JP2011171443A - 塗布処理方法、その塗布処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び塗布処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転する基板の表面に塗布液を供給し、供給された塗布液を基板の外周側に拡散させることによって、基板の表面に塗布液を塗布する塗布処理方法において、回転する基板の表面に塗布液を供給する供給位置を、外周側に拡散する塗布液の移動に伴って外周側に移動させながら、塗布液を基板の表面に供給する供給工程S17を有する。
【選択図】図6
Description
(実施の形態)
始めに、図1から図12を参照し、実施の形態に係る塗布処理方法及び塗布処理装置について説明する。
(実施の形態の変形例)
次に、図13及び図14を参照し、実施の形態の変形例に係る塗布処理方法について説明する。
131 チャック駆動機構
143 レジスト液ノズル
144 ノズル駆動部
160 制御部
Claims (11)
- 回転する基板の表面に塗布液を供給し、供給された塗布液を前記基板の外周側に拡散させることによって、前記基板の表面に塗布液を塗布する塗布処理方法において、
回転する前記基板の表面に前記塗布液を供給する供給位置を、前記外周側に拡散する前記塗布液の移動に伴って前記外周側に移動させながら、前記塗布液を前記基板の表面に供給する供給工程を有する塗布処理方法。 - 前記供給工程において、前記供給位置を、前記供給位置が前記基板の表面であって前記塗布液が塗布された領域に含まれるように、移動させながら、前記塗布液を供給する、請求項1に記載の塗布処理方法。
- 前記供給工程において、
回転する前記基板の表面の略中心に前記塗布液を供給し、供給された前記塗布液を前記外周側に拡散させ、
拡散する前記塗布液が前記基板の外周に到達する前に、前記供給位置を、前記基板の表面の略中心から前記外周側に向けて移動させ始め、
移動し始めた前記供給位置を、前記塗布液の移動に伴って前記外周側に移動させながら、前記塗布液を供給する、請求項1又は請求項2に記載の塗布処理方法。 - 前記供給工程において、前記基板が回転する回転数を、前記供給位置の移動に伴って低下させながら、前記塗布液を供給する、請求項1から請求項3のいずれかに記載の塗布処理方法。
- 前記供給工程の後、前記基板を、前記供給工程が終了する際の前記基板の前記回転数よりも低い第1の回転数で回転させる第1の回転工程と、
前記第1の回転工程の後、前記基板を、前記第1の回転数よりも高い第2の回転数で回転させる第2の回転工程と
を有する、請求項1から請求項4のいずれかに記載の塗布処理方法。 - コンピュータに請求項1から請求項5のいずれかに記載の塗布処理方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 回転する基板の表面に塗布液を供給し、供給された塗布液を前記基板の外周側に拡散させることによって、前記基板の表面に塗布液を塗布する塗布処理装置において、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板を保持した前記基板保持部を回転させる回転部と、
前記回転部により回転する前記基板保持部に保持された前記基板の表面に前記塗布液を供給する供給部と、
前記供給部を移動させる移動部と、
前記移動部により、前記供給部を、前記外周側に拡散する前記塗布液の移動に伴って前記外周側に移動させながら、前記供給部により前記塗布液を供給する制御部と
を有する塗布処理装置。 - 前記制御部は、前記供給部を、前記供給部により前記基板の表面に前記塗布液が供給される供給位置が前記基板の表面であって前記塗布液が塗布された領域に含まれるように、移動させながら、前記塗布液を供給する、請求項7に記載の塗布処理装置。
- 前記制御部は、
前記基板の略中心上に移動した前記供給部により、回転する前記基板の表面の略中心に前記塗布液を供給し、供給された前記塗布液を前記外周側に拡散させ、
拡散する前記塗布液が前記基板の外周に到達する前に、前記供給部を、前記基板の略中心上から前記外周側に向けて前記移動部により移動させ始め、
移動し始めた前記供給部を、前記塗布液の移動に伴って前記外周側に移動させながら、前記塗布液を供給する、請求項7又は請求項8に記載の塗布処理装置。 - 前記制御部は、前記回転部が前記基板を回転させる回転数を、前記供給部の移動に伴って低下させながら、前記塗布液を供給する、請求項7から請求項9のいずれかに記載の塗布処理装置。
- 前記制御部は、
前記塗布液を前記供給部により供給した後、前記基板を、前記供給部による供給が終了する際の前記基板の前記回転数よりも低い第1の回転数で前記回転部により回転させ、
前記第1の回転数で前記基板を回転させた後、前記基板を、前記第1の回転数よりも高い第2の回転数で前記回転部により回転させる、請求項7から請求項10のいずれかに記載の塗布処理装置。
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