JP2011210928A - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板支持方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャックに、少なくとも1つの開口と、開口を塞ぐ蓋14と、チャックに対する蓋14の取り付け高さを調整する高さ調整機構とを設ける。チャックの開口の周囲に非真空区画を形成し、非真空区画からチャックの裏面へ通じる空気通路を設け、非真空区画の周囲に真空区画を形成する。高さ調整機構により、チャックに対する蓋14の取り付け高さを調整して、蓋14の上面の高さをチャックの上面の高さより低くし、真空区画により基板を真空吸着して、基板をチャックに固定し、空気通路により非真空区画を大気開放して、基板が非真空区画に吸着されるのを防止する。
【選択図】図7
Description
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
10a,10b,10c チャック部材
11 凸部
12 土手
13 吸着孔
14 蓋
14a ねじ穴兼空気通路
15 支持部
16,36 ねじ受け
17,37 カバー
18,38 ボルト
20 マスクホルダ
30 フレーム
31,41 調整ねじ
32,42 ばね座金
33 平座金
34,44 止めナット
35 受け部
40 支持部材
40a 空気通路
45,46 ボルト
47 ,48,49 止めねじ
51 モータ
52 突き上げピン
52a,52b,52c,52d 空気通路
53 蓋
54a,54b フランジ
55a,55b,57,59 ボルト
56a,56b 止めねじ
58 支持プレート
60 ハンドリングアーム
71 Xステージ駆動回路
72 Yステージ駆動回路
73 θステージ駆動回路
80 主制御装置
Claims (8)
- 基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
前記チャックは、少なくとも1つの開口と、該開口を塞ぐ蓋と、前記チャックに対する該蓋の取り付け高さを調整する第1の高さ調整機構と、該開口の周囲に形成された非真空区画と、該非真空区画から前記チャックの裏面へ通じる空気通路と、該非真空区画の周囲に形成された真空区画とを有し、
前記第1の高さ調整機構は、前記蓋の上面の高さが前記チャックの上面の高さより低くなる様に調整され、
前記真空区画は、基板を真空吸着して前記チャックに固定し、
前記空気通路は、前記非真空区画を大気開放して、前記非真空区画の空気の圧力の低下を防止することを特徴とするプロキシミティ露光装置。 - 前記チャックの裏面を複数箇所で支持するチャック支持台と、
前記チャック支持台が前記チャックの裏面を支持する高さを調整する第2の高さ調整機構とを備え、
前記第2の高さ調整機構は、前記チャックの上方から、前記蓋を取り外した前記開口を通して操作されたことを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 前記チャックの前記開口から上昇して基板の受け取り又は受け渡しを行う突き上げピンを有し、前記蓋に取り付けられた突き上げピンユニットを備え、
前記蓋は、前記突き上げピンが通る貫通孔を有することを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板支持方法であって、
チャックに、少なくとも1つの開口と、開口を塞ぐ蓋と、チャックに対する蓋の取り付け高さを調整する第1の高さ調整機構とを設け、
チャックの開口の周囲に非真空区画を形成し、
非真空区画からチャックの裏面へ通じる空気通路を設け、
非真空区画の周囲に真空区画を形成し、
第1の高さ調整機構により、チャックに対する蓋の取り付け高さを調整して、蓋の上面の高さをチャックの上面の高さより低くし、
真空区画により基板を真空吸着して、基板をチャックに固定し、
空気通路により非真空区画を大気開放して、非真空区画の空気の圧力の低下を防止することを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板支持方法。 - チャックをチャック支持台に搭載して、チャックの裏面をチャック支持台により複数箇所で支持し、
チャック支持台がチャックの裏面を支持する高さを調整する第2の高さ調整機構を設け、
チャックの上方から、蓋を取り外した開口を通して、第2の高さ調整機構を操作することを特徴とする請求項4に記載のプロキシミティ露光装置の基板支持方法。 - チャックの開口から上昇して基板の受け取り又は受け渡しを行う突き上げピンを有する突き上げピンユニットを、蓋に取り付け、
蓋に突き上げピンが通る貫通孔を設けることを特徴とする請求項4に記載のプロキシミティ露光装置の基板支持方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板支持方法を用いて基板を支持して、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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