JP2011239598A - リニアモータ、駆動ステージ及び案内部材 - Google Patents
リニアモータ、駆動ステージ及び案内部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011239598A JP2011239598A JP2010109625A JP2010109625A JP2011239598A JP 2011239598 A JP2011239598 A JP 2011239598A JP 2010109625 A JP2010109625 A JP 2010109625A JP 2010109625 A JP2010109625 A JP 2010109625A JP 2011239598 A JP2011239598 A JP 2011239598A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- cylindrical
- linear motor
- guide
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
【解決手段】筒状の電機子3のスペーサ33は、筒軸方向に略垂直に貫通する貫通ネジ孔331を備える。貫通ネジ孔331に案内部材30のシャフト302が取り付けられて案内部材30が電機子3に取り付けられる。案内部材30のシャフト302の端部に設けられており、シャフト302の外径よりも小なる外径を有するローラ301が電機子3の内面側に突出する。突出したローラ301は、磁石列部4の上面及び下面を支持し、磁石列部4を電機子3の筒軸方向に案内する。貫通ネジ孔331から案内部材30のシャフト302が取り外された場合、ローラ301が貫通ネジ孔331を通過して電機子3から取り外される。
【選択図】図5
Description
以下、実施の形態を図面を参照して具体的に説明する。本願に係るリニアモータは、例えば、ステージに載置された物体を直線状に移動させる駆動ステージに内蔵され、当該ステージを移動させる駆動源として用いられる。また、ステージに載置された物体をXY面内で移動させるXY駆動ステージに内蔵され、当該ステージをX方向及びY方向夫々に直線状に移動させる駆動源として用いられる。XY駆動ステージは、例えば電子顕微鏡等に試料ステージとして用いられ、当該試料ステージに載置された観察対象物を移動させる。また、XY駆動ステージは、例えば露光装置等に露光ステージとして用いられ、当該露光ステージに載置された露光対象物を移動させる。本実施の形態1では、ステージを直線状に移動させる駆動ステージの駆動源として用いられるリニアモータを例に挙げて説明する。
本実施の形態2は、実施の形態1のリニアモータが長尺平板状の磁石列部4を備えるのに対して、H型部材からなる磁石列部を備える。図7は、実施の形態2に係る駆動ステージを示す模式的側面図である。駆動ステージは、磁石列部8を有するリニアモータを備える。その他の各部は、実施の形態1と同様なので符号の違いを記載するに留める。駆動ステージは、複数の案内部材70と、ステージ案内部5と、ステージ部6と、レール部51、51と、レール嵌合部62、62、…、取付部52、52と、電機子7とを備える。電機子7は、3つの電機子ユニットが複数のスペーサを介して連結してなる。
11、51 レール部
12、52 取付部
13、53 開口部
2、6 ステージ部
21、42 取付ネジ
22、62 レール嵌合部
3、7 電機子(筒状部材)
30、70 案内部材
301、701 ローラ
301a、701a 針状ころ
301b、701b 軸部
302、702 シャフト
302a、702a シャフトネジ部
302b、702b 六角孔
702c フランジ
32、72 電機子ユニット
321、721 コイル
33、73 スペーサ
31 ネジ孔
331、731 貫通ネジ孔(貫通孔、貫通孔ネジ部)
4、8 磁石列部(長尺板状部材)
40 孔
41 永久磁石
Claims (5)
- 長尺板状部材が相対移動可能に挿通された筒状部材を有し、前記長尺板状部材及び筒状部材の一方を固定子とし、他方を可動子とされるリニアモータにおいて、
前記筒状部材の筒軸方向に対して略垂直に前記筒状部材を貫通する貫通孔と、
該貫通孔を貫通して前記筒状部材の内面から突出し、前記長尺板状部材の一面及び他面夫々を支持して前記筒軸方向に案内する少なくとも一対の案内部材とを備え、
該一対の案内部材夫々は、
前記貫通孔を貫通して着脱自在に取り付けられるシャフトと、
該シャフトの端部に前記筒軸方向に対して回転軸が略直交するよう回転自在に設けられ、外周面が前記長尺板状部材を支持し、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラと
を備えることを特徴とするリニアモータ。 - 前記シャフトの外周面に設けられたシャフトネジ部と、
前記貫通孔の内周面に設けられており、前記シャフトネジ部が螺合する貫通孔ネジ部と
を備えることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。 - 前記長尺板状部材は、H型部材であり、
前記案内部材は、前記H型部材のフランジを支持してあることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。 - 長尺板状部材が相対移動可能に挿通された筒状部材を有し、前記長尺板状部材及び筒状部材の一方を固定子とし、他方を可動子とされるリニアモータと、該リニアモータの駆動により前記筒軸方向に移動するステージ部とを備えた駆動ステージにおいて、
前記筒軸方向に対して略垂直に前記筒状部材を貫通する貫通孔と、
該貫通孔を貫通して前記筒状部材の内面から突出し、前記長尺板状部材の一面及び他面夫々を支持して前記筒軸方向に案内する少なくとも一対の案内部材とを備え、
該一対の案内部材夫々は、
前記貫通孔を貫通して着脱自在に取り付けられるシャフトと、
該シャフトの先端に前記筒軸方向に対して回転軸が略直交するよう回転自在に設けられ、外周面が前記長尺板状部材の一面又は他面を支持し、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラと
を備えることを特徴とする駆動ステージ。 - リニアモータが有する筒状部材の筒軸方向に挿通された長尺板状部材を前記筒軸方向に案内する案内部材であって、
前記筒状部材を貫通して取り付けられるシャフトと、
該シャフト部の先端に突設してあり、前記シャフトの軸に対して回転軸が略一致するよう回転自在に設けられ、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラと
を備えることを特徴とする案内部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010109625A JP5540873B2 (ja) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | リニアモータ、駆動ステージ及び案内部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010109625A JP5540873B2 (ja) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | リニアモータ、駆動ステージ及び案内部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011239598A true JP2011239598A (ja) | 2011-11-24 |
JP5540873B2 JP5540873B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=45326934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010109625A Active JP5540873B2 (ja) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | リニアモータ、駆動ステージ及び案内部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5540873B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113258745A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-08-13 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种高速直线运动装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62126857A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-09 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | リニアモ−タの移動子およびその作成方法 |
JPS63217965A (ja) * | 1987-03-05 | 1988-09-12 | Shinko Electric Co Ltd | リニアモ−タ |
JP2001211631A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-08-03 | Sodick Co Ltd | リニアモータの組み付け装置および組み付け方法 |
JP2003244925A (ja) * | 2002-02-19 | 2003-08-29 | Hitachi Ltd | 駆動装置 |
JP2006509487A (ja) * | 2002-12-09 | 2006-03-16 | ドルマ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | ガイドキャリッジを安定化させるための安定化装置、特にリニア駆動装置によって運動可能なスライドドア又はこれに類したもの用のガイドキャリッジを安定化させるための安定化装置 |
JP2006223091A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-08-24 | Yamaha Motor Co Ltd | リニアモータ式単軸ロボット |
JP2006320035A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Hitachi Ltd | リニアモータ |
-
2010
- 2010-05-11 JP JP2010109625A patent/JP5540873B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62126857A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-09 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | リニアモ−タの移動子およびその作成方法 |
JPS63217965A (ja) * | 1987-03-05 | 1988-09-12 | Shinko Electric Co Ltd | リニアモ−タ |
JP2001211631A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-08-03 | Sodick Co Ltd | リニアモータの組み付け装置および組み付け方法 |
JP2003244925A (ja) * | 2002-02-19 | 2003-08-29 | Hitachi Ltd | 駆動装置 |
JP2006509487A (ja) * | 2002-12-09 | 2006-03-16 | ドルマ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | ガイドキャリッジを安定化させるための安定化装置、特にリニア駆動装置によって運動可能なスライドドア又はこれに類したもの用のガイドキャリッジを安定化させるための安定化装置 |
JP2006223091A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-08-24 | Yamaha Motor Co Ltd | リニアモータ式単軸ロボット |
JP2006320035A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Hitachi Ltd | リニアモータ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113258745A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-08-13 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种高速直线运动装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5540873B2 (ja) | 2014-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5240543B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータの組立方法 | |
JP5253114B2 (ja) | リニアモータ | |
JP5292707B2 (ja) | 可動磁石型リニアモータ | |
US7471018B2 (en) | Linear motor and manufacturing method of linear motor | |
US10381911B2 (en) | Linear motor, magnet unit, and stage device | |
JP2010200518A (ja) | 永久磁石回転機用回転盤及び永久磁石回転機の製造方法 | |
JP2007110822A (ja) | 周期磁界発生装置とその製造方法およびこの周期磁界発生装置を用いたリニアモータ | |
JP2008193760A (ja) | リニアモータ | |
JP2008199726A (ja) | リニアモータおよびそれを備えた工具移動装置 | |
US20110221283A1 (en) | Mover, armature, and linear motor | |
CN104813571B (zh) | 致动器和致动器的制造方法 | |
JP2011067030A (ja) | リニアモータの界磁およびそれを備えたリニアモータ | |
JP5540873B2 (ja) | リニアモータ、駆動ステージ及び案内部材 | |
US20070234552A1 (en) | Method for Manufacturing Linear Motor | |
JP2018102081A (ja) | リニアモータ用電機子、リニアモータ及びリニアモータ用電機子の製造方法 | |
KR101411638B1 (ko) | 안내 기구 및 리니어 모터 | |
JP5140103B2 (ja) | リニアモータ対、移動ステージ、及び電子顕微鏡 | |
JP4534194B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータ及びその固定子の磁気回路の組立方法 | |
JP5365775B2 (ja) | リニアモータシステムの製造方法及びリニアモータシステム | |
JP2005039941A (ja) | 円筒形リニアモータ | |
JP2005094970A (ja) | 永久磁石形モータのロータ着磁・挿入方法および装置。 | |
JP5088536B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータの組立方法 | |
JP5447308B2 (ja) | リニアモータ | |
JP6529894B2 (ja) | コアレスリニアモータ | |
JP5664177B2 (ja) | リニアモータ及びリニア駆動ステージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140306 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5540873 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |