワークを搬送コンベアにて搬送しながら加工処理するための搬送コンベア用のコロの構造に関するものであり、処理液使用の加工処理装置内にて、回転軸に支持され回転しながら、その回転周面にワーク（加工材）を載置し、又はその回転周面にてワーク（加工材）を押さえ、ワークに接触させながら搬送するワーク搬送コンベアコロである。

本発明のワーク搬送コンベアコロは、回転軸に支持されて回転可能な円周面部と回転軸方向の両側端面部とを備え、その円周面部に沿って螺旋状に、ワークと接触する搬送用凸部と、処理液を排出する液排出用溝部とを繰り返し略等間隔に備えているので、加工処理装置内にて加工処理液をワークに吐出（噴射）供給しながら、該ワークを搬送するコンベアコロにその加工処理液が降り掛かった際には、回転するコンベアコロは、ワークに対して、その螺旋状に突出する搬送用凸部により、不連続で断続的な面、線、点状に最小限の面積にて接触するため、ワークの裏面あるいは表面に対する処理液の付着による汚損を回避することができ、また、回転するコンベアコロは、螺旋状に陥入する液排出用溝部により、搬送用凸部に付着した処理液を滞留させずに、その凸部から溝部の方向に誘導させることができ、そのコンベアコロの液排出用溝部から加工処理装置内のコロ下部にある処理液の回収槽等に滴下させて回収することができる。

また本発明のワーク搬送コンベアコロの前記液排出用溝部は、コロ本体の両側端面部のうちいずれか一方の側端面部から、他方の側端面部の方向に向かう深度が、その溝部が螺旋状に低く傾斜されている方向に深く形成されているので、その液排出用溝部に誘導された処理液は、液排出用溝部における一方の側端面部から低く傾斜する他方の側端面部の溝部深度の深い方向に円滑に誘導することができ、前記一方の側端面部、他方の側端面部、コロ本体の側端面を伝って、加工処理装置内のコロ下部にある処理液の回収槽等に滴下させて回収することができる。

このように本発明の液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロは、液状処理剤を使用してワークを加工処理する装置内において、加工処理するワークを搬送するコンベアコロの表面の液状処理剤の付着による滞留を低減でき、コンベアコロの表面の液状処理剤による汚れのワークへの付着を防止して、ワークが搬送コロと接触することによる加工処理製品の不良品の発生を低減させることが可能となる。

本発明の液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロ及び搬送されるワークを説明する側面図。 本発明のワーク搬送コンベアコロの模式的全体斜視図。 本発明のワーク搬送コンベアコロの回転円周面部の部分的側面図。 本発明のワーク搬送コンベアコロの回転円周面部を説明する部分的斜視図。 液状処理剤使用加工処理装置における従来のワーク搬送コンベアコロ及び搬送されるワークを説明する側面図。

本発明の液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロの実施の形態について、図１に示すワーク搬送コンベアコロの側面図、図２に示すその模式的斜視図に基づいて以下に詳細に説明する。

図１に示すように、本発明のコンベアコロＡは、回転軸１を軸方向として、該回転軸１に支持されて回転可能な円周面部２と、その回転軸１の軸方向の両側端面部３、３とを備えている。

前記円周面部２に沿って、回転軸１（その中心軸Ｏ）を通る平面に対して、同じ角度θの傾斜するＰ方向に螺旋状に、該円周面部２に対して同心円内の同じ高さに、ワークＷと接触する搬送用凸部４と、処理液Ｌを排出する液排出用溝部５とを、繰り返し略等間隔に備えている。

本発明の搬送コンベアコロＡは、加工処理液Ｌを使用するワーク加工処理装置（図５参照）内にて、図１に示すように回転軸１に支持されてＲ方向に回転しながら、その回転周面に突出する搬送用凸部４に加工処理用のワークＷを載置して接触させ、該ワークＷの上方からは加工処理液Ｌを吐出（噴出）しながら、該ワークＷをＸ搬送方向に搬送するものである。

図１に示すように、搬送コンベアコロＡの搬送用凸部４と液排出用溝部５は、その側面形状が、その凸部４と溝部５とを一対として、その一対を略等間隔に繰り返して形成されているものであるが、凸部４の頂部４ａ面の形状は、図１に示すような平坦面、あるいは凸湾曲面等であって、その内側面４ｂ、４ｂは略垂直形状であってもよい。

また凸部４の頂部４ａ面の形状は、丸突起状面、先鋭突起状面、鋸歯状面であってもよく、例えば図３に示すように、搬送コンベアコロＡの搬送用凸部４と液排出用溝部５は、その側面形状が鋸歯状面を呈していてもよい。

図４は、本発明の搬送コンベアコロＡの他の実施の形態であり、図１、図２、図３に示すコンベアコロＡの液排出用溝部５において、そのコロＡの両側端面部３、３のうち、いずれか一方の側端面部３から他方の側端面部３の方向に向かう溝部５は、その溝部５内の底部５ａの深度が、その溝部５が、螺旋状に低く傾斜されている方向（図２中のＰ方向）により深くなるように、その溝部５の底部５ａが傾斜するように形成されているものである。図４中、ＮはコロＡの支軸１に平行な基準線、Ｑは溝部５の傾斜する底部５ａに沿った傾斜線てあり、底部５ａの傾斜角度は、基準線Ｎと傾斜線Ｑとの作る角度θである。

また、本発明の搬送コンベアコロＡのその他の実施の形態としては、図４に示すように一方の側端面部３から他方の側端面部３の方向に向かう溝部５において、その溝部５内の底部５ａの深度が、その溝部５が螺旋状に低く傾斜されている方向（図２中のＰ方向）により深くなるように、その溝部５の底部５ａが傾斜角度θに傾斜するように形成されているとともに、各々溝部５毎に、あるいは１つ置き又は複数置きの各溝部５毎に、その底部５ａの深度が浅くなる側端面部３側に露呈する前記溝部５（その露呈側）を閉鎖する遮蔽壁部６（点線による斜線ハッチング部位）を、凸部４の頂部面までの高さ若しくはそれ以下の高さにて設けることができる。これにより溝部５に付着し、貯留した処理液Ｌが、底部５ａが浅い側の側端面部３に流下するのを抑制するものである。

本発明の液状処理剤使用加工処理装置における搬送コンベアコロＡの動作及び機能について以下に、図面に基づいて説明する。

液状処理剤使用加工処理装置として、例えば、図５に示すような加工処理装置（現像装置）内の加工処理部１１（現像処理部）に、ワーク搬送用コンベア１２が設けられ、その回転する搬送コンベアコロＡの上にワークＷ（露光処理後の感光層を有するガラス基板）を載置して、又は回転する搬送コンベアコロＡによりワークＷの上面を押さえて移動させながら、ワークＷの搬送路の上方部に設けられた液状処理液噴出ノズル部１３からワークＷ面に、液状処理剤Ｌ（現像液）を吐出（噴出）して、ワークＷ加工処理（現像処理）を行う。

液状処理液Ｌによる加工処理（現像処理）後の処理液Ｌを洗浄除去する洗浄除去処理においても、その装置内の加工処理部１１に併設されたワーク搬送用コンベア１２に設けた回転する搬送コンベアコロＡの上に、処理液Ｌの付着したワークＷを載置して移動させながら、同様に処理液Ｌの吐出（噴出）ノズル部１２からワークＷ面に処理液Ｌとして洗浄液（純水、アルコール類等）を吐出して、ワークＷに付着した処理液Ｌ（例えば現像液）の洗浄除去処理を行う。

このようにして、図５に示す液状処理剤使用加工処理装置（例えば現像処理装置）において搬送コンベアコロＡは、その上を連続的に搬送移動させ、ワークＷの上方部に設けられた処理剤吐出ノズル１３より処理剤Ｌ（例えば現像液、液状洗浄剤）を吐出して、ワークＷの加工処理を行うものである。

本発明の搬送コンベアコロＡを使用する液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送用コンベア１２の上方部に配設した加工処理液Ｌ（フォトレジスト液、現像液、洗浄液など）を吐出する吐出（噴射）ノズル１３は、ワークＷ（ガラス基板等）を搬送するワーク搬送用コンベア１２に対して定位置に固定された定置方式であってもよいが、加工処理液ＬがワークＷにほぼ均等に掛かるように、ワークＷの搬送方向に対して直交する方向にワーク搬送用コンベア１２に対して往復移動（揺動）する揺動方式であってもよい。

本発明の液状処理剤使用加工処理装置（図５参照）におけるワーク搬送コンベアコロＡを使用したワーク搬送用コンベア１２によるワークＷの１枚ずつ（１個ずつ）の連続的な搬送タイミングとしては、先行するワークＷと後続のワークＷとの間に僅かな隙間を設定して連続的に搬送するか、あるいはワークＷが搬送中にワーク搬送用コンベア１２上にて多少移動して搬送タイミングがずれ、連続的に搬送される先行するワークＷと後続のワークＷとの間に不用意に隙間が生じた場合に、ワーク搬送用コンベア１２の上方部の吐出（噴射）ノズル１３から吐出して流下する加工処理液Ｌ（フォトレジスト液や現像液等）が前記先行するワークＷと後続のワークＷとの隙間からワーク搬送用コンベア１２に軸支された各ワーク搬送コンベアコロＡに降り掛かる。

図１に示すように、液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送用コンベア１２の支軸１に軸支されて回転方向Ｒに回転するワーク搬送コンベアコロＡは、その円周面部２に沿って設けた搬送用凸部４の頂面部（回転最外周）により、ワークＷ（例えば板状、シート状）をその裏面にて保持しながら搬送方向Ｘの前方に搬送されるが、その際に吐出（噴射）ノズルから吐出して流下する加工処理液Ｌ（フォトレジスト液や現像液等）は、先行するワークＷと後続のワークＷとの隙間から、ワーク搬送用コンベア１２に軸支されて回転する各ワーク搬送コンベアコロＡの回転最外周の搬送用凸部４及び処理液を誘導する溝部５に降り掛かり付着する。

図１に示す回転する搬送コンベアコロＡの略垂直方向内側面４ｂ、４ｂの凸部４、あるいは図３に示す回転する搬送コンベアコロＡの鋸歯状凸部４に降り掛かった処理液Ｌは、図３に示すように、その頂部面４ａから下流方向の処理液誘導用の溝部５（例えばその溝部５の底部５ａがコロＡの両側端面３、３側に亘って同じ深さ）に誘導されて、該溝部５からコロ側端面３、３に沿って流下して、ワーク搬送用コンベア１２の下方に配設された処理液回収槽（図示せず）内に排出されて回収される。

また、図１、図３に示すそれぞれ溝部５が、図４に示すように、その溝部５の底部５ａがコロＡの一側端面３から他側端面３側の方向に深く形成されている場合には、凸部４に付着した処理液Ｌは、頂部面４ａから下流方向の処理液誘導用の溝部５に誘導された後、該溝部５のコロＡの一側端面３から他側端面３側の方向に深く形成された傾斜角度θで傾斜する底部５ａに沿って流下し、コロ側端面３を流下して、ワーク搬送用コンベア１２の下方に配設された処理液回収槽（図示せず）内に排出されて回収される。

１…支軸
２…円周面部
３…側端面
４…凸部
５…溝部
６…遮蔽壁
Ａ…搬送コンベアコロ
Ｌ…処理液

Claims (5)

1. 処理液使用の加工処理装置内にて回転軸に支持され回転しながらその回転周面に加工処理用のワークを接触させながら搬送する搬送コロであって、回転軸を軸方向として該回転軸に支持されて回転可能な円周面部と回転軸方向の両側端面部とを備え、該円周面部に沿って回転軸を通る平面に対して同じ角度の傾斜方向に螺旋状に、円周面部に対して同心円内の同じ高さにワークと接触する搬送用凸部と、処理液を排出する液排出用溝部とを繰り返し略等間隔に備えることを特徴とする液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロ。
2. 処理液使用の加工処理装置内にて回転軸に支持され回転しながらその回転周面に加工処理用のワークを接触させながら搬送する搬送コロであって、回転軸を軸方向として該回転軸に支持されて回転可能な円周面部と回転軸方向の両側端面部とを備え、該円周面部に沿って回転軸を通る平面に対して同じ角度の傾斜方向に螺旋状に、円周面部に対して同心円内の同じ高さにワークと接触する搬送用凸部と、処理液を排出する液排出用溝部とを繰り返し略等間隔に備え、前記液排出用溝部は、前記両側端面部のうちいずれか一方の側端面部から他方の側端面部の方向に向かう深度が、その溝部が螺旋状に低く傾斜されている方向に深く形成されていることを特徴とする液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロ。
3. ワークと接触する前記搬送用凸部は、その頂部が回転軸と直交する方向の断面形状において、平坦面、凸湾曲面、丸突起状面、先鋭突起状面、鋸歯状面のいずれかを呈していることを請求項１又は２記載の液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロ。
4. ワークと接触する前記搬送用凸部は、その回転軸と直交する方向の断面形状において、急傾斜面と緩傾斜面、又は急傾斜面と緩傾斜面とを備えた鋸歯状面を呈していることを特徴とする上記請求項１又は２記載の液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロ。
5. 前記急傾斜面が回転上流側に、前記緩傾斜面が回転下流側に形成されていることを特徴とする請求項４記載の液状処理剤使用加工処理装置におけるワーク搬送コンベアコロ。

Images