JP2011197001A - 半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ、そのフレキシブルな力または圧力センサアレイの製造方法、及びそのフレキシブルな力または圧力センサアレイを用いた力または圧力測定方法 - Google Patents
半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ、そのフレキシブルな力または圧力センサアレイの製造方法、及びそのフレキシブルな力または圧力センサアレイを用いた力または圧力測定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】所定のアレイパターンで形成され、力または圧力により変形する半導体ストレインゲージと、フィルム面が互いに対向して接し、接するフィルム面の間に半導体ストレインゲージを含む一対の高分子フィルム層と、一対の高分子フィルム層のいずれか1つを絶縁層として、絶縁層の上下面に形成され、アレイパターンの各単位体111に接続され、電極を形成し、各単位体111の変形で出力される変形信号を外部に取り込む一対の信号線層とから構成される基板10と;基板10内を含むように、基板10の両面に形成される一対のエラストマ層20、30とを含む。
【選択図】図1
Description
第3に、所定のアレイパターンを有する半導体ストレインゲージを構成する各単位体の抵抗変化を、CMOS回路信号処理方式を用いて、より正確に抵抗値及び電圧値を測定し、回路の構成を単純化し、また、触覚センサ内で信号を前処理することができるという効果がある。第4に、本発明の力センサアレイは、柔軟性と伸縮性を同時に有する。基板自体がポリマ系の材質であるため、前記基板は、曲げることも、伸ばすこともでき、前記半導体ストレインゲージとCMOS回路の材料である無機シリコンはよく折れ且つ硬いが、この厚さを極に薄く製造すると、機械的な柔軟性を確保することができ、コルゲート構造に製造すると、伸縮性も同時に有することができる。
図1аは、本発明の半導体ストレインゲージ110を用いた力または圧力センサアレイの1実施例を示す斜視図であり、図1bは、図1аに示した力または圧力センサアレイを層構成に分解した分解斜視図である。図1а及び図1bに示すように、本発明の実施例による力または圧力センサアレイは、基板10と、その基板の両面に接着された一対のエラストマ層20、30とから構成される。ここで、基板10には、高分子フィルム層と、複数の単位体111が特定のアレイパターンに配列された半導体ストレインゲージ110とが位置し、電極を形成する複数の第1及び第2の信号線140、150が基板に形成されている。また、基板の下部には、第1の信号線140に一定の電流が流れるようにする電流源141と、第2の信号線150のそれぞれの一端に接続されたスイッチ151と、スイッチを制御して第2の信号線150をリアルタイムでスキャンするスイッチ制御部160とがCMOS工程で形成された、CMOS回路層170を更に含む。
図4は、本発明の半導体ストレインゲージ110を用いた力または圧力センサアレイの製造方法のフローチャートである。まず、シリコンウエハ40上で所定のアレイパターンを有する半導体ストレインゲージ110が製造される(S1100)。この製造された半導体ストレインゲージ110は、SOI(Silicon-On-Insulator)ウエハ又は単結晶シリコンウエハを用いて、アレイパターンの各単位体111の厚さが0.1μm〜100μmになるように製造され、特に、SOIウエハを用いる場合、エッチング膜が挿入されているので、半導体ストレインゲージ110の厚さを容易に調節することができる。
図9は、本発明による力または圧力センサアレイを用いた力または圧力測定方法を順次に示すたフローチャートである。図9に示すように、まず、フィルム面が互いに対向して接する一対の高分子フィルム層120、130の外側両面にそれぞれ、エラストマ層20、30がが接着され、エラストマ層20、30の少なくとも1つが、外部から力または圧力を受ける(S2100)。
図10は、本発明による半導体ストレインゲージ110を用いた力または圧力センサアレイの第1の変形例として、棒状の単位体111が十字状に配列されたアレイパターンを簡略的に示す平面図である。図10に示すように、第1の変形例は、上記の実施例で記述した複数の棒状(又は、バー状)の単位体111、111′がアレイパターンに配列された2つの基板10を用意し、十字状となるように、基板10の単位体111に、他の基板10の対応する単位体111′が互いに重ねて形成されることができる。勿論、重ねて形成された2つの基板10の外側両面にそれぞれエラストマ層を接着して、本発明の力または圧力センサアレイが完成する。
図11は、本発明による半導体ストレインゲージ110を用いた力または圧力センサアレイの第2の変形例として、アレイパターンの上部に突起31構造を形成した状態を示す平面図であり、図12は、図11のB−B線に沿う断面図である。
20、30: 一対のエラストマ層
31: 突起
40: シリコンウエハ
50: ポリジメチルシロキサン媒体
60: キャリアウエハ
62: 犠牲層
110: 半導体ストレインゲージ
111、 111'、 111а、111b、111c、111d: 半導体ストレインゲージの単位体
112: 単結晶シリコン
113: フォトレジスタ
114: トレンチ
115: 第1の保護膜
116: 第2の保護膜
120: 第1の高分子フィルム層
130: 第2の高分子フィルム層
140: 第1の信号線
141: 電流源
150: 第2の信号線
151: スイッチ
160: スイッチ制御部
170: CMOS回路層
Claims (16)
- 複数の単位体が所定のアレイパターンで形成され、力または圧力により変形する半導体ストレインゲージと、フィルム面が互いに対向して接し、前記接するフィルム面の間に前記半導体ストレインゲージを含む一対の高分子フィルム層と、前記一対の高分子フィルム層のいずれか1つを絶縁層として、前記絶縁層の上下面に形成され、前記アレイパターンの各単位体に接続されて電極を形成し、前記各単位体の変形で出力される変形信号を外部に取り込む一対の信号線層とを備える基板と、
前記基板内を含むように、前記基板の両面に形成された一対のエラストマ層とを含み、
前記一対の信号線層は、前記絶縁層の一面に一方向に配列された複数の第1の信号線と、前記絶縁層の他面に前記一方向に垂直に配列された複数の第2の信号線とを含み、前記単位体の抵抗は、前記力または圧力に基づいて変化し、前記変形信号は、前記抵抗の変化に基づいて出力されることを特徴とする半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。 - 前記第1の信号線及び前記第2の信号線は、CMOS回路を構成し、前記第1の信号線は、前記第1の信号線に定電流が流れるようにするP-MOSFETを設け、 前記基板は、前記第2の信号線それぞれの一端に接続された複数のスイッチと、前記スイッチを制御して、前記第2の信号線のいずれか1つに電流が流れるように、前記第2の信号線のそれぞれを順次スキャンするスイッチ制御部とを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。
- 前記一対の高分子フィルム層は、一対のポリイミド薄膜層であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。
- 前記単位体は、棒状であり、
前記アレイパターンは、前記棒状の長さ方向を同一に有するパターンであることを特徴とする請求項1に記載の半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。 - 前記基板は2つであり、前記各基板に対応する各単位体が交差するように重ね、前記2つの基板が互いに接着されたことを特徴とする請求項4に記載の半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。
- 前記一対のエラストマ層は、いずれか1つのエラストマ層の表面で均一に複数の突起が形成されており、
前記アレイパターンは、前記各突起が前記表面となす境界線の下部で四方に向かうように配列されたパターンであることを特徴とする請求項4に記載の半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。 - 前記一対の信号線層は、金属蒸着またはCMOS工程により転写・形成されたことを特徴とする請求項2に記載の半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。
- 前記一対のエラストマ層は、一対のポリジメチルシロキサン層であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ストレインゲージを用いたフレキシブルな力または圧力センサアレイ。
- シリコンウエハ上で所定のアレイパターンを有する半導体ストレインゲージを製造するゲージ製造ステップと、
前記製造された半導体ストレインゲージを、ポリジメチルシロキサン媒体用いて、キャリアウエハに犠牲層を挟んで積層されている第1の高分子フィルム層に転写する転写ステップと、
複数の第1の信号線が一方向に平行に配列され、前記アレイパターンの各単位体の一端と接続されて、第1の電極を形成する第1の信号線形成ステップと、
第2の高分子フィルム層が前記複数の第1の信号線上に積層され、絶縁層を形成する絶縁層形成段階と、
複数の第2の信号線が前記一方向に垂直に配列され、前記第2の高分子フィルム層に前記各単位体の他端と接続されて、第2の電極を形成する第2の信号線形成段階と、
前記第1、2の高分子フィルム層、前記半導体ストレインゲージ、及び前記複数の第1、2の信号線から構成された基板を、所定の溶解剤による前記犠牲層の溶解で分離する基板分離ステップと、
前記基板を、一対のエラストマ層の間に挿入し、接着する基板接着段階とを含むことを特徴とするフレキシブルな力または圧力センサアレイの製造方法。 - 前記第1の信号線形成ステップは、電流源により定電流が流れるようにする複数の前記第1の信号線をCMOS工程で転写し、前記各単位体の一端に接続するステップであり、
前記第2の信号線形成ステップの後に、前記第2の信号線の一端のそれぞれにスイッチを接続し、前記スイッチを制御して、リアルタイムで前記第2の信号線をスキャンするスイッチ制御部に前記スイッチを接続するステップを、更に含むことを特徴とする請求項9に記載のフレキシブルな力または圧力センサアレイの製造方法。 - 前記ゲージ製造ステップにおいて、前記半導体ストレインゲージは厚さが0.1μm 〜100μmとなるように製造されることを特徴とする請求項9に記載のフレキシブル力または圧力センサアレイの製造方法。
- 前記半導体ストレインゲージ転写段階において、 前記犠牲層は、ポリメチルメタクリルレートであり、前記第1の高分子フィルム層は、ポリイミド薄膜層であることを特徴とする請求項9に記載のフレキシブル力または圧力センサアレイの製造方法。
- 前記絶縁層形成ステップにおいて、前記第2の高分子フィルム層は、ポリイミド薄膜層であることを特徴とする請求項9に記載のフレキシブルな力または圧力センサアレイの製造方法。
- フィルム面が対向して接する一対の高分子フィルム層の外側面にそれぞれ、ポリジメチルシロキサン層を接着し、前記ポリジメチルシロキサンの少なくとも一つが外部から力または圧力を受けるステップと、
前記一対の高分子フィルム層の間に所定のアレイパターンを有する半導体ストレインゲージを配置し、前記力または前記圧力を伝達されて、抵抗が変化するステップと、
制御部が、前記変化した抵抗に基づいて出力される所定の信号を、前記アレイパターンの各単位体に接続された複数の第1,2の信号線を通じて受信する段階と、
前記制御部が、前記信号に基づいて、測定抵抗値または測定電圧値を演算するステップと、
前記制御部が、前記測定抵抗値または前記測定電圧値に基づいて、前記力または前記圧力の強さを出力するステップとを含むことを特徴とするフレキシブルな力または圧力センサアレイを用いた力または圧力測定方法。 - 電流源により、前記単位体それぞれの一端に接続された第1の信号線に定電流が流れるようにするステップと、
前記単位体それぞれの他端に接続され、前記第1の信号線とCMOS回路を構成する第2の信号線とのそれぞれの一端に接続されたスイッチを、スイチング制御部で制御して、前記第2の信号線をリアルタイムでスキャンするステップとを更に含むことを特徴とする請求項14に記載のフレキシブルな力または圧力センサアレイを用いた力または圧力測定方法。 - 前記制御部の演算段階と測定段階との間に、
前記制御部が、前記各単位体に対応してバッファーメモリに格納した初期抵抗値又は初期電圧値を読み込むステップを更に含み、
前記制御部の演算段階と出力段階との間に、
前記制御部が、前記各単位体に対応してバッファーメモリに格納した初期抵抗値または初期電圧値を読み込むステップを更に含み、
前記制御部の出力段階は、
前記制御部が、前記測定抵抗値と前記初期抵抗値とを比較するか、前記測定電圧値と前記初期電圧値とを比較し、前記力または前記圧力の強さを出力するステップであることを特徴とする請求項14に記載の力または圧力センサアレイを用いたフレキシブルな力または圧力測定方法。
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