JP2011176316A - 多反射モードを有する電子反射板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入射電子ビームが電子源から形成され、入射ビームは電子反射板のアレイに導かれる。第1の複数の反射板は、反射板を出る反射した電子が合焦ビームを形成する第1反射モードで電子を反射するように構成される。第2の複数の反射板は、反射板を出る反射した電子がデフォーカスする第2反射モードで電子を反射するように構成される。
【選択図】図3A
Description
Claims (14)
- 電子反射板のアレイから電子を制御可能に反射する方法であって、
電子源からの入射電子ビームを形成することと、
入射電子ビームを電子反射板のアレイに導くことと、
反射板を出る反射した電子が合焦したビームを形成する第1反射モードで電子を反射するように、第1の複数の反射板を構成することと、
反射板を出る反射した電子がデフォーカスする第2反射モードで電子を反射するように、第2の複数の反射板を構成することと、
を含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記電子反射板が各々複数の電極を有する、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記電子反射板が、各々ベース電極と、前記ベース電極を取り囲む側壁中の絶縁層によって分離された複数の積み重ねられた電極とを含む、方法。 - 請求項2に記載の方法において、
第1の電圧がベース電極に印加されて第1反射モードを達成し、第2電圧が前記ベース電極に印加されて第2反射モードを達成する、方法。 - 請求項4に記載の方法において、
前記ベース電極が凹電極を含む、方法。 - 請求項5に記載の方法において、
前記入射電子ビームが2電子ボルトより高いエネルギー広がりを有する、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記反射した電子が、第1反射モードに構成された電子反射板を出る際に実質的に平行な軌道を有し、第2反射モードに構成された電子反射板を出る際に実質的に発散する軌道を有する、方法。 - 反射電子ビームリソグラフィのためのダイナミックパターン生成機の装置であって、
複数の電子反射板のアレイと、
前記反射板を出る反射した電子が合焦ビームを形成する第1反射モードで電子を反射するように第1の複数の反射板を構成する制御回路と、
前記反射板を出る反射した電子がデフォーカスする第2反射モードで電子を反射するように第2の複数の反射板を構成する制御回路と、
を備える装置。 - 請求項8に記載の装置において、
前記電子反射板が各々複数の電極を有する、装置。 - 請求項8に記載の装置において、
前記電子反射板が各々ベース電極と、前記ベース電極を取り囲む側壁中の絶縁層によって分離された複数の積み重ねられた電極とを含む、装置。 - 請求項9に記載の装置において、
第1の電圧がベース電極に印加されて第1反射モードを達成し、第2電圧が前記ベース電極に印加されて第2反射モードを達成する、装置。 - 請求項11に記載の装置において、
前記ベース電極が凹電極を含む、装置。 - 請求項12に記載の装置において、
前記入射電子ビームが2電子ボルトより高いエネルギー広がりを有する、装置。 - 請求項8に記載の装置において、
前記反射した電子が、第1反射モードに構成された電子反射板を出る際に実質的に平行な軌道を有し、第2反射モードに構成された電子反射板を出る際に実質的に発散する軌道を有する、装置。
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