JP2011204714A - Electronic component mounting device and working method by the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic component mounting device, along with a working method by the same, capable of reliably preventing the other substrate from entering a conveyor section during the work.SOLUTION: The device includes a lower receiving part 24 which supports the central part of a substrate 2 carried in by a conveyor section 23 from below, and a pair of substrate end supporting members 25 provided between a pair of belt conveyors 32 in the conveyor section 23 and pushed up by the rising lower receiving part 24 in order to support the opposite ends of the substrate 2 supported by the conveyor section 23 from below. While the substrate 2 is supported by the lower receiving part 24 and the pair of substrate end supporting members 25, the pair of substrate end supporting members 25 are located to come into contact with the substrate 2 which enters the conveyor section 23 from the upstream side of a substrate transfer path 39.

Description

本発明は、基板に対して電子部品実装用の作業を行う電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置による作業方法に関するものである。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus for performing an electronic component mounting operation on a substrate, and an operation method using the electronic component mounting apparatus.

電子部品実装機やスクリーン印刷機のように、基板に対して電子部品実装用の作業を行う電子部品実装用装置は、基板の搬送を行う基板搬送路の一部を構成し、一対のベルトコンベアにより基板の両端部を下方から支持して基板の搬入を行うコンベア部と、コンベア部の下方を上昇し、コンベア部により搬入された基板の中央部を下方から支持する下受け部と、コンベア部の一対のベルトコンベアの間に設けられてコンベア部に対して昇降自在であり、上昇する下受け部によって押し上げられてコンベア部により搬入された基板の両端部を下方から支持する一対の基板端部支持部材と、下受け部及び一対の基板端部支持部材により支持された基板に対して電子部品実装用の作業を行う作業装置とを備えている。   An electronic component mounting apparatus, such as an electronic component mounting machine or a screen printing machine, that performs an electronic component mounting operation on a substrate constitutes a part of a substrate transport path for transporting a substrate, and a pair of belt conveyors A conveyor unit that supports both ends of the substrate from below and carries the substrate in, a lower receiving unit that raises the lower part of the conveyor unit and supports the central portion of the substrate loaded by the conveyor unit from below, and a conveyor unit A pair of substrate end portions that are provided between the pair of belt conveyors and are movable up and down with respect to the conveyor portion, and support both ends of the substrate pushed up by the rising lower receiving portion and carried in by the conveyor portion from below. A support member, and a working device that performs an operation for mounting an electronic component on the substrate supported by the lower receiving portion and the pair of substrate end portion support members are provided.

このような電子部品実装用装置では、作業の実行中に、基板搬送路の上流側からコンベア部に他の基板が進入してしまう事態を防止するため、基板の搬送路中に基板の検出を行うセンサを設け、作業の実行中にコンベア部に進入しようとする基板を検出してその基板の搬送動作を停止させるようにしている(例えば、特許文献1)。   In such an electronic component mounting apparatus, in order to prevent a situation in which another board enters the conveyor unit from the upstream side of the board transport path during the execution of the work, the board is detected in the board transport path. A sensor for performing the operation is provided to detect a board that is about to enter the conveyor unit during the execution of the work, and stop the transport operation of the board (for example, Patent Document 1).

特開2007−160710号公報JP 2007-160710 A

しかしながら、上記のように、基板をセンサにより検出する構成の場合には、センサの故障等が起きたときにはコンベア部への基板の進入を防止できないだけでなく、電子部品実装用装置の動作が緊急停止されてしまって基板の生産性が大幅に低下するおそれがあるという問題点があった。   However, as described above, in the case of the configuration in which the substrate is detected by the sensor, when the failure of the sensor or the like occurs, not only the substrate cannot be prevented from entering the conveyor portion but also the operation of the electronic component mounting apparatus is urgent. There has been a problem that the productivity of the substrate may be significantly reduced due to being stopped.

そこで本発明は、作業の実行中にコンベア部に他の基板が進入することを確実に防止することができる電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置による作業方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus and an operation method using the electronic component mounting apparatus that can reliably prevent another board from entering the conveyor section during the execution of the work. .

請求項1に記載の電子部品実装用装置は、基板の搬送を行う基板搬送路の一部を構成し、一対のベルトコンベアにより基板の両端部を下方から支持して基板の搬入を行うコンベア部と、前記コンベア部の下方を上昇し、前記コンベア部により搬入された基板の中央部を下方から支持する下受け部と、前記コンベア部の一対のベルトコンベアの間に設けられて前記コンベア部に対して昇降自在であり、上昇する下受け部によって押し上げられて前記コンベア部により搬入された基板の両端部を下方から支持する一対の基板端部支持部材と、下受け部及び一対の基板端部支持部材により支持された基板に対して電子部品実装用の作業を行う作業装置とを備え、下受け部及び一対の基板端部支持部材によって基板が支持された状態において、基板搬送路の上流側から前記コンベア部に進入する基板と当接する位置に一対の基板端部支持部材が位置する。   The apparatus for mounting an electronic component according to claim 1 constitutes a part of a board conveyance path for carrying a board, and conveys a board by supporting both ends of the board from below by a pair of belt conveyors. And a lower receiving part that supports the central part of the substrate carried by the conveyor part from below and a pair of belt conveyors of the conveyor part, and is provided on the conveyor part. A pair of substrate end support members that can be raised and lowered and supported from below by both ends of the substrate pushed up by the rising lower receiving portion and carried in by the conveyor portion, and the lower receiving portion and the pair of substrate end portions And a work device for performing an electronic component mounting operation on the substrate supported by the support member, and the substrate is transported in a state where the substrate is supported by the lower support portion and the pair of substrate end support members. A pair of substrates end support member at a position the substrate abutting entering from the upstream side to the conveyor section of the road is located.

請求項2に記載の電子部品実装用装置は、請求項1に記載の電子部品実装用装置であって、一対のベルトコンベアが互いに離反又は近接する動作に伴って一対の基板端部支持部材が離反又は近接する。   An electronic component mounting apparatus according to a second aspect is the electronic component mounting apparatus according to the first aspect, wherein the pair of substrate end support members are moved in accordance with an operation in which the pair of belt conveyors move away from each other or approach each other. Separate or approach.

請求項3に記載の電子部品実装用装置は、請求項1又は2に記載の電子部品実装用装置であって、前記コンベア部及び基板を下方から支持した状態の下受け部を一体に上昇させて作業装置による基板に対する作業が行われる所定の位置に基板を位置させる昇降部と、前記コンベア部に設けられ、昇降部により基板が前記所定の位置に位置された状態で、基板搬送路の上流側から前記コンベア部に進入する基板と当接する位置に位置する基板進入規制部材とを備えた。   An electronic component mounting apparatus according to a third aspect is the electronic component mounting apparatus according to the first or second aspect, wherein the conveyor portion and the lower support portion in a state where the substrate is supported from below are integrally raised. A lifting unit for positioning the substrate at a predetermined position where the work is performed on the substrate by the working device, and an upstream of the substrate transport path in a state where the substrate is positioned at the predetermined position by the lifting unit. And a board entry restricting member located at a position in contact with the board entering the conveyor section from the side.

請求項4に記載の電子部品実装用装置による作業方法は、基板の搬送を行う基板搬送路の一部を構成し、一対のベルトコンベアにより基板の両端部を下方から支持して基板の搬入を行う工程と、前記コンベア部の下方で下受け部を上昇させて前記コンベア部により搬入した基板の中央部を下方から支持するとともに、前記コンベア部の一対のベルトコンベアの間に設けられて前記コンベア部に対して昇降自在な一対の基板端部支持部材を下受け部によって押し上げて一対の基板端部支持部材により基板の両端部を下方から支持する工程と、下受け部及び一対の基板端部支持部材により支持した基板に対して作業装置により電子部品実装用の作業を行う工程とを含む電子部品実装用装置による作業方法であって、下受け部及び一対の基板端部支持部材によって基板を支持した状態において、基板搬送路の上流側から前記コンベア部に進入する基板と当接する位置に一対の基板端部支持部材を位置させる。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an electronic component mounting apparatus comprising: a part of a board conveyance path for carrying a board; and a pair of belt conveyors supporting both ends of the board from below to carry in a board. And a step of raising the lower part below the conveyor part to support the center part of the substrate carried by the conveyor part from below, and provided between the pair of belt conveyors of the conveyor part. A step of pushing up a pair of substrate end support members that can be raised and lowered relative to the substrate by the lower receiving portion and supporting both ends of the substrate from below by the pair of substrate end supporting members, and a lower receiving portion and a pair of substrate end portions A work method using an electronic component mounting apparatus including a step of performing an operation for mounting an electronic component on a substrate supported by a support member using a work device, wherein the support portion and the pair of substrate end portions are supported. In the state of supporting the substrate by a member to position the pair of substrate edge support member from the upstream side of the substrate transportation path in a position in which it contacts the substrate entering the conveyor unit.

請求項5に記載の電子部品実装用装置による作業方法は、請求項4に記載の電子部品実装用装置による作業方法であって、一対のベルトコンベアが互いに離反又は近接する動作に伴って一対の基板端部支持部材を離反又は近接させる。   The working method by the electronic component mounting apparatus according to claim 5 is the working method by the electronic component mounting apparatus according to claim 4, wherein the pair of belt conveyors move away from each other or approach each other. The substrate end support member is separated or brought close to the substrate end support member.

請求項6に記載の電子部品実装用装置による作業方法は、請求項4又は5に記載の電子部品実装用装置による作業方法であって、下受け部及び一対の基板端部支持部材により基板の両端部を下方から支持した後、前記コンベア部及び下受け部を一体に上昇させて作業装置による基板に対する作業が行われる所定の位置に基板を位置させる工程を含み、基板を前記所定の位置に位置させた状態で、基板搬送路の上流側から前記コンベア部に進入する基板と当接する位置に、前記コンベア部に設けられた基板進入規制部材を位置させる。   The working method by the electronic component mounting apparatus according to claim 6 is the working method by the electronic component mounting apparatus according to claim 4 or 5, wherein the substrate is supported by the lower receiving portion and the pair of substrate end support members. After supporting both ends from below, the substrate is placed at the predetermined position by raising the conveyor unit and the lower receiving unit integrally to position the substrate at a predetermined position where work on the substrate by the working device is performed. In the state of being positioned, the substrate entry restriction member provided in the conveyor unit is positioned at a position where the substrate enters the conveyor unit from the upstream side of the substrate conveyance path.

本発明では、下受け部及び一対の基板端部支持部材によって基板が支持されている状態において、基板搬送路の上流側からコンベア部に進入する基板と当接する位置に一対の基板端部支持部材が位置するようになっているので、作業の実行中にコンベア部に他の基板が進入することを確実に防止することができる。   In the present invention, in a state where the substrate is supported by the lower receiving portion and the pair of substrate end support members, the pair of substrate end support members are in positions where they contact the substrate entering the conveyor unit from the upstream side of the substrate transport path. Therefore, it is possible to reliably prevent another substrate from entering the conveyor unit during the execution of the work.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるコンベア部の近傍部分の(a)斜視図(b)正面図The (a) perspective view (b) front view of the vicinity part of the conveyor part with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is provided (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の基板保持移動ユニットが備えるコンベア部の部分拡大斜視図(A) (b) The partial expansion perspective view of the conveyor part with which the board | substrate holding | maintenance movement unit of the screen printing machine in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに設置されたマスクの平面図The top view of the mask installed in the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and the mask holder 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの部分正面図(A) (b) The partial front view of the board | substrate holding | maintenance movement unit with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの部分正面図(A) (b) The partial front view of the board | substrate holding | maintenance movement unit with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの部分正面図(A) (b) The partial front view of the board | substrate holding | maintenance movement unit with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the execution procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の基板保持移動ユニットの部分正面図(A) (b) The partial front view of the board | substrate holding | maintenance movement unit of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の基板保持移動ユニットの部分側面図(A) (b) (c) The partial side view of the board | substrate holding | maintenance movement unit of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の基板保持移動ユニットの部分側面図(A) (b) (c) The partial side view of the board | substrate holding | maintenance movement unit of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の基板保持移動ユニットの部分側面図(A) (b) (c) The partial side view of the board | substrate holding | maintenance movement unit of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の基板保持移動ユニットの部分側面図(A) (b) The partial side view of the board | substrate holding | maintenance movement unit of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の基板保持移動ユニットの部分側面図(A) (b) (c) The partial side view of the board | substrate holding | maintenance movement unit of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の基板保持移動ユニットの部分側面図(A) (b) (c) The partial side view of the board | substrate holding | maintenance movement unit of the screen printer in one embodiment of this invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1、図2及び図3に示すスクリーン印刷機1は、実装基板生産用の電子部品実装ラインを構成する電子部品実装用装置の一種であり、基板2を搬入してその基板2の表面に設けられた電極3上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストPst(図3参照)を転写するスクリーン印刷を行った後、その基板2を下流側の電子部品実装機(図示せず)等に搬出する動作を連続実行するものである。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機1における基板2の搬送方向をX軸方向(図1の紙面左右方向)、X軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向(図1の紙面上下方向)とし、上下方向をZ軸方向とする。また、Y軸方向をスクリーン印刷機1の前後方向、X軸方向をスクリーン印刷機1の横(左右)方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機1のオペレータOP(図1)がスクリーン印刷機1に対して作業を行う側(図1の紙面下方)をスクリーン印刷機1の前方、その反対側(図1の紙面上方)をスクリーン印刷機1の後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A screen printing machine 1 shown in FIGS. 1, 2 and 3 is a kind of electronic component mounting apparatus constituting an electronic component mounting line for mounting substrate production. A substrate 2 is carried in and placed on the surface of the substrate 2. After performing screen printing for transferring a paste Pst (see FIG. 3) such as a solder paste or a conductive paste onto the provided electrode 3, the substrate 2 is transferred to an electronic component mounting machine (not shown) on the downstream side. The operation to carry out is executed continuously. Hereinafter, for convenience of explanation, the transport direction of the substrate 2 in the screen printing machine 1 is the X axis direction (left and right direction in FIG. 1), and the horizontal direction perpendicular to the X axis direction is the Y axis direction (up and down direction in FIG. 1). ) And the vertical direction is the Z-axis direction. The Y-axis direction is the front-rear direction of the screen printing machine 1 and the X-axis direction is the horizontal (left-right) direction of the screen printing machine 1. Further, in the front-rear direction, the operator OP (FIG. 1) of the screen printing machine 1 performs the operation on the screen printing machine 1 (below the paper surface in FIG. 1) is the front side of the screen printing machine 1, and the opposite side (see FIG. 1). 1) is the rear side of the screen printer 1.

図1、図2及び図3において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基台11上に設けられた基板保持移動ユニット12、基板保持移動ユニット12の基板2の搬送方向(X軸方向)の上流側(図1の紙面左側)に設けられた基板搬入コンベア13、基板保持移動ユニット12の基板2の搬送方向の下流側(図1の紙面右側)に設けられた基板搬出コンベア14、基板保持移動ユニット12の上方に設けられた金属製の薄板材料から成るプレート状のマスク15、前後一対のスキージ16及びカメラユニット17を備えている。   1, 2, and 3, the screen printing machine 1 according to the present embodiment includes a substrate holding / moving unit 12 provided on a base 11, and a substrate holding / moving unit 12 transport direction (X-axis direction). ) On the upstream side (left side in FIG. 1) of the substrate, and the substrate carry-out conveyor 14 provided on the downstream side (right side in FIG. 1) of the substrate holding and moving unit 12 in the transport direction of the substrate 2. A plate-shaped mask 15 made of a metal thin plate material, a pair of front and rear squeegees 16 and a camera unit 17 are provided above the substrate holding and moving unit 12.

図2及び図3において、基板保持移動ユニット12は、水平移動部21、昇降部22、コンベア部23、下受け部24、前後一対の基板端部支持部材25及び基板保持部26から成る。   2 and 3, the substrate holding / moving unit 12 includes a horizontal moving portion 21, an elevating / lowering portion 22, a conveyor portion 23, a lower receiving portion 24, a pair of front and rear substrate end support members 25, and a substrate holding portion 26.

図2及び図3において、水平移動部21は、Yテーブル駆動モータMyの作動によって基台11に対してY軸方向に移動するYテーブル21a、Xテーブル駆動モータMxの作動によってYテーブル21aに対してX軸方向に移動するXテーブル21b、Xテーブル21bに対してZ軸回りに回転するθテーブル21c、θテーブル21cの上面に固定されたベーステーブル21d及びベーステーブル21dの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド21eから成る。   2 and 3, the horizontal moving unit 21 moves to the Y table 21a that moves in the Y-axis direction with respect to the base 11 by the operation of the Y table drive motor My, and to the Y table 21a by the operation of the X table drive motor Mx. The X table 21b that moves in the X axis direction, the θ table 21c that rotates around the Z axis with respect to the X table 21b, the base table 21d that is fixed to the upper surface of the θ table 21c, and the upper surface of the base table 21d that extends upward It consists of a plurality of lift table guides 21e provided.

図2及び図3において、昇降部22は、水平移動部21の複数の昇降テーブルガイド21eにガイドされてベーステーブル21dに対して昇降する昇降テーブル22a、昇降テーブル22aの上面から上方に延びて設けられた複数の下受け部昇降ガイド22b及び昇降テーブル22aの上面に設けられた前後の昇降フレーム22cから成る。   2 and 3, the elevating unit 22 is provided so as to extend upward from the upper surface of the elevating table 22a and the elevating table 22a which are guided by a plurality of elevating table guides 21e of the horizontal moving unit 21 and elevate with respect to the base table 21d. The upper and lower elevating frames 22c are provided on the upper surface of the plurality of lower receiving portion elevating guides 22b and the elevating table 22a.

図3及び図4(a),(b)において、コンベア部23は昇降フレーム22cに支持されて昇降テーブル22aとともにベーステーブル21dに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材31と、各ベルトコンベア支持部材31に支持されてX軸方向に送り動作をする前後一対のベルトコンベア32から成り、これら前後のベルトコンベア32が同期して作動することにより、基板2のX軸方向への搬送がなされる。   3 and 4 (a) and 4 (b), the conveyor unit 23 is supported by the elevating frame 22c, and a pair of front and rear belt conveyor support members 31 that move up and down with respect to the base table 21d together with the elevating table 22a, and each belt conveyor. It consists of a pair of front and rear belt conveyors 32 that are supported by the support member 31 and perform a feeding operation in the X-axis direction, and the front and rear belt conveyors 32 are operated in synchronization, thereby transporting the substrate 2 in the X-axis direction. The

図5(a),(b)に示すように、ベルトコンベア支持部材31は前後のベルトコンベア32のY軸方向の外側を上下方向に延びた垂直部31aと、垂直部31aの下端からベルトコンベア32の下方をY軸方向の内側に延びた水平部31bを有しており、水平部31bの下面のX軸方向の両端部には、下方に延出した複数(ここでは2つ)の延出部31cが形成されている。各延出部31cの内面(前後のベルトコンベア支持部材31が向き合う側の面)にはこの延出部31cの内面と微小間隔をあけてX軸方向に延びる複数の爪部31dが設けられており、これら複数の爪部31dと延出部31cの内面とによって上下方向に延びた溝部31eが形成されている。   As shown in FIGS. 5A and 5B, the belt conveyor support member 31 includes a vertical portion 31a extending in the vertical direction outside the front and rear belt conveyors 32 in the vertical direction, and a belt conveyor from the lower end of the vertical portion 31a. The horizontal portion 31b extends inward in the Y-axis direction below 32, and a plurality of (here, two) extensions extending downward are provided at both ends in the X-axis direction of the lower surface of the horizontal portion 31b. A protruding portion 31c is formed. A plurality of claw portions 31d extending in the X-axis direction are provided on the inner surface of each extension portion 31c (the surface on the side where the front and rear belt conveyor support members 31 face each other) with a small gap from the inner surface of the extension portion 31c. A groove 31e extending in the vertical direction is formed by the plurality of claw portions 31d and the inner surface of the extending portion 31c.

図4(a)及び図5(a)において、各基板端部支持部材25はX軸方向かつ垂直方向に延びた横長矩形形状の薄板部材から成り、図5(a),(b)に示すように、X軸方向の両端の2つの垂直端面(基板2の搬送方向の上流側の上流側垂直端面33aと基板2の搬送方向の下流側の下流側垂直端面33b)及び2つの水平端面(上端面33c及び下端面33d)が形成された本体部33と、本体部33の下端面33dから下方に延びた2つの下方延出部34を備えている。   4 (a) and 5 (a), each substrate end support member 25 is composed of a horizontally long rectangular thin plate member extending in the X-axis direction and in the vertical direction, as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b). As described above, two vertical end faces (an upstream vertical end face 33a on the upstream side in the transport direction of the substrate 2 and a downstream vertical end face 33b on the downstream side in the transport direction of the substrate 2) and two horizontal end faces ( A main body portion 33 having an upper end surface 33c and a lower end surface 33d) and two downward extending portions 34 extending downward from the lower end surface 33d of the main body portion 33 are provided.

各基板端部支持部材25は、ベルトコンベア支持部材31に形成された2つの溝部31eのそれぞれに下方延出部34を上方から嵌入させており、各基板端部支持部材25はこれら2つの下方延出部34をベルトコンベア支持部材31の2つの溝部31eにガイドされた状態で、ベルトコンベア支持部材31に対して上下方向に移動(昇降)することができるようになっている。   Each substrate end support member 25 has a downwardly extending portion 34 fitted into each of the two groove portions 31e formed on the belt conveyor support member 31, and each substrate end support member 25 has two lower portions thereof. With the extending portion 34 guided by the two groove portions 31 e of the belt conveyor support member 31, the extension portion 34 can be moved (lifted) in the vertical direction with respect to the belt conveyor support member 31.

ここで、図4(b)及び図5(a),(b)に示すように、ベルトコンベア支持部材31の水平部31bの内面側の端部には複数の突起状のストッパ31fが水平方向に突出して設けられており、これら複数のストッパ31fには基板端部支持部材25の本体部33の下端面33dが上方から当接し得るようになっている。基板端部支持部材25は、2つの下方延出部34の下端に何物も接触していない状態では、自重によって本体部33の下端面33dがストッパ31fに上方から当接し、ベルトコンベア支持部材31に対する最下方位置に位置した状態となる(図4(b)及び図5(b)参照)。   Here, as shown in FIGS. 4B, 5A, and 5B, a plurality of protruding stoppers 31f are provided in the horizontal direction on the inner end of the horizontal portion 31b of the belt conveyor support member 31. The lower end surface 33d of the main body 33 of the substrate end support member 25 can come into contact with the plurality of stoppers 31f from above. In a state where nothing is in contact with the lower ends of the two downward extending portions 34, the substrate end portion supporting member 25 abuts the lower end surface 33 d of the main body portion 33 against the stopper 31 f from above due to its own weight, and the belt conveyor supporting member It will be in the state located in the lowest position with respect to 31 (refer FIG.4 (b) and FIG.5 (b)).

前後のベルトコンベア支持部材31はそれぞれ前後の昇降フレーム22cにY軸方向に移動自在に取り付けられており、一方の(ここでは後方の)昇降フレーム22cに取り付けられたコンベア離反近接モータ35が駆動されると、図示しないリンク機構を介して、前後のベルトコンベア支持部材31が互いに反対の方向に(すなわちY軸方向に離反又は近接する方向に)移動するようになっている。   The front and rear belt conveyor support members 31 are respectively attached to the front and rear elevating frames 22c so as to be movable in the Y-axis direction, and the conveyor separating proximity motor 35 attached to one (here, the rear) elevating frame 22c is driven. Then, the front and rear belt conveyor support members 31 move in opposite directions (that is, in a direction away from or close to the Y-axis direction) via a link mechanism (not shown).

また、前後の昇降フレーム22cのうち、前方の昇降フレーム22cは昇降テーブル22aに固定して設けられる一方、後方の昇降フレーム22cは昇降テーブル22aに対してY軸方向に移動自在に設けられており、後方の昇降フレーム22cの後方に昇降テーブル22aに固定して設けられたモータ取り付けブラケット36(図3)に取り付けられたコンベア間隔変更モータ37を駆動することにより、図示しないリンク機構を介して、後方の昇降フレーム22cを前方の昇降フレーム22cに対してY軸方向に離間又は近接させることができる。この前方の昇降フレーム22cに対する後方の昇降フレーム22cの離間又は近接動作により、後方のベルトコンベア支持部材31を前方のベルトコンベア支持部材31に対して離反又は近接させることができ、スクリーン印刷の対象とする基板2の幅方向(Y方向)の寸法に応じて前後のベルトコンベア32の間隔を調節することができる。   Of the front and rear lifting frames 22c, the front lifting frame 22c is fixed to the lifting table 22a, while the rear lifting frame 22c is provided to be movable in the Y-axis direction with respect to the lifting table 22a. By driving a conveyor interval changing motor 37 attached to a motor attachment bracket 36 (FIG. 3) fixed to the elevation table 22a behind the rear elevation frame 22c, via a link mechanism (not shown), The rear elevating frame 22c can be separated from or brought close to the front elevating frame 22c in the Y-axis direction. By separating or approaching the rear elevating frame 22c with respect to the front elevating frame 22c, the rear belt conveyor support member 31 can be separated from or brought close to the front belt conveyor support member 31. The distance between the front and rear belt conveyors 32 can be adjusted according to the width direction (Y direction) dimension of the substrate 2 to be performed.

ここで、各基板端部支持部材25はベルトコンベア支持部材31の溝部31e内に嵌入しており、ベルトコンベア支持部材31に対するY軸方向の移動は拘束されているので、コンベア離反近接モータ35の作動により、或いはコンベア間隔変更モータ37の作動により前後のベルトコンベア支持部材31の間隔が変更されると、これに応じて前後の基板端部支持部材25の間隔も変更される。   Here, each substrate end support member 25 is fitted in the groove 31e of the belt conveyor support member 31, and the movement in the Y-axis direction with respect to the belt conveyor support member 31 is restricted. When the interval between the front and rear belt conveyor support members 31 is changed by the operation or the operation of the conveyor interval change motor 37, the interval between the front and rear substrate end support members 25 is also changed accordingly.

なお、前後の昇降フレーム22cの前後の(Y軸方向の)間隔が固定された状態(スクリーン印刷の対象とする基板2の幅方向寸法に応じて前後のベルトコンベア32の間隔が調節された状態)では、前後のベルトコンベア支持部材31を最も近接させたときの前後のベルトコンベア32の間隔は基板2の幅方向寸法よりも小さくなるようになっている(図3及び後述する図13(a)参照)。また、前後のベルトコンベア支持部材31を最も離間させたときの前後のベルトコンベア32の間隔は基板2の幅方向寸法よりも大きくなるがが、前後の基板端部支持部材25の間隔は基板2の幅方向寸法よりは小さくなるようになっている(後述する図14(b)参照)。   A state in which the front and rear (in the Y-axis direction) distance between the front and rear lifting frames 22c is fixed (the distance between the front and rear belt conveyors 32 is adjusted in accordance with the widthwise dimension of the substrate 2 to be screen-printed). ), The distance between the front and rear belt conveyors 32 when the front and rear belt conveyor support members 31 are brought closest to each other is smaller than the widthwise dimension of the substrate 2 (FIG. 3 and FIG. 13A described later). )reference). In addition, the distance between the front and rear belt conveyors 32 when the front and rear belt conveyor support members 31 are most separated from each other is larger than the dimension in the width direction of the substrate 2. Is smaller than the dimension in the width direction (see FIG. 14B described later).

図4(a),(b)において、前後のベルトコンベア支持部材31に対して昇降自在な各基板端部支持部材25の本体部33の上流側垂直端面33aは、ベルトコンベア支持部材31に取り付けられたベルトコンベア32の基板2の搬送方向の上流側の端部32aよりも基板2の搬送方向の上流側(図4(b)では紙面左側)に位置している。また、各基板端部支持部材25の本体部33の上流側垂直端面33bは、ベルトコンベア支持部材31に取り付けられたベルトコンベア32の基板2の搬送方向の下流側の端部32bよりも基板2の搬送方向の下流側(図4(b)では紙面右側)に位置している。   4 (a) and 4 (b), the upstream vertical end surface 33a of the main body 33 of each substrate end support member 25 that can be raised and lowered with respect to the front and rear belt conveyor support members 31 is attached to the belt conveyor support member 31. The upstream end 32a of the belt conveyor 32 in the transport direction of the substrate 2 is located on the upstream side in the transport direction of the substrate 2 (left side in FIG. 4B). Further, the upstream vertical end surface 33 b of the main body portion 33 of each substrate end support member 25 is the substrate 2 than the downstream end portion 32 b in the transport direction of the substrate 2 of the belt conveyor 32 attached to the belt conveyor support member 31. Is located on the downstream side in the transport direction (the right side in FIG. 4B).

図2及び図3において、下受け部24は、コンベア部23の下方において、下受け部昇降ガイド22bにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル24a及び下受けユニット支持テーブル24aの上面に設けられた下受けユニット24bから成る。下受けユニット24bは上方に延びて設けられた複数のピン部材24cを有しており、下受けユニット支持テーブル24aと一体となって昇降テーブル22aに対して昇降し、複数のピン部材24cの上端をコンベア部23上の基板2に下方から接触させてその基板2の中央部を支持する。   2 and 3, the lower receiving portion 24 is provided below the conveyor portion 23 on the upper surfaces of the lower receiving unit support table 24a and the lower receiving unit support table 24a which are guided by the lower receiving portion lifting guide 22b. And a receiving unit 24b. The lower receiving unit 24b has a plurality of pin members 24c provided to extend upward. The lower receiving unit 24b moves up and down with respect to the lifting table 22a integrally with the lower receiving unit support table 24a, and the upper ends of the plurality of pin members 24c. Is brought into contact with the substrate 2 on the conveyor portion 23 from below to support the central portion of the substrate 2.

図3及び図4(a)において、基板保持部26は、前後のベルトコンベア支持部材31それぞれの上部にY軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材26aから成る(図1も参照)。これら前後のクランプ部材26aは、昇降フレーム22cに取り付けられたクランプ部材作動モータ38(図3)を作動させることにより、図示しないリンク機構を介して互いに反対の方向に(すなわちY軸方向に開閉する方向に)移動させることができ、前後のベルトコンベア32によって両端部が支持された基板2をその幅方向(Y軸方向)からクランプして保持し、またその保持の解除をすることができる。   3 and 4A, the substrate holding portion 26 includes a pair of front and rear clamp members 26a provided on the upper portions of the front and rear belt conveyor support members 31 so as to be movable in the Y-axis direction (see also FIG. 1). ). These front and rear clamp members 26a open and close in opposite directions (that is, in the Y-axis direction) via a link mechanism (not shown) by operating a clamp member operating motor 38 (FIG. 3) attached to the lifting frame 22c. The substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 32 can be clamped and held from the width direction (Y-axis direction), and the holding can be released.

図1及び図4(a)において、基板搬入コンベア13及び基板搬出コンベア14はそれぞれ、基板保持移動ユニット12のコンベア部23と同様に前後一対のベルトコンベア13a,14aから成る。基板搬入コンベア13は、スクリーン印刷機1の外部から投入された基板2を搬入して基板保持移動ユニット12のコンベア部23に受け渡し、基板搬出コンベア14は、基板保持移動ユニット12のコンベア部23から受け渡された基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する。   In FIG. 1 and FIG. 4A, the substrate carry-in conveyor 13 and the substrate carry-out conveyor 14 are each composed of a pair of front and rear belt conveyors 13a and 14a, like the conveyor portion 23 of the substrate holding and moving unit 12. The substrate carry-in conveyor 13 carries in the substrate 2 input from the outside of the screen printing machine 1 and delivers it to the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12. The substrate carry-out conveyor 14 is transferred from the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12. The delivered substrate 2 is carried out of the screen printer 1.

このように、基板搬入コンベア13、基板保持移動ユニット12のコンベア部23及び基板搬出コンベア14は基板2の搬送を行う基板搬送路39(図1)として機能する。また、基板保持移動ユニット12のコンベア部23は基板搬送路39の一部を構成し、一対のベルトコンベア32により基板2の両端部を下方から支持してその基板2の搬入を行うものとなっている。   As described above, the substrate carry-in conveyor 13, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 14 function as a substrate conveyance path 39 (FIG. 1) that conveys the substrate 2. Further, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12 constitutes a part of the substrate transport path 39, and the substrate 2 is carried in by supporting both ends of the substrate 2 from below by a pair of belt conveyors 32. ing.

図4(a),(b)において、各ベルトコンベア支持部材31それぞれの基板2の搬送方向(X軸方向)の上流側(図4では紙面左側)の端部には、基板進入規制部材40が設けられている。基板進入規制部材40は、基板搬送路39の上流側に延びた水平延出部40aと、水平延出部40aの端部から下方に延びた垂直延出部40bを有した逆L字型形状を有しており、垂直延出部40bは、基板搬入コンベア13とコンベア部23との間のX軸に直交する垂直面内(YZ面内)に位置している。   4 (a) and 4 (b), a substrate entry restriction member 40 is provided at the upstream end (left side in FIG. 4) in the transport direction (X-axis direction) of the substrate 2 of each belt conveyor support member 31. Is provided. The board entry restricting member 40 has an inverted L-shape having a horizontal extension 40a extending upstream of the board transfer path 39 and a vertical extension 40b extending downward from the end of the horizontal extension 40a. The vertical extension 40b is located in a vertical plane (YZ plane) orthogonal to the X axis between the substrate carry-in conveyor 13 and the conveyor section 23.

図1及び図2において、基台11上には基板搬入コンベア13及び基板搬出コンベア14をそれぞれY軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム41が設けられており、これら一対の門型フレーム41によってマスクホルダ42が支持されている。マスクホルダ42は、門型フレーム41に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット12が備える基板保持部26の上方をX軸方向に延びて配置された前後一対のガイド部材43と、一対のガイド部材43上をY軸方向に延びて設けられた左右一対のマスク支持レール44とから成る。マスク15はマスクホルダ42が備える左右一対のマスク支持レール44によって左右両端が支持されて基板保持移動ユニット12の上方に水平姿勢に保持される(図6も参照)。   In FIG. 1 and FIG. 2, a pair of portal frames 41 are provided on the base 11 so as to straddle the substrate carry-in conveyor 13 and the substrate carry-out conveyor 14 in the Y-axis direction. A holder 42 is supported. The mask holder 42 has a pair of front and rear guide members 43 that are attached to the portal frame 41 and extend in the X-axis direction above the substrate holding portion 26 provided in the substrate holding and moving unit 12 and a pair of guide members. 43 includes a pair of left and right mask support rails 44 extending in the Y-axis direction. The mask 15 is supported at the left and right ends by a pair of left and right mask support rails 44 provided in the mask holder 42 and held in a horizontal position above the substrate holding and moving unit 12 (see also FIG. 6).

図1及び図6において、マスク15は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠15wによって四辺が支持されており、マスク枠15wによって囲まれた矩形の領域には、基板2上の複数の電極3に対応した多数のパターン孔15aが設けられている。すなわちマスク15は、基板2の電極3の配置に応じて形成された多数のパターン孔15aを有したものとなっている。   In FIG. 1 and FIG. 6, the mask 15 is supported on four sides by a mask frame 15 w made of a rectangular frame member in plan view, and a rectangular region surrounded by the mask frame 15 w has a plurality of sides on the substrate 2. A large number of pattern holes 15 a corresponding to the electrodes 3 are provided. That is, the mask 15 has a large number of pattern holes 15 a formed according to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2.

図1において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側位置決め用マークmkが設けられている。一方、図6において、マスク15には、基板側位置決め用マークmkに対応して配置された2つ一組のマスク側位置決め用マークMKが設けられている。これら基板側位置決め用マークmkとマスク側位置決め用マークMKが上下に合致する状態で基板2をマスク15に接触させると、基板2の電極3とマスク15のパターン孔15aは上下に合致した状態となる。   In FIG. 1, two sets of substrate-side positioning marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 6, the mask 15 is provided with a set of two mask side positioning marks MK arranged corresponding to the substrate side positioning marks mk. When the substrate 2 is brought into contact with the mask 15 with the substrate-side positioning mark mk and the mask-side positioning mark MK aligned vertically, the electrode 3 of the substrate 2 and the pattern hole 15a of the mask 15 are aligned vertically. Become.

図1及び図2において、一対の門型フレーム41には、X軸方向に延びたX軸ステージ45の両端部がY軸方向にスライド自在に支持されている。X軸ステージ45上にはカメラ支持ステージ46がX軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ46には前述のカメラユニット17が取り付けられている。カメラユニット17は、撮像視野を下方に向けた第1カメラ17aと撮像視野を上方に向けた第2カメラ17bを備えている(図3)。   1 and 2, both ends of an X-axis stage 45 extending in the X-axis direction are supported by the pair of portal frames 41 so as to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 46 is provided on the X-axis stage 45 so as to be movable in the X-axis direction. The camera unit 17 is attached to the camera support stage 46. The camera unit 17 includes a first camera 17a having an imaging field of view directed downward and a second camera 17b having an imaging field of view directed upward (FIG. 3).

図1及び図2において、一対の門型フレーム41にはX軸方向に延びたスキージベース47の両端が支持されており、スキージベース47は門型フレーム41に沿ってY軸方向に往復移動自在となっている。   1 and 2, a pair of portal frames 41 support both ends of a squeegee base 47 extending in the X-axis direction, and the squeegee base 47 can reciprocate in the Y-axis direction along the portal frame 41. It has become.

図2及び図3において、スキージベース47の上面の中央部のY軸方向に対向する位置には2つのスキージ昇降シリンダ48がピストンロッド48aを下方に向けて設けられており、これら2つのスキージ昇降シリンダ48のピストンロッド48aはそれぞれ、スキージベース47を上下方向に貫通して延びている。各スキージ昇降シリンダ48のピストンロッド48aの下端部にはX軸方向に延びたスキージホルダ49が取り付けられており、各スキージホルダ49には前述のスキージ16が保持されている。各スキージ16は、スキージホルダ49に沿ってX軸方向に延びた「へら」状の部材から成る。   2 and 3, two squeegee raising / lowering cylinders 48 are provided with piston rods 48a facing downward at positions opposite to the Y-axis direction at the center of the upper surface of the squeegee base 47. Each piston rod 48a of the cylinder 48 extends through the squeegee base 47 in the vertical direction. A squeegee holder 49 extending in the X-axis direction is attached to the lower end portion of the piston rod 48 a of each squeegee lifting cylinder 48, and the squeegee 16 described above is held in each squeegee holder 49. Each squeegee 16 is formed of a “spar” -like member extending in the X-axis direction along the squeegee holder 49.

スキージ昇降シリンダ48のピストンロッド48aを上下方向に作動させると、ピストンロッド48aの下端にスキージホルダ49を介して取り付けられたスキージ16が、スキージベース47に対して(したがってマスク15に対して)昇降する。   When the piston rod 48a of the squeegee lifting cylinder 48 is operated in the vertical direction, the squeegee 16 attached to the lower end of the piston rod 48a via the squeegee holder 49 moves up and down with respect to the squeegee base 47 (and therefore with respect to the mask 15). To do.

基板2の搬送を行う基板搬送路39としての基板搬入コンベア13、基板保持移動ユニット12におけるコンベア部23及び基板搬出コンベア14の各動作は、制御装置50(図7)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構51(図7)の作動制御を行うことによってなされる。   Each operation of the substrate carry-in conveyor 13 as the substrate carrying path 39 for carrying the substrate 2, the conveyor unit 23 in the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 14 includes an actuator (not shown) by the control device 50 (FIG. 7). This is done by controlling the operation of the substrate transport path operating mechanism 51 (FIG. 7).

基板保持移動ユニット12が備える前後のベルトコンベア支持部材31の互いの離反又は近接動作は、制御装置50が前述のコンベア離反近接モータ35(図7も参照)の作動制御を行うことによってなされ、前方のベルトコンベア支持部材31に対する後方のベルトコンベア支持部材31の離反又は近接動作は、制御装置50が前述のコンベア間隔変更モータ37(図7も参照)の作動制御を行うことによってなされる。また、前後のクランプ部材26aによる基板2のクランプ(保持)動作は、制御装置50が前述のクランプ部材作動モータ38(図7も参照)の作動制御を行うことによってなされる。   The front and rear belt conveyor support members 31 provided in the substrate holding and moving unit 12 are separated or approached by the control device 50 controlling the operation of the conveyor separation and proximity motor 35 (see also FIG. 7). The separating or approaching operation of the rear belt conveyor support member 31 with respect to the belt conveyor support member 31 is performed by the control device 50 controlling the operation of the conveyor interval changing motor 37 (see also FIG. 7). Further, the clamping (holding) operation of the substrate 2 by the front and rear clamping members 26a is performed by the control device 50 controlling the operation of the above-described clamping member operating motor 38 (see also FIG. 7).

基板保持移動ユニット12が備える下受け部24の昇降による基板2の下受け動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成る下受け部昇降機構52(図7)の作動制御を行うことによってなされる。   Substrate 2 receiving operation by raising and lowering the lower receiving portion 24 included in the substrate holding and moving unit 12 is performed by the control device 50 controlling the operation of the lower receiving portion raising and lowering mechanism 52 (FIG. 7) including an actuator (not shown). The

基板保持移動ユニット12による基板2の水平面内方向への移動動作は、制御装置50が、基台11に対するYテーブル21aのY軸方向への移動、Yテーブル21aに対するXテーブル21bのX軸方向への移動及びXテーブル21bに対するθテーブル21cの(すなわちベーステーブル21dの)Z軸回りの回転動作を行わせる、前述のYテーブル駆動モータMyやXテーブル駆動モータMxを含むアクチュエータ等から成る水平面内方向移動機構53(図7)の作動制御を行うことによってなされる。   In the movement operation of the substrate 2 in the horizontal plane direction by the substrate holding and moving unit 12, the control device 50 moves the Y table 21a in the Y axis direction with respect to the base 11, and moves in the X axis direction of the X table 21b with respect to the Y table 21a. Of the θ table 21c (that is, the base table 21d) around the Z axis with respect to the X table 21b, and the horizontal plane direction comprising the actuator including the Y table driving motor My and the X table driving motor Mx described above. This is done by controlling the operation of the moving mechanism 53 (FIG. 7).

また、基板保持移動ユニット12による基板2の上下方向への移動動作は、制御装置50が、ベーステーブル21dに対する昇降テーブル22aの昇降動作を行わせる図示しないアクチュエータ等から成る上下方向移動機構54(図7)の作動制御を行うことによってなされる。   In addition, the vertical movement of the substrate 2 by the substrate holding and moving unit 12 is performed by a vertical movement mechanism 54 (see FIG. 5) including an actuator (not shown) or the like that causes the control device 50 to move the lifting table 22a up and down relative to the base table 21d. This is done by performing the operation control of 7).

カメラユニット17の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム41に対するX軸ステージ45のY軸方向への移動動作及びX軸ステージ45に対するカメラ支持ステージ46のX軸方向への移動動作の各制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構55(図7)の作動制御を行うことによってなされる。   The movement operation of the camera unit 17 in the horizontal plane, that is, the movement operation of the X-axis stage 45 in the Y-axis direction relative to the pair of portal frames 41 and the movement operation of the camera support stage 46 relative to the X-axis stage 45 in the X-axis direction. Each control is performed by controlling the operation of the camera unit moving mechanism 55 (FIG. 7) including an actuator (not shown).

カメラユニット17を構成する第1カメラ17aは、制御装置50に制御されて、基板保持移動ユニット12が備える基板保持部26によって保持された基板2の基板側位置決め用マークmkの撮像を行い、第2カメラ17bは、制御装置50に制御されて、マスク15に設けられたマスク側位置決め用マークMKの撮像を行う。第1カメラ17aの撮像によって得られた画像データと第2カメラ17bの撮像によって得られた画像データはともに制御装置50に入力される(図7)。   The first camera 17a constituting the camera unit 17 is controlled by the control device 50 to image the substrate-side positioning mark mk of the substrate 2 held by the substrate holding unit 26 included in the substrate holding and moving unit 12, and The two cameras 17b are controlled by the control device 50 to take an image of the mask side positioning mark MK provided on the mask 15. Both the image data obtained by imaging with the first camera 17a and the image data obtained by imaging with the second camera 17b are input to the control device 50 (FIG. 7).

前後のスキージ16をY軸方向に往復移動させるスキージベース47の作動制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るスキージベース移動機構56(図7)の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ16のスキージベース47に対する昇降動作は、制御装置50がスキージベース47の上部に取り付けられた前述の2つのスキージ昇降シリンダ48の作動制御を行うことによってなされる。   The operation control of the squeegee base 47 that reciprocates the front and rear squeegees 16 in the Y-axis direction is performed by the control device 50 controlling a squeegee base moving mechanism 56 (FIG. 7) including an actuator (not shown). Further, the raising / lowering operation of each squeegee 16 with respect to the squeegee base 47 is performed by controlling the operation of the above-described two squeegee raising / lowering cylinders 48 attached to the upper part of the squeegee base 47.

図4(b)、図8(a),(b)、図9(a),(b)及び図10(a),(b)において、昇降テーブル22aはベーステーブル21dに対する(ベーステーブル21dを基準とした)下降位置P1と上昇位置P2との間で昇降が自在であり、下受け部24は昇降テーブル22aに対する(昇降テーブル22aを基準とした)下降位置Q1と上昇位置Q2との間で昇降が自在である。ここで、図4(b)、図8(a),(b)、図9(a),(b)及び図10(a),(b)では、昇降テーブル22aの上面の下降位置を符号P1、上昇位置の符号P2で示しており、下受け部24の上端(複数のピン部材24cの上端)の下降位置を符号Q1、上昇位置を符号Q2で示している。また、昇降テーブル22aの上面の昇降範囲を範囲R1で示し、下受け部24の上端の昇降範囲を範囲R2で示している。   4 (b), 8 (a), 8 (b), 9 (a), 9 (b) and 10 (a), 10 (b), the elevating table 22a corresponds to the base table 21d. The elevator 24 can freely move up and down between the lowered position P1 and the raised position P2 (based on the reference), and the lower receiving portion 24 is between the lowered position Q1 and the raised position Q2 (based on the raised and lowered table 22a) with respect to the raised and lowered table 22a. You can move up and down freely. Here, in FIG. 4 (b), FIG. 8 (a), (b), FIG. 9 (a), (b), and FIG. 10 (a), (b), the lowering position of the upper surface of the lifting table 22a is denoted by reference numerals. P1 and a raised position P2 are shown, a lowering position of the upper end of the lower receiving portion 24 (upper ends of the plurality of pin members 24c) is shown as Q1, and a raised position is shown as Q2. Moreover, the raising / lowering range of the upper surface of the raising / lowering table 22a is shown by range R1, and the raising / lowering range of the upper end of the lower receiving part 24 is shown by range R2.

図8(a)は、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、下受け部24が昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置した状態を示しており、図8(b)及び図9(a)は、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、下受け部24が昇降テーブル22aに対する下降位置Q1と上昇位置Q2との間の位置に位置した状態を示している。図9(b)は昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ下受け部24が昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態を示している。   FIG. 8A shows a state in which the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving portion 24 is located at the lowered position Q1 with respect to the lifting table 22a. 9 (a) shows a state in which the elevating table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving portion 24 is located at a position between the lowered position Q1 and the raised position Q2 with respect to the elevated table 22a. . FIG. 9B shows a state in which the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving portion 24 is located at the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a.

また、図10(a)は、下受け部24が昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置し、かつ、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1と上昇位置P2との間の位置に位置した状態を示しており、図10(b)は、下受け部24が昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置し、かつ、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する上昇位置P2に位置した状態を示している。   Further, in FIG. 10A, the lower receiving portion 24 is located at the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a, and the lifting table 22a is located at a position between the lowered position P1 and the raised position P2 with respect to the base table 21d. FIG. 10B shows a state in which the lower receiving portion 24 is positioned at the lift position Q2 with respect to the lift table 22a, and the lift table 22a is positioned at the lift position P2 with respect to the base table 21d. .

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、その動作手順において、下受け部24は昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置しているときにのみ昇降作動をする。したがって、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対して昇降するときには、下受け部24は必ず昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態となっている。   In the screen printing machine 1 according to the present embodiment, in the operation procedure, the lower receiving part 24 moves up and down only when the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d. Therefore, when the elevating table 22a moves up and down with respect to the base table 21d, the lower receiving portion 24 is always in a state of being in the ascending position Q2 with respect to the elevating table 22a.

図8(a)に示すように、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ下受け部24が昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置した状態(この状態を待機状態と称する)では、下受け部24(下受けユニット支持テーブル24a)は基板端部支持部材25の下方延出部34に接触しておらず、基板端部支持部材25は自重によって本体部33の下端面33dをベルトコンベア支持部材31のストッパ31fに上方から当接させた状態となっている。この待機状態では、基板端部支持部材25の本体部33の上端面33cは(したがって基板端部支持部材25の本体部33の上流側垂直端面33aは)、基板搬入コンベア13から(すなわち基板搬送路39の上流側から)基板保持移動ユニット12のコンベア部23に進入する基板2の搬送面Sよりも下方に位置しており、コンベア部23は基板搬入コンベア13が搬入した基板2を受け取ることができる。   As shown in FIG. 8A, the lift table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving portion 24 is located at the lowered position Q1 with respect to the lift table 22a (this state is referred to as a standby state). ), The lower receiving portion 24 (the lower receiving unit support table 24a) is not in contact with the downwardly extending portion 34 of the substrate end portion supporting member 25, and the substrate end portion supporting member 25 is lowered by its own weight. 33d is in contact with the stopper 31f of the belt conveyor support member 31 from above. In this standby state, the upper end surface 33c of the main body portion 33 of the substrate end portion support member 25 (and hence the upstream vertical end surface 33a of the main body portion 33 of the substrate end portion support member 25) is transferred from the substrate carry-in conveyor 13 (that is, the substrate transfer). It is located below the transfer surface S of the substrate 2 entering the conveyor portion 23 of the substrate holding and moving unit 12 (from the upstream side of the path 39), and the conveyor portion 23 receives the substrate 2 carried in by the substrate carry-in conveyor 13 Can do.

次に、図11のフローチャート及び図12〜図18の説明図を加えてスクリーン印刷機1の動作手順を説明する。スクリーン印刷機1の制御装置50は、基板保持移動ユニット12を上記のような待機状態にしたうえで、図示しない検知手段によって、スクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置等(図示せず)から基板搬入コンベア13に基板2が投入されたことを検知したら、基板搬入コンベア13とコンベア部23を連動作動させてスクリーン印刷機1内に基板2を搬入し(図12(a)中に示す矢印A)、更に、図示しない検知手段により、コンベア部23が搬入する基板2が所定の搬送停止位置に到達したことを検知したところでコンベア部23の作動を停止させて、基板2を静止させる(図12(b)、図13(a)及び図8(a)。図11のステップST1に示す基板搬入工程)。   Next, the operation procedure of the screen printing machine 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. 11 and the explanatory diagrams of FIGS. The control device 50 of the screen printing machine 1 puts the substrate holding and moving unit 12 in the standby state as described above, and other devices and the like installed on the upstream side of the screen printing machine 1 by a detection unit (not shown) (see FIG. When it is detected that the substrate 2 is loaded into the substrate carry-in conveyor 13 from the substrate carry-in conveyor 13, the substrate carry-in conveyor 13 and the conveyor unit 23 are operated in conjunction to carry the substrate 2 into the screen printer 1 (FIG. 12A). In addition, when the detection unit (not shown) detects that the substrate 2 loaded into the conveyor unit 23 has reached a predetermined conveyance stop position, the operation of the conveyor unit 23 is stopped, and the substrate 2 is Still (FIG. 12B, FIG. 13A and FIG. 8A. Substrate loading step shown in step ST1 of FIG. 11).

制御装置50は、上記の基板搬入工程が終了したら、前後のクランプ部材26aを閉作動させて、コンベア部23上の基板2をY軸方向からクランプ(保持)する(図13(b)。図中に示す矢印B1)。そして、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置させたまま、下受け部24を昇降テーブル22aに対する下降位置Q1から上昇させる(図13(c)及び図14(a)中に示す矢印C1)。そうすると、下受け部24(下受けユニット支持テーブル24a)が前後の基板端部支持部材25それぞれの下方延出部34に下方から当接し(図13(c)及び図8(b))、下受け部24の上端と前後の基板端部支持部材25それぞれの上端面33cとが同一の高さとなる。   When the substrate carrying-in process is completed, the control device 50 closes the front and rear clamping members 26a to clamp (hold) the substrate 2 on the conveyor unit 23 from the Y-axis direction (FIG. 13B). Arrow B1) shown in the inside. Then, the lower receiving portion 24 is raised from the lowered position Q1 with respect to the lifting table 22a while the lifting table 22a is positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d (arrows shown in FIGS. 13 (c) and 14 (a)). C1). Then, the lower receiving portion 24 (lower receiving unit support table 24a) comes into contact with the lower extending portions 34 of the front and rear substrate end supporting members 25 from below (FIGS. 13C and 8B), and the lower The upper end of the receiving portion 24 and the upper end surface 33c of each of the front and rear substrate end support members 25 have the same height.

下受け部24が前後の基板端部支持部材25それぞれの下方延出部34に下方から当接した後、下受け部24が更に昇降テーブル22aに対して上昇すると、前後の基板端部支持部材25はそれぞれ下受け部24によって押し上げられ、下受け部24とともに前後のベルトコンベア支持部材31に対して上昇する。そして、更に下受け部24が昇降テーブル22aに対して上昇すると、下受け部24の上端は前後のベルトコンベア32によって両端部が支持された基板2の中央部の下面に、また前後の基板端部支持部材25の上端面33cは基板2の下面の両端部にそれぞれ下方から当接する(図14(a)及び図9(a))。   After the lower receiving portion 24 comes into contact with the downwardly extending portions 34 of the front and rear substrate end support members 25 from below, when the lower receiving portion 24 is further raised with respect to the lifting table 22a, the front and rear substrate end supporting members 25 is pushed up by the lower receiving portion 24 and is raised with respect to the front and rear belt conveyor support members 31 together with the lower receiving portion 24. When the lower receiving portion 24 is further raised with respect to the lifting table 22a, the upper end of the lower receiving portion 24 is on the lower surface of the central portion of the substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 32, and the front and rear substrate ends. The upper end surface 33c of the part support member 25 abuts on both ends of the lower surface of the substrate 2 from below (FIGS. 14A and 9A).

制御装置50は、下受け部24の上端が基板2の中央部に当接し、前後の基板端部支持部材25それぞれの上端面33cが基板2の両端部に当接する高さまで下受け部24が上昇したら、下受け部24の上昇作動を一旦停止させる。そして、コンベア離反近接モータ35の作動制御を行って、前後のベルトコンベア支持部材31を互いに離反する方向に移動させ(図14(b)中に示す矢印D1)、前後のベルトコンベア32を基板2の両端部の外側に外すとともに、前後の基板端部支持部材25をそれまで前後のベルトコンベア32が基板2を支持していた部分に移動させ、基板2の両端部が前後の基板端部支持部材25のみによって支持されるようにする(図14(b)。ベルトコンベア支持部材離反工程)。   The control device 50 is configured such that the upper end of the lower receiving portion 24 comes into contact with the center portion of the substrate 2, and the lower receiving portion 24 reaches a height at which the upper end surfaces 33 c of the front and rear substrate end supporting members 25 come into contact with both end portions of the substrate 2. When it rises, the raising operation of the lower receiving portion 24 is temporarily stopped. Then, the operation of the conveyor separation proximity motor 35 is controlled to move the front and rear belt conveyor support members 31 in directions away from each other (arrow D1 shown in FIG. 14B), and the front and rear belt conveyors 32 are moved to the substrate 2. The front and rear substrate end support members 25 are moved to the portions where the front and rear belt conveyors 32 have supported the substrate 2 so that both ends of the substrate 2 support the front and rear substrate ends. It is made to be supported only by the member 25 (FIG.14 (b). Belt conveyor support member separation process).

制御装置50は、ベルトコンベア支持部材離反工程が終了したら、下受け部24を上昇させて(図14(c)中に示す矢印C2)、下受け部24及び前後の基板端部支持部材25によって、基板2の上面が前後のクランプ部材26aの上面と同じ高さになるまで基板2を押し上げる。このとき下受け部24は昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2まで上昇した状態となる。これにより基板2はその両端部を前後のクランプ部材26aに対して摺動させながら上昇し、両端部が前後のベルトコンベア32から上方に離間して、基板2は下受け部24及び前後の基板端部支持部材25によって持ち上げ支持された状態となる(図14(c)及び図9(b)。図11のステップST2示す基板支持工程)。   When the belt conveyor support member separation step is finished, the control device 50 raises the lower support portion 24 (arrow C2 shown in FIG. 14C), and the lower support portion 24 and the front and rear substrate end support members 25 The substrate 2 is pushed up until the upper surface of the substrate 2 becomes the same height as the upper surfaces of the front and rear clamp members 26a. At this time, the lower receiving part 24 will be in the state raised to the raising position Q2 with respect to the raising / lowering table 22a. As a result, the substrate 2 is lifted while sliding both ends thereof with respect to the front and rear clamp members 26a, and both ends are separated upward from the front and rear belt conveyors 32. It will be in the state lifted and supported by the edge part supporting member 25 (FIG.14 (c) and FIG.9 (b). The board | substrate support process shown by step ST2 of FIG. 11).

この基板支持工程が終了した状態(昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ、下受けユニット24bが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態)では、図9(b)に示すように、基板搬入コンベア13から(すなわち基板搬送路39の上流側から)基板保持移動ユニット12のコンベア部23に進入する基板2と当接する位置(搬送面Sを上下に横切る位置)に基板端部支持部材25が位置する。このため、基板支持工程の終了後、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ、下受け部24が昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態となっている間、誤って基板2が基板搬入コンベア13から(すなわち基板搬送路39の上流側から)基板保持移動ユニット12のコンベア部23に進入してくることを防止することができる。   FIG. 9B shows a state in which the substrate support process is completed (the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24b is located at the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a). As shown in FIG. 4, the substrate is brought into contact with the substrate 2 entering the conveyor portion 23 of the substrate holding / moving unit 12 from the substrate carry-in conveyor 13 (that is, from the upstream side of the substrate transport path 39) (position that crosses the transport surface S up and down). The substrate end support member 25 is located. For this reason, after the substrate support process is completed, while the lift table 22a is positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d and the lower receiving portion 24 is positioned at the lift position Q2 with respect to the lift table 22a, an error occurs. Thus, it is possible to prevent the substrate 2 from entering the conveyor portion 23 of the substrate holding and moving unit 12 from the substrate carry-in conveyor 13 (that is, from the upstream side of the substrate conveyance path 39).

制御装置50は、上記の基板支持工程が終了したら、カメラユニット移動機構55の作動制御を行い(X軸ステージ45をY軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ46をX軸方向に移動させ)、第1カメラ17aを基板2に設けられた基板側位置決め用マークmkの直上に位置させて、第1カメラ17aに基板側位置決め用マークmkの撮像を行わせて基板2の位置を検出し(図15(a)。図11のステップST3に示す基板位置検出工程)、次いで、第2カメラ17bをマスク15に設けられたマスク側位置決め用マークMKの直下に位置させ、第2カメラ17bにマスク側位置決め用マークMKの撮像を行わせてマスク15の位置の検出を行う(図15(b)。図11のステップST4に示すマスク位置検出工程)。   When the substrate support process is completed, the control device 50 controls the operation of the camera unit moving mechanism 55 (moves the X axis stage 45 in the Y axis direction and moves the camera support stage 46 in the X axis direction). The first camera 17a is positioned immediately above the substrate-side positioning mark mk provided on the substrate 2, and the first camera 17a is imaged of the substrate-side positioning mark mk to detect the position of the substrate 2 ( Fig. 15 (a): Substrate position detection step shown in step ST3 of Fig. 11) Next, the second camera 17b is positioned directly below the mask side positioning mark MK provided on the mask 15, and the second camera 17b is masked. The position of the mask 15 is detected by imaging the side positioning mark MK (FIG. 15B) (mask position detection step shown in step ST4 of FIG. 11).

制御装置50は、上記のマスク位置検出工程が終了したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21の作動制御を行って基板保持部26を(したがって基板2を)水平面内方向に移動させ、基板側位置決め用マークmkとマスク側位置決め用マークMKが上下に対向するようにして、マスク15に対する基板2の水平面内方向の位置決めを行う(図11のステップST5に示す位置決め工程)。   When the above-described mask position detection step is completed, the control device 50 performs the operation control of the horizontal moving unit 21 included in the substrate holding and moving unit 12 to move the substrate holding unit 26 (and thus the substrate 2) in the horizontal plane direction. The substrate 2 is positioned in the horizontal plane with respect to the mask 15 so that the substrate-side positioning mark mk and the mask-side positioning mark MK face each other vertically (positioning step shown in step ST5 in FIG. 11).

この位置決め工程では、制御装置50は、基板側位置決め用マークmkとマスク側位置決め用マークMKが上下に合致した状態となるように、基板2をマスク15に対して位置決めする。   In this positioning step, the control device 50 positions the substrate 2 with respect to the mask 15 so that the substrate-side positioning mark mk and the mask-side positioning mark MK are aligned vertically.

制御装置50は、上記の位置決め工程が終了したら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して上昇させ(図15(c)中に示す矢印E1)、コンベア部23及び基板2を下方から支持した状態の下受け部24を一体に上昇させることにより、基板2の被印刷面である上面をマスク15の下面に接触させる(図15(c)及び図10(b)。図11のステップST6に示す接触工程)。このとき昇降テーブル22aはベーステーブル21dに対する上昇位置P2まで上昇した状態となり、基板2はマスク15に下面から接触してスキージ16によるペーストPstの転写作業が行われる所定の位置に位置する。これにより基板2の電極3とマスク15のパターン孔15aは上下に合致した状態となる。   When the positioning step is completed, the control device 50 raises the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow E1 shown in FIG. 15C), and supports the conveyor unit 23 and the substrate 2 from below. The upper surface of the substrate 2 is brought into contact with the lower surface of the mask 15 by raising the lower support portion 24 integrally (FIGS. 15C and 10B), as shown in step ST6 of FIG. Contact process). At this time, the elevating table 22a is raised to the ascending position P2 with respect to the base table 21d, and the substrate 2 comes into contact with the mask 15 from the lower surface and is located at a predetermined position where the paste Pst is transferred by the squeegee 16. As a result, the electrode 3 of the substrate 2 and the pattern hole 15a of the mask 15 are aligned vertically.

この接触工程が終了した状態(下受け部24が昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置し、かつ、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する上昇位置P2に位置した状態)では、図10(b)に示すように、ベルトコンベア支持部材31に設けられた基板進入規制部材40は、基板搬送路39の上流側から基板保持移動ユニット12のコンベア部23に進入する基板2と当接する位置(搬送面Sを上下に横切る位置)に位置する。このため、接触工程の後のスキージ16によるペーストPstの転写作業を実行している間、誤って基板2が基板搬入コンベア13から(すなわち基板搬送路39の上流側から)基板保持移動ユニット12のコンベア部23に進入してくることを防止することができる。   FIG. 10B shows a state where the contact process is completed (the lower receiving portion 24 is positioned at the rising position Q2 with respect to the lifting table 22a and the lifting table 22a is positioned at the lifting position P2 with respect to the base table 21d). As shown, the board entry restricting member 40 provided on the belt conveyor support member 31 is in contact with the board 2 entering the conveyor unit 23 of the board holding and moving unit 12 from the upstream side of the board carrying path 39 (the carrying surface S). Is located across the top and bottom). Therefore, while the paste Pst is transferred by the squeegee 16 after the contact step, the substrate 2 is mistakenly transferred from the substrate carry-in conveyor 13 (that is, from the upstream side of the substrate transfer path 39) of the substrate holding and moving unit 12. It can prevent entering the conveyor part 23. FIG.

制御装置50は、上記の接触工程が終了したら、スクリーン印刷機1の動作を一時中断したうえで、基台11に設けられたディスプレイ装置57(図7)を介した画像表示により、オペレータOPにペーストPstの供給を促す。オペレータOPは、現在マスク15上に残っているペーストPstを目視し、そのペーストPstの量に基づいてペーストPstの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行い、ペーストPstの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ60(図16(a))により、マスク15上にペーストPstの供給を行う。そして、ペーストPstの供給が終わったら、基台11に設けられた動作再開ボタン58(図7)の操作を行う。オペレータOPは、ペーストPstの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタン58の操作を行う。   When the above-described contact process is completed, the control device 50 temporarily interrupts the operation of the screen printing machine 1 and then displays an image via the display device 57 (FIG. 7) provided on the base 11 to the operator OP. Prompt the supply of the paste Pst. The operator OP visually checks the paste Pst remaining on the mask 15, determines whether or not to supply (replenish) the paste Pst based on the amount of the paste Pst, and supply the paste Pst. If it is determined, the paste Pst is supplied onto the mask 15 by using a separately provided paste supply syringe 60 (FIG. 16A). When the supply of the paste Pst is finished, the operation restart button 58 (FIG. 7) provided on the base 11 is operated. The operator OP operates the operation restart button 58 even when it is determined that the supply of the paste Pst is unnecessary.

制御装置50は上記接触工程の後、前述の動作再開ボタン58の操作信号の出力に基づいて、オペレータOPによって動作再開ボタン58が操作されたか否かの判断を行う(図11のステップST7に示す判断工程)。そして制御装置50は、オペレータOPによって動作再開ボタン58が操作されたと判断したときには、スクリーン印刷機1の動作中断を解除し、2つのスキージ16のうちの一方を下降させてマスク15の上面に当接させ、スキージベース47をY軸方向に移動させることによってスキージ16をマスク15上で摺動させ(図16(b)中に示す矢印F)、マスク15のパターン孔15aを介して基板2の電極3にペーストPstを転写させる(図11のステップST8に示すペースト転写工程)。そして制御装置50は、スキージ16の摺動が終了したら、マスク15に当接させたスキージ16を上昇させ、マスク15の上面から離間させる。   After the contact step, the control device 50 determines whether or not the operation restart button 58 has been operated by the operator OP based on the output of the operation signal from the operation restart button 58 (shown in step ST7 of FIG. 11). Judgment process). When the control device 50 determines that the operation restart button 58 has been operated by the operator OP, the control device 50 cancels the operation interruption of the screen printing machine 1, lowers one of the two squeegees 16 and touches the upper surface of the mask 15. The squeegee 16 is slid on the mask 15 by moving the squeegee base 47 in the Y-axis direction (arrow F shown in FIG. 16B), and the substrate 2 is formed through the pattern hole 15a of the mask 15. The paste Pst is transferred to the electrode 3 (paste transfer process shown in step ST8 of FIG. 11). Then, when the sliding of the squeegee 16 is finished, the control device 50 raises the squeegee 16 abutted on the mask 15 and separates it from the upper surface of the mask 15.

ここで、前方のスキージ16(図16における紙面左側のスキージ16)については、前方のクランプ部材26aの上面領域から後方のクランプ部材26aの上面領域までマスク15上を後方(図16における紙面右側。矢印Fの方向)に移動させるようにし、後方のスキージ16(図16における紙面右側のスキージ16)については、後方のクランプ部材26aの上面領域から前方のクランプ部材26aの上面領域までマスク15上を前方(図16における紙面左側。矢印Fとは反対の方向)に移動させるようにする。   Here, the front squeegee 16 (the squeegee 16 on the left side in FIG. 16) is rearward on the mask 15 from the upper surface area of the front clamp member 26a to the upper surface area of the rear clamp member 26a (on the right side in FIG. 16). The rear squeegee 16 (the squeegee 16 on the right side in FIG. 16) is moved on the mask 15 from the upper surface area of the rear clamp member 26a to the upper surface area of the front clamp member 26a. It is moved forward (left side in FIG. 16, the direction opposite to the arrow F).

制御装置50は、上記のペースト転写工程が終了したら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して下降させ(図17(a)中に示す矢印E2)、マスク15から基板2を離間させて版離れを行う(図17(a)。図11のステップST9に示す版離れ工程)。これによりペーストPstが基板2の電極3上に印刷された状態となる。   When the paste transfer process is completed, the control device 50 lowers the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow E2 shown in FIG. 17A), and separates the substrate 2 from the mask 15 to release the plate. (FIG. 17A. Plate separation process shown in step ST9 of FIG. 11). As a result, the paste Pst is printed on the electrode 3 of the substrate 2.

制御装置50は、上記の版離れ工程を行ったら、コンベア離反近接モータ35の作動制御を行って、前後のベルトコンベア支持部材31を互いに近接する方向に移動させ(図17(b)中に示す矢印D2)、前後のベルトコンベア32が基板2の両端部の直下に位置するようにする(図17(b)。ベルトコンベア支持部材近接工程)。   After performing the above-described plate separation process, the control device 50 controls the operation of the conveyor separation proximity motor 35 to move the front and rear belt conveyor support members 31 in directions close to each other (shown in FIG. 17B). Arrow D2), the front and rear belt conveyors 32 are positioned directly below both ends of the substrate 2 (FIG. 17B).

制御装置50は、前後のベルトコンベア32が基板2の両端部の直下に位置するようにしたら、クランプ部材26aを開作動させて(図17(c)中に示す矢印B2)、基板2のクランプを解除して基板2が下受け部24及び前後の基板端部支持部材25によって支持されるようにしたうえで、下受け部24を昇降テーブル22aに対して下降させる(図18(a),(b),(c)中に示す矢印C3)。そうすると、先ず基板2の両端部が前後のベルトコンベア32に載置され(図18(a))、次いで下受け部24の上端及び前後の基板端部支持部材25の上端面33cが基板2の下面から下方に離間する(図18(b))。そして、更に昇降テーブル22aが下降すると、前後の基板端部支持部材25の下端面33dがベルトコンベア支持部材31のストッパ31fに上方から当接してそれ以上の下降が規制され、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置Q1に位置した状態では、前後の基板端部支持部材25は昇降テーブル22aの上面から離間した状態となる(図18(c))。これにより基板保持部26による基板2の支持が解除される(図11のステップST10に示す基板支持解除工程)。   When the front and rear belt conveyors 32 are positioned immediately below both ends of the substrate 2, the control device 50 opens the clamp member 26a (arrow B2 shown in FIG. 17C) to clamp the substrate 2. Is released so that the substrate 2 is supported by the lower receiving portion 24 and the front and rear substrate end supporting members 25, and then the lower receiving portion 24 is lowered with respect to the lifting table 22a (FIG. 18A). (B), arrow C3 shown in (c). Then, first, both end portions of the substrate 2 are placed on the front and rear belt conveyors 32 (FIG. 18A), and then the upper end of the lower receiving portion 24 and the upper end surface 33 c of the front and rear substrate end support members 25 are formed on the substrate 2. It is spaced downward from the lower surface (FIG. 18B). When the elevating table 22a is further lowered, the lower end surfaces 33d of the front and rear substrate end supporting members 25 are brought into contact with the stopper 31f of the belt conveyor supporting member 31 from above, and further descending is restricted. In the state where the table 21d is in the lowered position Q1, the front and rear substrate end support members 25 are separated from the upper surface of the lift table 22a (FIG. 18C). Thereby, the support of the substrate 2 by the substrate holding part 26 is released (substrate support releasing step shown in step ST10 of FIG. 11).

制御装置50は、基板2の支持を解除したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21を作動させ、基板搬出コンベア13に対するコンベア部23の位置調整を行ったうえで、コンベア部23と基板搬出コンベア14を連動作動させ、コンベア部23上の基板2を基板搬出コンベア14に受け渡してそのまま基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図11のステップST11示す基板搬出工程)。   When the support of the substrate 2 is released, the control device 50 operates the horizontal moving unit 21 provided in the substrate holding and moving unit 12 to adjust the position of the conveyor unit 23 with respect to the substrate carry-out conveyor 13, and then the conveyor unit 23 and the substrate The carry-out conveyor 14 is operated in conjunction to transfer the substrate 2 on the conveyor unit 23 to the substrate carry-out conveyor 14 and carry the substrate 2 out of the screen printing machine 1 as it is (substrate carry-out process shown in step ST11 in FIG. 11).

制御装置50は、基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図11のステップST12に示す判断工程)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   After unloading the substrate 2, the control device 50 determines whether there is another substrate 2 on which screen printing is to be performed (determination step shown in step ST12 of FIG. 11). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

以上説明したように、本実施の形態における電子部品実装用装置としてのスクリーン印刷機1は、前後一対のベルトコンベア32により基板2の両端部を下方から支持して基板2の搬入を行うコンベア部23と、コンベア部23の下方を上昇し、コンベア部23により搬入された基板2の中央部を下方から支持する下受け部24と、コンベア部23の前後一対のベルトコンベア32の間に設けられてコンベア部23に対して昇降自在であり、上昇する下受け部24によって押し上げられてコンベア部23により搬入された基板2の両端部を下方から支持する前後一対の基板端部支持部材25と、下受け部24及び前後一対の基板端部支持部材25により支持された基板2に対して電子部品実装用の作業(ペーストPstの転写作業)を行う作業装置としてのスキージ16とを備え、下受け部24及び前後一対の基板端部支持部材25によって基板2が支持された状態において、基板搬送路39の上流側からコンベア部23に進入する基板2と当接する位置に前後一対の基板端部支持部材25が位置するようになっている。   As described above, the screen printing machine 1 as the electronic component mounting apparatus in the present embodiment supports the both ends of the substrate 2 from below by the pair of front and rear belt conveyors 32 and carries the substrate 2 in. 23, a lower part 24 that rises below the conveyor part 23 and supports the central part of the substrate 2 carried by the conveyor part 23 from below, and a pair of belt conveyors 32 before and after the conveyor part 23. A pair of front and rear substrate end support members 25 that support the both ends of the substrate 2 pushed up by the rising lower receiving portion 24 and carried in by the conveyor portion 23 from below, An operation for mounting an electronic component (transfer operation of the paste Pst) on the substrate 2 supported by the lower receiving portion 24 and the pair of front and rear substrate end support members 25. A substrate 2 entering the conveyor unit 23 from the upstream side of the substrate transport path 39 in a state where the substrate 2 is supported by the lower support 24 and the pair of front and rear substrate end support members 25. A pair of front and rear substrate end support members 25 are positioned at the contact positions.

また、本実施の形態における電子部品実装用装置としてのスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷方法は、コンベア部23の前後一対のベルトコンベア32により基板2の両端部を下方から支持して基板2の搬入を行う工程(ステップST1の基板搬入工程)と、コンベア部23の下方で下受け部24を上昇させてコンベア部23により搬入した基板2の中央部を下方から支持するとともに、コンベア部23の前後一対のベルトコンベア32の間に設けられてコンベア部23に対して昇降自在な前後一対の基板端部支持部材25を下受け部24によって押し上げて前後一対の基板端部支持部材25により基板2の両端部を下方から支持する工程(ステップST2の基板支持工程)と、下受け部24及び前後一対の基板端部支持部材25により支持した基板2に対して作業装置としてのスキージ16により電子部品実装用の作業(ペーストPstの転写作業)を行う工程(ステップST8のペースト転写工程)を含むスクリーン印刷機1による作業方法であって、下受け部24及び前後一対の基板端部支持部材25によって基板2を支持した状態において、基板搬送路39の上流側からコンベア部23に進入する基板2と当接する位置に前後一対の基板端部支持部材25を位置させるようになっている。   Further, the screen printing method by the screen printer 1 as the electronic component mounting apparatus in the present embodiment is to carry in the substrate 2 by supporting both ends of the substrate 2 from below by a pair of belt conveyors 32 at the front and rear of the conveyor unit 23. (Step ST1 board loading process), the lower part 24 is raised below the conveyor part 23 and the central part of the board 2 carried by the conveyor part 23 is supported from below, and before and after the conveyor part 23 A pair of front and rear substrate end support members 25 that are provided between the pair of belt conveyors 32 and are movable up and down with respect to the conveyor portion 23 are pushed up by the lower receiving portion 24 and the substrate 2 is supported by the pair of front and rear substrate end support members 25. By the process of supporting both ends from below (substrate support process of step ST2), the lower receiving part 24 and the pair of front and rear substrate end support members 25 It is a working method by the screen printing machine 1 including a step (paste transfer step of step ST8) for performing electronic component mounting work (paste Pst transfer operation) on the supported substrate 2 by a squeegee 16 as a work device. In a state where the substrate 2 is supported by the lower receiving portion 24 and the pair of front and rear substrate end support members 25, the pair of front and rear substrate ends at a position where the substrate 2 enters the conveyor portion 23 from the upstream side of the substrate transport path 39. The part support member 25 is positioned.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1(スクリーン印刷方法)では、下受け部24及び一対の基板端部支持部材25によって基板2が支持されている状態において、基板搬送路39の上流側からコンベア部23に進入する基板2と当接する位置に一対の基板端部支持部材25が位置するようになっているので、作業の実行中にコンベア部23に他の基板2が進入することを確実に防止することができる。   As described above, in the screen printer 1 (screen printing method) according to the present embodiment, the upstream side of the substrate conveyance path 39 in a state where the substrate 2 is supported by the lower receiving portion 24 and the pair of substrate end support members 25. Since the pair of substrate end support members 25 are positioned so as to come into contact with the substrate 2 entering the conveyor unit 23 from the side, another substrate 2 enters the conveyor unit 23 during the execution of the work. Can be reliably prevented.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、一対のベルトコンベア32が互いに離反又は近接する動作に伴って一対の基板端部支持部材25が離反又は近接するようになっており、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、一対のベルトコンベア32が互いに離反又は近接する動作に伴って一対の基板端部支持部材25を離反又は近接させるようになっているので、スクリーン印刷の対象とする基板2の幅方向(Y方向)の寸法に応じて前後一対のベルトコンベア32の間隔を調節したときであっても、基板2の進入を確実に防止することができる。   Further, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the pair of substrate end support members 25 are separated from or close to each other as the pair of belt conveyors 32 moves away from or close to each other. In the screen printing method in the embodiment, the pair of substrate end support members 25 are moved away from or close to each other as the pair of belt conveyors 32 move away from or close to each other. Even when the distance between the pair of front and rear belt conveyors 32 is adjusted according to the dimension in the width direction (Y direction), the entry of the substrate 2 can be reliably prevented.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、コンベア部23及び基板2を下方から支持した状態の下受け部24を一体に上昇させてスキージ16による基板2に対する作業(ペーストPstの転写作業)が行われる所定の位置(マスク15に下方から接触する位置)に基板2を位置させる昇降部としての昇降テーブル22aと、コンベア部23を構成する一対のベルトコンベア支持部材31のそれぞれに設けられ、昇降テーブル22aにより基板2が上記所定の位置に位置された状態で、基板搬送路39の上流側からコンベア部23に進入する基板2と当接する位置に位置する基板進入規制部材40を備えたものとなっており、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、下受け部24及び一対の基板端部支持部材25により基板2の両端部を下方から支持した後、コンベア部23及び下受け部24を一体に上昇させてスキージ16による基板2に対するペーストPstの転写作業が行われる所定の位置(マスク15に下方から接触する位置)に基板2を位置させる工程(ステップST6の接触工程)を含み、基板2を上記所定の位置に位置させた状態で、基板搬送路39の上流側からコンベア部23に進入する基板2と当接する位置に、コンベア部23に設けられた基板進入規制部材40を位置させるようになっているので、スキージ16によるペーストPstの転写作業を実行している間、誤って基板2が基板搬入コンベア13から(すなわち基板搬送路39の上流側から)基板保持移動ユニット12のコンベア部23に進入してくることを防止することができる。   Further, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the work on the substrate 2 by the squeegee 16 (the transfer operation of the paste Pst) is performed by integrally raising the conveyor portion 23 and the lower receiving portion 24 with the substrate 2 supported from below. Are provided on each of a lift table 22a as a lift unit for positioning the substrate 2 at a predetermined position (position where the mask 15 is contacted from below) and a pair of belt conveyor support members 31 constituting the conveyor unit 23, A substrate entry restriction member 40 located at a position where the substrate 2 enters the conveyor unit 23 from the upstream side of the substrate conveyance path 39 in a state where the substrate 2 is located at the predetermined position by the elevating table 22a. In the screen printing method according to the present embodiment, the lower receiving portion 24 and the pair of substrate end supporting members 25 are used. After supporting both ends of the plate 2 from below, the conveyor unit 23 and the lower receiving unit 24 are lifted together so that the squeegee 16 transfers the paste Pst to the substrate 2 (contacts the mask 15 from below). Substrate 2 that enters the conveyor section 23 from the upstream side of the substrate transport path 39 in a state where the substrate 2 is positioned at the predetermined position. The board entry restriction member 40 provided on the conveyor unit 23 is positioned at a position where the board 2 comes into contact with the board 2. It is possible to prevent the conveyor 13 from entering the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12 from the conveyor 13 (that is, from the upstream side of the substrate conveyance path 39). .

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、基板進入規制部材はL字型形状をした部材であったが、その形状は任意である。また、上述の実施の形態では、本発明が適用される電子部品実装用装置としてスクリーン印刷機1を示したが、下受け部24及び一対の基板端部支持部材25により支持された基板2に対して電子部品実装用の作業を行う作業装置を備えたものであればスクリーン印刷機でなくてもよく、例えば、下受け部24及び一対の基板端部支持部材25により支持された基板2に対して電子部品実装作業を行う作業装置としての装着ヘッドを備えた電子部品実装機等であってもよい。   Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above. For example, in the above-described embodiment, the board entry restricting member is an L-shaped member, but the shape is arbitrary. In the above-described embodiment, the screen printing machine 1 is shown as an electronic component mounting apparatus to which the present invention is applied. However, the substrate 2 supported by the lower support 24 and the pair of substrate end support members 25 is used. On the other hand, a screen printing machine may be used as long as it has a working device for performing work for mounting electronic components. For example, the substrate 2 supported by the lower support 24 and the pair of substrate end support members 25 may be used. On the other hand, it may be an electronic component mounting machine provided with a mounting head as a working device for performing an electronic component mounting operation.

作業の実行中にコンベア部に他の基板が進入することを確実に防止することができる電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置による作業方法を提供することを目的とする。   It is an object of the present invention to provide an electronic component mounting apparatus and an operation method using the electronic component mounting apparatus that can reliably prevent another substrate from entering the conveyor section during the execution of the work.

1 スクリーン印刷機(電子部品実装用装置)
2 基板
16 スキージ(作業装置)
22a 昇降テーブル(昇降部)
23 コンベア部
24 下受け部
25 基板端部支持部材
32 ベルトコンベア
39 基板搬送路
40 基板進入規制部材
1 Screen printer (electronic component mounting equipment)
2 Substrate 16 Squeegee (working device)
22a Elevating table (elevating part)
23 Conveyor unit 24 Lower receiving unit 25 Substrate end support member 32 Belt conveyor 39 Substrate transport path 40 Substrate entry restricting member

Claims (6)

基板の搬送を行う基板搬送路の一部を構成し、一対のベルトコンベアにより基板の両端部を下方から支持して基板の搬入を行うコンベア部と、
前記コンベア部の下方を上昇し、前記コンベア部により搬入された基板の中央部を下方から支持する下受け部と、
前記コンベア部の一対のベルトコンベアの間に設けられて前記コンベア部に対して昇降自在であり、上昇する下受け部によって押し上げられて前記コンベア部により搬入された基板の両端部を下方から支持する一対の基板端部支持部材と、
下受け部及び一対の基板端部支持部材により支持された基板に対して電子部品実装用の作業を行う作業装置とを備え、
下受け部及び一対の基板端部支持部材によって基板が支持された状態において、基板搬送路の上流側から前記コンベア部に進入する基板と当接する位置に一対の基板端部支持部材が位置することを特徴とする電子部品実装用装置。
A part of the substrate transport path for transporting the substrate, a conveyor unit for carrying in the substrate by supporting both ends of the substrate from below by a pair of belt conveyors;
A lower receiving part that rises below the conveyor part and supports the central part of the substrate carried by the conveyor part from below;
It is provided between a pair of belt conveyors of the conveyor unit and is movable up and down with respect to the conveyor unit, and supports both ends of the substrate pushed up by the rising receiving unit and carried in by the conveyor unit from below. A pair of substrate end support members;
An operation device for performing an electronic component mounting operation on the substrate supported by the lower support portion and the pair of substrate end support members;
In a state where the substrate is supported by the lower receiving portion and the pair of substrate end support members, the pair of substrate end support members is positioned at a position where the substrate enters the conveyor unit from the upstream side of the substrate transport path. An electronic component mounting apparatus characterized by the above.
一対のベルトコンベアが互いに離反又は近接する動作に伴って一対の基板端部支持部材が離反又は近接することを特徴とする請求項1に記載の電子部品実装用装置。   The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the pair of substrate end support members separate or approach each other as the pair of belt conveyors separate or approach each other. 前記コンベア部及び基板を下方から支持した状態の下受け部を一体に上昇させて作業装置による基板に対する作業が行われる所定の位置に基板を位置させる昇降部と、前記コンベア部に設けられ、昇降部により基板が前記所定の位置に位置された状態で、基板搬送路の上流側から前記コンベア部に進入する基板と当接する位置に位置する基板進入規制部材とを備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品実装用装置。   The conveyor unit and the lower support part in a state where the substrate is supported from below are integrally lifted so that the substrate is placed at a predetermined position where work is performed on the substrate by the working device, and the conveyor unit is provided with the lift And a board entry regulating member located at a position where the board comes into contact with the board entering the conveyor section from the upstream side of the board conveyance path in a state where the board is located at the predetermined position by the section. Item 3. The electronic component mounting apparatus according to Item 1 or 2. 基板の搬送を行う基板搬送路の一部を構成し、一対のベルトコンベアにより基板の両端部を下方から支持して基板の搬入を行う工程と、
前記コンベア部の下方で下受け部を上昇させて前記コンベア部により搬入した基板の中央部を下方から支持するとともに、前記コンベア部の一対のベルトコンベアの間に設けられて前記コンベア部に対して昇降自在な一対の基板端部支持部材を下受け部によって押し上げて一対の基板端部支持部材により基板の両端部を下方から支持する工程と、
下受け部及び一対の基板端部支持部材により支持した基板に対して作業装置により電子部品実装用の作業を行う工程とを含む電子部品実装用装置による作業方法であって、
下受け部及び一対の基板端部支持部材によって基板を支持した状態において、基板搬送路の上流側から前記コンベア部に進入する基板と当接する位置に一対の基板端部支持部材を位置させることを特徴とする電子部品実装用装置による作業方法。
Forming a part of the substrate transport path for transporting the substrate, supporting the both ends of the substrate from below by a pair of belt conveyors, and carrying the substrate in;
The lower part is raised below the conveyor part to support the central part of the substrate carried in by the conveyor part from below, and provided between the pair of belt conveyors of the conveyor part with respect to the conveyor part A step of pushing up a pair of substrate end support members that can be raised and lowered by a lower receiving portion and supporting both ends of the substrate from below by a pair of substrate end support members;
A method for working with an electronic component mounting apparatus, including a step of performing an operation for mounting an electronic component on a substrate supported by a lower receiving portion and a pair of substrate end support members,
In a state where the substrate is supported by the lower receiving portion and the pair of substrate end support members, the pair of substrate end support members is positioned at a position that contacts the substrate entering the conveyor unit from the upstream side of the substrate transport path. The working method by the electronic component mounting apparatus characterized.
一対のベルトコンベアが互いに離反又は近接する動作に伴って一対の基板端部支持部材を離反又は近接させることを特徴とする請求項4に記載の電子部品実装用装置による作業方法。   The work method by the electronic component mounting apparatus according to claim 4, wherein the pair of substrate end support members are separated or brought close to each other as the pair of belt conveyors move away from or approach each other. 下受け部及び一対の基板端部支持部材により基板の両端部を下方から支持した後、前記コンベア部及び下受け部を一体に上昇させて作業装置による基板に対する作業が行われる所定の位置に基板を位置させる工程を含み、
基板を前記所定の位置に位置させた状態で、基板搬送路の上流側から前記コンベア部に進入する基板と当接する位置に、前記コンベア部に設けられた基板進入規制部材を位置させることを特徴とする請求項4又は5に記載の電子部品実装用装置による作業方法。
After supporting both ends of the substrate from below by the lower receiving portion and the pair of substrate end supporting members, the substrate is placed at a predetermined position where the conveyor portion and the lower receiving portion are integrally raised to perform work on the substrate by the working device. Including the step of positioning
The substrate entry restriction member provided in the conveyor unit is positioned at a position where the substrate contacts the substrate entering the conveyor unit from the upstream side of the substrate conveyance path in a state where the substrate is positioned at the predetermined position. A working method using the electronic component mounting apparatus according to claim 4.
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