JP2011179891A - 計測装置および計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対象面に向かって光ビームを投射する投射部と、対象面で反射された光ビームを受光して対象面の局所的形状を特定する特定部と、光ビームの投射角度を維持しつつ光ビームを並進させる並進部と、光ビームの並進に伴って特定部が順次特定する局所的形状を蓄積して、対象面の連続的形状を算出する算出部と、光ビームの投射角度を変更する変更部と、変更部が投射角度を第一角度から第二角度に変更した場合に、特定部に、第一角度による対象面への投射位置に第二角度により光ビームを投射させ、且つ、当該投射位置における局所的形状を再び特定させる制御部とを備える。
【選択図】図6
Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1]特開2003−344028号公報
Claims (11)
- 対象面に向かって光ビームを投射する投射部と、
前記対象面で反射された前記光ビームを受光して前記対象面の局所的形状を特定する特定部と、
前記光ビームの投射角度を維持しつつ前記光ビームを並進させる並進部と、
前記光ビームの並進に伴って前記特定部が順次特定する前記局所的形状を蓄積して、前記対象面の連続的形状を算出する算出部と、
前記光ビームの投射角度を変更する変更部と、
前記変更部が前記投射角度を第一角度から第二角度に変更した場合に、前記特定部に、前記第一角度による前記対象面への投射位置に前記第二角度により前記光ビームを投射させ、且つ、当該投射位置における局所的形状を再び特定させる制御部と
を備え、前記対象面の形状を計測する計測装置。 - 前記変更部は、前記対象面により反射された前記光ビームが、前記特定部に受光される範囲に前記投射角度を変更する請求項1に記載の計測装置。
- 前記変更部は、前記対象面による前記光ビームの反射角度がより小さくなるように前記投射角度を変更する請求項1または請求項2に記載の計測装置。
- 前記特定部は、前記対象面の局所的な傾斜を特定する請求項1から請求項3までのいずれかに記載の計測装置。
- 前記特定部は、前記対象面までの距離を特定する請求項1から請求項3までのいずれかに記載の計測装置。
- 前記算出部は、蓄積された前記局所的形状を積分して前記連続的形状を算出する請求項1から請求項5までのいずれかに記載の計測装置。
- 前記変更部は、
発生した前記光ビームを反射する固定鏡と、
前記固定鏡が反射した光ビームを更に反射して前記対象面に投射し、且つ、揺動して前記投射角度を変更する可動鏡と
を有する請求項1から請求項6までのいずれかに記載の計測装置。 - 前記変更部は、
前記対象面に向かって光ビームを投射するオートコリメータと、
前記オートコリメータを支持しつつ回転する回転台と
を有する請求項1から請求項6までのいずれかに記載の計測装置。 - 前記制御部は、前記第一角度および前記第一角度で前記局所的形状を特定した場合の前記対象面までの距離から、前記投射位置を特定する請求項1から請求項8までのいずれかに記載の計測装置。
- 前記制御部は、前記対象面にマーカビームを投射して前記第一角度による投射位置を表示する表示部を有する請求項1から請求項8までのいずれかに記載の計測装置。
- 対象面に向かって光ビームを投射する投射段階と、
前記対象面で反射された前記光ビームを受光して前記対象面の局所的形状を特定する特定段階と、
前記光ビームの投射角度を維持しつつ前記光ビームを並進させて、前記局所的形状を順次蓄積する蓄積段階と、
蓄積された前記局所的形状から前記対象面の連続的形状を算出する算出段階と、
前記対象面で反射された前記光ビームの投射角度を変更する変更段階と、
前記投射角度を第一角度から第二角度に変更した場合に、前記第一角度による前記対象面への投射位置に前記第二角度により前記光ビームを投射し、当該投射位置における局所的形状を再び特定する再特定段階と
を備え、前記対象面の形状を計測する計測方法。
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