JP2011208204A - めっき装置、めっき方法およびチップ型電子部品の製造方法 - Google Patents
めっき装置、めっき方法およびチップ型電子部品の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】めっき槽21の内側で、めっき液30の流れを発生させる発生手段26と、めっき液30の流れ方向を規定する案内手段28と、めっき液30の流れの途中に配置されるアノード電極29と、めっき液30の流れの途中に配置され、めっき液30と共に流れてくるめっき対象物10を一時的に滞留させる滞留手段31,32と、を有するめっき装置20であって、滞留手段31,32の少なくとも一部がカソード電極31d,32dで構成されていることを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
めっき槽の内側で、めっき液の流れを発生させる発生手段と、
前記めっき液の流れ方向を規定する案内手段と、
前記めっき液の流れの途中に配置されるアノード電極と、
前記めっき液の流れの途中に配置され、前記めっき液と共に流れてくるめっき対象物を一時的に滞留させる滞留手段と、を有するめっき装置であって、
前記滞留手段の少なくとも一部がカソード電極で構成されていることを特徴とする。
前記めっき液と共に流れてくるめっき対象物を、少なくとも一部がカソード電極で構成される滞留手段で一時的に滞留させることを特徴とする。
前記素子本体に下地電極層を形成する工程と、
前記下地電極層の表面にめっき膜を形成する工程とを有するチップ型電子部品の製造方法であって、
前記めっき膜を形成する工程が、
めっき槽の内側で、アノード電極の付近を通過させるめっき液の流れを発生させ、
前記めっき液と共に流れてくる前記素子本体を、少なくとも一部がカソード電極で構成される滞留手段で一時的に滞留させることを特徴とする。
第1実施形態
(めっき対象物としての積層チップコンデンサ)
(積層チップコンデンサの製造方法)
まず素子本体10を製造する。素子本体10を製造するために、印刷工法またはシート工法等により、内部電極層4,6が互い違いに両端部に露出するように、誘電体層8と内部電極層4,6を交互に積層し、その積層方向の両端に外側誘電体層18を積層し、積層体を形成する。
(めっき装置)
図1に示すように、めっき装置20は、めっき槽21を有する。図3に示すように、めっき槽21は、めっき液30を貯留可能に構成され、少なくともめっき槽21の内面がプラスチック部材あるいはセラミック部材などの絶縁材料で構成されることが好ましい。この実施形態では、めっき槽21の鉛直方向上端部に、めっき中に発生したガスを排出可能なガス排出口24を持つ密閉型として説明を行うが、鉛直方向上部が開放型になっており、自由にガスを排出可能に構成されても良い。
第2実施形態
本実施形態では、図11に示すように、案内手段が、撹拌羽根26で発生しためっき液30の流れを、素子本体10と共に、めっき槽21の内壁21dに沿って鉛直方向上方に案内する案内部材48で構成される。
10…素子本体
12p,14p…下地電極層
12c,14c…めっき膜
21…めっき槽
23…導入パイプ
26…撹拌羽根
28…筒状パイプ
29…アノード電極
30…めっき液
31…第1プレート
31a…第1内周端
31b…第1外周端
31c…滞留面
31d…カソード電極
32…第2プレート
32a…第2内周端
32b…第2外周端
32c…滞留面
32d…カソード電極
34…振動器
35…落下孔
48…案内部材
Claims (19)
- めっき槽の内側で、めっき液の流れを発生させる発生手段と、
前記めっき液の流れ方向を規定する案内手段と、
前記めっき液の流れの途中に配置されるアノード電極と、
前記めっき液の流れの途中に配置され、前記めっき液と共に流れてくるめっき対象物を一時的に滞留させる滞留手段と、を有するめっき装置であって、
前記滞留手段の少なくとも一部がカソード電極で構成されていることを特徴とするめっき装置。 - 前記滞留手段が、内周端と外周端とを有する面状部材であり、
前記面状部材が、前記内周端と前記外周端とを結ぶ滞留面を有することを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。 - 前記面状部材の少なくとも前記めっき対象物に接触する部分がカソード電極で構成されることを特徴とする請求項2に記載のめっき装置。
- 前記滞留面が鉛直方向上側から鉛直方向下側に向けて傾斜していることを特徴とする請求項2または3に記載のめっき装置。
- 前記滞留面には、前記めっき対象物が前記面状部材から落下する落下孔が複数形成されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記落下孔の開口面積は、前記面状部材の鉛直方向下側に位置するほど大きいことを特徴とする請求項5に記載のめっき装置。
- 前記面状部材が、鉛直方向に複数形成され、鉛直方向上側に位置する第1プレートと、鉛直方向下側に位置する第2プレートとを有することを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記第1プレートの前記滞留面と、前記第2プレートの前記滞留面とが互いに平行であり、
前記第1プレートの前記内周端と、前記第2プレートの前記内周端とが鉛直方向下側に位置していることを特徴とする請求項7に記載のめっき装置。 - 前記第1プレートの第1内周端が、前記第1プレートの第1外周端よりも鉛直方向下側に位置し、
前記第2プレートの第2内周端が、前記第2プレートの第2外周端よりも鉛直方向上側に位置し、
前記第1内周端と前記第2内周端とが接していることを特徴とする請求項7に記載のめっき装置。 - 前記面状部材は、複数の細線が組み合わされて形成されることを特徴とする請求項2〜9のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記案内手段が、前記発生手段で発生した前記めっき液の流れを、前記めっき対象物と共に前記めっき槽の内部で鉛直方向上方に案内する案内部材であることを特徴とする請求項2〜10のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記案内部材が筒状の案内筒であり、前記めっき液およびめっき対象物が前記案内筒の内側を案内されるように形成してあることを特徴とする請求項11に記載のめっき装置。
- 前記面状部材の前記内周端が、前記案内部材の外周に接していることを特徴とする請求項12に記載のめっき装置。
- 前記案内手段が、前記発生手段で発生した前記めっき液の流れを、前記めっき対象物と共に、前記めっき槽の内壁に沿って鉛直方向上方に案内する案内部材であることを特徴とする請求項11に記載のめっき装置。
- 前記アノード電極が、前記滞留面の近くで、前記滞留面に略平行に配置されることを特徴とする請求項2〜14のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記発生手段が、新鮮なめっき液を前記めっき槽に導入する供給手段を兼ねていることを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載のめっき装置。
- 少なくとも前記滞留手段を振動させる振動手段を有することを特徴とする請求項1〜16のいずれかに記載のめっき装置。
- めっき槽の内側で、アノード電極の付近を通過させるめっき液の流れを発生させ、
前記めっき液と共に流れてくるめっき対象物を、少なくとも一部がカソード電極で構成される滞留手段で一時的に滞留させることを特徴とするめっき方法。 - 素子本体を製造する工程と、
前記素子本体に下地電極層を形成する工程と、
前記下地電極層の表面にめっき膜を形成する工程とを有するチップ型電子部品の製造方法であって、
前記めっき膜を形成する工程が、
めっき槽の内側で、アノード電極の付近を通過させるめっき液の流れを発生させ、
前記めっき液と共に流れてくる前記素子本体を、少なくとも一部がカソード電極で構成される滞留手段で一時的に滞留させることを特徴とするチップ型電子部品の製造方法。
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