JP2011172470A - モジュール式給電装置および特にポリシリコン製造のための反応炉用モジュール式給電装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基本給電ユニットは給電モジュールに電力を供給し、電力幹線からの電気エネルギが基本給電ユニットを介して供給される負荷に接続するための入力部および出力部に接続され、負荷に供給されるべき前記エネルギを調整するように構成される制御可能なスイッチとを有し、前記制御ユニットには電気エネルギが供給され、給電装置は通信バスを含み、制御モジュールおよび基本給電モジュールを前記通信バスに接続可能とする。
【選択図】図2
Description
基本給電モジュールは、接地不良を識別するための手段を含んでもよい。
Claims (28)
- ポリシリコン製造のための反応炉用給電装置であって、
給電装置が、中央制御ユニットと少なくとも1つの基本給電ユニットとを含み、
前記制御ユニットが、前記基本給電ユニットを制御および/または調整するための少なくとも1つの制御器を含み、
前記基本給電ユニットが、
前記基本給電モジュールに電気エネルギを供給するための少なくとも1つの入力部と、
電力幹線からの電気エネルギを、前記基本給電ユニットを介して供給可能な負荷群に接続するための少なくとも1つの出力部と、
複数の制御可能なスイッチであって、少なくとも間接的に入力部と、および少なくとも間接的に出力部と接続され、前記出力部を介して前記負荷に供給されるべき前記エネルギを調整するように構成される、複数の制御可能なスイッチとを含み、
前記スイッチは前記制御ユニットによって制御可能であり、
前記制御ユニットは制御モジュールであり、基本給電ユニットは基本給電モジュールであり、
前記制御モジュールは、制御モジュールに電気エネルギを供給するための電力幹線への接続のための入力部を含み、
給電装置は通信バスを含み、
前記制御モジュールも前記基本給電モジュールも、該制御モジュールと該基本給電モジュールとを前記通信バスに接続するように構成されたインタフェースを含むことを特徴とする給電装置。 - 複数の二次側タップを有する変圧器を含むことを特徴とする請求項1に記載のモジュール式給電装置。
- 前記変圧器の各タップは、前記基本給電モジュールの対応する入力部に関連付けられ、制御可能なスイッチ群は、前記基本給電モジュールの入力部であって、この入力部を介して受けるべき前記電気エネルギを調整するための前記基本給電モジュールの入力部にそれぞれ関連付けられることを特徴とする請求項2に記載のモジュール式給電装置。
- 前記制御可能なスイッチ群は、さらなるスイッチの相互接続なしで、前記基本給電モジュールの入力部および出力部に接続されることを特徴とする請求項3に記載のモジュール式給電装置。
- 前記制御可能なスイッチ群と前記出力部との間にノードが設けられ、該ノードはさらなる制御可能なスイッチを介して基準電位に接続可能であることを特徴とする請求項4に記載のモジュール式給電装置。
- 複数の同一または類似の基本給電モジュールを含むことを特徴とする請求項1に記載のモジュール式給電装置。
- 中間電圧供給モジュールであって、電気エネルギを供給する電力幹線への接続または変圧された入力部を接続するための少なくとも1つの入力部と、前記負荷群から、前記電力幹線から取り出される電気エネルギが前記変圧器を介して供給されてもよい1つの対応する負荷への接続のための複数の出力部と、前記モジュール式給電装置を前記通信バスに接続するインタフェースとを含む中間電圧供給モジュールを含むことを特徴とする請求項1に記載のモジュール式給電装置。
- 前記中間電圧供給モジュールは、前記入力部に印加されるべき電圧を増加させるための少なくとも1つ変換器を含むことを特徴とする請求項6に記載のモジュール式給電装置。
- 対応する変換器が前記中間電圧供給モジュールの各出力に関連付けられることを特徴とする請求項7に記載のモジュール式給電装置。
- 少なくとも、前記中間電圧供給モジュールの出力部に接続される負荷に電力が供給されるとき、前記出力部間の結合電圧は約0Vであることを特徴とする請求項6に記載のモジュール式給電装置。
- 中間周波数供給モジュールであって、電気エネルギを供給するための電力幹線への接続のための少なくとも1つの入力部と、前記負荷群から、前記電力幹線から受ける電気エネルギが供給可能である1つの対応する負荷への接続のための複数の出力部と、前記モジュール式給電装置を前記通信バスに接続するインタフェースとを含む中間周波数供給モジュールを含むことを特徴とする請求項1に記載のモジュール式給電装置。
- 前記中間周波数供給モジュールは、前記入力部に印加される前記電力幹線の電圧の周波数を増加させるための1または複数の周波数変換器を含むことを特徴とする請求項10に記載のモジュール式給電装置。
- 前記周波数変換器の1つの対応する出力部が、各出力部に関連付けられることを特徴とする請求項11に記載のモジュール式給電装置。
- 少なくとも、前記中間周波数供給モジュールの出力部に接続される負荷に電気エネルギが供給されるとき、前記中間周波数供給モジュールの1対の出力部間の結合電圧は約0Vであることを特徴とする請求項10に記載のモジュール式給電装置。
- 2つの対応する端子が前記中間周波数供給モジュールの各出力部に関連付けられ、各出力部対は2つの外部端子と1つの内部端子とを有し、前記外部端子は、前記1対の出力部の2つの出力部のうちの対応する1つの出力部に関連付けられ、前記内部端子は前記1対の出力部の2つの出力部に関連付けられることを特徴とする請求項10に記載のモジュール式給電装置。
- 200V〜600Vの3相AC電圧が、たとえば変圧器から、前記中間周波数供給モジュールの入力部に供給されていることを特徴とする請求項10に記載のモジュール式給電装置。
- 複数の同一または類似の中間周波数供給モジュールを含むことを特徴とする請求項10に記載のモジュール式給電装置。
- 前記中間周波数供給モジュールの数は、基本給電モジュールの数に対応することを特徴とする請求項10に記載のモジュール式給電装置。
- 複数の制御キャビネットを含み、前記制御モジュール、各基本給電モジュールおよび場合によっては各中間周波数供給モジュールは、対応する制御キャビネットに配置されることを特徴とする請求項1に記載のモジュール式給電装置。
- 基本給電モジュールとともに各中間電圧供給モジュールは、制御キャビネットに配置されることを特徴とする請求項19に記載のモジュール式給電装置。
- 各制御キャビネットは前記電力幹線への接続部を含むことを特徴とする請求項19に記載のモジュール式給電装置。
- 各モジュールは、補助給電装置への接続部を有することを特徴とする請求項1に記載のモジュール式給電装置。
- 各制御キャビネットは、表示ユニット、特に表示画面を有することを特徴とする請求項19に記載のモジュール式給電装置。
- 前記さらなるスイッチが接触器などの機械的スイッチであることを特徴とする請求項4に記載のモジュール式給電装置。
- 前記中間電圧供給モジュールは、前記入力部に印加されるべき電圧を増加させるための少なくとも1つの変換器を含むことを特徴とする請求項7に記載のモジュール式給電装置。
- 前記3相AC電圧は、約400Vであることを特徴とする請求項16に記載のモジュール式給電装置。
- 各制御キャビネットは、前記電力幹線への接続部を含むことを特徴とする請求項20に記載のモジュール式給電装置。
- 前記制御可能なスイッチは、サイリスタであることを特徴とする請求項1に記載のモジュール式給電装置。
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