JP2011222861A - 半導体基板および半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板1の内部にてボンディングパッド10の下部には、当該半導体基板1の特性を検査するための検査用配線40が設けられており、検査用配線40は、ボンディングパッド10のうちボンディングワイヤ70の端部が位置する部位の直下に配置されている。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体基板1の要部を示す図であり、(a)は概略平面図、(b)は概略断面図である。なお、図1において(a)は(b)の上面図であり、ボンディングパッド10の部分を示すとともに、その下に位置する検査用配線40を透過して示している。
図2は、本発明の第2実施形態に係る半導体基板の要部を示す概略平面図である。本実施形態は、上記第1実施形態に比べて、検査用配線40の配置形態が相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
図4は、本発明の第3実施形態に係る検査用配線40の平面形状を示す図である。図4(a)では検査用配線40は、同一平面上にて直線状のものが折り返された形状をなすが、図4(b)では検査用配線40は、検査用配線40は、同一平面上にてジグザグのものが折り返された形状をなしている。
図5は、本発明の第4実施形態に係る半導体基板の要部を示す概略断面図である。このように、素子用配線30が、基板の厚さ方向すなわち絶縁層50の厚さ方向に重ねて配置されている場合、検査用配線40は、絶縁層50内部にて上下の素子用配線30の間に位置して素子用配線30の端部と重なるように配置されていてもよい。
図6は、本発明の第5実施形態に係る半導体基板の要部を示す概略断面図である。本実施形態では、絶縁層50は、第1の層51と当該第1の層51とは材質が異なり当該第1の層51よりも機械的強度の弱い第2の層52とよりなる。
図7は、本発明の第6実施形態に係る検査用配線40の平面形状を示す概略平面図である。図7に示されるように、検査用配線40において、その引き回し長さが大きくなると配線抵抗も大きくなり、検出感度が低下しやすくなる。
なお、検査用配線40については、基板内部のうち素子用配線30の端部の直上または直下の部位にあるが、ワイヤ70の端部の直下の部位には無い構成でもよい。この場合、ワイヤ70の接続前後で検査用配線40の電気特性を測定すれば、素子用配線30端部の直上および直下の部位に発生するクラックは検出できる。
20 回路素子
30 素子用配線
40 検査用配線
50 絶縁層
51 絶縁層としての第1の層
52 絶縁層としての第2の層
70 ボンディングワイヤ
Claims (10)
- 荷重および振動を加えることにより接続部材(70)が接続されたボンディングパッド(10)を一面に有する半導体基板において、
当該基板内部にて前記ボンディングパッド(10)の下部には、当該半導体基板の特性を検査するための検査用配線(40)が設けられており、
前記検査用配線(40)は、前記ボンディングパッド(10)のうち前記接続部材(70)の端部が位置する部位の直下に配置されていることを特徴とする半導体基板。 - 前記検査用配線(40)は、前記ボンディングパッド(10)のうち前記接続部材(70)の中央部が位置する部位よりも前記接続部材(70)の端部が位置する部位の直下に集中するように偏って配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体基板。
- 荷重および振動を加えることにより接続部材(70)が接続されたボンディングパッド(10)を一面に有する基板であって、当該基板内部に回路素子(20)を有し、前記回路素子(20)の上に絶縁層(50)を有し、前記絶縁層(50)の内部に前記回路素子用の素子用配線(30)を有し、前記ボンディングパッド(10)は前記絶縁層(50)の上に設けられている半導体基板において、
前記絶縁層(50)の内部にて前記ボンディングパッド(10)の下部には、当該半導体基板の特性を検査するための検査用配線(40)が設けられており、
さらに、前記検査用配線(40)は、前記素子用配線(30)の端部の上部もしくは下部に位置し、前記素子用配線(30)の端部と重なるように配置されていることを特徴とする半導体基板。 - 前記絶縁層(50)は、第1の層(51)と、当該第1の層(51)とは材質が異なり且つ当該第1の層(51)よりも機械的強度の弱い第2の層(52)とよりなり、
前記検査用配線(40)は、前記第2の層(52)の内部もしくは近傍に位置していることを特徴とする請求項3に記載の半導体基板。 - 前記検査用配線(40)および前記素子用配線(30)は膜状のものであり、前記検査用配線(40)は前記素子用配線(30)よりも薄いものであることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体基板。
- 前記検査用配線(40)は、同一平面上にてジグザグ形状または蛇行形状をなすものであることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の半導体基板。
- 前記接続部材は、ボンディングワイヤ(70)であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の半導体基板。
- ボンディングパッド(10)を一面に有し、このボンディングパッド(10)に対して荷重および振動を加えることにより接続部材(70)を接続してなる半導体基板の製造方法において、
前記ボンディングパッド(10)を有するとともに、前記ボンディングパッド(10)のうち前記接続部材(70)の端部が位置する予定の部位の直下に、当該半導体基板の特性を検査するための検査用配線(40)が配置された半導体よりなる基板(1)を用意し、
前記ボンディングパッド(10)に前記接続部材(70)を接続する前および後に、前記検査用配線(40)の電気特性を測定する工程を行うことを特徴とする半導体基板の製造方法。 - ボンディングパッド(10)を一面に有し、このボンディングパッド(10)に対して荷重および振動を加えることにより接続部材(70)を接続してなる基板であって、当該基板内部に回路素子(20)を有し、前記回路素子(20)の上に絶縁層(50)を有し、前記絶縁層(50)の内部に前記回路素子用の素子用配線(30)を有し、前記ボンディングパッド(10)は前記絶縁層(50)の上に設けられている半導体基板の製造方法において、
前記ボンディングパッド(10)、前記回路素子(20)、前記絶縁層(50)、前記素子用配線(30)を有するとともに、前記ボンディングパッド(10)の直下に位置する前記絶縁層(50)の内部のうち前記素子用配線(30)の端部の上部もしくは下部に、当該半導体基板の特性を検査するための検査用配線(40)が、前記素子用配線(30)の端部と重なるように配置されている半導体よりなる基板(1)を用意し、
前記ボンディングパッド(10)に前記接続部材(70)を接続する前および後に、前記検査用配線(40)の電気特性を測定する工程を行うことを特徴とする半導体基板の製造方法。 - 前記接続部材は、ボンディングワイヤ(70)であることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体基板の製造方法。
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