JP2011220930A - ターゲットおよびターゲット装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターゲット液体Lを収容する収容部に連通し、ターゲット液体から蒸発した蒸気を収容するバッファ部42を備える構成とする。バッファ部42は、収容部41aに近い第1の幅部W1よりも収容部41から遠い第2の幅部W2の方が大きい構成であるので、幅方向の外側にバッファ部42を広げることで、バッファ部壁面42aの表面積を拡大させることができる。これにより、バッファ部壁面42aの表面積を拡大して、ターゲット液体から蒸発した蒸気Vの凝縮熱伝達を有効活用することが可能となる。
【選択図】図3
Description
Claims (6)
- ターゲット液体を収容する収容部と、
前記収容部に連通し前記ターゲット液体から蒸発した蒸気を収容するバッファ部と、を備え、
前記バッファ部は、前記収容部に近い第1の幅部よりも前記収容部から遠い第2の幅部の方が大きいことを特徴とするターゲット。 - 前記バッファ部の側部には、前記収容部から遠い方が、前記収容部から近い方よりも、幅方向の外側へ傾斜する斜辺が形成されていることを特徴とする請求項1記載のターゲット。
- 前記バッファ部は、正面視において扇形に形成されていることを特徴とする請求項2記載のターゲット。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載のターゲットと、
前記収容部及び前記バッファ部を冷却する冷却機構と、を備えることを特徴とするターゲット装置。 - ターゲット液体を収容する収容部と、
前記収容部に連通しターゲット液体から蒸発した蒸気を収容するバッファ部と、
前記収容部の熱を伝熱する第1伝熱部と、
前記バッファ部の熱を伝熱する第2伝熱部と、を備え、
前記第2伝熱部の伝熱面積は、前記第1伝熱部の伝熱面積よりも大きいことを特徴とするターゲット。 - 請求項5に記載のターゲットと、
前記第1伝熱部及び前記第2伝熱部を冷却する冷却機構と、を備えることを特徴とするターゲット装置。
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