JP2011208994A - Roundness measuring machine - Google Patents

Roundness measuring machine Download PDF

Info

Publication number
JP2011208994A
JP2011208994A JP2010074846A JP2010074846A JP2011208994A JP 2011208994 A JP2011208994 A JP 2011208994A JP 2010074846 A JP2010074846 A JP 2010074846A JP 2010074846 A JP2010074846 A JP 2010074846A JP 2011208994 A JP2011208994 A JP 2011208994A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detector
stylus
drive mechanism
mounting plate
displacement amount
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010074846A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5324510B2 (en
Inventor
Shige Nakayama
樹 中山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2010074846A priority Critical patent/JP5324510B2/en
Publication of JP2011208994A publication Critical patent/JP2011208994A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5324510B2 publication Critical patent/JP5324510B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

【課題】作業能率の一層の向上が図れる真円度測定機を提供する。
【解決手段】真円度測定機において、被測定物Wの測定部位に対応して用意された複数種のスタイラス31を取出可能かつ格納可能に収容したスタイラスストッカ50と、制御装置60とを備える。制御装置は、測定指令が与えられた際、回転テーブル20の回転駆動機構23および検出器駆動機構40の動作を制御しながら、被測定物の真円度測定を実行する測定実行手段と、スタイラス自動交換指令が与えられた際、検出器駆動機構を制御しながら、検出器30とスタイラスストッカとの間でスタイラス交換動作を実行するスタイラス交換実行手段と、検出器自動ゲイン校正指令が与えられた際、スタイラスに予め設定された設定変位量を付与し、検出器によって検出されるスタイラスの変位と設定変位量とから検出器のゲインを校正するゲイン調整手段とを備える。
【選択図】図1
A roundness measuring machine capable of further improving work efficiency is provided.
A roundness measuring machine includes a stylus stocker 50 that accommodates a plurality of types of styluses 31 that are prepared corresponding to the measurement site of a workpiece W and that can be stored therein, and a control device 60. . The control device, when given with a measurement command, controls the operation of the rotation drive mechanism 23 and the detector drive mechanism 40 of the turntable 20 while measuring the roundness of the object to be measured, and a stylus. When the automatic exchange command is given, the stylus exchange execution means for executing the stylus exchange operation between the detector 30 and the stylus stocker while controlling the detector driving mechanism, and the detector automatic gain calibration command are given. At this time, a gain adjustment means is provided that applies a preset set displacement amount to the stylus and calibrates the detector gain from the stylus displacement detected by the detector and the set displacement amount.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、真円度測定機に関する。詳しくは、スタイラスの自動交換機能および検出器の自動ゲイン校正機能を備えた真円度測定機に関する。   The present invention relates to a roundness measuring machine. More specifically, the present invention relates to a roundness measuring machine having an automatic stylus exchange function and an automatic gain calibration function of a detector.

被測定物の真円度を測定する測定機として、真円度測定機が知られている。
真円度測定機は、ベースと、このベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられ上面に被測定物を載置する回転テーブルと、この回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、ベース上に立設されたコラムと、このコラムに沿って上下方向へ昇降可能に設けられた昇降スライダと、この昇降スライダに垂直軸線に対して直交する方向へスライド可能に設けられたスライドアームと、このスライドアームの先端に取り付けられ被測定物に接するスタイラスの変位を電気信号として出力する検出器とを備える(例えば、特許文献1参照)。
A roundness measuring machine is known as a measuring machine that measures the roundness of an object to be measured.
The roundness measuring machine includes a base, a rotary table provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, and a measurement object placed on the upper surface, a rotary drive mechanism for rotating the rotary table, and a base A column that is erected on the column, a lift slider that is vertically movable along the column, a slide arm that is slidable in a direction perpendicular to the vertical axis on the lift slider, And a detector that outputs a displacement of a stylus that is attached to the tip of the slide arm and is in contact with the object to be measured as an electrical signal (see, for example, Patent Document 1).

真円度測定機を使用するにあたっては、予め、通常のスタイラスのほかに、被測定物の測定部位形状に合わせた各種形状のスタイラスが用意されているから、被測定物の測定部位形状に適したスタイラスに交換したのち、測定を行う。例えば、被測定物の深孔の真円度を測定する場合には、スタイラス長さが長い深孔用スタイラスに、あるいは、溝内の真円度を測定する場合には溝用スタイラスなどに交換したのち、測定を行う。
スタイラスの交換作業は、従来、測定者によって行われていため、測定作業の中断時間が長いうえ、スタイラスの取外作業および装着作業に伴う測定者への負担も大きい。
When using a roundness measuring machine, in addition to a normal stylus, various styluses that match the shape of the part being measured are prepared in advance, making it suitable for the shape of the part being measured. After replacing the stylus, measure. For example, when measuring the roundness of the deep hole of the object to be measured, replace it with a deep hole stylus with a long stylus length, or replace it with a groove stylus when measuring the roundness in the groove. Then, measure.
Since the stylus replacement work is conventionally performed by a measurer, the measurement work is interrupted for a long time, and the burden on the measurer associated with the stylus removal work and mounting work is large.

そこで、本出願人は、先に、スタイラスを自動交換できる真円度測定機を提案した(特許文献2参照)。
これは、上述した構成の真円度測定機に、被測定物の測定部位に対応して用意された複数種のスタイラスを取出可能かつ格納可能に収容したスタイラスストッカと、制御装置とが用意されている。制御装置は、測定指令が与えられた際、回転駆動機構、昇降スライダおよびスライドアームの動作を制御しながら、被測定物の真円度測定を実行するとともに、スタイラス交換指令が与えられた際、昇降スライダおよびスライドアームの動作を制御しながら、検出器とスタイラスストッカとの間でスタイラス交換動作を実行する。
Therefore, the present applicant has previously proposed a roundness measuring machine capable of automatically exchanging a stylus (see Patent Document 2).
The roundness measuring machine having the above-described configuration is provided with a stylus stocker that accommodates a plurality of types of styluses prepared corresponding to the measurement site of the object to be measured, and a control device. ing. The control device performs the roundness measurement of the object under measurement while controlling the operation of the rotation drive mechanism, the lifting slider and the slide arm when the measurement command is given, and when the stylus exchange command is given, A stylus exchange operation is executed between the detector and the stylus stocker while controlling the operations of the lift slider and the slide arm.

特開2004−233131号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-233131 特願2009−124037号Japanese Patent Application No. 2009-124037

真円度測定機において、スタイラスの自動交換機能が付加されたことにより、スタイラスの自動交換が行えるから、作業能率の向上および測定者の負担軽減が図れるようになったものの、次のような課題が残る。
例えば、長さの異なるスタイラスに交換した場合、検出器のゲインを校正する必要がある。従来、検出器のゲイン校正作業は、ゲージブロックを組み合わせて所定の段差を作った校正用治具や、円盤状の外周縁の一部に平坦な切欠きを形成した校正用マスタなどを用いて、校正作業を行っている。
The roundness measuring machine has an automatic stylus replacement function, which enables automatic stylus replacement, improving work efficiency and reducing the burden on the measurer. Remains.
For example, when the stylus is replaced with a stylus having a different length, it is necessary to calibrate the gain of the detector. Conventionally, detector gain calibration work has been performed using a calibration jig with a predetermined step formed by combining gauge blocks, or a calibration master with a flat notch formed on a part of the outer periphery of the disk. Proofreading work.

具体的には、真円度測定機の回転テーブル上に、校正用治具や校正用マスタを測定者がセットし、この校正用治具や校正用マスタの段差や切欠きを検出器で測定し、この測定値と段差や切欠き量とから検出器のゲインを校正する。検出器のゲイン校正作業終了後、校正用治具や校正用マスタを回転テーブル上から取り外し、回転テーブル上に被測定物をセットしたのち、測定作業を行う。
そのため、スタイラスの自動交換機能により作業能率を向上させることができるようになっても、検出器のゲイン校正に時間や手間がかかるため、作業能率のより一層の向上が要望されている。
Specifically, the measurement person sets a calibration jig or calibration master on the rotary table of the roundness measuring machine, and measures the step or notch of the calibration jig or calibration master with a detector. Then, the gain of the detector is calibrated from the measured value and the level difference or notch amount. After the gain calibration of the detector is completed, the calibration jig and the calibration master are removed from the rotary table, the measurement object is set on the rotary table, and the measurement work is performed.
For this reason, even if the work efficiency can be improved by the automatic stylus exchange function, it takes time and labor to calibrate the gain of the detector, and thus further improvement of the work efficiency is desired.

本発明の目的は、このような要望に応え、作業能率をより一層向上させることができる真円度測定機を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a roundness measuring machine capable of meeting such demands and further improving work efficiency.

本発明の真円度測定機は、ベースと、このベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられ上面に被測定物を載置する回転テーブルと、この回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、前記被測定物に接するスタイラスおよびこのスタイラスを着脱可能に装着するとともにこのスタイラスの変位を電気信号として出力する検出器本体を有する検出器と、この検出器を前記垂直軸線に対して直交しかつ前記回転テーブルに対して接近、離間する第1移動方向および前記垂直軸線と平行な第2移動方向へ駆動させる検出器駆動機構とを有する真円度測定機において、前記被測定物の測定部位に対応して用意された複数種のスタイラスを取出可能かつ格納可能に収容したスタイラスストッカと、制御装置とを備え、 前記制御装置は、測定指令が与えられた際、前記回転駆動機構および前記検出器駆動機構の動作を制御しながら、前記被測定物の真円度測定を実行する測定実行手段と、スタイラス自動交換指令が与えられた際、前記検出器駆動機構を制御しながら、前記検出器と前記スタイラスストッカとの間でスタイラス交換動作を実行するスタイラス交換実行手段と、検出器自動ゲイン校正指令が与えられた際、前記スタイラスに予め設定された設定変位量を付与し、前記検出器によって検出される前記スタイラスの変位と前記設定変位量とから前記検出器のゲインを校正するゲイン調整手段とを備える、ことを特徴とする。   A roundness measuring machine according to the present invention includes a base, a rotary table provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, and an object to be measured placed on the upper surface, and a rotation drive mechanism for rotating the rotary table, A detector having a stylus in contact with the object to be measured and a detector body that detachably mounts the stylus and outputs a displacement of the stylus as an electrical signal; and the detector orthogonal to the vertical axis and In a roundness measuring machine having a first movement direction approaching and separating from the rotary table and a detector driving mechanism for driving in a second movement direction parallel to the vertical axis, A stylus stocker that accommodates a plurality of types of styli prepared in a storable and retractable manner, and a control device, and the control device receives a measurement command. Measurement execution means for measuring the roundness of the object to be measured while controlling the operations of the rotation drive mechanism and the detector drive mechanism, and the detection when the stylus automatic replacement command is given. A stylus exchange execution means for executing a stylus exchange operation between the detector and the stylus stocker while controlling a device drive mechanism, and a detector automatic gain calibration command are given to the stylus when preset. Gain adjustment means for applying a set displacement amount and calibrating the gain of the detector from the displacement of the stylus detected by the detector and the set displacement amount is provided.

このような構成によれば、測定指令が与えられると、検出器駆動機構の動作により検出器のスタイラスが被測定物に接触され、この状態において、回転テーブルが回動駆動されることにより、被測定物の真円度等の測定が実行される。
また、スタイラス自動交換指令が与えられると、検出器駆動機構の動作により、検出器とスタイラスストッカとの間でスタイラス交換動作が実行される。従って、被測定物の測定部位形状に応じて、スタイラス交換動作を指令するようにしておけば、検出器とスタイラスストッカとの間でスタイラス交換動作が自動的に実行されるため、測定作業を中断することなく連続的に行うことができる。そのため、測定者への負担を軽減できるとともに、測定作業を効率化できる。
更に、検出器自動ゲイン校正指令が与えられると、スタイラスに予め設定された設定変位量が付与され、検出器によって検出されるスタイラスの変位と設定変位量とから検出器のゲインが校正される。従って、スタイラス交換動作を行ったのち、検出器自動ゲイン校正指令を与えるよう構成しておけば、スタイラスの交換動作後に、検出器のゲイン校正動作が自動的に実行されるから、スタイラスの交換動作および検出器のゲイン校正動作を測定作業を中断することなく連続的かつ自動的に行うことができる。そのため、測定者への負担を軽減できるとともに、測定作業を効率化できる。
According to such a configuration, when a measurement command is given, the detector stylus is brought into contact with the object to be measured by the operation of the detector driving mechanism, and in this state, the rotary table is driven to rotate, Measurements such as the roundness of the measurement object are performed.
When the stylus automatic replacement command is given, the stylus replacement operation is executed between the detector and the stylus stocker by the operation of the detector driving mechanism. Therefore, if the stylus replacement operation is instructed according to the measurement site shape of the object to be measured, the stylus replacement operation is automatically executed between the detector and the stylus stocker, so the measurement operation is interrupted. Can be done continuously without. Therefore, the burden on the measurer can be reduced and the measurement work can be made more efficient.
Further, when a detector automatic gain calibration command is given, a preset displacement amount is given to the stylus, and the gain of the detector is calibrated from the stylus displacement and the set displacement amount detected by the detector. Therefore, if the detector automatic gain calibration command is given after the stylus replacement operation, the detector gain calibration operation is automatically executed after the stylus replacement operation. In addition, the gain calibration operation of the detector can be performed continuously and automatically without interrupting the measurement operation. Therefore, the burden on the measurer can be reduced and the measurement work can be made more efficient.

本発明の真円度測定機において、前記回転テーブルは、前記ベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられた本体と、この本体の上部に設けられ上面に被測定物を載置する円盤状の載置板と、この載置板を前記垂直軸線に対して直交する方向へ移動させる載置板移動機構とを含んで構成され、前記ゲイン調整手段は、前記載置板移動機構の移動方向が前記第1移動方向に一致するように、前記回転駆動機構を動作させて前記回転テーブルを回転させたのち、前記検出器駆動機構を動作させて前記検出器のスタイラスを前記載置板の側面に接触させ、この状態において、前記載置板移動機構を予め設定された設定変位量だけ移動させたときに前記検出器によって検出される前記スタイラスの変位を取り込み、この変位量と前記設定変位量とから前記検出器のゲインを校正する、ことが好ましい。   In the roundness measuring machine according to the present invention, the rotary table includes a main body provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, and a disk on which an object to be measured is placed on an upper surface of the main body. And a mounting plate moving mechanism for moving the mounting plate in a direction orthogonal to the vertical axis, and the gain adjusting means moves the mounting plate moving mechanism. The rotary drive mechanism is operated to rotate the rotary table so that the direction coincides with the first movement direction, and then the detector drive mechanism is operated so that the stylus of the detector is placed on the mounting plate. In this state, the displacement of the stylus detected by the detector when the mounting plate moving mechanism is moved by a preset set displacement amount is taken in this state. Like quantity Calibrating the gain of the detector, it is preferable.

このような構成によれば、検出器のゲイン校正にあたって、まず、載置板移動機構の移動方向が第1移動方向に一致するように、回転駆動機構が動作されて回転テーブルが回転される。
次に、検出器駆動機構が動作されて検出器のスタイラスが載置板の側面に接触されたのち、この状態において、載置板移動機構が予め設定された設定変位量だけ移動される。このとき、検出器によって検出されるスタイラスの変位が取り込まれ、この変位量と設定変位量とから検出器のゲインが校正される。
従って、従来の校正用治具や校正用マスタを用いなくてもよいので、これらの回転テーブル上へのセットおよび取り外しに伴う作業がなく、測定作業をより効率化できる。
According to such a configuration, when the gain of the detector is calibrated, first, the rotation drive mechanism is operated and the rotary table is rotated so that the movement direction of the mounting plate movement mechanism coincides with the first movement direction.
Next, after the detector driving mechanism is operated and the stylus of the detector is brought into contact with the side surface of the mounting plate, in this state, the mounting plate moving mechanism is moved by a preset set displacement amount. At this time, the displacement of the stylus detected by the detector is taken in, and the gain of the detector is calibrated from this displacement amount and the set displacement amount.
Therefore, since it is not necessary to use a conventional calibration jig or calibration master, there is no work associated with setting and removing from the rotary table, and the measurement work can be made more efficient.

本発明の真円度測定機において、前記回転テーブルは、前記ベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられた本体と、この本体の上部に設けられ上面に被測定物を載置する円盤状の載置板とを含んで構成され、前記ゲイン調整手段は、前記検出器駆動機構を動作させて前記検出器のスタイラスを前記載置板の側面に接触させ、この状態において、前記検出器駆動機構を前記第1移動方向へ予め設定された設定変位量だけ移動させたときに前記検出器によって検出される前記スタイラスの変位を取り込み、この変位量と前記設定変位量とから前記検出器のゲインを校正する、ことが好ましい。   In the roundness measuring machine according to the present invention, the rotary table includes a main body provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, and a disk on which an object to be measured is placed on an upper surface of the main body. The gain adjusting means operates the detector driving mechanism to bring the stylus of the detector into contact with the side surface of the mounting plate. In this state, the detector The displacement of the stylus detected by the detector when the drive mechanism is moved in the first movement direction by a preset set displacement amount is captured, and the displacement of the detector is determined from the displacement amount and the set displacement amount. It is preferable to calibrate the gain.

このような構成によれば、検出器のゲイン校正にあたって、まず、検出器駆動機構が動作されて検出器のスタイラスが載置板の側面に接触されたのち、この状態において、検出器駆動機構が予め設定された設定変位量だけ移動される。このとき、検出器によって検出されるスタイラスの変位が取り込まれ、この変位量と設定変位量とから検出器のゲインが校正される。
従って、上記と同様に、従来の校正用治具や校正用マスタを用いなくてもよいので、これらの回転テーブル上へのセットおよび取り外しに伴う作業がなく、測定作業をより効率化できる。特に、この構成によれば、載置板移動機構も必要なく、載置板移動機構の移動方向が第1移動方向に一致するように、回転駆動機構を動作させて回転テーブルを回転動作させる必要もないので、より簡易化、迅速化できる。
According to such a configuration, when the gain of the detector is calibrated, first, the detector driving mechanism is operated and the detector stylus is brought into contact with the side surface of the mounting plate. It is moved by a preset displacement amount. At this time, the displacement of the stylus detected by the detector is taken in, and the gain of the detector is calibrated from this displacement amount and the set displacement amount.
Therefore, similarly to the above, since it is not necessary to use a conventional calibration jig or calibration master, there is no work associated with setting and removing from the rotary table, and the measurement work can be made more efficient. In particular, according to this configuration, there is no need for a mounting plate moving mechanism, and it is necessary to rotate the rotary table by operating the rotation driving mechanism so that the moving direction of the mounting plate moving mechanism matches the first moving direction. Therefore, it can be simplified and speeded up.

本発明の真円度測定機において、前記回転テーブルは、前記ベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられた本体と、この本体の上部に設けられ上面に被測定物を載置する円盤状の載置板と、この載置板を前記垂直軸線に対して直交する方向へ移動させる載置板移動機構とを含んで構成され、前記載置板の外周縁の一部には外周縁からの切欠深さが前記設定変位量に相当する切欠きが形成され、前記ゲイン調整手段は、前記検出器駆動機構を動作させて前記検出器のスタイラスを前記載置板の側面に接触させ、この状態において、前記回転駆動機構を作動させたときに前記検出器によって検出される前記スタイラスの変位を取り込み、この変位量と前記設定変位量とから前記検出器のゲインを校正する、ことが好ましい。   In the roundness measuring machine according to the present invention, the rotary table includes a main body provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, and a disk on which an object to be measured is placed on an upper surface of the main body. A mounting plate and a mounting plate moving mechanism that moves the mounting plate in a direction orthogonal to the vertical axis, and a part of the outer periphery of the mounting plate includes an outer periphery. A notch having a notch depth corresponding to the set displacement amount is formed, and the gain adjusting means operates the detector driving mechanism to bring the stylus of the detector into contact with the side surface of the mounting plate, In this state, it is preferable to take in the displacement of the stylus detected by the detector when the rotational drive mechanism is operated, and calibrate the gain of the detector from the displacement amount and the set displacement amount. .

このような構成によれば、検出器のゲイン校正にあたって、まず、検出器駆動機構が動作されて検出器のスタイラスが載置板の側面に接触されたのち、この状態において、回転駆動機構を駆動させる。すると、載置板の外周縁の一部に形成された切欠きが検出器によって検出される。つまり、検出器のスタイラスの変位が取り込まれ、この変位量と設定変位量とから検出器のゲインが校正される。
従って、この構成でも、上記と同様に、従来の校正用治具や校正用マスタを用いなくてもよいので、これの回転テーブル上へのセットおよび取り外しに伴う作業がなく、測定作業をより効率化できるとともに、載置板移動機構も必要なく、載置板移動機構の移動方向が第1移動方向に一致するように、回転駆動機構を動作させて回転テーブルを回転動作させる必要もないので、より簡易化、迅速化できる。
According to such a configuration, when the gain of the detector is calibrated, first, the detector driving mechanism is operated and the stylus of the detector is brought into contact with the side surface of the mounting plate, and in this state, the rotational driving mechanism is driven. Let Then, the notch formed in a part of the outer periphery of the mounting plate is detected by the detector. That is, the displacement of the stylus of the detector is taken in, and the gain of the detector is calibrated from this displacement amount and the set displacement amount.
Therefore, in this configuration as well, the conventional calibration jig and calibration master do not have to be used, so there is no work associated with setting and removing the work on the rotary table, and the measurement work is more efficient. Since there is no need for a mounting plate moving mechanism, and there is no need to rotate the rotary table by operating the rotation drive mechanism so that the moving direction of the mounting plate moving mechanism matches the first moving direction. It can be simplified and speeded up.

本発明の真円度測定機において、前記スタイラスストッカは、前記回転テーブルおよび前記検出器駆動機構の移動範囲によって決まる測定領域の外に配置され、前記検出器駆動機構は、前記ベース上に立設されたコラムと、このコラムに対して昇降スライダを上下方向へ駆動させる昇降駆動機構と、前記昇降スライダに対してスライドアームを前記垂直軸線に対して直交しかつ前記回転テーブルに対して接近、離間する方向へ駆動させる第1スライド駆動機構と、前記スライドアームの先端に設けられ前記検出器を前記スライドアームのスライド軸線に対して直交する方向へスライドさせる第2スライド駆動機構と、前記第2スライド駆動機構を前記スライドアームのスライド軸線を中心に旋回させる旋回駆動機構とを備え、前記第2スライド駆動機構および前記旋回駆動機構の動作により、前記検出器が前記測定領域の外へ移動可能に構成されている、ことが好ましい。   In the roundness measuring machine according to the present invention, the stylus stocker is disposed outside a measurement region determined by a moving range of the rotary table and the detector driving mechanism, and the detector driving mechanism is erected on the base. A column, a lift drive mechanism for driving the lift slider in the vertical direction with respect to the column, and a slide arm perpendicular to the vertical axis with respect to the lift slider and approaching and separating from the rotary table A first slide drive mechanism that drives in a direction to move, a second slide drive mechanism that is provided at the tip of the slide arm and slides the detector in a direction perpendicular to the slide axis of the slide arm, and the second slide A turning drive mechanism for turning the drive mechanism about the slide axis of the slide arm, and the second slide The operation of the driving mechanism and the swiveling drive mechanism, wherein the detector is configured to be moved out of the measuring area, it is preferable.

このような構成によれば、スタイラスストッカは、回転テーブルおよび検出器駆動機構の移動範囲によって決まる測定領域の外に配置されているから、スタイラスストッカが測定領域を制限することがない。
また、検出器駆動機構には、スライドアームの先端に設けられ検出器をスライドアームのスライド軸線に対して直交する方向へスライドさせる第2スライド駆動機構と、第2スライド駆動機構をスライドアームのスライド軸線を中心に旋回させる旋回駆動機構とが含まれているから、まず、旋回駆動機構によって第2スライド駆動機構をスライドアームのスライド軸線を中心に90度旋回させて検出器の姿勢を水平に変更したのち、第2スライド駆動機構によって検出器をスライドアームのスライド軸線に対して直交する方向へスライドさせる。すると、検出器が測定領域の外に配置されたスタイラスストッカへ移動されるから、真円度測定動作に支障を与えることなく、比較的簡易な構成で、検出器を測定領域の外に配置されたスタイラスストッカへアプローチできる。
According to such a configuration, since the stylus stocker is arranged outside the measurement region determined by the moving range of the rotary table and the detector driving mechanism, the stylus stocker does not limit the measurement region.
The detector drive mechanism includes a second slide drive mechanism that is provided at the tip of the slide arm and slides the detector in a direction orthogonal to the slide axis of the slide arm, and the second slide drive mechanism is slid on the slide arm. Since the swivel drive mechanism that swivels about the axis is included, first, the swivel drive mechanism turns the second slide drive mechanism 90 degrees about the slide axis of the slide arm to change the attitude of the detector horizontally. After that, the detector is slid in the direction orthogonal to the slide axis of the slide arm by the second slide drive mechanism. Then, since the detector is moved to the stylus stocker arranged outside the measurement area, the detector is arranged outside the measurement area with a relatively simple configuration without hindering the roundness measurement operation. You can approach the stylus stocker.

本発明の実施形態に係る真円度測定機の斜視図。The perspective view of the roundness measuring machine which concerns on embodiment of this invention. 同上実施形態の平面図。The top view of embodiment same as the above. 同上実施形態の検出器本体とスタイラスとを示す図。The figure which shows the detector main body and stylus of embodiment same as the above. 同上実施形態の第2スライド駆動機構を示す斜視図。The perspective view which shows the 2nd slide drive mechanism of embodiment same as the above. 同上実施形態の旋回駆動機構の動作を示す側面図。The side view which shows operation | movement of the turning drive mechanism of embodiment same as the above. 同上実施形態において、測定領域を示す斜視図。The perspective view which shows a measurement area | region in embodiment same as the above. 同上実施形態の制御装置およびその周辺機構を示すブロック図。The block diagram which shows the control apparatus and its peripheral mechanism of embodiment same as the above. 同上実施形態において、スタイラス交換動作を示す図。The figure which shows stylus exchange operation | movement in embodiment same as the above. 同上実施形態において、検出器自動ゲイン校正動作を示す図。The figure which shows detector automatic gain calibration operation | movement in embodiment same as the above. 本発明の変形例に係る真円度測定機の斜視図。The perspective view of the roundness measuring machine which concerns on the modification of this invention. 同上変形例において、検出器自動ゲイン校正動作を示す図。The figure which shows a detector automatic gain calibration operation | movement in a modification same as the above.

<真円度測定機の説明>
図1は、本実施形態の真円度測定機を示す斜視図、図2は、同真円度測定機の平面図である。
本実施形態の真円度測定機は、これらの図に示すように、ベース10と、このベース10上の一側に垂直軸線Lを中心に回転可能に設けられ上面に被測定物Wを載置する回転テーブル20と、検出器30と、この検出器30を垂直軸線L方向および垂直軸線Lに対して直交する方向でかつ回転テーブル20に対して接近、離間する方向へ駆動させる検出器駆動機構40と、被測定物Wの測定部位に対応して用意された複数種のスタイラス31を取出可能かつ格納可能に収容したスタイラスストッカ50と、制御装置60とを備える。
<Description of roundness measuring machine>
FIG. 1 is a perspective view showing a roundness measuring machine of this embodiment, and FIG. 2 is a plan view of the roundness measuring machine.
As shown in these drawings, the roundness measuring machine according to the present embodiment is provided with a base 10 and a workpiece W on the upper surface provided on one side of the base 10 so as to be rotatable about a vertical axis L. The rotary table 20 to be placed, the detector 30, and the detector drive for driving the detector 30 in the direction perpendicular to the vertical axis L and the direction perpendicular to the vertical axis L and in the direction approaching and separating from the rotary table 20. A mechanism 40, a stylus stocker 50 that accommodates a plurality of types of stylus 31 prepared corresponding to the measurement site of the workpiece W so as to be removable and retractable, and a control device 60 are provided.

回転テーブル20は、回転駆動機構23によって回転駆動される構造で、ベース10に回転可能に設置された円筒状の本体21と、この本体21の上部に水平面内の直交する方向へ移動可能に設けられ上面に被測定物Wを載置する円盤状の載置板22と、この載置板22を垂直軸線Lに対して直交するX,Y軸方向へ移動させる載置板X軸移動機構24および載置板Y軸移動機構25と、載置板22のX,Y軸方向の傾きを調整する載置板X軸傾斜機構26および載置板X軸傾斜機構27を含んで構成されている。
回転駆動機構23は、回転テーブル20を回転駆動するモータ、あるいは、モータからの回転を減速器を介して回転テーブル20に伝達する機構などで構成されている。載置板X軸移動機構24および載置板Y軸移動機構25は、モータを含み、このモータの駆動により載置板22をX,Y軸方向へスライドさせる構造である。載置板X軸傾斜機構26および載置板X軸傾斜機構27は、モータを含み、このモータの駆動より載置板22をX,Y軸方向へ傾斜させる構造である。
The turntable 20 is structured to be rotated by a rotation drive mechanism 23, and is provided with a cylindrical main body 21 rotatably installed on the base 10 and an upper portion of the main body 21 so as to be movable in an orthogonal direction in a horizontal plane. A disk-shaped mounting plate 22 for mounting the workpiece W on the upper surface, and a mounting plate X-axis moving mechanism 24 for moving the mounting plate 22 in the X and Y axis directions orthogonal to the vertical axis L. The mounting plate Y-axis moving mechanism 25, and the mounting plate X-axis tilting mechanism 26 and the mounting plate X-axis tilting mechanism 27 for adjusting the tilt of the mounting plate 22 in the X and Y axis directions are configured. .
The rotational drive mechanism 23 is configured by a motor that rotationally drives the rotary table 20, or a mechanism that transmits rotation from the motor to the rotary table 20 via a speed reducer. The mounting plate X-axis moving mechanism 24 and the mounting plate Y-axis moving mechanism 25 include a motor, and are configured to slide the mounting plate 22 in the X and Y axis directions by driving the motor. The mounting plate X-axis tilt mechanism 26 and the mounting plate X-axis tilt mechanism 27 include a motor, and have a structure in which the mounting plate 22 is tilted in the X and Y axis directions by driving the motor.

検出器30は、図3に示すように、被測定物Wに接するスタイラス31と、このスタイラス31を着脱可能に装着しスタイラス31の変位(スタイラス31の長手方向に対して直交する方向の変位)を電気信号として検出する検出器本体32とを有する。スタイラス31は、所定長さのスタイラス本体31Aと、このスタイラス本体31Aの先端に取り付けられた触針31Bと、スタイラス本体31Aの根本部分に形成された係合溝31Cとを有する。検出器本体32には、支持片32Aおよびこれに隙間を隔てて対向配置された板ばね32Bとが設けられ、この支持片32Aと板ばね32Bとの間にスタイラス31の根本部分が差込可能かつ引抜可能、つまり、着脱可能に装着されている。   As shown in FIG. 3, the detector 30 has a stylus 31 in contact with the object W to be measured, and a stylus 31 that is detachably attached to the stylus 31 (displacement in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the stylus 31). And a detector main body 32 for detecting as an electrical signal. The stylus 31 includes a stylus main body 31A having a predetermined length, a stylus 31B attached to the tip of the stylus main body 31A, and an engagement groove 31C formed at a base portion of the stylus main body 31A. The detector main body 32 is provided with a support piece 32A and a leaf spring 32B disposed opposite to the support piece 32A, and a base portion of the stylus 31 can be inserted between the support piece 32A and the leaf spring 32B. And it is detachable, that is, is detachably mounted.

検出器駆動機構40は、ベース10上に他側に立設されたコラム41と、このコラム41に対して昇降スライダ42を上下方向(Z軸方向)へ駆動させる昇降駆動機構43と、昇降スライダ42に対してスライドアーム44を垂直軸線に対して直交する方向でかつ回転テーブル20に対して接近、離間する方向(X軸方向)へ駆動させる第1スライド駆動機構45と、スライドアーム44の先端に設けられ検出器30をスライドアーム44のスライド軸線に対して直交する方向へスライドさせる第2スライド駆動機構46と、第2スライド駆動機構46をスライドアーム44のスライド軸線を中心に旋回させる旋回駆動機構47とを備える。   The detector drive mechanism 40 includes a column 41 erected on the other side of the base 10, a lift drive mechanism 43 that drives the lift slider 42 in the vertical direction (Z-axis direction) with respect to the column 41, and a lift slider A first slide drive mechanism 45 for driving the slide arm 44 in a direction perpendicular to the vertical axis with respect to 42 and a direction approaching and separating from the rotary table 20 (X-axis direction); And a second slide drive mechanism 46 that slides the detector 30 in a direction orthogonal to the slide axis of the slide arm 44 and a swing drive that rotates the second slide drive mechanism 46 about the slide axis of the slide arm 44. And a mechanism 47.

昇降駆動機構43は、図示省略したが、昇降スライダ42を上下方向へ駆動できる機構であれば、どのような構造でもよい。例えば、コラム41に上下方向へ立設されたボールねじ軸と、このボールねじ軸を回転させるモータと、ボールねじ軸に螺合され昇降スライダ42に連結されたナット部材とを有する送り機構などでもよい。
第1スライド駆動機構45についても、図示省略したが、スライドアーム44を垂直軸線Lに対して直交する方向でかつ回転テーブル20に対して接近、離間する方向へ駆動できる機構であれば、どのような構造でもよい。例えば、スライドアーム44の長手方向に沿ってラックを形成し、このラックに噛み合うピニオンおよびこのピニオンを回転させるモータなどを昇降スライダ42内に設けた構成であってもよい。
Although the lifting drive mechanism 43 is not shown, any structure may be used as long as it can drive the lifting slider 42 in the vertical direction. For example, a feed mechanism having a ball screw shaft erected on the column 41 in the vertical direction, a motor that rotates the ball screw shaft, and a nut member that is screwed to the ball screw shaft and connected to the lift slider 42. Good.
The first slide drive mechanism 45 is not shown, but any mechanism can be used as long as it can drive the slide arm 44 in a direction orthogonal to the vertical axis L and in a direction approaching and separating from the rotary table 20. It may be a simple structure. For example, a configuration in which a rack is formed along the longitudinal direction of the slide arm 44, a pinion that meshes with the rack, a motor that rotates the pinion, and the like are provided in the elevating slider 42 may be employed.

第2スライド駆動機構46は、図4に示すように、スライドアーム44の先端に直角に取り付けられたケース部材46Aと、このケース部材46A内に回転可能に設けられたボールねじ軸46Bと、このボールねじ軸46Bを回転させるモータ46Cと、ボールねじ軸46Bに螺合されたナット部材46Dと、このナット部材46Dを有し検出器30を保持した検出器保持部46Eとを有する送り機構によって構成されている。なお、第2スライド駆動機構46についても、図4の構成に限られない。   As shown in FIG. 4, the second slide drive mechanism 46 includes a case member 46A attached at right angles to the tip of the slide arm 44, a ball screw shaft 46B rotatably provided in the case member 46A, The feed mechanism includes a motor 46C that rotates the ball screw shaft 46B, a nut member 46D that is screwed to the ball screw shaft 46B, and a detector holding portion 46E that includes the nut member 46D and holds the detector 30. Has been. The second slide drive mechanism 46 is not limited to the configuration shown in FIG.

旋回駆動機構47は、例えば、スライドアーム44の内部に回転可能に設けられ先端が第2スライド駆動機構46のケース部材46Aに連結された旋回軸(図示省略)と、この旋回軸の基端に設けられ旋回軸を旋回駆動させるモータ47Bとから構成されている。本実施形態では、図5に示すように、スタイラス31が上下方向に向かう検出器30の姿勢を0度として、検出器30の姿勢を−90度から+90度の範囲で変更可能に構成されている。   The turning drive mechanism 47 is, for example, a turning shaft (not shown) provided rotatably inside the slide arm 44 and having a distal end coupled to the case member 46A of the second slide drive mechanism 46, and a base end of the turning shaft. The motor 47B is provided and drives the turning shaft to turn. In the present embodiment, as shown in FIG. 5, the attitude of the detector 30 in which the stylus 31 heads in the vertical direction is set to 0 degree, and the attitude of the detector 30 can be changed in a range of −90 degrees to +90 degrees. Yes.

スタイラスストッカ50は、回転テーブル20および検出器駆動機構40の移動範囲によって決まる測定領域(図6に示す測定領域A)の外に、詳細には、図2に示すように回転テーブル20とコラム41との間で、スライドアーム44のスライド軸線を挟んでベース10の背面側に配置されているとともに、このスタイラスストッカ50の位置まで検出器30が移動可能に構成されている。本実施形態においては、第2スライド駆動機構46および旋回駆動機構47の動作により、検出器30が測定領域Aの外へ移動可能に構成されている。   In addition to the measurement area (measurement area A shown in FIG. 6) determined by the movement range of the rotary table 20 and the detector drive mechanism 40, the stylus stocker 50 is more specifically shown in FIG. The detector 30 is arranged on the back side of the base 10 with the slide axis of the slide arm 44 interposed therebetween, and the detector 30 is movable to the position of the stylus stocker 50. In the present embodiment, the detector 30 is configured to be movable out of the measurement region A by the operations of the second slide drive mechanism 46 and the turning drive mechanism 47.

スタイラスストッカ50は、図2および図5にも示すように、回転テーブル20とコラム41との間で、スライドアーム44のスライド軸線を挟んでベース10の背面側に配置されたL字形状のストッカ本体51と、このストッカ本体51の起立片52の上下方向一定間隔位置に形成され複数のスタイラス保持部53とから構成されている。スタイラス保持部53は、略半円形状の溝によって形成され、この溝にスタイラス31の係合溝31Cが取出可能かつ格納可能に収容されている。ここでは、標準的なスタイラス31のほかに、長さの異なるスタイラス31が収容されている。   2 and 5, the stylus stocker 50 is an L-shaped stocker disposed on the back side of the base 10 with the slide axis of the slide arm 44 between the rotary table 20 and the column 41. The main body 51 and a plurality of stylus holding portions 53 are formed at regular intervals in the vertical direction of the upright pieces 52 of the stocker main body 51. The stylus holding portion 53 is formed by a substantially semicircular groove, and the engaging groove 31C of the stylus 31 is accommodated in the groove so as to be removable and retractable. Here, in addition to the standard stylus 31, styluses 31 having different lengths are accommodated.

<制御システムの説明>
本制御システムは、図7に示すように、制御装置60と、入力装置61と、表示装置62と、記憶装置63などを含んで構成されている。
記憶装置63には、測定プログラム、スタイラス自動交換プログラム、検出器自動ゲイン校正プログラムなどを記憶したプログラム記憶部63A、および、測定時に取り込んだ測定データなどを記憶するデータ記憶部63Bなどが設けられている。
制御装置60には、入力装置61、表示装置62、記憶装置63のほかに、回転駆動機構23、載置板X軸移動機構24、載置板Y軸移動機構25、載置板X軸傾斜機構26、載置板Y軸傾斜機構27、昇降駆動機構43、第1スライド駆動機構45、第2スライド駆動機構46、旋回駆動機構47、検出器30などが接続されている。また、制御装置60は、プログラム記憶部63Aに記憶された測定プログラム、スタイラス自動交換プログラム、検出器自動ゲイン校正プログラムなどに従って、各機構の駆動を制御するとともに、検出器30からの信号を取り込んで処理する機能を備える。
<Description of control system>
As shown in FIG. 7, the present control system includes a control device 60, an input device 61, a display device 62, a storage device 63, and the like.
The storage device 63 is provided with a program storage unit 63A that stores a measurement program, a stylus automatic replacement program, a detector automatic gain calibration program, and a data storage unit 63B that stores measurement data captured during measurement. Yes.
In addition to the input device 61, the display device 62, and the storage device 63, the control device 60 includes a rotation drive mechanism 23, a placement plate X-axis movement mechanism 24, a placement plate Y-axis movement mechanism 25, and a placement plate X-axis tilt. The mechanism 26, the mounting plate Y-axis tilting mechanism 27, the elevation drive mechanism 43, the first slide drive mechanism 45, the second slide drive mechanism 46, the turning drive mechanism 47, the detector 30 and the like are connected. The control device 60 controls the driving of each mechanism according to a measurement program, a stylus automatic exchange program, a detector automatic gain calibration program, etc. stored in the program storage unit 63A, and takes in a signal from the detector 30. It has a function to process.

具体的には、測定指令が与えられた際、回転駆動機構23および検出器駆動機構40の動作を制御しながら、被測定物Wの真円度等の測定を実行する測定実行手段、スタイラス自動交換指令が与えられた際、検出器駆動機構40を制御しながら、検出器30とスタイラスストッカ50との間でスタイラス交換動作を実行するスタイラス交換実行手段、検出器自動ゲイン校正指令が与えられた際、スタイラス31に予め設定された設定変位量を付与し、検出器30によって検出されるスタイラス31の変位と設定変位量とから検出器30のゲインを校正するゲイン調整手段とを備えている。   Specifically, when a measurement command is given, a measurement execution unit that measures the roundness of the workpiece W while controlling the operation of the rotation drive mechanism 23 and the detector drive mechanism 40, a stylus automatic When an exchange command is given, a stylus exchange execution means for executing a stylus exchange operation between the detector 30 and the stylus stocker 50 while controlling the detector drive mechanism 40, and a detector automatic gain calibration command are given. At this time, there is provided gain adjusting means for applying a preset displacement amount to the stylus 31 and calibrating the gain of the detector 30 from the displacement of the stylus 31 detected by the detector 30 and the set displacement amount.

ここで、ゲイン調整手段は、載置板X軸移動機構24または載置板Y軸移動機構25の移動方向がX軸方向(第1移動方向)に一致するように、回転駆動機構23を動作させて回転テーブル20を回転させたのち、検出器駆動機構40を動作させて検出器30のスタイラス31を載置板22の側面に接触させ、この状態において、載置板X軸移動機構24または載置板Y軸移動機構25を予め設定された設定変位量だけ移動させたときに検出器30によって検出されるスタイラス31の変位を取り込み、この変位量と設定変位量とから検出器30のゲインを校正する動作を自動的に行う。   Here, the gain adjusting means operates the rotation drive mechanism 23 so that the moving direction of the mounting plate X-axis moving mechanism 24 or the mounting plate Y-axis moving mechanism 25 coincides with the X-axis direction (first moving direction). After rotating the rotary table 20, the detector driving mechanism 40 is operated to bring the stylus 31 of the detector 30 into contact with the side surface of the mounting plate 22. In this state, the mounting plate X-axis moving mechanism 24 or The displacement of the stylus 31 detected by the detector 30 when the mounting plate Y-axis moving mechanism 25 is moved by a preset set displacement amount is captured, and the gain of the detector 30 is calculated from this displacement amount and the set displacement amount. The operation to calibrate is automatically performed.

<スタイラス交換動作の説明>
プログラム記憶部63Aに記憶されたスタイラス自動交換プログラムによって、スタイラス自動交換指令が制御装置60に与えられると、検出器駆動機構40が駆動される。つまり、昇降駆動機構43、第1スライド駆動機構45、第2スライド駆動機構46および旋回駆動機構47の駆動により、検出器30が移動され、検出器30とスタイラスストッカ50との間でスタイラス交換動作が実行される。
<Description of stylus replacement operation>
When a stylus automatic replacement command is given to the control device 60 by the stylus automatic replacement program stored in the program storage unit 63A, the detector driving mechanism 40 is driven. That is, the detector 30 is moved by the driving of the elevating drive mechanism 43, the first slide drive mechanism 45, the second slide drive mechanism 46, and the turning drive mechanism 47, and the stylus exchange operation between the detector 30 and the stylus stocker 50. Is executed.

いま、検出器30にスタイラス31が装着されている状態において、スタイラス自動交換指令が与えられると、図8に示すように、旋回駆動機構47の駆動によって検出器30が+90度旋回され、水平な姿勢に設定される。こののち、昇降駆動機構43の駆動により、検出器30がこれから格納するスタイラスストッカ50のスタイラス保持部53の高さ位置に位置決めされたのち、次の動作が実行される。   Now, when the stylus 31 is attached to the detector 30 and the stylus automatic replacement command is given, the detector 30 is rotated by +90 degrees by driving the turning drive mechanism 47 as shown in FIG. Set to posture. After that, the detector 30 is positioned at the height position of the stylus holding portion 53 of the stylus stocker 50 to be stored by the driving of the elevating drive mechanism 43, and then the following operation is executed.

(A)第2スライド駆動機構46の駆動により、検出器30はY−方向へ移動され、スタイラス31の係合溝31Cがスタイラスストッカ50のスタイラス保持部53と対応する位置まで移動される。
(B)第1スライド駆動機構45の駆動により、検出器30はX+方向へ移動される。すると、スタイラス31の係合溝31Cがスタイラスストッカ50のスタイラス保持部53に収容される。
(C)第2スライド駆動機構46の駆動により、検出器30はY+方向へ移動される。すると、検出器本体32がスタイラス31をスタイラスストッカ50に残したままY+方向へ移動するから、これにより、検出器本体32のスタイラス31がスタイラスストッカ50に格納される。
(A) By driving the second slide drive mechanism 46, the detector 30 is moved in the Y-direction, and the engagement groove 31C of the stylus 31 is moved to a position corresponding to the stylus holding portion 53 of the stylus stocker 50.
(B) When the first slide drive mechanism 45 is driven, the detector 30 is moved in the X + direction. Then, the engagement groove 31 </ b> C of the stylus 31 is accommodated in the stylus holding portion 53 of the stylus stocker 50.
(C) By driving the second slide drive mechanism 46, the detector 30 is moved in the Y + direction. Then, the detector main body 32 moves in the Y + direction while leaving the stylus 31 in the stylus stocker 50, so that the stylus 31 of the detector main body 32 is stored in the stylus stocker 50.

次に、検出器本体32に対して、新たなスタイラス31を装着しようとする場合、検出器本体32が新たなスタイラス31の位置に位置決めされたのち、次の動作が実行される。
(D)第2スライド駆動機構46の駆動により、検出器30はY−方向へ移動される。すると、検出器本体32に新たなスタイラス31が差し込まれる。つまり、検出器本体32に新たなスタイラス31が装着される。
(E)第1スライド駆動機構45の駆動により、検出器30はX−方向へ移動される。すると、スタイラス31の係合溝31Cがスタイラスストッカ50のスタイラス保持部53から外れる。
(F)第2スライド駆動機構46の駆動により、検出器30はY+方向へ移動され、元の位置に復帰される。こののち、旋回駆動機構47の駆動によって検出器30が垂直な姿勢に旋回されたのち、検出器自動ゲイン校正動作が実行される。
Next, when a new stylus 31 is to be attached to the detector main body 32, after the detector main body 32 is positioned at the new stylus 31, the following operation is performed.
(D) By driving the second slide drive mechanism 46, the detector 30 is moved in the Y-direction. Then, a new stylus 31 is inserted into the detector main body 32. That is, a new stylus 31 is attached to the detector main body 32.
(E) By driving the first slide drive mechanism 45, the detector 30 is moved in the X-direction. Then, the engaging groove 31 </ b> C of the stylus 31 is detached from the stylus holding portion 53 of the stylus stocker 50.
(F) By driving the second slide drive mechanism 46, the detector 30 is moved in the Y + direction and returned to the original position. After that, after the detector 30 is turned to a vertical posture by driving the turning drive mechanism 47, the detector automatic gain calibration operation is executed.

<検出器自動ゲイン校正動作の説明>
プログラム記憶部63Aに記憶された検出器自動ゲイン校正プログラムによって、検出器自動ゲイン校正指令が制御装置60に与えられると、載置板X軸移動機構24(または載置板Y軸移動機構25)の移動方向がX軸方向(第1移動方向)に一致するように、回転駆動機構23が動作され、回転テーブル20が回転される。
こののち、図9(A)に示すように、検出器駆動機構40が駆動され、検出器30のスタイラス31が載置板22の側面に接触される。
この状態において、図9(B)に示すように、載置板X軸移動機構24によって載置板22が予め設定された設定変位量だけX軸方向へ移動される。すると、このときの移動量が検出器30によって検出される。つまり、検出器30のスタイラス31の変位量が取り込まれ、制御装置60に送られる。
制御装置60において、取り込まれた変位量と設定変位量とから検出器30のゲインを校正する。例えば、制御装置60において、取り込まれたスタイラス31の変位量が設定変位量に近似するように、検出器30からの出力を入力とする回路(DAコンバータなど)のゲインを調整することにより、検出器30のゲインを校正する。あるいは、検出器30からの変位信号をPC(パソコン)等の制御装置に取り込み、取り込んだ値が設定変位量に一致するように取り込んだ値を調整することにより、検出器30のゲインを校正する。
こののち、測定動作が実行される。
<Explanation of detector automatic gain calibration operation>
When a detector automatic gain calibration command is given to the control device 60 by the detector automatic gain calibration program stored in the program storage unit 63A, the mounting plate X-axis moving mechanism 24 (or the mounting plate Y-axis moving mechanism 25). The rotation drive mechanism 23 is operated and the turntable 20 is rotated so that the movement direction of the rotation table coincides with the X-axis direction (first movement direction).
Thereafter, as shown in FIG. 9A, the detector driving mechanism 40 is driven, and the stylus 31 of the detector 30 is brought into contact with the side surface of the mounting plate 22.
In this state, as shown in FIG. 9B, the placement plate 22 is moved in the X-axis direction by a preset set displacement amount by the placement plate X-axis moving mechanism 24. Then, the movement amount at this time is detected by the detector 30. That is, the displacement amount of the stylus 31 of the detector 30 is captured and sent to the control device 60.
In the control device 60, the gain of the detector 30 is calibrated from the taken displacement amount and the set displacement amount. For example, in the control device 60, detection is performed by adjusting the gain of a circuit (such as a DA converter) that receives the output from the detector 30 so that the displacement amount of the captured stylus 31 approximates the set displacement amount. The gain of the device 30 is calibrated. Alternatively, the gain of the detector 30 is calibrated by taking the displacement signal from the detector 30 into a control device such as a PC (personal computer) and adjusting the taken value so that the taken value matches the set displacement amount. .
Thereafter, the measurement operation is executed.

<測定動作の説明>
プログラム記憶部63Aに記憶された測定プログラムによって、測定指令が制御装置60に与えられると、検出器駆動機構40が駆動される。つまり、昇降駆動機構43および第1スライド駆動機構45の駆動により、検出器30が被測定物Wに接近する方向へ移動され、検出器30のスタイラス31が被測定物Wに接触される。
この状態において、回転テーブル20が回転駆動される。すると、被測定物Wの真円度に応じて、検出器30のスタイラス31が変位されるから、そのスタイラス31の変位が検出器本体32によって電気信号として検出されたのち、制御装置60に取り込まれる。制御装置60は、取り込んだ測定データをデータ記憶部63Bに記憶したのち、こられのデータから真円度を演算し、その結果を表示装置62に表示し、かつ、必要に応じてプリントアウトする。
<Description of measurement operation>
When a measurement command is given to the control device 60 by the measurement program stored in the program storage unit 63A, the detector driving mechanism 40 is driven. That is, by driving the lifting drive mechanism 43 and the first slide drive mechanism 45, the detector 30 is moved in a direction approaching the object W to be measured, and the stylus 31 of the detector 30 is brought into contact with the object W to be measured.
In this state, the rotary table 20 is driven to rotate. Then, since the stylus 31 of the detector 30 is displaced according to the roundness of the workpiece W, the displacement of the stylus 31 is detected as an electric signal by the detector main body 32 and then taken into the control device 60. It is. The control device 60 stores the acquired measurement data in the data storage unit 63B, calculates the roundness from the data, displays the result on the display device 62, and prints it out as necessary. .

<実施形態の効果>
(1)スタイラス自動交換指令が与えられると、検出器駆動機構40の動作により、検出器本体32とスタイラスストッカ50との間でスタイラス交換動作が実行される。
従って、被測定物Wの測定部位形状に応じて、スタイラス交換動作を指令するようにしておけば、検出器本体32とスタイラスストッカ50との間でスタイラス交換動作が自動的に実行されるため、測定作業を中断することなく連続的に行うことができる。そのため、測定者への負担を軽減できるとともに、測定作業を効率化できる。
<Effect of embodiment>
(1) When an automatic stylus replacement command is given, a stylus replacement operation is performed between the detector main body 32 and the stylus stocker 50 by the operation of the detector drive mechanism 40.
Therefore, if the stylus replacement operation is commanded according to the shape of the measurement site of the workpiece W, the stylus replacement operation is automatically executed between the detector main body 32 and the stylus stocker 50. Measurement can be performed continuously without interruption. Therefore, the burden on the measurer can be reduced and the measurement work can be made more efficient.

(2)検出器自動ゲイン校正指令が与えられると、スタイラス31に予め設定された設定変位量が付与され、検出器30によって検出されるスタイラス31の変位と設定変位量とから検出器30のゲインが校正される。
従って、スタイラス交換動作を行ったのち、検出器自動ゲイン校正指令を与えるよう構成しておけば、スタイラス31の交換動作後に、検出器30のゲイン校正動作が自動的に実行されるから、スタイラス31の交換動作および検出器30のゲイン校正動作を測定作業を中断することなく連続的かつ自動的に行うことができる。そのため、測定者への負担を軽減できるとともに、測定作業を効率化できる。
(2) When a detector automatic gain calibration command is given, a preset set displacement amount is given to the stylus 31, and the gain of the detector 30 is determined from the displacement of the stylus 31 detected by the detector 30 and the set displacement amount. Is calibrated.
Accordingly, if the detector automatic gain calibration command is given after the stylus exchange operation, the gain calibration operation of the detector 30 is automatically executed after the stylus 31 exchange operation. The exchange operation and the gain calibration operation of the detector 30 can be performed continuously and automatically without interrupting the measurement operation. Therefore, the burden on the measurer can be reduced and the measurement work can be made more efficient.

(3)測定指令が与えられると、検出器駆動機構40の動作により検出器30のスタイラス31が被測定物Wに接触され、この状態において、回転テーブル20が回動動作されることにより、被測定物Wの真円度等の測定が実行される。
従って、スタイラス自動交換動作、検出器自動ゲイン校正動作および測定動作が連続的に実行されるから、作業能率の一層の向上が期待できる。
(3) When a measurement command is given, the stylus 31 of the detector 30 is brought into contact with the workpiece W by the operation of the detector driving mechanism 40, and in this state, the rotary table 20 is rotated, Measurement such as the roundness of the workpiece W is performed.
Therefore, since the automatic stylus exchange operation, the automatic detector gain calibration operation, and the measurement operation are continuously performed, further improvement in work efficiency can be expected.

(4)スタイラスストッカ50は、回転テーブル20および検出器駆動機構40の移動範囲によって決まる測定領域Aの外に配置され、また、検出器駆動機構40は、検出器30を測定領域の外へ移動可能に構成されているから、スタイラスストッカ50が測定領域を制限することがない。 (4) The stylus stocker 50 is disposed outside the measurement area A determined by the movement range of the rotary table 20 and the detector drive mechanism 40, and the detector drive mechanism 40 moves the detector 30 outside the measurement area. Since it is configured to be possible, the stylus stocker 50 does not limit the measurement area.

(5)検出器駆動機構40には、スライドアーム44の先端に設けられ検出器30をスライドアーム44のスライド軸線に対して直交する方向へスライドさせる第2スライド駆動機構46と、第2スライド駆動機構46をスライドアーム44のスライド軸線を中心に旋回させる旋回駆動機構47とが含まれているから、まず、旋回駆動機構47によって第2スライド駆動機構46をスライドアーム44のスライド軸線を中心に90度旋回させて検出器30の姿勢を水平に変更したのち、第2スライド駆動機構46によって検出器30をスライドアーム44のスライド軸線に対して直交する方向へスライドさせると、検出器30が測定領域Aの外に配置されたスタイラスストッカ50へ移動される。従って、真円度測定動作に支障を与えることなく、比較的簡易な構成で、検出器30を測定領域Aの外に配置されたスタイラスストッカ50へアプローチできる。 (5) The detector drive mechanism 40 includes a second slide drive mechanism 46 provided at the tip of the slide arm 44 and configured to slide the detector 30 in a direction orthogonal to the slide axis of the slide arm 44, and a second slide drive. A turning drive mechanism 47 that turns the mechanism 46 about the slide axis of the slide arm 44 is included. First, the turning drive mechanism 47 moves the second slide drive mechanism 46 about the slide axis of the slide arm 44. The detector 30 is rotated in the horizontal direction, and then the detector 30 is slid in a direction perpendicular to the slide axis of the slide arm 44 by the second slide drive mechanism 46. It is moved to the stylus stocker 50 arranged outside A. Therefore, the detector 30 can be approached to the stylus stocker 50 arranged outside the measurement region A with a relatively simple configuration without hindering the roundness measurement operation.

(6)スタイラスストッカ50が、回転テーブル20とコラム41との間で、スライドアーム44のスライド軸線を挟んでベース10の背面側に配置されているから、ベース10の正面側から見た視界を遮ることがないため、作業者は測定作業を目視で確認しながら測定作業を行うことができる。 (6) Since the stylus stocker 50 is disposed between the rotary table 20 and the column 41 on the back side of the base 10 across the slide axis of the slide arm 44, the field of view seen from the front side of the base 10 is Since there is no obstruction, the operator can perform the measurement work while visually confirming the measurement work.

(7)スタイラス31が上下方向に向かう検出器30の姿勢を0度として、検出器30の姿勢を−90度から+90度の範囲で変更可能に構成されているから、例えば、検出器30が+90度の姿勢のときにスタイラス交換動作が行える構成とすれば、検出器30が−90度の姿勢においては被測定物の真円度測定を実行できる。従って、被測定物の形状などに応じて検出器の姿勢を適宜変更して測定を実行できる。 (7) Since the attitude of the detector 30 in which the stylus 31 is directed in the vertical direction is set to 0 degree and the attitude of the detector 30 can be changed in a range of −90 degrees to +90 degrees, for example, the detector 30 If the stylus replacement operation can be performed when the posture is +90 degrees, the roundness of the object to be measured can be measured when the detector 30 is at a posture of −90 degrees. Therefore, measurement can be performed by appropriately changing the attitude of the detector according to the shape of the object to be measured.

<変形例>
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本考案に含まれる。
前記実施形態では、検出器自動ゲイン校正指令が制御装置60に与えられると、載置板X軸移動機構24または載置板Y軸移動機構25の移動方向がX軸方向(第1移動方向)に一致するように、回転テーブル20が回転されたのち、検出器30のスタイラス31が載置板22の側面に接触された状態において、載置板X軸移動機構24または載置板Y軸移動機構25が予め設定された設定変位量だけ移動されることにより、検出器30のゲインを校正するようにしたが、これに限られない。
例えば、図9(B)の状態において、載置板X軸移動機構24または載置板Y軸移動機構25を設定変位量だけ移動させるのではなく、第1スライド駆動機構45を設定変位量だけ移動させてもよい。
<Modification>
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
In the embodiment, when the detector automatic gain calibration command is given to the control device 60, the moving direction of the mounting plate X-axis moving mechanism 24 or the mounting plate Y-axis moving mechanism 25 is the X-axis direction (first moving direction). After the rotary table 20 is rotated so as to coincide with the position, the mounting plate X-axis moving mechanism 24 or the mounting plate Y-axis movement is performed in a state where the stylus 31 of the detector 30 is in contact with the side surface of the mounting plate 22. Although the gain of the detector 30 is calibrated by moving the mechanism 25 by a preset set displacement amount, the present invention is not limited to this.
For example, in the state of FIG. 9B, the first slide drive mechanism 45 is moved only by the set displacement amount instead of moving the mounting plate X axis moving mechanism 24 or the mounting plate Y axis moving mechanism 25 by the set displacement amount. It may be moved.

あるいは、真円度測定機を図10に示すように構成し、図11に示すように検出器校正動作を行うようにしてもよい。
図10に示す真円度測定機では、回転テーブル20の載置板22の外周縁の一部に外周縁からの切欠深さが設定変位量に相当する切欠き22Aが形成されている。ゲイン調整手段は、図11(A)に示すように、第1スライド駆動機構45を動作させて検出器30のスタイラス31を載置板22の側面に接触させ、この状態において、図11(B)に示すように、回転駆動機構23を作動させ、このときに検出器30によって検出されるスタイラスの変位を取り込み、この変位量と設定変位量とから検出器のゲインを校正する。
Alternatively, the roundness measuring machine may be configured as shown in FIG. 10, and the detector calibration operation may be performed as shown in FIG.
In the roundness measuring machine shown in FIG. 10, a notch 22 </ b> A in which a notch depth from the outer periphery corresponds to a set displacement amount is formed in a part of the outer periphery of the mounting plate 22 of the rotary table 20. As shown in FIG. 11 (A), the gain adjusting means operates the first slide drive mechanism 45 to bring the stylus 31 of the detector 30 into contact with the side surface of the mounting plate 22. ), The rotational drive mechanism 23 is operated, the stylus displacement detected by the detector 30 at this time is taken in, and the gain of the detector is calibrated from this displacement amount and the set displacement amount.

すなわち、検出器駆動機構40が動作されて検出器30のスタイラス31が載置板22の側面に接触されたのち、この状態において、回転駆動機構23を作動される。すると、載置板22の外周縁の一部に形成された切欠き22Aが検出器30によって検出される。つまり、検出器30のスタイラス31の変位が取り込まれ、この変位量と設定変位量とから検出器30のゲインが校正される。
従って、この構成でも、上記と同様に、従来の校正用治具や校正用マスタを用いなくてもよいので、これの回転テーブル20上へのセットおよび取り外しに伴う作業がなく、測定作業をより効率化できるとともに、載置板X軸移動機構24または載置板Y軸移動機構25も必要なく、これらの移動方向が第1スライド駆動機構45の移動方向(第1移動方向)に一致するように、回転駆動機構23を動作させて回転テーブル20を回転動作させる必要もないので、より簡易化、迅速化できる。
That is, after the detector driving mechanism 40 is operated and the stylus 31 of the detector 30 is brought into contact with the side surface of the mounting plate 22, the rotation driving mechanism 23 is operated in this state. Then, the notch 22 </ b> A formed in a part of the outer peripheral edge of the mounting plate 22 is detected by the detector 30. That is, the displacement of the stylus 31 of the detector 30 is taken in, and the gain of the detector 30 is calibrated from this displacement amount and the set displacement amount.
Accordingly, in this configuration as well, the conventional calibration jig and calibration master do not have to be used, so that there is no work associated with setting and removing the rotary table 20 and the measurement work is further improved. The mounting plate X-axis moving mechanism 24 or the mounting plate Y-axis moving mechanism 25 is not necessary, and the moving direction thereof coincides with the moving direction (first moving direction) of the first slide drive mechanism 45. In addition, since it is not necessary to rotate the rotary table 20 by operating the rotary drive mechanism 23, it can be simplified and speeded up.

前記実施形態では、スタイラスストッカ50が、ストッカ本体51に半円形状のスタイラス保持部53を上下方向に間隔を隔てて形成し、これに複数種のスタイラス31を水平な姿勢で保持するようにしたが、これに限られない。例えば、スタイラス保持部53を水平方向に間隔を隔てて形成し、これにスタイラス31を垂直な姿勢で保持するようにしてもよい。   In the embodiment, the stylus stocker 50 is formed with the semicircular stylus holding portions 53 in the stocker body 51 at intervals in the vertical direction, and holds a plurality of types of styluses 31 in a horizontal posture. However, it is not limited to this. For example, the stylus holding portions 53 may be formed at intervals in the horizontal direction, and the stylus 31 may be held in a vertical posture.

前記実施形態において、検出器本体32とスタイラス31とを、マグネットによって着脱可能に結合するようにしてもよい。あるいは、磁気に限らず、他の構成でもよい。例えば、エアーの吸引によって、検出器本体32とスタイラス31と着脱可能に保持する構造であってもよく、あるいは、どちらか一方に複数の挟持爪を設け、他方に挟持爪に挟持される挟持部を設けた構成であってもよい。   In the embodiment, the detector main body 32 and the stylus 31 may be detachably coupled by a magnet. Or not only magnetism but another structure may be sufficient. For example, the structure may be such that the detector main body 32 and the stylus 31 are detachably held by air suction, or a plurality of holding claws are provided on one side and the holding part is held on the other side by the holding claws. May be provided.

前記実施形態では、検出器30をX軸方向およびZ軸方向へ移動可能に構成したが、これに限られない。   In the embodiment, the detector 30 is configured to be movable in the X-axis direction and the Z-axis direction, but is not limited thereto.

本発明は、スタイラスの交換から測定までを連続的に行う真円度測定機に利用できる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a roundness measuring machine that continuously performs stylus replacement and measurement.

10…ベース、
20…回転テーブル、
21…本体、
22…載置板、
22A…切欠き、
23…回転駆動機構、
24…載置板X軸移動機構(載置板移動機構)、
25…載置板Y軸移動機構(載置板移動機構)、
30…検出器、
31…スタイラス、
32…検出器本体、
40…検出器駆動機構、
41…コラム、
42…昇降スライダ、
43…昇降駆動機構、
44…スライドアーム、
45…第1スライド駆動機構、
46…第2スライド駆動機構、
47…旋回駆動機構、
50…スタイラスストッカ、
60…制御装置、
A…測定領域、
L…垂直軸線、
W…被測定物。
10 ... Base,
20 ... rotary table,
21 ... the body,
22 ... mounting plate,
22A ... Notch,
23 ... Rotation drive mechanism,
24: Mounting plate X-axis moving mechanism (mounting plate moving mechanism),
25. Mounting plate Y-axis moving mechanism (mounting plate moving mechanism),
30 ... detector,
31 ... Stylus,
32 ... the detector body,
40. Detector drive mechanism,
41 ... Column,
42: Elevating slider,
43 ... Elevating drive mechanism,
44 ... slide arm,
45. First slide drive mechanism,
46. Second slide drive mechanism,
47. Turning drive mechanism,
50 ... Stylus stocker,
60 ... Control device,
A: Measurement area,
L ... vertical axis,
W: Object to be measured.

Claims (5)

ベースと、このベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられ上面に被測定物を載置する回転テーブルと、この回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、前記被測定物に接するスタイラスおよびこのスタイラスを着脱可能に装着するとともにこのスタイラスの変位を電気信号として出力する検出器本体を有する検出器と、この検出器を前記垂直軸線に対して直交しかつ前記回転テーブルに対して接近、離間する第1移動方向および前記垂直軸線と平行な第2移動方向へ駆動させる検出器駆動機構とを有する真円度測定機において、
前記被測定物の測定部位に対応して用意された複数種のスタイラスを取出可能かつ格納可能に収容したスタイラスストッカと、制御装置とを備え、
前記制御装置は、測定指令が与えられた際、前記回転駆動機構および前記検出器駆動機構の動作を制御しながら、前記被測定物の真円度測定を実行する測定実行手段と、
スタイラス自動交換指令が与えられた際、前記検出器駆動機構を制御しながら、前記検出器と前記スタイラスストッカとの間でスタイラス交換動作を実行するスタイラス交換実行手段と、
検出器自動ゲイン校正指令が与えられた際、前記スタイラスに予め設定された設定変位量を付与し、前記検出器によって検出される前記スタイラスの変位と前記設定変位量とから前記検出器のゲインを校正するゲイン調整手段とを備える、ことを特徴とする真円度測定機。
A base, a rotary table provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, and an object to be measured placed on the upper surface; a rotary drive mechanism for rotating the rotary table; a stylus in contact with the object to be measured; A detector having a detector main body that detachably mounts the stylus and outputs the displacement of the stylus as an electrical signal, and the detector is orthogonal to the vertical axis and approaches and separates from the rotary table In a roundness measuring machine having a first moving direction and a detector driving mechanism for driving in a second moving direction parallel to the vertical axis,
A stylus stocker which accommodates a plurality of types of styluses prepared corresponding to the measurement site of the object to be measured and is storable, and a control device;
The control device, when a measurement command is given, measurement execution means for measuring the roundness of the device under test while controlling the operation of the rotation drive mechanism and the detector drive mechanism;
Stylus replacement execution means for performing a stylus replacement operation between the detector and the stylus stocker while controlling the detector driving mechanism when a stylus automatic replacement command is given;
When a detector automatic gain calibration command is given, a preset set displacement amount is given to the stylus, and the gain of the detector is determined from the displacement of the stylus detected by the detector and the set displacement amount. A roundness measuring machine comprising gain adjusting means for calibrating.
請求項1に記載の真円度測定機において、
前記回転テーブルは、前記ベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられた本体と、この本体の上部に設けられ上面に被測定物を載置する円盤状の載置板と、この載置板を前記垂直軸線に対して直交する方向へ移動させる載置板移動機構とを含んで構成され、
前記ゲイン調整手段は、前記載置板移動機構の移動方向が前記第1移動方向に一致するように、前記回転駆動機構を動作させて前記回転テーブルを回転させたのち、前記検出器駆動機構を動作させて前記検出器のスタイラスを前記載置板の側面に接触させ、この状態において、前記載置板移動機構を予め設定された設定変位量だけ移動させたときに前記検出器によって検出される前記スタイラスの変位を取り込み、この変位量と前記設定変位量とから前記検出器のゲインを校正する、ことを特徴とする真円度測定機。
In the roundness measuring machine according to claim 1,
The rotary table includes a main body provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, a disk-like mounting plate provided on an upper surface of the main body, and a measurement object on the upper surface, and the mounting table. A mounting plate moving mechanism that moves the plate in a direction perpendicular to the vertical axis,
The gain adjusting means operates the rotary drive mechanism to rotate the rotary table so that the moving direction of the mounting plate moving mechanism matches the first moving direction, and then rotates the detector drive mechanism. The detector is operated to bring the detector stylus into contact with the side surface of the mounting plate. In this state, the detector is detected when the mounting plate moving mechanism is moved by a preset set displacement amount. A roundness measuring machine that takes in the displacement of the stylus and calibrates the gain of the detector from the displacement amount and the set displacement amount.
請求項1に記載の真円度測定機において、
前記回転テーブルは、前記ベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられた本体と、この本体の上部に設けられ上面に被測定物を載置する円盤状の載置板とを含んで構成され、
前記ゲイン調整手段は、前記検出器駆動機構を動作させて前記検出器のスタイラスを前記載置板の側面に接触させ、この状態において、前記検出器駆動機構を前記第1移動方向へ予め設定された設定変位量だけ移動させたときに前記検出器によって検出される前記スタイラスの変位を取り込み、この変位量と前記設定変位量とから前記検出器のゲインを校正する、ことを特徴とする真円度測定機。
In the roundness measuring machine according to claim 1,
The rotary table includes a main body provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, and a disk-like mounting plate provided on an upper surface of the main body for mounting an object to be measured. And
The gain adjusting means operates the detector driving mechanism to bring the detector stylus into contact with the side surface of the mounting plate. In this state, the detector driving mechanism is preset in the first movement direction. A perfect circle, which takes in the displacement of the stylus detected by the detector when moved by the set displacement amount and calibrates the gain of the detector from the displacement amount and the set displacement amount. Degree measuring machine.
請求項1に記載の真円度測定機において、
前記回転テーブルは、前記ベース上に垂直軸線を中心に回転可能に設けられた本体と、この本体の上部に設けられ上面に被測定物を載置する円盤状の載置板と、この載置板を前記垂直軸線に対して直交する方向へ移動させる載置板移動機構とを含んで構成され、前記載置板の外周縁の一部には外周縁からの切欠深さが前記設定変位量に相当する切欠きが形成され、
前記ゲイン調整手段は、前記検出器駆動機構を動作させて前記検出器のスタイラスを前記載置板の側面に接触させ、この状態において、前記回転駆動機構を作動させたときに前記検出器によって検出される前記スタイラスの変位を取り込み、この変位量と前記設定変位量とから前記検出器のゲインを校正する、ことを特徴とする真円度測定機。
In the roundness measuring machine according to claim 1,
The rotary table includes a main body provided on the base so as to be rotatable about a vertical axis, a disk-like mounting plate provided on an upper surface of the main body, and a measurement object on the upper surface, and the mounting table. A mounting plate moving mechanism that moves the plate in a direction orthogonal to the vertical axis, and the notch depth from the outer periphery of the mounting plate has a notch depth from the outer peripheral edge. A notch corresponding to is formed,
The gain adjusting means operates the detector driving mechanism to bring the stylus of the detector into contact with the side surface of the mounting plate. In this state, the detector detects when the rotational driving mechanism is operated. The roundness measuring machine is characterized in that it takes in the displacement of the stylus and calibrates the gain of the detector from the displacement amount and the set displacement amount.
請求項1〜請求項4のいずれかに記載の真円度測定機において、
前記スタイラスストッカは、前記回転テーブルおよび前記検出器駆動機構の移動範囲によって決まる測定領域の外に配置され、
前記検出器駆動機構は、前記ベース上に立設されたコラムと、このコラムに対して昇降スライダを上下方向へ駆動させる昇降駆動機構と、前記昇降スライダに対してスライドアームを前記垂直軸線に対して直交しかつ前記回転テーブルに対して接近、離間する方向へ駆動させる第1スライド駆動機構と、前記スライドアームの先端に設けられ前記検出器を前記スライドアームのスライド軸線に対して直交する方向へスライドさせる第2スライド駆動機構と、前記第2スライド駆動機構を前記スライドアームのスライド軸線を中心に旋回させる旋回駆動機構とを備え、
前記第2スライド駆動機構および前記旋回駆動機構の動作により、前記検出器が前記測定領域の外へ移動可能に構成されている、ことを特徴とする真円度測定機。
In the roundness measuring machine according to any one of claims 1 to 4,
The stylus stocker is disposed outside a measurement region determined by a moving range of the rotary table and the detector driving mechanism,
The detector driving mechanism includes a column erected on the base, an elevating drive mechanism for driving the elevating slider in the vertical direction with respect to the column, and a slide arm with respect to the vertical axis with respect to the elevating slider. And a first slide drive mechanism for driving in a direction toward and away from the rotary table, and a detector provided at the tip of the slide arm in a direction perpendicular to the slide axis of the slide arm. A second slide drive mechanism for sliding, and a turning drive mechanism for turning the second slide drive mechanism about the slide axis of the slide arm,
The roundness measuring machine, wherein the detector is configured to be movable out of the measurement region by the operations of the second slide drive mechanism and the turning drive mechanism.
JP2010074846A 2010-03-29 2010-03-29 Roundness measuring machine Active JP5324510B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010074846A JP5324510B2 (en) 2010-03-29 2010-03-29 Roundness measuring machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010074846A JP5324510B2 (en) 2010-03-29 2010-03-29 Roundness measuring machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011208994A true JP2011208994A (en) 2011-10-20
JP5324510B2 JP5324510B2 (en) 2013-10-23

Family

ID=44940230

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010074846A Active JP5324510B2 (en) 2010-03-29 2010-03-29 Roundness measuring machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5324510B2 (en)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013220943A1 (en) 2012-10-18 2014-04-24 Mitutoyo Corporation Profile measuring device, setting method for profile measuring device and profile measuring method
JP5943099B1 (en) * 2015-01-28 2016-06-29 株式会社東京精密 Roundness measuring device
JP2016148685A (en) * 2016-05-24 2016-08-18 株式会社東京精密 Circularity measuring apparatus
KR20180047369A (en) * 2016-10-31 2018-05-10 창원대학교 산학협력단 A compound profile meter
JP2019536032A (en) * 2016-11-16 2019-12-12 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company Coordinate positioning apparatus and operation method
CN111043995A (en) * 2018-10-15 2020-04-21 北京福田康明斯发动机有限公司 Method and device for calibrating rotating table of three-coordinate measuring machine
KR20210026413A (en) * 2019-08-30 2021-03-10 일륭기공(주) Inspection devices of lever for steering
CN112697087A (en) * 2020-12-04 2021-04-23 戴狄凯 Casing monitoring device of strong acid fluid valve
CN114234866A (en) * 2021-12-14 2022-03-25 大连德迈仕精密科技股份有限公司 Automobile air conditioner compressor spindle circle run-out detection device and detection method thereof
CN116045885A (en) * 2023-03-03 2023-05-02 长沙迈科轴承有限公司 Outer diameter roundness detection device for axle bearing production
CN118392090A (en) * 2024-06-25 2024-07-26 七海测量技术(深圳)有限公司 Measuring head conversion device of three-coordinate measuring machine

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09269224A (en) * 1996-03-29 1997-10-14 Tokyo Seimitsu Co Ltd Detector sensitivity calibrating method and device for roundness measuring apparatus
JP2004317159A (en) * 2003-04-11 2004-11-11 Mitsutoyo Corp Reference holder for roundness measuring machines
JP3141561U (en) * 2008-02-26 2008-05-08 株式会社ミツトヨ Surface roughness measuring device
JP2009069067A (en) * 2007-09-14 2009-04-02 Tokyo Seimitsu Co Ltd Shape analysis apparatus and shape analysis program

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09269224A (en) * 1996-03-29 1997-10-14 Tokyo Seimitsu Co Ltd Detector sensitivity calibrating method and device for roundness measuring apparatus
JP2004317159A (en) * 2003-04-11 2004-11-11 Mitsutoyo Corp Reference holder for roundness measuring machines
JP2009069067A (en) * 2007-09-14 2009-04-02 Tokyo Seimitsu Co Ltd Shape analysis apparatus and shape analysis program
JP3141561U (en) * 2008-02-26 2008-05-08 株式会社ミツトヨ Surface roughness measuring device

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013220943A1 (en) 2012-10-18 2014-04-24 Mitutoyo Corporation Profile measuring device, setting method for profile measuring device and profile measuring method
US9316476B2 (en) 2012-10-18 2016-04-19 Mitutoyo Corporation Profile measuring instrument, adjusting method for profile measuring instrument, and profile measuring method
DE102013220943B4 (en) 2012-10-18 2024-04-04 Mitutoyo Corporation Profile measuring device, setting method for profile measuring device and profile measuring method
JP5943099B1 (en) * 2015-01-28 2016-06-29 株式会社東京精密 Roundness measuring device
WO2016121490A1 (en) * 2015-01-28 2016-08-04 株式会社東京精密 Roundness measurement device
JP2016148685A (en) * 2016-05-24 2016-08-18 株式会社東京精密 Circularity measuring apparatus
KR20180047369A (en) * 2016-10-31 2018-05-10 창원대학교 산학협력단 A compound profile meter
KR101915948B1 (en) 2016-10-31 2019-01-30 창원대학교 산학협력단 A compound profile meter
US11402201B2 (en) 2016-11-16 2022-08-02 Renishaw Plc Coordinate positioning apparatus and method of operation
JP7105769B2 (en) 2016-11-16 2022-07-25 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー Coordinate positioning device and method of operation
JP2019536032A (en) * 2016-11-16 2019-12-12 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company Coordinate positioning apparatus and operation method
CN111043995B (en) * 2018-10-15 2022-05-27 北京福田康明斯发动机有限公司 Method and device for calibrating rotating table of three-coordinate measuring machine
CN111043995A (en) * 2018-10-15 2020-04-21 北京福田康明斯发动机有限公司 Method and device for calibrating rotating table of three-coordinate measuring machine
KR20210026413A (en) * 2019-08-30 2021-03-10 일륭기공(주) Inspection devices of lever for steering
KR102273248B1 (en) * 2019-08-30 2021-07-06 일륭기공(주) Inspection devices of lever for steering
CN112697087A (en) * 2020-12-04 2021-04-23 戴狄凯 Casing monitoring device of strong acid fluid valve
CN112697087B (en) * 2020-12-04 2022-12-06 安徽精尼流体机械设备有限公司 Casing monitoring device of strong acid fluid valve
CN114234866A (en) * 2021-12-14 2022-03-25 大连德迈仕精密科技股份有限公司 Automobile air conditioner compressor spindle circle run-out detection device and detection method thereof
CN114234866B (en) * 2021-12-14 2024-02-20 大连德迈仕精密科技股份有限公司 Device and method for detecting circular runout of main shaft of automobile air conditioner compressor
CN116045885A (en) * 2023-03-03 2023-05-02 长沙迈科轴承有限公司 Outer diameter roundness detection device for axle bearing production
CN118392090A (en) * 2024-06-25 2024-07-26 七海测量技术(深圳)有限公司 Measuring head conversion device of three-coordinate measuring machine

Also Published As

Publication number Publication date
JP5324510B2 (en) 2013-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5324510B2 (en) Roundness measuring machine
JP5451180B2 (en) Roundness measuring machine
JP6518421B2 (en) Roundness measuring machine and control method thereof
JP3141561U (en) Surface roughness measuring device
CN102042813B (en) Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method
JP4163545B2 (en) Reference jig for roundness measuring machine
EP2253930B1 (en) Form measuring instrument, and calibration method and calibration program therefor
JP6113998B2 (en) Shape measuring machine, method for adjusting shape measuring machine, and shape measuring method
CN101886921B (en) Measurement method and measurement accessory for zero point calibration of gear measuring center
JP5485676B2 (en) Surface texture measuring machine
JP2006231509A (en) Method for measuring program control type machine tool
JP5943099B1 (en) Roundness measuring device
JP2002340503A (en) Method for adjusting relative attitude of object to be measured for surface properties measuring machine
EP2312263A1 (en) Offset Amount Calibrating Method and Surface Profile Measuring Machine
JP2009115527A (en) Stylus, shape measuring instrument, and part program
JP2018036130A (en) Circularity measuring instrument
JP5971445B1 (en) Roundness measuring device
JP2000266534A (en) Surface profile measuring apparatus, inclination adjuster therefor and method for adjusting attitude of object
JP5000894B2 (en) Surface texture measuring machine
JP2012190918A (en) Surface roughness measuring instrument
JP2006194739A (en) Device and method for measuring vibration of measured object
JP2009262241A (en) Alignment method, alignment support apparatus, and alignment support program
JP5350170B2 (en) Surface texture measuring machine
JP6726566B2 (en) Drive unit tilt adjusting method and drive unit tilt adjusting program
JP2004212147A (en) Groove measuring device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130208

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130709

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130716

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130718

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5324510

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250