JP2011196809A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被検査物の正確な階調情報を得ることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】輝度毎データＬＤ２において被検査物に対応する階調情報から当該被検査物が載置されたベルトコンベアに対応する階調情報を減ずる補正が補正部２６０により行われる。当該補正は、素子配設方向の各位置に応じた補正量ＨＲを用いて行われる。補正量ＨＲは、素子配設方向の各位置におけるＸ線透過距離および当該素子配設方向の位置に対応するベルトコンベアの厚さに基づいて決定される。
【選択図】図３

Description

本発明は、被検査物にＸ線を照射し、被検査物内の異物を検出するＸ線検査装置に関する。

従来、被検査物内の異物を検出するためにＸ線検査装置等が使用されている。これらのＸ線検査装置に関して、日々研究開発が行われている。

例えば、特許文献１には、Ｘ線検査装置が開示されている。このＸ線検査装置は、被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、該被検査物の各部を透過したＸ線の透過量を検出するＸ線検出手段と、Ｘ線検出手段からの検出情報に基づいてＸ線の透過量に対応するＸ線画像を生成する画像生成手段と、画像生成手段で生成されたＸ線画像を表示する表示手段と、を備えたＸ線検査装置において、Ｘ線検出手段からの検出情報のうち一部を抽出して少なくともＸ線画像の背景に相当する部分を除いた物理量測定領域のＸ線画像を画像生成手段に生成させる領域抽出手段と、領域抽出手段で抽出された検出情報に基づいて被検査物の大きさ又は質量に対応する物理量を算出する物理量算出手段と、物理量測定領域のＸ線画像と物理量算出手段で算出された物理量を示すグラフ表示要素とを関連付けて表示手段に表示させる表示制御手段と、を備える。

上記のＸ線検査装置においては、Ｘ線検出手段からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報が抽出されて物理量測定領域のＸ線画像が生成されるとともに、前記抽出された検出情報に基づいて被検査物の大きさ又は質量に対応する物理量を算出する物理量算出が実行され、物理量測定領域のＸ線画像と算出された物理量を示すグラフ表示要素とが関連付けて表示されることになる。したがって、Ｘ線画像データのうち物理量算出に関与する領域のデータを有効活用して、物理量算出結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行うことが可能となる。

特開２００６−３０８４６７号公報

しかしながら、上記従来のＸ線検査装置においては、Ｘ線源から照射されたＸ線は、被検査物および搬送路（ベルトコンベア）を透過するので、当該搬送路の厚さおよび状態等によってはＸ線透過画像における被検査物情報の信頼性が低下する。

本発明の目的は、被検査物の正確な階調情報を得ることができるＸ線検査装置を提供することである。

本発明の他の目的は、被検査物の正確な重量推定およびランク判定を行うことができるＸ線検査装置を提供することである。

（１）一の局面に従うＸ線検査装置は、Ｘ線源から照射されるＸ線を用いて、搬送部により搬送される被検査物を検査するＸ線検査装置であって、Ｘ線源から照射され、被検査物を透過したＸ線を検出して検出データを生成する検出器と、被検査物に対応する検出データから当該被検査物が載置された搬送部に対応する階調情報を調整する補正を行う補正部と、を備えたものである。

一の局面に従うＸ線検査装置においては、被検査物を透過したＸ線が検出器により検出され、当該検出器により検出データが生成される。被検査物に対応する検出データから当該被検査物が載置された搬送部に対応する階調情報を調整する（減ずる）補正が補正部により行われる。

この場合、被検査物に対応する検出データから当該被検査物が載置された搬送部に対応する階調情報を減ずる補正を行うことによって、被検査物に対応する正確な階調情報を得ることができる。よって、このような補正後の階調情報に基づいて、被検査物の重量推定およびランク判定の処理を正確に行うことができる。

（２）補正部は、被検査物の搬送方向と直交する方向の搬送位置に応じて補正を行うことが好ましい。

この場合、Ｘ線源からのＸ線は、搬送部に対して放射状に照射される。そのため、搬送部の面に対して、垂直に入射するＸ線もあれば、傾斜して入射するＸ線もあることによって、被検査物の搬送方向と直交する方向の搬送位置に応じてＸ線の透過距離が異なる。また、搬送部としてベルトコンベアを用いる場合には、ベルトの継ぎ接ぎ部分等が存在する領域における厚さは他の領域に比べ大きくなるので、当該領域におけるＸ線の透過距離も異なる。

したがって、Ｘ線の透過距離が上記搬送位置によって異なっても、当該搬送位置に応じて補正を行うことで、被検査物の正確な階調情報を得ることができる。これにより、被検査物の重量推定およびランク判定の処理を精度良く行うことができる。

（３）Ｘ線検査装置は、補正部による補正量を予め記憶する記憶部をさらに備え、補正部は、記憶部に記憶された補正量を用いて検出データの補正を行うことが好ましい。

この場合、例えば被検査物の搬送方向と直交する方向における各搬送位置に対応する搬送部の厚さを予め認識しておく。つまり、搬送部の厚さを認識しておくで、上記搬送位置ごとのＸ線の透過距離が把握でき、当該搬送位置ごとのノイズ成分も把握できる。これにより、補正部による補正量を予め決定することが可能となる。そして、当該補正量を記憶部に記憶させておく。記憶された補正量に基づいて検出データの補正が行われるので、被検査物の正確な階調情報を得ることができる。

（４）搬送部は、ベルトコンベアからなり、Ｘ線検査装置は、ベルトコンベアの移動量を検出するエンコーダをさらに備え、補正部は、エンコーダの検出結果に基づいて補正量を再設定することが好ましい。

この場合、エンコーダによりベルトコンベアの移動量が検出されることによって、当該ベルトコンベアが一周回したか否かが認識可能となる。したがって、ベルトコンベアが一周回する毎に、補正量を再設定することで、搬送位置に基づいた適切な補正量を用いて補正を行うことができる。これにより、被検査物の正確な階調情報を得ることができる。

（５）Ｘ線検査装置は、補正部による補正後の検出データの階調情報に基づいて被検査物の重量を推定する重量推定部と、重量推定部により推定された被検査物の重量が、予め設定された複数の階級のうちいずれの階級に属するものであるかについて判定するランク判定部と、をさらに備えてもよい。

この場合、補正部による補正後の検出データの階調情報に基づいて被検査物の重量が重量推定部により推定される。推定された被検査物の重量が、予め設定された複数の階級のうちいずれの階級に属するものであるかについてランク判定部により判定される。

したがって、上述したように、補正部による補正により被検査物の正確な階調情報を得ることができるので、重量推定部による被検査物の重量推定およびランク判定部による被検査物のランク判定の精度が上がる。

本発明に係るＸ線検査装置によれば、被検査物に対応する検出データから当該被検査物が載置された搬送部に対応する階調情報を減ずる補正を行うことによって、被検査物に対応する正確な階調情報を得ることができる。

本実施形態に係るＸ線検査装置の一例を示す模式的外観図である。 本実施形態に係るＸ線検査装置の内部構造の一例を示す模式図である。 Ｘ線検査装置において画像処理に関わる構成部を示すブロック図である。 Ｘ線透過距離およびＸ線検出値について説明するための説明図である。 補正部による補正処理時に用いられる補正量を説明するための説明図である。 重量推定結果の表示例を示す模式図である。 補正不実施と補正実施との場合における重量推定結果の比較を示すグラフである。 他例に係る補正量を説明するための説明図である。

以下、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置について図面を参照しながら説明する。

図１は本実施形態に係るＸ線検査装置１００の一例を示す模式的外観図であり、図２は本実施形態に係るＸ線検査装置１００の内部構造の一例を示す模式図である。

図１に示すように、Ｘ線検査装置１００には、その内部にＸ線検査室３００が形成されている。このＸ線検査室３００内にはＸ線照射装置２００が内蔵されている。Ｘ線検査室３００を貫通するように、ベルトコンベア８００が設けられている。

Ｘ線検査室３００の開口部からのＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止カーテン５００が設けられている。また、Ｘ線検査装置１００には、作業者が操作するためのタッチパネル形式の入力表示部ＭＴが設けられている。作業者は、入力表示部ＭＴを操作することによりＸ線検査装置１００を駆動させる。また、作業者はベルトコンベア８００上に被検査物９００（図２）を載置する。

本実施形態では、ベルトコンベア８００上に載置された被検査物９００について、重量の推定および推定された重量が複数の階級のうちいずれの階級に属するものであるかのランク判定が行われる。

図２に示すように、Ｘ線検査室３００は、Ｘ線照射装置２００、ラインセンサ２２０、Ｘ線漏洩防止カーテン５００、およびベルトコンベア８００を主として備える。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線検査室３００の入口側のＸ線漏洩防止カーテン５１０および出口側のＸ線漏洩防止カーテン５２０により構成される。

ベルトコンベア８００は、無端状のベルトが一対のローラに巻回されて構成されている。シンチレータおよびフォトダイオード素子からなり、Ｘ線を検出するラインセンサ２２０が上記ベルトコンベア８００の内側に設けられている。ラインセンサ２２０はＸ線を検出する複数の検出素子（後述の検出素子２２０ａ、２２０ｂ）を含む。また、Ｘ線検査装置１００は、ベルトコンベア８００の移動量を検出するエンコーダ１０１を備える。

図２において、ベルトコンベア８００上に被検査物９００が載置される。そして、ベルトコンベア８００が駆動されると、被検査物９００は矢印ｄ１の方向（以下、搬送方向ｄ１と呼ぶ）に沿って搬送される。搬送中の被検査物９００は、まず、Ｘ線漏洩防止カーテン５１０を通過して、Ｘ線検査室３００内に移動する。

次いで、搬送中の被検査物９００に対して、Ｘ線照射装置２００からＸ線２１０が照射される。そして、被検査物９００を透過したＸ線２１０がラインセンサ２２０に入射される。

ラインセンサ２２０は、入射されたＸ線２１０に基づいて検出データを生成する。ラインセンサ２２０により生成された検出データに基づいて重量推定およびランク判定が行われる。

その後、被検査物９００は、ベルトコンベア８００により継続的に搬送されることによって、Ｘ線漏洩防止カーテン５２０を通過した後、Ｘ線検査室３００外に移動する。そして、被検査物９００は次工程へと搬送される。

図３はＸ線検査装置１００において画像処理に関わる構成部を示すブロック図であり、図４はＸ線透過距離およびＸ線検出値について説明するための説明図であり、図５は補正部２６０による補正処理時に用いられる補正量ＨＲを説明するための説明図であり、図６は重量推定結果の表示例を示す模式図である。

図３に示すように、本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、画像処理に関わる構成部として、上述のラインセンサ２２０、Ａ／Ｄコンバータ２３０、処理部ＦＳおよび上述の入力表示部ＭＴを備える。

処理部ＦＳは、輝度毎データ取得部２４０、合算部２５０、補正部２６０、記憶部２６１、重量推定部２７０、ランク判定部２８０および表示データ作成部２９０を含む。これら処理部ＦＳの各構成部は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）がＲＡＭ（Random Access Memory）またはＲＯＭ（Read-Only Memory）に格納されている処理プログラムを実行することによって機能的に実現される。このような処理プログラムは、当該処理プログラムが記録されたＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の記録媒体からインストールすることが可能であるし、ネットワークを介してサーバからダウンロードすることも可能である。

図３において、最初に、被検査物９００を透過したＸ線２１０がラインセンサ２２０に入射され、当該ラインセンサ２２０によりＸ線２１０に基づいてアナログデータである検出データＫＤａが生成される。検出データＫＤａは、Ａ／Ｄコンバータ２３０によりデジタルデータである検出データＫＤｄに変換される。

検出データＫＤｄの検出値に基づき輝度毎データ取得部２４０により輝度毎データＬＤ１が取得される。輝度毎データＬＤ１は画像の１ライン分に相当するものである。そして、合算部２５０により複数の輝度毎データＬＤ１が合算されることにより、画像の全ライン分に相当する輝度毎データＬＤ２が生成される。

図４（ａ）に示すように、被検査物９００（図２）の搬送方向ｄ１と直交する方向（以下、素子配設方向と呼ぶ）ｄ２に沿って、ラインセンサ２２０の複数の検出素子２２０ａ、２２０ｂが配されている。なお、図４（ａ）では、説明の便宜のため、２つの検出素子２２０ａ、２２０ｂのみ図示している。

本実施形態においては、輝度毎データＬＤ２において被検査物９００に対応する階調情報（輝度情報）から当該被検査物９００が載置されたベルトコンベア８００に対応する階調情報を減ずる補正が補正部２６０により行われる。

ここで、Ｘ線照射装置２００から照射されたＸ線２１０の透過距離は、素子配設方向ｄ２の位置によって異なる。すなわち、ラインセンサ２２０の検出素子２２０ａにより検出されるＸ線２１０の照射距離ｈと、検出素子２２０ｂにより検出されるＸ線２１０の照射距離Ｈ（＝ｈ／ｃｏｓα）とを比較すると、照射距離Ｈの方が照射距離ｈよりも長い。そのため、Ｘ線２１０がベルトコンベア８００を透過する距離（以下、透過距離と呼ぶ）についても、検出素子２２０ｂにより検出されるＸ線２１０の方が検出素子２２０ａにより検出されるＸ線２１０よりも長くなる。なお、上記のαは、Ｘ線照射装置２００と検出素子２２０ａの中心位置とを結ぶ垂線（ｈ）と、当該Ｘ線照射装置２００と検出素子２２０ｂの中心位置とを結ぶ直線（Ｈ）とがなす角度である。

上記の結果、ラインセンサ２２０の中心位置から離れるほど、Ｘ線２１０の透過距離が長くなる。したがって、図４（ｂ）に示すように、素子配設方向ｄ２の各位置においてＸ線２１０の透過距離が均一である場合のラインセンサ２２０の検出値を示す理想線Ｋ０を基準とすると、ラインセンサ２２０による実際の検出値を示した検出値曲線Ｋ１は、当該ラインセンサ２２０の両端部のＸ線透過量が同位置の理想線Ｋ０のＸ線透過量よりも低下した凸型となる。また、ノイズ成分を示したノイズ曲線Ｋ２は、上記検出値曲線Ｋ１とは逆に凹型となる。

このように、素子配設方向ｄ２の位置（ラインセンサ２２０の検出素子２２０ａ、２２０ｂの位置）によって検出されるＸ線透過量が異なる。よって、本実施形態では、以下に示すように、補正部２６０による補正は素子配設方向ｄ２の位置に応じて行われる。

図５に示すように、補正部２６０（図３）により補正量ＨＲを用いた補正が行われる。これにより、実際には、素子配設方向ｄ２の各位置におけるＸ線透過距離が異なるが、補正量ＨＲを用いた補正を行うことで、Ｘ線透過距離が素子配設方向ｄ２に亘って均一となる場合を再現できる。これにより、被検査物９００の正確な階調情報を得ることができる。

ここで、図５において、横軸を素子配設方向ｄ２の位置とし、縦軸を補正量の大きさとすると、補正量ＨＲの曲線は、素子配設方向ｄ２の中央を基準に両端部の補正量が増加した凹型とする。補正量ＨＲは、素子配設方向ｄ２の位置に対応するベルトコンベア８００の厚さおよび当該厚さに起因するＸ線透過距離に基づいて決定される。本実施形態では、図４（ｂ）の検出値曲線Ｋ１およびノイズ曲線Ｋ２を勘案し、検出値曲線Ｋ１が理想線Ｋ０に近付くように、補正量ＨＲをノイズ曲線Ｋ２よりも緩やかな凹型曲線とする。

なお、素子配設方向ｄ２の各位置に応じた補正量ＨＲを用いた補正においては、エンコーダ１０１の検出結果に基づいて、ベルトコンベア８００が一周回する毎に、補正量ＨＲが再設定される。これにより、素子配設方向ｄ２の各位置に応じた適切な補正量ＨＲを用いて補正を行うことができる。

続いて、補正部２６０による補正後データＨＤの階調情報に基づいて被検査物９００の重量が重量推定部２７０（図３）により推定される。図６に示すように、重量推定部２７０により推定された被検査物９００の重量は、例えば入力表示部ＭＴの表示領域Ｒ１に表示される。

なお、重量推定部２７０による重量推定方法の一例は以下の通りである。ラインセンサ２２０の各検出素子（検出素子２２０ａ、２２０ｂ等）は、例えば、最高輝度の白を「２５５」とし、最低輝度の黒を「０」とする２５６階調の検出階調数で、透過Ｘ線に応じた明るさを検出する。本実施形態では、例えば、重量推定部２７０は、ベルトコンベア８００上に被検査物９００が載置されている状態の明るさから被検査物９００が載置されていない状態の明るさ（ベルトコンベア８００のみの明るさ）を減ずることで、被検査物９００の推定重量を算出する。

また、重量推定部２７０により推定された被検査物９００の重量が、予め定められた複数の階級のうちいずれの階級に属するものであるかについてランク判定部２８０（図３）により判定される。また、表示データ作成部２９０は、入力表示部ＭＴに表示するための表示データを作成する。

なお、ランク判定部２８０によるランク判定（階級判定）方法の一例は以下の通りである。ランク判定部２８０は、重量推定部２７０による推定結果に基づいて、被検査物９００がどの重量階級（所定範囲内において予め被検査物９００の種類毎に設定されているものであって、例えば、５段階（ＳＳ、Ｓ、Ｍ、ＬおよびＬＬ）に分級したもの）に属しているかについての判定、または、被検査物９００が上記の重量階級のいずれにも属さないものである場合、当該被検査物９００を異常なものと判定する。

より具体的に説明すると、次のようになる。重量階級ごとの目標範囲（許容範囲）の上限値および下限値が、被検査物９００の種類毎に予め設定されている。ランク判定部２８０は、上述した推定重量と、上記の各重量階級の上限値および下限値とを比較し、推定重量がいずれかの重量階級の上限値以下かつ下限値以上に該当するか否かを判定する。そして、推定重量がいずれかの下限値から上限値の範囲内であると判定した場合は、その被検査物９００の重量はその重量階級に属すると判定する。一方、ランク判定部２８０は、推定重量がいずれの重量階級にも属さない場合は、その被検査物９００の重量は異常であると判定する。

ランク判定部２８０は、上記推定重量に基づく重量階級に、さらにＸ線検査装置１００による画像データを利用した被検査物９００の形状を含めて、ランク判定をしてもよい。例えば、被検査物９００が左右対称の整った形状であれば、ランク等級を上げる処理をすることができ、被検査物９００が左右非対称の不均一な形状であれば、ランク等級を下げる処理をすることができる。

（本実施形態における効果）
本実施形態では、被検査物９００に対応する階調情報から当該被検査物９００が載置されたベルトコンベア８００に対応する階調情報を減ずる補正が補正部２６０により行われる。この場合、被検査物９００の階調情報から当該被検査物９００が載置されたベルトコンベア８００の階調情報を減ずる補正を行うことによって、被検査物９００に対応する正確な階調情報を得ることができる。よって、このような補正後の階調情報に基づいて、被検査物９００の重量推定およびランク判定の処理を精度良く行うことができる。以下、効果の一例を説明する。

図７は補正不実施と補正実施との場合における重量推定結果の比較を示すグラフである。

図７（ａ）に示すように、補正部２６０による補正を実施しない場合には、被検査物９００の重量推定結果において顕著なばらつきが存在する。これに対して、補正部２６０による補正を実施した場合には、図７（ｂ）に示すように、被検査物９００の重量推定結果においてばらつきが著しく減少する。これにより、補正部２６０による補正によって重量推定精度が向上することがわかる。

また、Ｘ線照射装置２００からのＸ線２１０は、ベルトコンベア８００に対して放射状に照射される。そのため、上述のように、ベルトコンベア８００の面に対して、垂直に入射するＸ線２１０もあれば、傾斜して入射するＸ線２１０もあることによって、素子配設方向ｄ２の位置に応じてＸ線２１０の透過距離が異なる。

したがって、本実施形態では、素子配設方向ｄ２の各位置に応じた補正量ＨＲを用いた補正を行うことで、被検査物９００の正確な階調情報を得ることができる。これにより、被検査物９００の重量推定およびランク判定の処理をより精度良く行うことができる。

また、ベルトコンベア８００の厚さおよびＸ線透過距離を考慮した補正量ＨＲを記憶部２６１に記憶させるので、ベルトコンベア８００の厚さ等が経時的に変化した場合にも、当該厚さを更新して記憶させることで、以後の補正処理を正確に行うことができる。

さらに、ベルトコンベア８００が一周回する毎に、補正量ＨＲを再設定することで、素子配設方向ｄ２に応じた適切な補正量ＨＲを用いて補正を行うことができる。これにより、被検査物９００の正確な階調情報を得ることができる。

（請求項の各構成要素と上記実施形態の各部との対応関係）
上記実施形態においては、Ｘ線検査装置１００がＸ線検査装置に相当し、Ｘ線照射装置２００がＸ線源に相当し、被検査物９００が被検査物に相当し、Ｘ線２１０がＸ線に相当し、ベルトコンベア８００が搬送部に相当し、検出データＫＤａ、ＫＤｄおよび輝度毎データＬＤ１、ＬＤ２が検出データに相当し、ラインセンサ２２０が検出器に相当し、補正部２６０が補正部に相当し、搬送方向ｄ１が被検査物の搬送方向に相当し、素子配設方向ｄ２が搬送方向と直交する方向に相当し、補正量ＨＲが補正量に相当し、記憶部２６１が記憶部に相当し、エンコーダ１０１がエンコーダに相当し、重量推定部２７０が重量推定部に相当し、ランク判定部２８０がランク判定部に相当する。

（変形例）
なお、上述したように、ベルトコンベア８００のベルト（図示せず）の厚さによってＸ線透過距離が異なるので、例えばベルト上の粉塵等の異物または当該ベルトに付された１または複数のマーカ等が存在する場合には、これらを考慮して補正量ＨＲを決定することが好ましい。それにより、より正確な被検査物９００の階調情報を得ることができる。

また、上記実施形態では、エンコーダ１０１による検出結果に基づいて補正量ＨＲの再設定を行うこととしたが、これに限定されるものでなく、例えばベルトコンベア８００上にマークを付しておき、当該マークの検出を基にして補正量ＨＲの再設定を行ってもよい。

また、上記実施形態では、素子配設方向ｄ２の各位置に応じた補正量ＨＲを用いて補正を行うこととしたが、図８に示すように、搬送方向ｄ１（流れ方向）をも考慮した補正量ＨＲ１を用いて補正を行ってもよい。例えば、ベルトコンベア８００のベルトの継ぎ接ぎ部分は他の部分に比べ厚さが大きいので、当該継ぎ接ぎ部分に載置された被検査物９００の重量を推定する場合には、補正量ＨＲを均一に大きくした補正量ＨＲ１の曲線を用いることで重量推定精度がより向上する。

また、上記実施形態では、補正量ＨＲの曲線（図５）を緩やかな凹型としたが、これに限定されるものではなく、ベルトコンベア８００の厚さおよびＸ線透過距離等の種々の状況を鑑みて、補正量ＨＲを適宜設定することができる。

さらに、本発明の好ましい一実施の形態は上記の通りであるが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。

１００ Ｘ線検査装置
１０１ エンコーダ
２００ Ｘ線照射装置
２１０ Ｘ線
２２０ ラインセンサ
２２０ａ、２２０ｂ 検出素子
２６０ 補正部
２６１ 記憶部
２７０ 重量推定部
２８０ ランク判定部
８００ ベルトコンベア
９００ 被検査物
ｄ１ 搬送方向
ｄ２ 素子配設方向
ＨＲ、ＨＲ１ 補正量
ＫＤａ、ＫＤｄ 検出データ
ＬＤ１、ＬＤ２ 輝度毎データ
ＭＴ 入力表示部

Claims (5)

1. Ｘ線源から照射されるＸ線を用いて、搬送部により搬送される被検査物を検査するＸ線検査装置であって、
   前記Ｘ線源から照射され、前記被検査物を透過したＸ線を検出して検出データを生成する検出器と、
   前記被検査物に対応する前記検出データから当該被検査物が載置された前記搬送部に対応する階調情報を調整する補正を行う補正部と、を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
2. 前記補正部は、前記被検査物の搬送方向と直交する方向の搬送位置に応じて前記補正を行うことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記補正部による補正量を予め記憶する記憶部をさらに備え、
   前記補正部は、前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記検出データの補正を行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記搬送部は、ベルトコンベアからなり、
   前記ベルトコンベアの移動量を検出するエンコーダをさらに備え、
   前記補正部は、前記エンコーダの検出結果に基づいて前記補正量を再設定することを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置。
5. 前記補正部による補正後の検出データの階調情報に基づいて前記被検査物の重量を推定する重量推定部と、
   前記重量推定部により推定された前記被検査物の重量が、予め設定された複数の階級のうちいずれの階級に属するものであるかについて判定するランク判定部と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。