JP2011176147A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置の伝送系が円形導波管を用いて構成され、電磁波供給機構が該円形導波管に接続された略円柱状の空洞部からなり、該空洞部にリッジ301を設けること、あるいは、リッジ301とテーパ導波管401を併用することでマイクロ波の中心集中傾向を改善する。
【選択図】図5
Description
102 自動整合機
103 方形導波管
104 円矩形変換器
105 円形導波管
106 空洞共振部
107 マイクロ波導入窓
108 シャワープレート
109 処理ガスの供給系
110 プラズマ処理室
111 被処理基板
112 基板電極
113 自動整合機
114 バイアス電源
115 静磁界発生装置
116 バルブ
117 コンダクタンス可変バルブ
118 真空排気ポンプ
119 アイソレータ
120 圧力計
201 円形導波管
202 空洞部
203 マイクロ波電界ベクトル
204 表面波的な電界
205 空洞部内部に放射される電界
301 リッジ
401 テーパ
Claims (2)
- 電磁波の発生源、
該電磁波を伝送する伝送系、
該伝送系に接続され、プラズマ処理室に電磁波を供給するための電磁波供給機構、
該プラズマ処理室内に被処理基板を戴置するための基板電極、
該プラズマ処理室にプラズマ処理に用いる所定流量のガスを供給するガス供給装置、
該プラズマ処理室を排気する真空排気装置、
該プラズマ処理室内の圧力を所定の値に制御するための制御機構、
を備えたプラズマ処理装置において、
該伝送系が円形導波管を用いて構成され、
該電磁波供給機構が該円形導波管に接続された略円柱状の空洞部からなり、該空洞部にリッジを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 電磁波の発生源、
該電磁波を伝送する伝送系、
該伝送系に接続され、プラズマ処理室に電磁波を供給するための電磁波供給機構、
該プラズマ処理室内に被処理基板を戴置するための基板電極、
該プラズマ処理室にプラズマ処理に用いる所定流量のガスを供給するガス供給装置、
該プラズマ処理室を排気する真空排気装置、
該プラズマ処理室内の圧力を所定の値に制御するための制御機構、
を備えたプラズマ処理装置において、
該伝送系が円形導波管を用いて構成され、
該電磁波供給機構が該円形導波管に接続されたテーパ導波管および該テーパ導波管に接続された略円柱状の空洞部からなり、該空洞部にリッジを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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JPH0567586A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-19 | Nec Corp | Ecrプラズマエツチング装置 |
JPH0673567A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-15 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JPH07263187A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
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