TW201141037A - Modular power supply arrangement for reactor for producing polysilicon - Google Patents

Description

201141037 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及-種供電裝置，特別是用於用 矽的反應器，具有 用於用从製造多晶 中，控制單元且=和 個基本供電單元，其 /、有至夕個調節和控制裝置，用 或控制基本供電單元；基本供電單元具有.二於調節和/ 端，用於與供應電能料供電網路連接，至少個輸入 用於與-I 且負載連接，這些負載通 ®輸出端’ 供應從供電網路獲得 電單元能夠被 流電晶體，這- = 控制的開關，優選爲開 地與輸出端連接，並/接地與輸人端連接和至少間接 端可供給負裁的能量，Μ，所.…周即經由輸出 進行控制。 ^所述開關能夠通過控制單元 【先前技術】 例如由公開文獻DE2020040M8]2 佴雷驻¥ » & 匕知—種這樣的 仏電扃置。該實用新型公開一 ^ 梦番暴本供電單元的供雷 裝置，藉以能夠給串聯於供電裝置 電 應雷厭 * \ 的員載連續運行地供 屋。在：：:二負載能夠平行地從，堡供電單元被供應中 開，曰 進一步描述控制單元。特别是沒有公 者如何作用於㈣供電單元。電早…控制開關或 由㈣議㈣助⑴也已知一種供電裝置它 個基本供電單元和—財屡供電單元、 ^叹有詳細描述 201141037 基本供電單元。在該文獻中雖然提到 沒有對其進一步描述。 了控制單元 但是並 也具有的其他缺 每個供電裝置都 ’其中都可以追 這樣的供電裝置、但其他的供電裝置 =是，它們被單獨地和針對委託地構造。 是一種特殊的供電問題的單獨的解決方案 溯到以前的解決方案的經驗。 ” L f叨円容】 在此提出本發明。 置：：：的目的是，這樣改進開頭所述類型的供電裝 具有控制單元和基本供電單元的簡單的 發’能夠實現供電裝置的靈活適配 新 f出 的解決方案。 無需重新構造早獨 纟2 本發明廷樣實現該目的，即，控制單元是控制模 2本供電單^基本供電模組；控制模組具有用於虚 =網路連接的輸入端，用以給控制模組供給電能；供電 裝置具有通信匯流排；控制模組和基本供電模組都具有介 :’控制模組和基本供電模組通過該介面與通信匯 接0 % 根據本發明的模組式構成的這種供電褒置能夠從—種 具有一控制模組和一基本供電模組的裝置出發靈活地進行 擴展。擴展例如可以在於另外的基本供電模組，這些基本 t、電模組必要時可以事後附加到供電裝置上。但也可以給 供電裝置附加其他類型的模組。附加的模組通過介面和通 201141037 與控制模組㈣’由此’所述附加的模組由控制 、：：制或调節。料’所述附加的模組還具有自己的輸 二二於與供電網路連接。因&，根據本發明的供電裝 =夠㈣地進行標^ (skalierba〇。對於利用西門子工 :製造多W的實踐來說’ $意味著’可以通過例如將基 一供電模組的數量與需要供電的矽細棒的數量進行適配來 貫現根據本發明的供電設備。必要時也可以事後給用於向 按西門子工藝的多晶矽反應器供電的供電裝置附加用於改 進的程序控制的模組。#電裝置的或多晶石夕的製造廠商由 此可以使具有西門子反應器的設備靈活地與改變的條件、 例如原材料價;^、能量價格或多晶石夕價格相適配或與需求 相適配。 _所述供電裝置可以具有一帶有多個次級側的抽頭的變 c器，其中，對於基本模組的每個抽頭，都有一組可控制 的開關配設給基本供電模組的一個輸出端並且能配設給一 個輸出端，以便調節通過該抽頭從供電網路中能夠獲取的 電能。所述可控制的開關例如可以是閘流電晶體。各組所 述可控制的開關’有利地可以在不中間連接其他開關的情 況下，一方面與抽頭連接而另一方面與基本供電模組的輸 出端連接。特別有利的是，除了所述組的可控制開關以外， 在抽頭和所述輸出端之間的電流路徑中沒有開關，特別是 沒有機械式的、（能）可靠分離的大電流開關，例如保護 裝置。 當然’在各組所述可控制開關和所述輸出端之間設有 5 201141037 一節點。該節點能夠通過-個另外的可控制開關與基準電 位相連。由此可以將基本供電模組的輸出端接地並通過接 地（Erde)紐接。當連接在基本供電模組的輸出端上的負載 以其他方式被供應電能時，這種情況是所希望的。根據本 發明的基本供電模組優選具有閉鎖裝置，所述閉鎖裳置用 於確保，或者使各組可控制開關中的一組可控制開關中的 一個可控制開關閉合，或者使用於與基準電位連接的所述 另外的可控制開關閉合。由此可以防止，連接在基本供電 杈組的輸出端上的負載同時由基本供電模組和以其 被供應電能。 在基本供電模組的輸出端上可以給負載供應W至 V、有利地至2500v的交流電愿，〇A至、有利 :“_Α、特別是至3〇〇〇α的交流電流。在變壓器的輸 知上可以供應例如在6〇卿至33〇術的中廢範圍内的三 相交流電壓。在基本供電模組的輸入端上，可以施… 3〇〇〇V、優選爲2500V的單相交流電壓。 基本供電模組可以具有用於接地識別的元件。 根據本發明的模組式供 ,^ 式供電裝置可以具有多個相同的戋 相同類型的基本供電模組。 的次 根據本發明的模組式供 ^ S ^ ^ , 冤裝置叮以具有中壓供電模組 2另一種類型的模組’該中壓供電模組具有至少-個用 ”、電網連接或用於與供應電能用的變壓器連接的輸入端 和多個用於分別與負載组“ 逆搜的輸入知 .X. Α 、戰、.且中的一個負載連接的輸出踹，所 述負載能夠被供應從# f 電網路中獲得的電能；該中壓供電 201141037 模組還具有介面，模組 排相連。 大供電裝置通過该介面與通信匯流 基本供電模組在供電裝置的輸出端上優選提供0V至 IT::選至25°°V的電壓，以便給連接在所述輸出端上 ' ’、電’而利用中壓供電模組能夠提供更高的電壓。 在中C供電杈組的各輸出端上例如能夠提供至 、特別是至8000v的交流電壓以及〇a至佩優 選至20A的交流電流。 。可以在根據本發明的供電裝置的中壓供電模組的輸入 ,中壓供電杈組二相地供應來自供電網路或變壓器的 =頭的40GV的交流電麼。所述中壓供電模組可以具有至少 :個用於提局能施加在輸入端上的電壓的變流器。中壓供 電椟組的每個輸出端可以配設一個變流器。 至少在給連接在中壓供電模組輸出端上的負載供電 時’各輸出端上的鏈結的電壓可以等於〇v。中壓供電模組 的各輸出端可以分別配設兩個接頭，其中，除了兩個外部 勺接頭以外，所有其他的内部的接頭配設給兩個輪出端。 :壓供電模組的外部的各接頭分別與基本供電模組的輸出 &的-個接頭相連。由此，可以同時將各負載串聯地連接 :基本供電模組的輸出端上，而不會由此使電流從中壓供 電模組流入基本供電模組的輸出端。 所述模組式供電裝置可以具有多個相同的或相同類型 的中壓供電模組。 “相同類型”指的是，各中壓供電模組儘管可以是不同 201141037 的， 供電 但至少與通信 模組都具有自 匯流排的介面是相同的 己的電網接頭。 並且每個中壓 中壓供電模組的數量優選等於 中塵供電模組和基本供電模組此時成：：的數量。 組負載。 才J以成對地各配設給一 根據本發明的模組式供電 組，該中頻供電模組具有至少—個/以具有中頻供電模 應電能用的變壓器連接的 於與電網連接或與供 中的一個倉恭、鱼拉 多個用於分別與負載組 網路择出端，所述負載能夠被供應從供電 =:二電能；中頻供電模組還具有介面，模組式供電 蒇置通過该；丨面與通信匯流排相連。 在中頻供電模組的輸出端上能夠在2咖至㈣心、 選2〇kHZ至15〇kHz的頻率下提供0V至100V、優選至 游的交流電壓，以及…。。A的交流電流。 模組式供電裝置的中頻供電模組可以具有一個或更多 個變頻器’以便改變 '特別是升高供電網路的能施加在輸 入端上的電壓的頻率。 .邊頻③之-的每個輸出端可錢有巾頻供電模組的— 個輸出端。至少在給連接於中頻供電模組的輸出端上的負 載供電時’中頻供電模組的一對輸出端上的鏈結的 (verketette)電壓可以等於〇v。 中頻供電模組的各輸出端分別配有兩個接頭，並且每 子輸出％ 了以具有兩個外部的接頭和一個内部的接頭，其 中兩個外的接碩分別配設給所述一對輸出端的兩個接頭 201141037 中的一個接頭，而所述内部的接頭配設給所述一對輸出端 的兩個輸出端。 在中頻供電模組的輸入端上給中頻供電模組優選三相 地供應來自供電網路或來自變壓器的、在兩個外側導線之 間的200V至690V、優選爲400V的交流電壓。 所述模組式供電裝置可以具有多個相同的或相同類型 的中頻供電模組。這裏相同類型的各中頻供電模組至少具

有與其他中頻供電模組相同@、用於與通信匯流排連接的 介面’並具有自己的電網接頭。中頻供電模組的數量可以 等於基本供電模組的數量。 在根據本發明的模組式供電裝置中，控制模組、每個 基本供電1組以及必要時每個中頻供電模組有利地分別設 置在-個配電櫃I每個中壓供電模組可以與—基本供電 模組-Μ置在-個配電櫃中。每個配電櫃有利地具有一 個電網接頭。每個模组可以呈右加m ^ 供、j以具有一個用於輔助供電的電網 接頭。每個配電櫃可以具有— 個顯不早兀，特別是顯示幕。 除了控制模組以外，每個楛 士、、、 母1u棋1且可以具有—個分散型（非 中、）的控制單元，贫和击 π 1早70例如與模組内部的測量值 感測益、可控制開關元件例如 .,,,α ^ ⑺机電日日體的控制接頭或類 似7G件相連。分散型的各控 盘、a户广+ 平几了以通過各模組的介面 排相連。所述分散型 制模組的後面。 列早7C 了以a又置在控 很據本發明的供電裝置優選 個負載供電，並且因此# ''且设置成給偶數 因此優選具有偶數個輸出端。 201141037 【實施方式】 在圖1a、lb中示出按照本發明的模組式供電裝置的功 率路徑以及一變麼器40、—基本供電模組β、_中壓 模組MV和-中頻供電模组MF。沒有示出控制模組和通作 匯流排，同樣少量示出在基本供電模組B、中壓供電模名: Μ V一和中頻供電模組M F内部的控制導線、測量值感測器和 測I值導線、或者模組B ' MV、MF與通信匯流排的介面以 及介面驅動電路。此外，同樣沒有示出在基本供電模組B、 中壓供電模組MV和/或中頻供電模組MF中存在的、'、連接 在控制模組後面的控制單元和/或驅動電路❹說點火電 路。 根據圖U、lb的模組式供電裝置的基本供電模組B包 括電網接頭（Netzanschluss)，該電網接頭與變㈣仰的 次級側相連接。變廢器4〇的次級側具有多個第一抽頭仙 至.每個第一抽頭401至4〇6在基本供電模组3中經由 兩個反向並聯（antiparallel)連接的閘流電晶體Η或一個 三端雙向可控石夕開_ (Triac)與一個節點12相連接。節點 12方面與基本供電模組B的輸出端的第一接帛⑶連 接。節點【2還可經由一個可控制的開關141接地。變壓器 判次級側的第二抽頭407與基本供電模組b的輸出端的 個接頊132連接並且同時可經由一個可控制的開關M2 接地。 最大可能的電麼在變屢器4〇的次級側的第—抽頭4〇1 10 201141037

和第二抽頭407之間降低。因爲其他的第—抽頭術至働 位於這兩個抽頭401肖4〇7之間，在這些第一抽頭術至 4〇6之-與第二抽頭術之間降低的電壓小於最大可能的電 壓。根據間流電晶體分支⑴至116中的哪一個分支被接 ^在節點12並且因而在接頭131上提供或較高或較低的 電壓，前提條件是開關141打開。通過調節閘流電晶體的 點火角（—el )或者通過調節相位超前角 —(PhaSenansehnittwinkel)，㈣可以在第—抽頭_和第 一抽頭407之間的最大可能的電壓與第_抽帛偏和第二 抽頭4G7之間的最小的電壓之間無級地進行調節。 這樣一個基本供電模組B確保在接頭ΐ3ι和M2 串聯地連接在基本供電模組B上㈣棒或者心細棒 R4的調定供給和基本負荷供給。 通過中麗供電模組Mv和中頻供電模組MF可以改善西 門子反應器的功率。因此’中壓供電模組财和中頻供電 模組MF可以附加地設置在模組式的電路裒置中。- 通過基本供電模組Β被供給電流的料或者說石夕細棒 至R4在冷的狀態下、也就是說也在 :棒或者說.細棒…只有通過加熱才=電

:槔:壓供電模…用於，在分離過程開始時IS : = ，使得它們變成能導電的並：能 土本仪包杈組B被供給電流（介電的加埶 :一，爲此相對於基本供電模組B，在其輪出端= “的電昼。在每個輸出端上連接石夕棒或者說石夕細棒以至 201141037 優^地’在輸出端上提供的中壓也具有相對於電 網頻率提高的頻率，例如爲5kHz。 圆1中不出的中磨供電模組MV總共具有三個變流 （ richter ) 20，利用這些變流器，可由三相電網電壓 產生，有較高頻率的電塵。該電Μ然後經由變壓器21被變 β升η ί丨例如冋達！ 2kv的電壓。然後在中壓供電模組鮮 的輸出端上提供與電網電壓相比較高頻率的該中壓。在每 個輸出端上連接矽棒或者說矽細棒Ri至r4之一。 中壓供電模組MV的輸出端23相互鏈結。因此對於所 | 示的四個輪出端僅僅設有五個接頭231至235。這五個接頭 、接貝232、233和234分別用於兩個在鏈中彼此相繼的 '端而接碩23 1和235用於輸出端的鏈的始端或終端 上的一個輪出端。 在中遂供電模組MV的輸出端上的電壓如此調節，即， 在輸出端23的整個鏈上降低的電壓等於〇v。因此，在中壓 供電模組MV的運行中，在接頭231和235之間電壓不降 低。因爲這些接頭231和235同時位於由石夕棒或者”細# 棒R1至R4構成的串聯線路的末端上，並且該串聯線路連 接在基本供電模組Β的輸出端上，在中壓供電模組MV運 行期間在基本供電模組Β的輸出端上也不施加由中壓供電 模組MV提供的電壓。 與中壓供電模組MV相比，中頻供電模組MF用於與基 本供電模組B同時地把電流饋給到矽棒或者說矽細棒似至 R4中。中頻供電模組MF爲此在其輸出端34上提供與電網 12 201141037 電壓或基本供電模組B的輸出電壓相比較高頻率的電壓。 中頻供電模組MF具有兩個三相的電網接頭。這些電網 接頭在中頻供電模組MF内部各與一個變頻器相連接。每個 變頻裔具有兩個級3丨、32。第一級3丨將這些電網電壓變換 成各一個直流電壓。通過變頻器的第二級32將這些直流電 變換成較高頻率的交流電壓。這些高頻的交流電壓被饋給 到各一個變壓器3 3的初級側3 3 1中。在每個變壓器3 3中 的磁通畺在次級側穿過兩個線圈3 3 2。這兩個變壓器3 3中 的每個變壓器的各次級線圈332是相同的。每個次級線圈 332並聯於中頻供電模組MF的一個輸出端34。在每個輸出 端34上連接矽棒或者說矽細棒R1至R4之一。相應兩個輸 出知3 4相互鏈結。在此分別涉及經由相同的變壓器3 3被 ί、”’s電壓的輸出端3 4。也就是說，次級線圈3 3 2的兩個抽 頭分別與-個接頭341、343或344、346相連接。次級線 圈332的其他兩個抽頭分別與一個節點35丨或352相連接。 然後從这些節點351、352引出至接頭342和345的連接。 每個變壓器32的次級線圈332也可由一個次級側的線圈替 代，遠線圈具有一個精確地位於變壓器的次級側的線圈的 中心的中間抽頭。 相等的電壓經由每個變壓器32的次級線圈332按照數 量地降低。然而，通過每個變壓器32的兩個次級線圈332 的相反的纏繞方向，電壓彼此反向。與變壓器32相配的輪 出鈿34的鏈結然後導致’在接頭341和343或者說344和 346之間電壓不降低。因爲接頭343、344也至少經由一個 13 201141037 在石夕棒或者說石夕細棒R2 #σ R3之間的導線連接而相互連 接’在中頻供電模組MF的輸出端34的接頭341和㈣之 fB1f 低n在與基本供電模组B並行運行期 /從中頻模組F沒有電流饋給到基本供電模組B中儘 管接頭 341 和 346 ^ Ά + ^ ι·^ J的與基本供電模組的接頭131或132相連 接。 *不過’仍可從基本供電模組B將電流饋給到中頻供電 才吴組IV! F中。fi 了 |1大。、士 ‘、、、 14 一點’在變壓器3 2的次級側的線 圈與接頭 341、343、4 〜 4J 344和346之間設置有電容器36，該 電奋器過;t由基本供電模組提供的低頻電流，也就是說， 不讓4低頻電流通過。因此，中頻供電模組mf也與基本供 電模組B去耦。 ’、 所示的三個模組B、MV、MF設計成這樣，即它們能彼 此獨立地運行，並且其中—個模組不是另外的模組的前提 條件。所有模組具有自己的電網接頭。 除了在附圖中示出的、用於功率供給的電網接頭外， 輔助供電裝置也彼此分開。經由介面和通信匯流排（未示 出）至未不出的控制模組的連接也是彼此獨立的。 【圖式簡單說明】 兹借助附圖更詳細地說明按照本發明的模組式供電裝 置的示例。 圖la和圖lb示出按照本發明的模組式供電裝置的簡化 的線路圖， 14 201141037 圖2示出帶三個基本供電模組的模組式供電裝置的簡 化線路圖。 【主要元件符號說明】 (11) 閘流電晶體 (12) 節點 (23) 輸出端 (31) 第一級 • (32) 第二級 (33) 變壓器 (34) 輸出端 (40) 變壓器 (131) 第一接頭 (132) 接頭 (141) 開關 (142) 開關 # (111)〜(116) 閘流電晶體的分支 (231)〜（235) 接頭 (331) 初級側 (332) 次級側 (341 )(343)(344)(346) 接頭 (342)(345) 接頭 (35 1 )(352) 節點 (401)〜（406) 第一抽頭 15 201141037 (407) 第 二抽 頭 (B) 基本供 電 模 組 MV 中 壓供 電 模 組 MF 中 頻供 電 模 組 R1 〜R4 矽 棒

16

Claims (1)

1. 201141037 - 七、申請專利範圍： 1 ’-種模組式供電裝置，特 的反應器’具有中央的控制單元和至少一用㈠ 元，其中， 主夕個基本供電單 控制單元具有至少一個調節和 或控制基本供電單元； 工、置，用於調節和/ 基本供電單元具有·· 至少一個輸入端，用 • $小一加认 丞枣么、電單兀供應電能； 7 -個輸出端，用於與一組負載連 過某·太4址Φ留-AP A/ 二貞載通 早^夠被供應從供電網路獲得的電能，以及 的開關，優選爲閘流電晶體，這些 接^輸入端連接和至少間接地與輸出端連接’並且^ 過这些開關能夠調節經由輸出端可供給負載的 ^ 中，所述開關能夠通過控制單元進行控制； ’" 其特徵在於， • Γ::制模組，基本供電單元是基本供電模組； I且具有用於與供電網路連接的輸入端，用以仏 控制模組供給電能； 、·'6 供電裝置具有通信匯流排；和 控制模組和基本供電模組都具有介面，控 本供電模組通過該介面與通信匯流排連接。° 土 2·如申請專利範圍第丨項所述的模組式供電裝置，其 模組式供電裝置具變壓器 級側的抽頭。 冑“帶有多個次 17 201141037 中，變壓器的各;Γ，Β第2項所述的模組式供電裝置，其 端，和基本供雷少頭分別配設於基本供電模組的一個輸入 開關’以便調節個輸入端分別配有-組可控制的 4 過忒輸入端可接收的電能。 中，各組可控H圍第3項所述的模組式供電農置，其 別是機械式卩⑷丨 沒有巾間連接其他的開關、特 的各輸入端和另—方面：：，兄下，-方面與基本模組 〃基本模組的輸出端連接。 中，在：广"利範圍第1項所述的模組式供電裝置，其 且可控制的開關與輸出端之間設有一個節點，： 接。& 4個另外的可控制的開關與一個基準電位連 6 .如申請專利範圍第1 供電裝置，其中，模⑯切φ項中任—項所述的模組式 , 模組式供電裝置具有多個相同的或者相 同類型的基本供電模組。 7 .如申請專利範圍第1 供雷"，“ 至6項中任一項所述的模組式 士\、*、中，模組式供電裝置具有中壓供電模组，該 壓供電模組具有至少一個用於與供應電能用的電網或變 堅益連接的輸入端，和多個輪出端，用於分別與負載組中 的個負載連接，些負載能夠被供應必要時經由變壓 從供電網路獲得的電能；中壓供電模組還具有介面，楔:且 式供電裝置通過該介面與通信匯流排連接。 … 84中請專利範圍第6或7項中任—項所述的模 供電裝置，其中，中壓供電模組具有至少一個變流器用 18 201141037 於升高在輪入端上能施加的電壓。 9.如申請專利範圍第7項所述的模組式供電裝置，兑 中中壓供電模組的每個輪出端配有—個變流器。 式：電°裝71專:】範圍第6至8項中任一項所述的模組 端、”中，至少在給連接於中壓供電模組的輸出 、载仏電時，各輸出端上的鏈結的電壓等於^ v 式二ΓΓ利範圍第1至9項中任一項所述的模組 心 特徵在於，模組式供電裝置具有中頻供電 模組，該中頻供雷握 電 電r… 輸入端，用於與供應 的：個罔連接’和多個輸㈣，用於分別與負載組中 ^連接’這些負載能夠被供應從供電網路獲得的 介二Γ共電模組還具有介面，模組式供電震置通過該 "面與通信匯流排連接。 1 12.如申請專利範㈣1〇項所述的模組式供電裝置， 中頻么、電杈組具有一個或更多個變頻器，以便升古 供電網路在輸入端上能施加的電壓的頻率。 1 13:如申請專利範圍帛12項所述的模組式供電裝置， 其中’母個輸出端配有所述變頻器之一的一個輸出端。 έ且式巾請專利範圍第1G至12項中任—項所述的模 出' 置，其中，”、在給連接於中頻供電模組的輪 的負載供電時，在巾頻供電模㈣—對輸出端 鍵結的電壓等於0V。 =·如中請專利範圍第1()至14項中任—項所述的模 電裝置，其特徵在於，中頻供電模組的各輸出端分 19 201141037 別配有兩個接頭，每釾輪φ 母野輸出知具有兩個外部的接頭和 内部的接頭，其中，外部沾拉_s八1固 。的接頭刀別配設於該對輸出 兩個輸出端中的一個輪出山 味的 翰出'而，而内部的接頭配設於該對輪 出端的兩個輸出端。 饰 Μ .如申請專利範圍第丨 上i』j·貝甲任一項所述 組式供電裝置，苴中，台t釣+士此w ' 〃 此夠在中頻供電模組的輸入端上 如從變壓器給中頻供雷握 J 丫朔仏電模組二相地供應2〇〇¥至6〇〇、 400V的交流電壓。 进 1 7 .如申請專利範圍第 組式供電裝置’其中，模組 相同類型的中頻供電模組。 1 〇至16項中任一項所述的模 式供電裝置具有多個相同的或

   18 .如申請專利範圍第 組式供電裝置，其中，中頻 模組的數量。 10至1 7項中任一項所述的模 供電模組的數量等於基本供電 1 9 .如申請專利範圍第 組式供電裝置，其中，模組 模組、每個基本供電模組以 別設置在一個配電櫃中。 1項至1 8項中任一項所述的模 式供電裝置具有配電櫃，控制 及必要時每個中頻供電模組分

   20·如申請專利範圍帛19項所述的模組式供電裝置， 其中’每個中壓供電模組與-個基本供電模組一起設置在 一個配電櫃中。 2卜如申請專利範㈣19或2〇項中所述的模組式供 電裝置’其中，每個配電櫃具有一個電網接頭。 22.如巾請專利範圍第丨至21項中任—項所述的模組 20 201141037 式供電裝置，其中，每個模組具有一個用於輔助供電的電 網接頭。 23 ·如申請專利範圍第19至2 1項中任一項所述的模 組式供電裝置，其中，每個配電櫃具有一個顯示單元、尤 其是顯示幕。 八、圖式： (如次頁）

   21