JP2011222862A - 放熱性複合シート及びその製造方法 - Google Patents

放熱性複合シート及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2011222862A
JP2011222862A JP2010092306A JP2010092306A JP2011222862A JP 2011222862 A JP2011222862 A JP 2011222862A JP 2010092306 A JP2010092306 A JP 2010092306A JP 2010092306 A JP2010092306 A JP 2010092306A JP 2011222862 A JP2011222862 A JP 2011222862A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
layer
sheet
silicone resin
heat dissipation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010092306A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5495429B2 (ja
Inventor
Akihiro Endo
晃洋 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2010092306A priority Critical patent/JP5495429B2/ja
Publication of JP2011222862A publication Critical patent/JP2011222862A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5495429B2 publication Critical patent/JP5495429B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】放熱性、熱伝導性、信頼性が供に向上すると供に、可撓性を有し、かつ簡便に製造することができる放熱性複合シート及びその製造方法の提供。
【解決手段】(a)可撓性を有する放熱性シート層及び(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層を積層してなる放熱性複合シート。前記(a)層が、発熱体から前記(b)層を通して伝導された熱を吸収・拡散し、表面から赤外線を放熱する放熱性シート層であると共に、前記(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層が、粘着性を有するシリコーン樹脂マトリックス中に熱伝導性充填剤が分散されてなるシート層であることを特徴とする。
【選択図】なし

Description

本発明は、発熱性電子部品等の放熱性シートとして用いられる放熱性複合シート及びその製造方法に関する。
テレビ、コンピュータ、通信装置等の電子機器の小型化により、これらに搭載される回路の集積度が増大している。そして、この集積回路に実装される電子部品、特にCPU等のICパッケージは発熱によって性能が低下するため、放熱対策として、ICパッケージ等の熱を伝導して外部に放出すため、金属板等からなるヒートシンクが用いられている。
更に、熱伝導効率を高めるために、従来、ヒートシンクとICパッケージとの間に、熱伝導性の良いグリース、シリコーンゴムシート等を介在させる。
しかしながら、従来、放熱効果を高めるためには、ヒートシンクの表面積を増やすことが必要となるので、ヒートシンクが大容量又は大質量となる傾向がある。このような傾向は、電子機器のさらなる小型化を考慮した場合、大きな弊害となる。
このようなことから、熱伝導率の高いアルミニウム板や銅板の表面に、遠赤外線の放熱性に優れた皮膜を形成し、熱を系外に放熱して熱対策を行う放熱性シートが開示されている。
例えば、赤外線の放熱率が高いコージライト粉粒体を焼成して得られたセラミック板を放熱層とし、この放熱層の一方の面に無電解メッキまたは蒸着によって銅薄膜の導電層を形成した放熱板の導電層の側を、熱伝導性接着剤を介して電子部品を取付けた基板に接着して、電子部品から発生する熱を放出するシートが開示されている(特許文献1)。
しかしながら、この技術においては、粉粒体を焼成したセラミック板を放熱層として用いているため、シートの剛性が高く、貼付する発熱部品の表面が平面でなく湾曲しているような場合等には、貼付が困難であるという問題があった。
また、放熱層がセラミック板であるため、切断等が困難である上、放熱性シートとして必要な形状を得るためには成形用の金型が必要である。そのため、即応性を持たないだけでなく、放熱性シートの製作が困難であり、製作には多大な労力を要するという問題があった。
このような問題を解決するために、可撓性を有する放熱性シートとして、熱伝導性を有する可撓性の吸熱層の表面に、赤外線放熱効果を有する可撓性の放熱膜を形成し、前記吸熱層の裏面に熱伝導性接着剤からなる接着層を形成することを特徴とする放熱性シートが開示されている(特許文献2)。
しかしながら、上記放熱性シートの場合、発熱体と放熱性シートは、熱伝導率の極めて小さい粘着テープを介して一体化されるため、発熱体から放熱性シートへの熱伝達が効率的に行われず、期待通りの放熱効果が得られない場合があった。
また、熱伝導性の粘着テープを用いる場合においても、その樹脂マトリクスがアクリル樹脂であるために、高温下での信頼性に問題があった。
また、熱伝導性グリースや接着剤により、発熱体と放熱性シートを、密着又は接着させる方法もあるが、グリースを使用して密着させた場合、グリースからのオイルの滲み出しや、グリース自身が温度サイクルにより系外に流出するポンピングアウト現象を避けることができず、周辺環境の汚染や、熱伝導性能の低下という問題がある。また、接着する場合であっても、接着剤を硬化するプロセスが必要となり、コストの面で不利である。
このように、単純に従来の放熱材料と放熱性シートを組み合わせて使用する場合では、放熱性能、高信頼性、低コストをともに満足するものは得られない。
特開平10−116944号公報 特開2004−200199号公報
本発明者らは、上記した従来の欠点を改善するために鋭意検討を重ねた結果、放熱性シートと、シリコーン樹脂及び熱伝導性充填剤を含有し、粘着性を有する熱伝導性シリコーン樹脂シートを、室温圧着又は熱圧着して積層させることにより、放熱性、熱伝導性及び信頼性が供に向上されるだけでなく、比較的小さな力で撓ませることができる放熱性複合シートを、簡便に製造することができることを見出し、本発明を達成するに至った。
従って、本発明の第1の目的は、放熱性、熱伝導性及び信頼性が供に向上されると供に、可撓性を有し、成形が容易である放熱性複合シートを提供することにある。
本発明の第2の目的は、放熱性、熱伝導性及び信頼性が供に向上されると供に、可撓性を有する放熱性複合シートの簡便な製造方法を提供することにある。
即ち本発明は、(a)可撓性を有する放熱性シート層及び(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層を積層してなる放熱性複合シートであって、前記(a)層が、発熱体から前記(b)層を通して伝導された熱を吸収・拡散し、表面から赤外線を放熱する放熱性シート層であると共に、前記(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層が、粘着性を有するシリコーン樹脂マトリックス中に熱伝導性充填剤が分散されてなるシート層であることを特徴とする放熱性複合シート、及び、その製造方法である。
本発明においては、前記(a)層の300℃における、波長2.5〜20μmの分光放熱率が80%以上であると供に、前記(b)層の熱伝導率が0.5W/m・K以上であることが好ましく、前記熱伝導性充填剤の体積平均粒径は、レーザー回折・散乱法による測定値で、0.1〜100μmであることが好ましい。
本発明により、熱伝導性、放熱性及び信頼性に優れていると供に、成形が容易な放熱性複合シートが得られる。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の放熱性複合シートは、(a)可撓性を有する放熱性シート層及び(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層を積層してなる。ここで、前記(a)放熱性シート層は、発熱体から(b)層を通して伝導された熱を、吸熱・拡散し、これを表面から赤外線として系外へ放散する。
前記(a)層の厚さは、0.05〜5mmの範囲であることが好ましく、0.1〜3mmであることがより好ましい。厚さが0.05mm未満では強度が不足する場合があり、5mmを超えると複合シートの柔軟性が損なわれるおそれがある上、複合シート全体の厚さが増し、厚さ方向の熱伝導性が損なわれるおそれがある。
前記(a)層の放熱性は、300℃における、波長2.5〜20μmの分光放熱率が80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましい。
尚、分光放熱率は、JIR-5500(日本電子製の商品名)等のフーリエ変換赤外分光光度計で測定することができる。
(a)層としては、「スーパーレイ」(古河スカイ株式会社製の商品名)等の市販のものを使用することができる。
本発明で使用する(a)放熱性シート層は、吸熱・熱拡散層及び放熱層の2層としてもよい。2層にする場合には、熱伝導性を有する可撓性の吸熱・熱拡散層の表面に、赤外線放熱効果を有する可撓性の放熱層が形成される。
上記吸熱・熱拡散層は、アルミニウムまたはその合金、銅またはその合金、ステンレス鋼等の金属材を用いた熱伝導性を有する薄板であって、比較的小さな力で撓ませることができるように、可撓性を有しているものであることが必要である。
放熱層は、吸熱・熱拡散層上に形成された塗膜であり、伝導された熱を赤外線及び/又は遠赤外線に変換して放熱する赤外線放熱効果を有すると共に、比較的小さな力で撓ませることができるように可撓性を有していることが必要である。
放熱層の放熱性については、300℃における、波長2.5〜20μmの分光放熱率が80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましい。
尚、分光放熱率は、JIR-5500(日本電子製の商品名)等のフーリエ変換赤外分光光度計で測定することができる。
このような放熱層は、例えば、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化チタン、カーボンブラック、グラファイト、炭素繊維等から選択された少なくとも1種の粉体を、エポキシ系樹脂、フッ素系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂などのバインダ樹脂に配合し、得られた液状体を、吸熱・熱拡散層表面にスプレー等で直接吹付けた後、乾燥させることによって形成される。
上記の塗膜を形成するために使用される液状体としては、カオリン、酸化珪素、酸化アルミニウム等の粉体を、シリコーン樹脂を含むエマルジョンに含有させた組成物等も使用することができるが、本発明はこれらの例に限られるものではなく、赤外線放熱効果および可撓性を有する塗膜を形成することができるものであればよい。
このような液状体の例としては、セラックα(商標登録第4577163号:セラック(株)製の商品名)が挙げられる。
本発明の放熱性複合シートにおける(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層は、粘着性を有するシリコーン樹脂マトリックス中に熱伝導性充填剤が分散されてなり、(a)層と発熱体とを密着させる機能を有するとともに、良好な熱伝導性を確保してシート全体の熱伝導性も向上させるものである。
シリコーン樹脂は、粘着性を有するものであれば、特にその種類は制限されるものではない。
(b)層の例としては、両面に粘着性を有する熱伝導性シリコーン両面粘着テープ、又は熱軟化性を有する熱伝導性シリコーンシートが挙げられる。ここで「熱軟化性」とは、熱により軟化する性質の他、低粘度化又は融解する性質、若しくは融解して表面が流動化する性質も含む。
熱伝導性シリコーンシート層(b)として熱軟化性を有する熱伝導性シリコーンシートを用いた場合には、電子部品の動作等による発熱により、熱伝導性シリコーンシートが固体から液体若しくは流動体や半流動体へと相変化し、又は熱軟化することにより、発熱体が(a)層と良好に密着し、若しくは、(b)層が有する粘着性によって発熱体と(a)層とを良好に接着する。
これにより、放熱性複合シート全体の熱伝導性能が向上する。
熱伝導性シリコーンシート層(b)内に充填される熱伝導性充填剤としては、一般に熱伝導性充填剤とされる物質であれば如何なる充填剤でもよく、通常、金属粉末、金属酸化物粉末、セラミック粉末等が用いられる。具体的には、アルミニウム粉末、銅粉末、銀粉末、ニッケル粉末、金粉末、酸化アルミニウム粉末、酸化亜鉛粉末、酸化マグネシウム粉末、酸化鉄粉末、酸化チタン粉末、酸化ジルコニウム粉末、窒化アルミニウム粉末、窒化ホウ素粉末、窒化珪素粉末、ダイヤモンド粉末、カーボン粉末、フラーレン粉末、カーボングラファイト粉末などが挙げられる。
これらは1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。
熱伝導性充填剤の体積平均粒径は、マイクロトラック粒度分布測定装置MT3300EX(日機装株式会社製の商品名)によるレーザー回折・散乱法(マイクロトラック法)による測定値で、0.1〜100μmであることが好ましく、0.5〜50μmであることが更に好ましい。
0.1μm未満であるとシリコーン樹脂への充填性が著しく悪化するため、熱伝導性を向上させることが困難である。100μmを超える場合には、熱伝導性シリコーン樹脂層の厚さを100μm以下に低減することができないので、十分な熱伝導性能を発現することが難しくなることがある。
本発明においては、熱伝導性充填剤として体積平均粒径が異なる粒子を2種以上用いてもよい。
熱伝導性充填剤の含有率は、熱伝導性シリコーン樹脂シート層(b)の全質量に対して、30〜97質量%であることが好ましく、40〜95質量%であることがより好ましい。熱伝導性充填剤の含有量が30質量%より少ないと、熱伝導性シリコーン樹脂シート層の熱伝導性が低下する場合があり、含有量が97質量%より多いと、均一な熱伝導性シート層が得られないことがある。
粘着性を有する熱伝導性シリコーン樹脂シート層(b)として用いることができる市販品の熱伝導性シリコーン加工品としては、熱伝導性両面粘着テープとして、TC−SASシリーズが挙げられ、熱軟化性を有する熱伝導性シート層として、PCSシリーズ(いずれも信越化学工業株式会社製の商品名)が挙げられる。
熱伝導性シリコーン樹脂シート層(b)の厚さは、30〜300μmであることが好ましく、60〜200μmであることがより好ましい。
熱伝導性シート層が30μmより薄いと、(a)層と(b)層、及び、発熱体と(b)層との密着性や接着性が弱くなり、これらが剥離する場合がある。また、300μmより厚いと、放熱性複合シートの熱伝導性が悪化する場合がある。
本発明の放熱性複合シートは、(a)放熱性を有する放熱性シート層と、(b)粘着性を有する熱伝導性シリコーン樹脂シート層とを、室温圧着もしくは熱圧着して製造される。
室温圧着して製造する方法としては、例えば、放熱性シートに、離型処理したポリマーフィルムが表面に貼着された熱伝導性シリコーン樹脂シート層を転写し、(a)放熱性シートをプレス圧着する方法が挙げられる。
熱軟化性を有する熱伝導性シリコーン樹脂シート層を積層する場合は、プレス治具上でシリコーン樹脂シートを熱軟化温度以上(例えば80〜120℃)に加熱し、(a)放熱性シートを同様に圧着する。
圧着はプレス圧着の他、ロール圧着等を用いてもよい。
次に、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
[実施例1〜2、比較例1〜2]
放熱性シート層(a)及び粘着性を有する熱伝導性シリコーン樹脂層(b)として下記の材料を使用した。
(a)放熱性シート層
a−1:高放熱性アルミ機能材「スーパーレイ」(厚さ0.4mm;古河スカイ株式会社製の商品名;300℃分光放熱率:80%以上)
(b)粘着性を有する熱伝導性シリコーン樹脂層
b−1:TC-10SAS(シリコーン両面粘着テープ;信越化学工業株式会社製の商品名;厚さ100μm、熱伝導率1.0W/m−K)
b−2:PCS−TC−10(熱軟化性シリコーン熱伝導性シート;信越化学工業株式会社製の商品名;厚さ60μm、熱伝導率3.8W/m−K)
b−3(比較用):F−9460PC(アクリル両面粘着テープ;住友スリーエム株式会社製の商品名;厚さ50μm、熱伝導率0.2W/m−K)
b−4(比較用):G747(熱伝導性グリース;信越化学工業株式会社製の商品名;熱伝導率0.9W/m−K)
1.放熱性複合シートの製造
表1に記載された組み合わせで、上述した(a)、(b)を圧着した。圧着は、室温圧着(23℃)又は熱圧着(100℃)とした。
b−4を使用した場合は、b−4を放熱性シート上に、厚さが100μmとなるようにスクリーン塗布した。
2.評価
得られた各放熱性複合シートを、1cm×1cmに裁断し、この試験片について下記の特性を評価した。
(1)シート厚さ
マイクロメーター(株式会社ミツトヨ製、型式;M820−25VA)を用いて測定した。
(2)熱伝導性
熱伝導率測定器LFA447 NanoFlash(キセノンフラッシュアナライザー;ネッチ社製の商品名)により、複合シートの厚さ方向の熱伝導率を測定した。
(3)信頼性
二枚の標準アルミニウムプレートの間に各試験片を挟み、圧縮加重410kPaで荷重した後、オーブンに入れ、0℃/30分⇔150℃/30分の温度サイクルを1000サイクル繰り返した後、(b)層の状態を目視観察した。
各試験で得られた結果を表1に示す。
Figure 2011222862

表1の結果から明らかなように、熱伝導性の低いアクリル両面粘着テープを用いた比較例1は、複合体の熱伝導率が顕著に低く、また、ヒートサイクル後に粘着層の劣化が確認され、熱伝導性、信頼性供に劣るものであることが確認された。
また、放熱グリースを用いた比較例2の場合は、熱伝導率が高いものの、圧着時にグリースが流出して周囲を汚染した上、ヒートサイクル後には、グリースの流出が確認された。
一方、各実施例は、何れも熱伝導率が高く、放熱性に優れることが確認された。
本発明の放熱性複合シートは可撓性に優れるので、特に小型電子機器のCPU等のヒートシンクとして有用である。

Claims (4)

  1. (a)可撓性を有する放熱性シート層及び(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層を積層してなる放熱性複合シートであって、前記(a)層が、発熱体から前記(b)層を通して伝導された熱を吸収・拡散し、表面から赤外線を放熱する放熱性シート層であると共に、前記(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層が、粘着性を有するシリコーン樹脂マトリックス中に熱伝導性充填剤が分散されてなるシート層であることを特徴とする放熱性複合シート。
  2. 前記(a)層の、300℃における、波長2.5〜20μmの分光放熱率が80%以上であると供に、前記(b)層の熱伝導率が0.5W/m・K以上である、請求項1に記載された放熱性複合シート。
  3. 前記熱伝導性充填剤の体積平均粒径が、レーザー回折・散乱法による測定値で、0.1〜100μmである、請求項1又は2に記載された放熱性複合シート。
  4. (a)可撓性を有する放熱性シート層及び(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層を積層して、室温圧着又は熱圧着する工程を含む放熱性複合シートの製造方法であって、前記(b)熱伝導性シリコーン樹脂シート層が、粘着性を有するシリコーン樹脂マトリックス中に熱伝導性充填剤が分散されてなるシート層であることを特徴とする、放熱性複合シートの製造方法。
JP2010092306A 2010-04-13 2010-04-13 放熱性複合シート Expired - Fee Related JP5495429B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010092306A JP5495429B2 (ja) 2010-04-13 2010-04-13 放熱性複合シート

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010092306A JP5495429B2 (ja) 2010-04-13 2010-04-13 放熱性複合シート

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011222862A true JP2011222862A (ja) 2011-11-04
JP5495429B2 JP5495429B2 (ja) 2014-05-21

Family

ID=45039422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010092306A Expired - Fee Related JP5495429B2 (ja) 2010-04-13 2010-04-13 放熱性複合シート

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5495429B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015119173A (ja) * 2013-11-15 2015-06-25 信越化学工業株式会社 熱伝導性複合シート
JPWO2013172429A1 (ja) * 2012-05-16 2016-01-12 荒川化学工業株式会社 伸縮性放熱シート及びこれが貼付された物品
US9353245B2 (en) 2014-08-18 2016-05-31 3M Innovative Properties Company Thermally conductive clay

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005101025A (ja) * 2003-09-22 2005-04-14 Denki Kagaku Kogyo Kk 放熱シート

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005101025A (ja) * 2003-09-22 2005-04-14 Denki Kagaku Kogyo Kk 放熱シート

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2013172429A1 (ja) * 2012-05-16 2016-01-12 荒川化学工業株式会社 伸縮性放熱シート及びこれが貼付された物品
JP2015119173A (ja) * 2013-11-15 2015-06-25 信越化学工業株式会社 熱伝導性複合シート
US9353245B2 (en) 2014-08-18 2016-05-31 3M Innovative Properties Company Thermally conductive clay

Also Published As

Publication number Publication date
JP5495429B2 (ja) 2014-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102181194B1 (ko) 높은 열전도율/낮은 열팽창계수 콤포지트
JP4459470B2 (ja) 電子部品の放熱構造体及びそれに用いる放熱シート
JP6349543B2 (ja) 冷却構造体および冷却構造体の製造方法
JP5538739B2 (ja) 熱伝導性複合シート及びその製造方法
KR20170118883A (ko) 열 전도 시트 및 전자 디바이스
JP6307774B2 (ja) 硬化型熱伝導性グリス、放熱構造および放熱構造の製造方法
TW201526181A (zh) 散熱器
KR102550135B1 (ko) 반도체 디바이스의 제조 방법, 열전도 시트, 및 열전도 시트의 제조 방법
JP5405890B2 (ja) 熱伝導性成形体とその用途
JP6657924B2 (ja) 伝熱部材及び伝熱部材の製造方法
JP2004311577A (ja) 熱伝導性複合シートおよびその製造方法
JP2011040565A (ja) 熱伝導シート、これを用いた半導体装置およびその製造方法
KR20180084095A (ko) 방열기, 전자 기기, 조명 기기 및 방열기의 제조 방법
JP5495429B2 (ja) 放熱性複合シート
TWI823986B (zh) 半導體元件的製造方法及導熱薄片
TWM540741U (zh) 多層複合熱傳導結構體
JP7031203B2 (ja) 放熱用接着シート、放熱接着部材用積層体、及び複合部材
CN115678509A (zh) 石墨复合材料以及电子部件
TW201134934A (en) Thermal interface material with phenyl ester
WO2014104292A1 (ja) フッ素樹脂シートとその製造方法
TWM488831U (zh) 散熱片結構及散熱機殼
JP7338738B2 (ja) 半導体デバイスの製造方法、熱伝導シート、及び熱伝導シートの製造方法
WO2022168729A1 (ja) 熱伝導性シート積層体及びこれを用いた電子機器
JP2017212254A (ja) 半導体装置
JP2022119196A (ja) 熱伝導性シート積層体及びこれを用いた電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120425

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130326

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130523

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20131025

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140114

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20140121

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140228

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140303

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5495429

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees