JP2011232269A - 通気制御デバイス、ガスセンサ、及びガス検出器 - Google Patents
通気制御デバイス、ガスセンサ、及びガス検出器 Download PDFInfo
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Abstract
【構成】 ガス流路となる間隙を備えた導電体からなる通気制御デバイスであって、ガス流路付近の導電体表面に、疎水性でかつ導電体表面に垂直な方向への導電性を備えた高分子薄膜がコーティングされている。
【効果】 拡散制御孔が結露で目詰まりすることがない。かつ導電性が失われない。
【選択図】 図3
Description
この発明の課題はまた、高湿雰囲気中でガスセンサの拡散制御孔が結露により目詰まりし、一時的にガス感度が失われるおそれを無くすことにある。
CH3-[Si(CH3)2O]m-[Si(CH3)(R1NH2)O]n-Si(OR2)3 である。 R1はアルキレン基またはアルキル基、R2は水素原子またはアルキル基,m,nは各々1〜20程度の整数である。末端のCH3基により撥水性が発現し、末端のCH3基は適宜のアルキル基に置換できる。(R1NH2)中のアミノ基NH2は疎水性膜41の内部で架橋して膜の強度を増すが、無くても良い。基端のSi(OR2)3基は拡散制御板20の表面酸素原子あるいは表面金属原子に配位し、R2基は配位により失われることがある。なお疎水性膜と拡散制御板20との間に、プライマーの層を導入しても良いが、その場合、プライマーの厚さも疎水性膜41の厚さに含める。
4 金属缶
6 水
8 封孔体
10,12 孔
14 活性炭シート
16 弾性スペーサ
18 ガスケット
20 拡散制御板
22 拡散制御孔
24 ガスセンサ本体
25 ワッシャ
26 孔
28 くぼみ
30 多孔質セパレータ
31 検知極
32 対極
33,34 疎水性カーボンシート
40 金属板
41 疎水性膜
42,44 水滴
Claims (6)
- ガス流路となる間隙を備えた導電体であって、ガス流路付近の導電体表面に、疎水性でかつ導電体表面に垂直な方向への導電性を備えた高分子薄膜がコーティングされている通気制御デバイス。
- 前記高分子薄膜がフッ素系樹脂またはシリコーン系樹脂から成ることを特徴とする、請求項1の通気制御デバイス。
- 前記フッ素系樹脂の高分子薄膜の膜厚が3〜400nmであることを特徴とする、請求項2の通気制御デバイス。
- 前記シリコーン系樹脂の高分子薄膜の膜厚が10〜1000nmであることを特徴とする、請求項2の通気制御デバイス。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の通気制御デバイスを備えたことを特徴とするガスセンサ。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の通気制御デバイスを備えたことを特徴とするガス検出器。
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