JP2011227015A - 物理量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】力覚センサ1は、外力又は慣性力が作用する作用部と、作用部を支持する支持部と、作用部及び支持部を連結する連結部と、連結部に配置された歪検出用抵抗素子Sを含むフルブリッジ回路FBと、フルブリッジ回路FBにパルス波形電圧を印加する信号入力部9と、パルス波形電圧が印加されたフルブリッジ回路FBからの出力信号が入力されるA/D変換部53と、を備える。
【選択図】図6
Description
図1に示すように、自動作業装置Rは、例えばいわゆるロボットハンドであり、製品を製造する工場のラインに沿って設置されている。自動作業装置Rは、床面に設置された装置本体R1と、装置本体R1の上部に設置された腕部R2と、腕部R2の先端に設けられた把持部R3と、を有している。
腕部R2は、複数の関節部rを有しており、水平方向或いは垂直方向に回動して、先端の把持部R3を所望の位置や向きに配置することが可能になっている。
把持部R3は、対象物たる部品Pに接触する一対の接触部R4と、一対の接触部R4を互いに近接・離間させる駆動部R5とを有している。接触部R4の内部には、接触部R4が部品Pから受ける外力Fを検知するための力覚センサ1が設置されている。
装置本体R1は、腕部R2や把持部R3の動作を制御する制御部R6や電源装置(図示省略)等を有している。
自動作業装置Rは、例えば、予め記憶されたプログラムにしたがって、作業台Dに載置された対象物たる部品Pを把持部R3で把持した後、腕部R2を駆動して製品の取付位置まで部品Pを運搬し、部品Pを製品に取り付ける動作を行う。
図2(a)に示すように、接触部R4は、中空筒状を呈する金属製の本体部R4aと、この本体部R4aの表面に被覆されたエラストマーR4bと、を有している。
接触部R4には、部品Pを把持するときに部品Pから受ける反力F1と、部品Pが滑ったときに、部品PとエラストマーR4bとの間に生じる摩擦力F2と、が作用する。
なお、以下の説明においては、反力F1と摩擦力F2とを合わせて外力Fという場合がある。
エラストマーR4bは、いわゆるゴムであり、例えばシリコーンゴムやフッ素ゴムなどで構成されている。エラストマーR4bは、本体部R4aを構成する金属材料などに比較して低い固有振動数を有しており、接触部R4と部品Pとの間に滑りが生じたときに、低い周波数の振動を発生させる機能を有している。
力覚センサ1は、図2(a),(b)に示すように、台座11と、円筒形の減衰機構12と、力覚センサ用チップ2とから構成される。
力覚センサ用チップ2は、6軸力センサチップであり、図3に示すように、平面視で略正方形のベース部材20上に構成されている。そして、当該ベース部材20は、図3に示すように、外力F(図2参照)が伝達される作用部21と、連結部23を介して作用部21を支持する支持部22と、作用部21と支持部22とを連結する連結部23と、を備えている。
かかるモニタ用抵抗素子Tは、ベース部材20の支持部22上に配置されてもよいが、本実施形態においては、1個のモニタ用抵抗素子Tが、ベース部材20の連結部23上の貫通孔Hと、貫通孔Hから延設された貫通孔H1,H2と、に囲まれた開放端上に配置されているとともに、2個のモニタ用抵抗素子Tが貫通孔Lに囲まれた開放端上に配置されており、ベース部材20の変形の影響を受けないように構成されている。かかるモニタ用抵抗素子Tは、少なくとも1個設けられていればよい。
ベース部材20の外周縁には、各辺に沿って所要の幅にてほぼ正方形リング状のGND(接地(GROUND))配線29が形成されている。このGND配線29には、後記するGND電極パッド26が接続されている。なお、正方形リング状のGND配線29は一例であり、一定電位にするものであれば、どのようなものでもよい。
歪検出用抵抗素子Sは、図4に示すように、配線28を介して信号電極パッド25及びGND電極パッド26と接続されている。
また、信号電極パッド25は、後記する信号入力部9(図5参照)と接続されている。
温度補償用抵抗素子27は、図4に示すように、配線28を介して信号電極パッド25及びGND電極パッド26と接続されている。
歪検出用抵抗素子Sと温度補償用抵抗素子27は、図5に示すように、力覚センサ用チップ2の内部において、フルブリッジ回路FBの下半分に対応するハーフブリッジ回路HBを構成している。
信号入力部9は、例えば交流電源で構成されており、歪検出用抵抗素子S及び温度補償用抵抗素子27に、所定電圧の初期信号を所定周波数Aで入力する機能を有している。
なお、温度補償用抵抗素子27は、前記したように、環境温度によってのみ抵抗値が変化する位置に配置されているため、モニタ出力信号Vmは、外力Fの影響を受けていない純粋な環境温度を示す値となる。
これは、通電によって歪検出用抵抗素子Sが自己発熱し、抵抗が変化すること、いわゆるドリフトによる影響である。
本実施形態に係る力覚センサ1によると、パルス波形電圧をkHzオーダーの高周波とすることができるため、歪検出用抵抗素子Sに流れる電流量を少なくし、自己発熱によるドリフトを抑え、出力信号Vs3,Vm3が定常状態に達するまでの時間を短くすることができる。
9 信号入力部(電圧印加部)
21 作用部
22 支持部
23 連結部
51 フィルタ部
52 バッファ部
53 A/D変換部
FB フルブリッジ回路(ホイートストンブリッジ回路)
S 歪検出用抵抗素子
Claims (2)
- 力又は加速度を検出する物理量センサであって、
外力又は慣性力が作用する作用部と、
前記作用部を支持する支持部と、
前記作用部及び前記支持部を連結する連結部と、
前記連結部に配置された歪検出用抵抗素子を含むホイートストンブリッジ回路と、
前記ホイートストンブリッジ回路にパルス波形電圧を印加する電圧印加部と、
前記パルス波形電圧が印加された前記ホイートストンブリッジ回路からの出力信号が入力され、当該出力信号をデジタル変換して出力するA/D変換部と、
を備えることを特徴とする物理量センサ。 - 前記ホイートストンブリッジ回路からの前記出力信号が入力されるフィルタ部と、
前記フィルタ部からの出力信号が入力されるバッファ部と、
をさらに備え、
前記パルス波形電圧が印加された前記ホイートストンブリッジ回路からの出力信号は、前記フィルタ部及び前記バッファ部を介して前記A/D変換部に入力される
ことを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
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