JP2011205429A - 電子部品 - Google Patents
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Abstract
【課題】アウトガスによる影響を防止することで電子部品特性の低下を防止可能な、電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品2は、第1の導電部33、34を有する基材3と、第2の導電部12、13を有する振動片11と、前記第1の導電部33、34及び前記第2の導電部12、13に導通接続する第3の導電部25、26により覆われてなり、前記基材3と前記振動片11との間に設けられた第1の部材14と、前記基材3、前記振動片11及び前記第1の部材14により囲まれた領域に充填され、前記基材3及び前記振動片11を保持する第2の部材15と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】電子部品2は、第1の導電部33、34を有する基材3と、第2の導電部12、13を有する振動片11と、前記第1の導電部33、34及び前記第2の導電部12、13に導通接続する第3の導電部25、26により覆われてなり、前記基材3と前記振動片11との間に設けられた第1の部材14と、前記基材3、前記振動片11及び前記第1の部材14により囲まれた領域に充填され、前記基材3及び前記振動片11を保持する第2の部材15と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明は、電子部品に関するものである。
例えば、水晶振動子等の機能片を含む電子部品は、水晶振動子に設けられた励振電極と水晶振動子を駆動する駆動回路に接続するための接続電極がハンダ等の導電ペーストにより導電接触した状態で固定される(例えば、特許文献1参照)。電子部品を小型化した際に水晶振動子と同じ縮小率で接続電極面積を小型化した場合には、このような導電ペーストを用いる場合、塗布量が微量となるため毎回安定した塗布量で導電ペーストを供給できず、導電ペーストが硬化した際に水晶振動子に与える応力が毎回変化し電子部品と特性が毎回変化してしまい、電子部品の品質を均一にすることが困難であった。
そこで、弾性を有するコア部と、コア部の表面に設けられた導電膜と、から構成されるバンプ電極を上記励振電極に設け、接着材を介してバンプ電極と接続電極とを導電接触させる電子部品の実装構造も考えられる。しかしながら、このようなバンプ電極を採用する場合においては、接着材から発生したアウトガスにより水晶振動子の振動特性を変化させ、信頼性を低下させる虞がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、アウトガスによる影響を防止することで電子部品特性の低下を防止可能であり、接着剤の接着面積を安定化することによることによって、小型で均一な特性を有する電子部品を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために、本発明の電子部品は第1の導電部を有する基材と、第2の導電部を有する振動片と、前記第1の導電部及び前記第2の導電部に導通接続する第3の導電部により覆われてなり、前記基材と前記振動片との間に設けられた第1の部材と、前記基材、前記振動片及び前記第1の部材により囲まれた領域に充填され、前記基材及び前記振動片を保持する第2の部材と、を備えることを特徴とする。
本発明の電子部品よれば、第2の部材は、基材、振動片及び第1の部材に囲まれて設けられるため、第2の部材から発生するアウトガスの影響防止できる。また第2の部材は基材、振動片及び第1の部材で規定された空間に充填されているため、第2の部材の量が規定でき、硬化した際に発生する応力を均一化することができる。
また、上記電子部品においては、前記基材及び前記振動片のうち一方は、前記領域に第1の凹部を有し、前記第2の部材は、前記基材、前記振動片、前記第1の凹部及び前記第1の部材により囲まれた領域に充填されていることを特徴とする。この構成によれば、基材及び振動片のうち第1の部材が形成された他方の接着面積を大きくとることができ、小型化した場合でも接着強度を十分確保することができる。
また、上記電子部品においては、前記第1の凹部を有する前記基材又は前記振動片のうち他方は、前記領域に第2の凹部を有し、前記第2の部材は、前記基材、前記振動片、前記第1の凹部、前記第2の凹部及び前記第1の部材により囲まれた領域に充填されていることを特徴とする。この構成によれば、さらに接着面積を確保でき、より小型化した場合でも接着強度を十分に確保することができる。
また、上記電子部品においては、前記第2の部材は導電性接着剤から構成されていることが好ましい。この構成によれば、第1の部材で振動片と基材との導通を完全に確保する必要がなくなり、第1の部材の幅を小さくできより接続面積を小型化することができる。
また、上記電子部品においては、前記第1の部材は前記第3の導電部に覆われた樹脂突起から構成されているのが好ましい。この構成によれば、第1の部材は弾性を有するため、外部から衝撃が加わった場合でも導電部への負荷を低減することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
図1は本発明に係る電子部品の一例である水晶振動子パッケージを示す図である。図1は水晶振動子パッケージの断面構成を示す図であり、図2は図1の平面図、図3は水晶振動子を下方から視た図である。また、図4は図3におけるA−A´線矢視に対応する断面構成図であり、樹脂突起の形状を説明するための図である。
水晶振動子パッケージ(電子部品)2は、図1、2に示すように、水晶振動子1と、水晶振動子1を封止する容器(基材)3と、を備えている。水晶振動子1は、図1から図3に示すように、水晶片(振動片)11と、水晶片11を励振する一対の励振電極(第2の導電部)12、13と、バンプ電極(第1の部材)14と、接着部(第2の部材)15とを備えている。
容器3は、詳細については後述するように水晶片11との電気的接続に用いられる接続電極(第1の導電部)33、34と、回路基板(図示略)などに実装する際の端子電極35、36、第1の凹部171が形成されている。
水晶片11は、平面視でほぼU字状であって、基部21から2つの腕部22、23が同一方向に並列して延びる音叉型の平面形状を有する板状部材である。一対の励振電極12、13それぞれは、例えばAl(アルミニウム)やAu(金)などの導電材料で形成されており、水晶片11の一面に形成されている。そして、励振電極12は、水晶片11の一面において基部21から腕部22にわたって形成されている。また、励振電極13は、水晶片11の一面において基部21から腕部23にわたって形成されている。
水晶片の一面には第2の凹部171が形成されている。第2の凹部172は、例えば、ウエットエッチングやドライエッチングにより形成することができる。本実施形態では、Cr(クロム)により構成される下地にAu(金)を蒸着した金属膜をマスクとしてフッ酸溶液でウエットエッチングすることにより凹部171を形成する。
バンプ電極14は、基部21の一面に形成されており、上記励振電極12、13に電気的に接続された状態に設けられている。バンプ電極14は、図1及び図3に示すように、突起状の樹脂部24と、樹脂部24の表面に形成された一対の導電膜(第3の導電部)25、26とを備えている。
導電膜25、26は、例えばスパッタ法などによる成膜後にパターニングすることで形成されている。本実施形態では、スパッタ法によって形成したAu/Cr層をパターニングすることで励振電極12、13と連続して形成されており、励振電極12、13と導通している。すなわち、水晶振動子パッケージ2は、バンプ電極14を水晶片11と容器3との電気的接点として利用している。
なお、導電膜25、26は、例えばAu(金)、TiW(チタン/タングステン)、Cu(銅)、Cr(クロム)、Ni(ニッケル)、Ti、W、NiV(ニッケル/バナジウム)、Al、Pd(パラジウム)、鉛フリーハンダなどの金属や合金、これらの単層、或いは複数種を積層したもので形成してもよい。
なお、導電膜25、26は、例えばAu(金)、TiW(チタン/タングステン)、Cu(銅)、Cr(クロム)、Ni(ニッケル)、Ti、W、NiV(ニッケル/バナジウム)、Al、Pd(パラジウム)、鉛フリーハンダなどの金属や合金、これらの単層、或いは複数種を積層したもので形成してもよい。
図2に示すように、樹脂部24は、平面視、円環形状から構成されており、バンプ電極14も円環形状となっている。また、樹脂部24は、後述するようにフォトリソグラフィ技術やエッチング技術によって樹脂材料をパターニングした後、樹脂パターンを融解させることで断面形状が略半円状とされている。
樹脂部24は上述のように導電膜25、26により覆われることから種々の樹脂料を用いることができ、例えばポリイミド樹脂やアクリル樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂などの感光性絶縁樹脂や熱硬化性絶縁樹脂で形成されている(本実施形態では、エポキシ樹脂を用いる)。
さらに、基部21の一面における上記樹脂部24(バンプ電極14)により囲まれる領域の内側には、接着部15が充填されて設けられている。接着部15は、図1に示されるように、導電膜25、26およびバンプ電極14及び接続電極33、34それぞれの表面接着された状態で水晶片11を容器本体31に実装(保持)している。水晶振動子1は、図1に示されるように基部21が容器3に支持された片持ち支持構造となっている。
接着部15は、接着性が発現する材料であれば種々のものを用いることができ、具体的に本実施形態においては、接着部15に熱硬化性シリコーン接着材を用いた。接着部15をバンプ電極14により囲まれる領域の内側に充填させる方法としては、ディスペンス法、インクジェット塗布法やスピンコート法などを用いることができる。具体的には本実施例においては、ディスペンス法により充填した。
また、接着部15は、樹脂と導電性フィラーと混合した導電性接着材で構成してもよい。なお、導電性フィラーとして、例えば、Au、Ag(銀)、Cu、Ni、Al等の金属を用いることができる。樹脂として、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性絶縁樹脂を用いることができる。
接着部15を導電性接着材で構成することにより、バンプ電極14及び接着部15を水晶片11と容器3との電気的接点とすることができる。よって、バンプ電極14を小型化しより接続部面積を小型化した場合であっても接続の信頼性を高めることができる。なお、接続の信頼性を高める点では、接着部15はエポキシ樹脂とAgとを混合したAgペーストであることが好ましい。
上記容器3は、容器本体31と、容器本体31を覆う蓋体32とを備えている。
容器本体31は、ほぼ箱状に形成されており、例えばセラミックスなどの絶縁材料で形成されている。そして、容器本体31の底部の上面には、接続電極33、34が形成されている。また、容器本体31の底部の下面には、回路基板(図示略)などに実装する際の端子電極35、36が形成されている。
容器本体31は、ほぼ箱状に形成されており、例えばセラミックスなどの絶縁材料で形成されている。そして、容器本体31の底部の上面には、接続電極33、34が形成されている。また、容器本体31の底部の下面には、回路基板(図示略)などに実装する際の端子電極35、36が形成されている。
接続電極33、34それぞれは、例えばW膜上に形成されたNiめっき層上にAu膜を積層することで構成されており、容器本体31に形成された配線(図示略)を介して端子電極35、36それぞれに接続されている。第1の凹部171は、例えばセラミック基板であれば焼成しセラミックとなる前の材料をパンチング法などにより機械的に加工したのち焼成することで形成することができる。本発明では、レーザー加工により基材3の材料を蒸発させ形成した。蓋体32は、容器本体31と同様に、例えばセラミックスなどの絶縁材料で形成されている。そして、蓋体32は、容器本体31の開口部にロウ付けなどにより接合されており、容器本体31との間に形成される空間内に水晶振動子1を封止する。
上述したように本実施形態に係る水晶振動子パッケージ2は、バンプ電極14を電気的接点として用い、規定された空間に充填された接着部15で水晶振動子1を容器3上に実装することができる。樹脂部24は導電膜25、26によって覆われているため、樹脂部24から発生するアウトガスが水晶振動子1(水晶片11)の振動特性を低下させるといった不具合を防止できる。さらに、接着部15は図1に示したように、接着部15はバンプ電極14により周囲が囲まれることで密閉状態とされる。これにより、接着部15から発生するアウトガスが水晶振動子1(水晶片11)の振動特性を低下させるといった不具合を防止できる。
また接着部15は接続電極33,34およびバンプ電極14で規定された空間で水晶振動子1を保持しているため、接着部15が水晶振動子1へ与える影響を規定することができ、接着部15の塗布量ばらつきにより水晶振動子1の振動特性を変動させるといった不具合を防止できる。
このように本実施形態に係る水晶振動子パッケージ2によれば、樹脂材料から発生するアウトガスに起因する水晶振動子1の特性の低下を防止することができ、信頼性の高いものを提供できる。また、樹脂部24及び接着部15はいずれも弾性を有しているため、外部からの衝撃が加わった場合でもバンプ電極14及び接続電極33、34における導通部への付加を軽減することができ、優れた導通信頼性を得ることができる。また、接着部15は水晶振動子への接着面が規定されるため、従来の導電ペーストのみの構造より振動特性を安定することができる。
本発明の電子部品の製造方法の一実施形態として、上記水晶振動子パッケージ2(水晶振動子1)を製造する工程について説明する。本実施形態では、上記バンプ電極14及び接着部15を形成する工程に特徴を有している。そのため、以下ではバンプ電極14及び接着部15を製造する方法を中心に説明する。
まず、図5(a)に示すように、水晶片11の一面にスピンコート法により感光性樹脂材料50を塗布する。具体的に本実施形態では、後述の接着工程において接着材としての機能を有するエポキシ樹脂を塗布した。
続いて、露光及び現像工程を行う。具体的には、図5(b)に示すように、上記樹脂部24を構成する第1の樹脂パターン対応する開口が形成されたフォトマスクMを用いる。このようなフォトマスクMを用いて露光処理及び現像処理を行うことで、図5(c)に示すように、水晶片11上には第1の樹脂パターンが形成される。
このように本実施形態では、第1樹脂パターンをフォトリソプロセスによって形成することができる。これにより、安定して微細なパターンが形成可能である。
続いて、図5(d)に示すように、第1の樹脂パターンを加熱させ収縮させることでテーパ断面をもつ第1の樹脂パターンを形成する。加熱方法としては種々の方法を例示することができ、本実施形態では、例えば水晶振動子1を加熱炉内に入れることで加熱処理を行った。
このようにして樹脂部24を形成した後、水晶片11上に励振電極12、13を構成する形成する。励振電極12、13は、例えばスパッタ法によりAu/Cr層を成膜した後、所望の形状にパターニングする。これにより励振電極12、13及び樹脂部24を覆う導電膜25,26を形成することができる。このように本実施形態においては、励振電極12、13の一部によって導電膜25、26を形成することで、製造プロセスを簡略化することができる。以上の工程により、励振電極12、13の接続部に樹脂部24を備えた水晶振動子1が製造できる。
続いて、水晶振動子1のバンプ電極14に囲まれた領域接着剤を充填する。接着剤を充填する方法としては、インクジェット法やディスペンス法など既存の技術を用いてバンプ電極14に囲まれた領域に接着剤を塗布する。インクジェット法を用いれば精度よく充填できるが、ディスペンス法など十分な精度で塗布できない場合は、一度バンプ電極14の高さよりも高く接着剤15を一度塗布しスキージなどを用いてバンプ電極14の高さまで接着剤15をかき取ることによって充填することができる。本実施例では、ディスペンス法で一度塗布しスキージを用いて充填させた。
次に、水晶振動子1の実装方法について、図6を参照しながら説明する。ここで、図6は水晶片11の容器3への実装時におけるバンプ電極14を示す断面図である。まず、水晶片11に設けられたバンプ電極14及び接着部15を容器本体31に形成された接続電極33、34に対して接触させる(図6(a)、図6(b)参照)。なお、水晶振動子1の実装は加熱しながら行われる。また接続電極33、34のバンプ電極14が搭載される位置に凹部が形成されている場合は、あらかじめ水晶振動子1に接着部15を充填した方法と同様な方法で凹部に接着部15を充填し実装する。
このとき、導電膜25及び接続電極33と導電膜26及び接続電極34とが、それぞれ十分な接触面積で導電接触する。接着部15が接続電極33、34に接触する。そして、接着部15を硬化させる。
以上のようにして、水晶片11を容器本体31内に実装する。その後、容器本体31と蓋体32とを接合して水晶振動子1を封止する。このようにして、水晶振動子パッケージ2が形成される。このとき、樹脂部24は導電膜25、26によって覆われているため、樹脂部24から発生するアウトガスが水晶振動子1(水晶片11)の振動特性を低下させることが防止される。さらに、接着部15はバンプ電極14により周囲が囲まれることで図6(b)に示すように密閉状態となっており、接着部15から発生するアウトガスが水晶振動子1(水晶片11)の振動特性を低下させることが防止される。
このようにして形成される水晶振動子パッケージ2によれば、樹脂材料から発生するアウトガスに起因する水晶振動子1の特性の低下を防止することで信頼性の高いものとなる。また、水晶片11と容器本体31との接続部分に例えば落下衝撃などの衝撃が加わった際、樹脂部24が弾性変形してこの衝撃を吸収する。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、音叉型水晶振動子パッケージに本発明を適用した例を示したが、AT型水晶振動子パッケージや振動型ジャイロセンサー等の電子部品にも適用可能である。また、図7に示すように、容器本体31に凹部を形成し、水晶片11には凹部を形成しない構成としてもよい。また、水晶片11に凹部を形成し、容器本体31には凹部を形成しない構成としてもよい。
また、上記実施形態では平面視円環状のバンプ電極14内に接着部15を一つだけ設ける構成としたが、接着部15を複数配置することで水晶振動子1における本体31への接着強度を向上させるようにしてもよい。また、接着部15は、バンプ電極14を水晶片11に密着させた状態で基材3及び水晶片11を保持することができればよく、上記実施形態では、接着部15を平面視円形形状のものとしたが、平面視矩形形状としてもよい。また、蒲鉾状に形成してもよい。蒲鉾状とは、水晶片11に接する内面(底面)が平面であると共に、非接触である外面側が湾曲面となっている柱状形状をいう。具体的に、ほぼ蒲鉾状とは、横断面がほぼ半円状やほぼ半楕円状、ほぼ台形状であるものが挙げられる。
また、上記実施形態では、水晶片11にバンプ電極14及び接着部15を設ける構成としたが、容器本体31にバンプ電極14及び接着部15を設ける構成としてもよい。また、バンプ電極14及び接着部15のうち一方を容器3に設け、他方を水晶片11に設ける構成としてもよい。
1…水晶振動子、2…水晶振動子パッケージ(電子部品)、3…容器(基材)、11…水晶片(振動片)、12,13…励振電極(第2の導電部)、14…バンプ電極(第1の部材)、15…接着部(第2の部材)、24…樹脂部、25,26…導電膜(第3の導電部)、33,34…接続電極(第1の導電部)、50…感光性樹脂材料、P1…第1の樹脂パターン、P2…第2の樹脂パターン。
Claims (5)
- 第1の導電部を有する基材と、
第2の導電部を有する振動片と、
前記第1の導電部及び前記第2の導電部に導通接続する第3の導電部により覆われてなり、前記基材と前記振動片との間に設けられた第1の部材と、
前記基材、前記振動片及び前記第1の部材により囲まれた領域に充填され、前記基材及び前記振動片を保持する第2の部材と、
を備えることを特徴とする電子部品。 - 前記基材及び前記振動片のうち一方は、前記領域に第1の凹部を有し、
前記第2の部材は、前記基材、前記振動片、前記第1の凹部及び前記第1の部材により囲まれた領域に充填されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品。 - 前記第1の凹部を有する前記基材又は前記振動片のうち他方は、前記領域に第2の凹部を有し、
前記第2の部材は、前記基材、前記振動片、前記第1の凹部、前記第2の凹部及び前記第1の部材により囲まれた領域に充填されていることを特徴とする請求項2に記載の電子部品。 - 前記第2の部材は導電性接着剤からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子部品。
- 前記第1の部材は前記第3の導電部に覆われた樹脂突起を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電子部品。
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US10326455B2 (en) | 2015-11-02 | 2019-06-18 | Seiko Epson Corporation | Integrated circuit device, electronic device, electronic apparatus, and base station |
WO2021260978A1 (ja) * | 2020-06-26 | 2021-12-30 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
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