JP2011191292A - 光検出回路 - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 abstract description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 36
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 8
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 4
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910019092 Mg-O Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910019395 Mg—O Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020923 Sn-O Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 150000002483 hydrogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012905 input function Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
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- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/1443—Devices controlled by radiation with at least one potential jump or surface barrier
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- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/67—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to fixed-pattern noise, e.g. non-uniformity of response
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14632—Wafer-level processed structures
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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- Multimedia (AREA)
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
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Abstract
【解決手段】入力端子と接続された第1の配線と、出力端子と接続された第2の配線と、一方の端子が第1の配線と接続され、他方の端子が第2の配線と接続された第1のフォトセンサと第2のフォトセンサとを有し、第1の配線と第2の配線とは平行に配置される光検出回路において、入力端子から、第1の配線、第1のフォトセンサ、第2の配線を介して出力端子に至る第1の経路と、入力端子から、第1の配線、第2のフォトセンサ、第2の配線を介して出力端子に至る第2の経路とで、抵抗値の和を等しくする。
【選択図】図1
Description
本明細書において、「フォトセンサ」とは、光エネルギーを電気エネルギーに変換する半導体素子を備えた回路をいう。この半導体素子として、例えば、受光した光量に応じて電流を発生させる素子や、受光した光強度に応じて電気抵抗値が変化する素子などが含まれる。
図1は、光検出回路1の構成を示す図である。この光検出回路1には、複数のフォトセンサがマトリクス状に配列されている。
基準信号線L1へ供給された基準電圧X1は、フォトセンサP1aの入力端子Pt3を通って、フォトセンサP1aへ供給される。
フォトセンサP1aには、基準信号線L1の配線寄生抵抗R1aを介して基準電圧X1が供給される。そして、フォトセンサP1aから、フォトセンサ出力信号線L2の配線寄生抵抗R2a,R2b,…,R2nを介して出力信号X2が出力される。
フォトセンサP1bには、基準信号線L1の配線寄生抵抗R1a,R1bを介して基準電圧X1が供給される。そして、フォトセンサP1bから、フォトセンサ出力信号線L2の配線寄生抵抗R2b,…,R2nを介して出力信号X2が出力される。
図1に示した光検出回路1とは構成が異なる光検出回路3の構成を図2に示す。光検出回路3は、基準電圧X3の供給される向きと、出力信号X4の出力される向きが逆であるのに対し、光検出回路1は、基準電圧X1の供給される向きと、出力信号X2の出力される向きが同じである点で、光検出回路1と光検出回路3の構成は異なる。
フォトセンサの回路構成例について、図面に基づいて説明する。
図3(A)に基づいて、フォトセンサP10の回路構成について説明する。このフォトセンサP10は、フォトダイオードD1およびトランジスタQ1,Q2を備えている。
図3(B)に基づいて、フォトセンサP11の回路構成について説明する。このフォトセンサP11は、図3(A)に示したフォトセンサP10に、トランジスタQ3を加えた構成である。
本明細書に開示する酸化物半導体について説明する。トランジスタに用いる酸化物半導体は、ドナーの原因である水素、水分、水酸基または水酸化物(水素化合物ともいう)などの不純物を意図的に排除したのち、これらの不純物の排除工程において同時に減少してしまう酸素を供給することで、高純度化および電気的にi型(真性)化されている。これは、トランジスタの電気的特性の変動を抑制するための処理である。
図4(A)に基づいて、フォトセンサP12の回路構成について説明する。このフォトセンサP12は、フォトダイオードD1,トランジスタQ1およびコンデンサC1を備えている。
図4(B)に基づいて、フォトセンサP13の回路構成について説明する。このフォトセンサP13は、図3(B)に示したフォトセンサP11に、トランジスタQ4を加えた構成である。
図4(C)に基づいて、フォトセンサP14の回路構成について説明する。このフォトセンサP14は、図4(B)に示したフォトセンサP13から、トランジスタQ2を省いた構成である。
高純度化および電気的にi型(真性)化された酸化物半導体を用いたトランジスタの作製方法の一例について、図6に基づいて説明する。
2 制御回路
3 光検出回路
L1〜L4 信号線
X1,X3 基準電圧
X2,X4 出力信号
R1a〜R1n 配線寄生抵抗
R2a〜R2n 配線寄生抵抗
R3a〜R3n 配線寄生抵抗
R4a〜R4n 配線寄生抵抗
Pt1〜Pt4 端子
P1a〜P1n フォトセンサ
P3a〜P3n フォトセンサ
P10〜P14 フォトセンサ
L10〜L16 信号線
D1 フォトダイオード
Q1〜Q4 トランジスタ
C1 コンデンサ
100 基板
101 絶縁層
102 酸化物半導体層
103a,103b 電極
104 ゲート絶縁層
105a,105b 開口
106 ゲート電極
107a,107b 配線
200 表示装置
201 画素回路
202 画素
203 表示装置
204 フォトセンサ
Claims (3)
- 入力端子と接続された第1の配線と、出力端子と接続された第2の配線と、
一方の端子が前記第1の配線と接続され、他方の端子が前記第2の配線と接続された第1のフォトセンサと第2のフォトセンサとを有し、
前記第1の配線と前記第2の配線とは平行に配置され、
前記入力端子から、前記第1の配線、前記第1のフォトセンサ、前記第2の配線を介して前記出力端子に至る第1の経路と、前記入力端子から、前記第1の配線、前記第2のフォトセンサ、前記第2の配線を介して前記出力端子に至る第2の経路とは、抵抗値の和が等しいことを特徴とする光検出回路。 - 請求項1において、
前記第1の配線と前記第2の配線とは、同一の導電体材料からなり、且つ配線の幅が同一であることを特徴とする光検出回路。 - 請求項1又は2において、
前記入力端子と前記出力端子は、同一の制御回路に接続されていることを特徴とする光検出回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011028140A JP5872167B2 (ja) | 2010-02-19 | 2011-02-14 | 光検出回路 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010034156 | 2010-02-19 | ||
JP2010034156 | 2010-02-19 | ||
JP2011028140A JP5872167B2 (ja) | 2010-02-19 | 2011-02-14 | 光検出回路 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016004330A Division JP6266662B2 (ja) | 2010-02-19 | 2016-01-13 | 光検出回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011191292A true JP2011191292A (ja) | 2011-09-29 |
JP5872167B2 JP5872167B2 (ja) | 2016-03-01 |
Family
ID=44475709
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011028140A Expired - Fee Related JP5872167B2 (ja) | 2010-02-19 | 2011-02-14 | 光検出回路 |
JP2016004330A Expired - Fee Related JP6266662B2 (ja) | 2010-02-19 | 2016-01-13 | 光検出回路 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016004330A Expired - Fee Related JP6266662B2 (ja) | 2010-02-19 | 2016-01-13 | 光検出回路 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8803063B2 (ja) |
JP (2) | JP5872167B2 (ja) |
KR (1) | KR101834010B1 (ja) |
TW (1) | TWI507666B (ja) |
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- 2011-02-10 US US13/024,391 patent/US8803063B2/en active Active
- 2011-02-14 JP JP2011028140A patent/JP5872167B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-02-15 TW TW100104908A patent/TWI507666B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-02-18 KR KR1020110014612A patent/KR101834010B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-08-08 US US14/454,762 patent/US9153711B2/en not_active Expired - Fee Related
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- 2016-01-13 JP JP2016004330A patent/JP6266662B2/ja not_active Expired - Fee Related
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KR101834010B1 (ko) | 2018-03-02 |
KR20110095829A (ko) | 2011-08-25 |
US20140346632A1 (en) | 2014-11-27 |
US8803063B2 (en) | 2014-08-12 |
US9153711B2 (en) | 2015-10-06 |
TWI507666B (zh) | 2015-11-11 |
JP6266662B2 (ja) | 2018-01-24 |
US20110204207A1 (en) | 2011-08-25 |
JP5872167B2 (ja) | 2016-03-01 |
JP2016128819A (ja) | 2016-07-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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