JP2011169662A - Ｒｆ通信用デバイス試験装置及び試験方法 - Google Patents

Abstract

【課題】変調信号を用いて試験可能にするとともに、出力レベルを所望レベルに短時間に精度良く追い込み、その後に所望の測定ができる技術を提供する。
【解決手段】信号発生部１０が、周期Ｔａのベースバンド信号を生成してＲＦ信号で変調し、いずれの周期Ｔａでも、ベースバンド信号のレベルの変化が同一の変化を示すバースト信号を生成して通信用デバイスに入力させる。レベル測定部３０は、通信用デバイスから出力される変調信号の各周期Ｔａにおける同一タイミングにおける出力レベルを測定し、判定部４０及びレベル制御部５０は、測定された出力レベルが、目標値内になるように、通信用デバイスに入力する変調信号のレベルを制御する構成とした。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば移動体通信端末等で伝送用に利用されている、半導体でなるＲＦ通信用デバイスの試験技術に関する。特に、ＲＦ通信用デバイス、例えば増幅器は、ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を伝送するが、本発明は、ＲＦ通信用デバイスが出力する変調信号の出力レベルを目標範囲に素早く追い込んだうえで、所望の試験ができるようにしたＲＦ通信用デバイスの試験技術に係る。

従来より、ＲＦ関連の半導体デバイスの試験（評価）には、ＳＧ（信号発生装置）、スペクトラムアナライザやレベルメータ、或いはネットワークアナライザ等が用いられることが多かった。これらで扱っている信号はＣＷが基本である。しかし、近年、デジタル移動無線が増え、これらで扱う信号としてデジタル変調信号が多くなってきている。そのため、半導体デバイスの試験（評価）にあっても、デジタル変調信号を用いることが望まれている。

そのデジタル変調信号のレベル（振幅）は、時間とともに変化している。このような変調信号を試験信号に用いたとき、「信号レベルの測定」と言ってもどの時点で、どの波形部分を測定するかで値が変化してしまうため、一般には、周期を遙かに超えた長時間のレベルを測定して、その平均化処理により、安定した測定結果を得て、評価することが多かった。特に、試験信号に用いる変調信号が、一定周期をオンする時間（変調信号が存在する時間；以下、「オン区間」と言うことがある。）とオフする時間（信号が存在しない時間；以下、「オフ区間」と言うことがある。）とでなるバースト信号である場合は、その平均処理のために測定時間が長くかかっていた。

例えば、特許文献１に記載の技術においては、バースト信号を用いたときに、送信側と受信側で同期してレベルを測定することが記載されているが、そこに使用されているバースト信号のオン区間に存在するＲＦ信号は変調信号でなくＣＷ信号である。

一方、ＲＦ通信用デバイス、例えば増幅用半導体デバイスの試験項目として、通信の品質に影響する特性である、ＥＶＭ特性、隣接チャンネル漏洩電力特性、高調波歪特性、等がある。さらに、携帯型の移動体通信端末のバッテリーの寿命を左右する特性として、消費電力特性がある。

これらの各特性について試験するには、試験対象のＲＦ通信用デバイスの個々の個体間の差違の比較、合否判定等の評価を行うために、ＲＦ通信用デバイスを一定条件下において試験することが望まれている。又、一般に、ＲＦ通信用デバイスは、動作領域が線形領域と非線形領域とがあることは良く知られているが、個々の試験で、動作点がどの領域に属するかでも、試験の結果として得られる特性に大きな違いが出る。

そこで、上記、一定条件として、少なくとも試験項目毎に、動作条件として、ＲＦ通信用デバイスの出力レベルを所望のレベルに一定に設定した状態で試験することが望まれている。しかも、設定した出力レベルのバラツキにより、試験結果のバラツキが拡大することもあるので、精度良く設定する必要があった。その一例が、消費電流特性である。動作点が線形領域から非線形領域に入るにつれ、消費電流は、急激に流れる傾向があるため、出力点レベルのバラツキ以上に消費電流特性のバラツキが拡大する傾向がある。

このように、ＲＦ通信用デバイスの出力レベルを所望のレベルに設定するためには、その出力レベルを測定することが不可欠であり、その測定は、上記のようにＣＷで測定する、長時間の平均値を求め測定する、等が考えられていた。

特開２００６−２４２６２４号公報

一方、今日の移動体通信端末のマーケットは、生産量が多くなり、競合も激しくなりコストも下がりつつある。そのため、メーカサイドは、デバイスのローコスト化、歩留まり率の改善、大量生産等の課題を抱えている。

これらの課題の中にあって試験器として応えるべき課題の一つが、試験時間の短縮や歩留まり率の改善である。特に、上記のように、ＲＦ通信用デバイスの出力レベルを所望レベルに精度良く追い込んで試験するが、上記のようにＣＷで試験しては、変調信号による実運用とは違ってしまう。また、実運用に近い変調信号で測定するにしても、長時間の平均によるレベル測定では、出力レベルを所望レベルに精度良く追い込むには、時間がかかりすぎる。その変調信号がバースト信号である場合は、さらに時間がかかる。

そこで、本発明は、変調信号を用いて試験可能にするとともに、出力レベルを所望レベルに短時間に精度良く追い込み、その後に所望の測定ができる試験装置及びその方法を提供する。

上記目的を達成するため、本発明では、周期Ｔａのベースバンド信号を生成してＲＦ信号で変調し、変調されたＲＦ信号を通信用デバイスに入力させるにあたり、少なくともいずれの周期Ｔａでも、ベースバンド信号の振幅（レベル）の変化が同一の変化を示す構成とする。また、通信用デバイスから出力される出力レベルを測定する際に、各周期Ｔａの同一タイミングにおける出力レベルを測定する構成とする。さらに、測定された出力レベルが、目標値（目標レベル）になるように、通信用デバイスに入力する変調信号のレベルを制御する構成とした。

上記目的を達成するために具体的には、請求項１に記載の発明は、ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を伝送するのに用いられるＲＦ通信用デバイスの試験をするＲＦ通信用デバイス試験装置であって、周期Ｔａを有するとともに、何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を前記ＲＦ通信用デバイスへ出力する信号発生部（１０）と、該周期Ｔａに同期して、該ＲＦ通信用デバイス出力レベルを測定するレベル測定部（３０）と、レベル測定部で測定した出力レベルと予め設定された目標値とを比較する判定部（４０）と、測定された出力レベルが目標値外であると該判定部が判定したとき、該測定した出力レベルと該目標値内となるように、該信号発生部が出力する前記変調信号のレベルを制御するレベル制御部（５０）と、を備え、前記測定された出力レベルが目標値内であると前記判定部が判定した後に、前記試験を行う構成とした。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記信号発生部は、前記各周期Ｔａ内の第１の区間Ｔｓ（≦Ｔａ）において、時間とともに変化するレベルが何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を該周期Ｔａに同期して前記第１の区間Ｔｓ内の第２の区間Ｔｏ（≦Ｔｓ）の信号を抜き出し該周期Ｔａを有するバースト信号としてＲＦ通信用デバイスへ出力し、前記レベル測定部は、該ＲＦ通信用デバイスからの出力を受けて、該周期Ｔａに同期して、前記第２の区間Ｔｏ内の所定タイミングｔｒ（０≦tｒ≦Ｔｏ）から該第２の区間Ｔｏの残り区間（Ｔｏ−ｔｒ）における出力レベルを測定する構成とした。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記レベル測定部は、前記ＲＦ通信用デバイスからの出力を、前記所定タイミングｔｒから前記第２の区間Ｔｏの終了までの前記残り区間（Ｔｏ−ｔｒ）に亘って積分して前記出力レベルを測定する構成とした。
請求項４載の発明は、請求項１〜３のいずれかに一つに記載の発明において、前記レベル制御部は、前記周期Ｔａ毎に、前記信号発生部に対して前記変調信号のレベルを制御する制御量を反映した利得制御信号を送って制御しており、前回の周期Ｔａに送った利得制御信号と、そのときの前記判定部の比較結果とを基に、前記目標値内となるように前記信号発生部を制御すべき新たな制御量を推定し、該新たな制御量を反映した前記利得制御信号を前記信号発生部に送る制御量推定手段（５１）とを備えた。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記制御量推定手段は、前記ＲＦ通信用デバイスの代表的な前記制御量対前記出力レベルを示す特性情報を予め保有していて、前記判定部からの判定結果と前記レベル設定手段が前回の周期Ｔａにおける前記利得制御信号とを基に、前記特性情報を参照して、前記制御量を推定する構成とした。
請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の発明において、前記レベル制御部は、予め、過去の試験時において測定された出力レベルが目標値内であると前記判定部が判定したときに前記制御量推定手段が前記利得制御信号に反映した過去の制御量を管理する初期制御量管理手段（５２）を有し、前記制御量推定手段は、前記制御を開始するときに、前記信号発生部に対して該過去の制御量を反映した前記利得制御信号を送り、次の周期Ｔａでは、該過去の制御量を反映した前記利得制御信号を、前回の周期Ｔａにおける前記利得制御信号として、次の制御量を推定する構成とした。
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか一つに記載の発明において、操作部（６１）と、表示部（６２）と、を有し、前記判定部は、前記目標値の変化に対する前記試験の結果の分布を示す代表的な試験結果分布特性を記憶しており、該試験の開始前に、該試験結果分布特性を、該試験結果分布特性の目標値又は該試験の結果の分布のいずれかを前記操作部で指定可能に前記表示部に表示させるとともに、該試験結果分布特性上で、該目標値が指定されたときはその指定された値の目標レベル、又は、前記試験の結果が指定されたときは該代表的分布特性から該指定された該試験の結果に対応する目標値を、前記測定した出力レベルと比較するために設定する構成とした。
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか一つに記載の発明において、前記目標値は、許容レベル範囲と該許容レベル範囲内の特定レベルとを含み、前記判定部は、前記測定された出力レベルと該特定レベルとを比較し、前記レベル制御部は、測定された出力レベルが目標値外であると該判定部が判定したときに、前記測定された出力レベルと該特定レベルとの前記レベル差がなくなるように、該信号発生部が出力する前記変調信号のレベルを制御し、前記測定された出力レベルが前記許容レベル範囲内にあると該判定部が判定したときに、そのときの前記変調信号のレベルを維持する構成とした。
請求項９に記載の発明は、ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を伝送するのに用いられるＲＦ通信用デバイスの試験をするＲＦ通信用デバイス試験方法であって、周期Ｔａを有するとともに何れの該周期Ｔａにおいても同一にレベルが変化するベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を前記ＲＦ通信用デバイスへ出力する信号発生段階と、該周期Ｔａに同期して、該ＲＦ通信用デバイス出力レベルを測定するレベル測定段階と、該レベル測定部で測定した出力レベルと予め設定された目標値とを比較する判定段階と、測定された出力レベルが目標値外であると該判定段階で判定されたとき、該測定した出力レベルと該目標値内となるように、該信号発生部が出力する前記変調信号のレベルを制御するレベル制御段階と、前記測定された出力レベルが目標値内であると前記判定段階で判定された後に、前記試験を行う試験段階と、を備えた。
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の発明において、前記信号発生段階は、前記各周期Ｔａ内の第１の区間Ｔｓ（≦Ｔａ）において、時間とともに変化するレベルが何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を該周期Ｔａに同期して前記第１の区間Ｔｓ内の第２の区間Ｔｏ（≦Ｔｓ）の信号を抜き出し該周期Ｔａを有するバースト信号としてＲＦ通信用デバイスへ出力し、前記レベル測定段階は、該ＲＦ通信用デバイスからの出力を受けて、該周期Ｔａに同期して、前記第２の区間Ｔｏ内の所定タイミングｔｒ（０≦tｒ≦Ｔｏ）から該第２の区間Ｔｏの残り区間（Ｔｏ−ｔｒ）における出力レベルを測定する構成とした。

本発明によれば、変調信号を用いて試験できるので、実運用に近い試験が可能である。

また、測定した出力レベルと目標値（レベル）とを比較して、その結果を帰還させて、それらが一致するように、ＲＦ通信用デバイスに入力される変調信号のレベルを制御する構成なので、精度良く目標値へ追い込める。また、その制御は、周期Ｔａ毎に行えるので、短時間に追い込みが可能である。

また、その変調信号がバースト信号である場合も、各周期Ｔａ内の各オン区間Ｔｏは、バースト信号の振幅が同じ変化を示し、かつ同一タイミングにおけるＲＦ通信用デバイスの出力レベルを測定する構成であるから、どの周期ＴａにおけるＲＦ通信用デバイスの出力レベルであっても、同じレベルとして測定できるので、各周期Ｔａ毎に出力レベルを測定できる。つまり、短時間でレベル測定が可能である。

本発明の実施形態の機能・構成を示す図である。 図１の信号発生部の詳細な機能・構成を示す図である。 主として図２の信号発生部の各信号を説明するための図である。 図３における各信号のタイミングを変えた例を示す図である。 図１の判定部の詳細な機能・構成を示すとともに、それを説明するための図である。 図１のレベル制御部の詳細な機能・構成を示す図である。 図６の構成の動作を説明するための図である。 本発明の一連の動作フローを示す図である。

図を基に、本発明に係る実施形態を説明する。図１は、試験対象であるＤＵＴ（ＲＦ通信デバイス）８０と、試験装置１００を示している。

図１における信号発生部１０は、タイミング生成手段１１、ベースバンド信号生成手段１２、ＲＦ変調手段１３、可変利得手段１４、及びバースト手段１５を備え、ベースバンド信号を変調したＲＦ信号からオン区間Ｔｏの信号を抜き取った周期Ｔａのバースト信号ｃと、周期Ｔａ毎に、オン区間Ｔｏの一定のタイミングｔｒに同期した同期信号ａを生成する。ここで、タイミングｔｒ＜オン区間Ｔｏ＜周期Ｔａである。

タイミング生成手段１１は、図２に示すように、クロック生成手段１１ａ、バーストタイミング生成手段１１ｂ、及び同期信号生成手段１１ｃを備え、ベースバンド信号を生成するためのクロック信号、バースト信号ｃを生成するためのバーストタイミング信号を生成している。また、レベル測定部３０のレベル測定タイミングを決める同期信号ａも生成することができる。各信号のタイミングの例を図３、図４に示す。図３は、各信号は同期しているが、それぞれ周期Ｔａからタイミングがずれて動作している例で、図４は、各信号のタイミングが周期Ｔａにほぼ一致して動作している例である。タイミングの説明は、主に、図３を中心に説明し、図４は、後記する。

図２で、クロック生成手段１１ａは、ベースバンド信号生成手段１２の読出制御手段１２ｂが波形データ記憶手段１２ａからデジタルデータ（「シンボルデータ」と呼ばれる。）を読み出してベースバンドデータを形成するに必要なクロックを生成する（図３の（ａ）（ｃ）を参照）。

バーストタイミング生成手段１１ｂは、予めきめられた周期Ｔａのゲート信号を生成して、バースト手段１５へ送る。ゲート信号は、図３（ｅ）に示すバースト信号と同じタイミングの波形である。つまり、ゲート信号は、周期Ｔａを有し、その周期Ｔａは値「１」のオン区間Ｔｏ（＜Ｔａ）と値「０」のオフ区間（Ｔａ−Ｔｏ）でなる。そして、ゲート信号は、バースト手段１５により、オン区間ＴｏでＲＦ変調信号を通過させ、オフ区間（Ｔａ−Ｔｏ）でＲＦ変調信号を通過禁止とするゲートを行うために用いられる信号である。

具体的には、バーストタイミング生成手段１１ｂは、カウンタ（又は、タイマー）を有し、図３（ａ）、（ｂ）に示す、クロック生成手段１１ａからクロック信号と開始タイミング信号を個々に受けて、図３（ｅ）のようにカウンタにより予め決められた時間Δｔ２に相当するクロック信号をカウントしたのちにオン区間Ｔｏを立ち上げ（周期Ｔａの開始）、その立ち上げから時間Ｔｏに相当するクロックをカウントした後にオン区間Ｔｏを終了させ、同時にオフ区間を開始させ、更に、時間（Ｔａ−Ｔｏ）に相当するクロックをカウントした後に次の周期Ｔａのオン区間を立ち上げる（前の周期Ｔａのオフ区間（Ｔａ−Ｔｏ）を終了させる）ことで一つの周期Ｔａのゲート信号を生成し、以降、図３（ｅ）に示すような周期Ｔａで連続するゲート信号を生成する。

図１、図２のベースバンド信号生成手段１２は、読出制御手段１２ｂがクロック生成手段１１ｃからのクロックにより波形データ記憶手段１２ａからオン区間Ｔｏにおけるデジタルデータを読み出して、読み出したデジタルデータをＤ／Ａ変換手段１２ｃによりデジタル−アナログ変換してベースバンド信号を形成し、ＲＦ変調手段１３に送る。

具体的には、図２における読出制御手段１２ｂは、カウンタ（又は、タイマー）を有し、図３、図４の（ａ）、（ｂ）に示す、クロック生成手段１１ａからクロック信号と開始タイミング信号を個々に受けて、カウンタにより予め決められた時間Δｔ１（≦Δｔ２）に相当するクロック信号のカウントを終えた後に、クロック信号で、波形データ記憶手段１２ａから区間Ｔｓ（≧オン区間Ｔｏ、≦周期Ｔａ）に亘ってデジタルデータを読み出す（図３（ｃ）を参照）。以降、図３（ｃ）に示すように、周期Ｔａ毎に波形データ記憶手段１２ａから、区間Ｔｓにおけるデジタルデータを読み出す。

そのとき、読出制御手段１２ｂは、いずれの周期Ｔａであっても、波形データ記憶手段１２ａの同じアドレスｈ〜ｈ＋ｎにアクセスしてデジタルデータを読み出す。そうすることにより、各読み出されたデジタルデータの振幅は、アドレスｈ〜ｈ＋ｎのデジタルデータを読み出すのに相当する時間Ｔｓ（≧オン区間Ｔｏに相当）に亘って変化するが、いずれの周期Ｔａでも同じ変化である。それは、ＲＦ変調され、バースト信号に変換されたとしても、各周期Ｔａで相対的に同じ振幅変化を示す。

なお、波形データ記憶手段１２ａは、オン区間Ｔｏに読み出されるであろうデジタルデータ数と同じか、それより多くの数（区間Ｔｓに相当する時間に読み出される数）のデジタルデータを記憶している。そして、後に、バースト信号となったときは、図３（ｅ）に示すようにオン区間Ｔｏ間に相当する時間におけるデジタルデータだけが用いられることになる。

さらに、数値例を挙げると、一般的には、オン区間Ｔｏ＝オフ区間［Ｔａ−Ｔｏ］＝Ｔａ／２（デュティ５０％）で、周期Ｔａ＝５ｍｓである。

図２の同期信号生成手段１１ｃ又は同期信号生成手段１６は、それらのいずれかで、レベル測定部３０がＤＵＴ８０（以下、「被測定ＲＦ通信用デバイス」を「ＤＵＴ」と言う。）からの出力レベルを測定するのに用いられるタイミングを生成し、同期信号として出力する（図３（ｆ）を参照）。次に、（i）同期信号生成手段１１ｃ、（ii）同期信号生成手段１６のそれぞれで、同期信号ａを生成するのを説明する。ただし、レベル測定部３０は、上記（i）又は（ii）の同期信号ａを利用することなく、自己内部で（iii）ＤＵＴ８０の出力レベルを利用することで、例えば、オン区間Ｔｏの立ち上がり時の出力レベルと閾値とを比較することでタイミングを生成することもできる。

（i）同期信号生成手段１１ｃの例は、カウンタ（又は、タイマー）を有し、バーストタイミング生成手段１１ｂが生成した周期Ｔａの立ち上がり（オン区間Ｔｏの立ち上がり）のタイミングを受けて、それから予め決められた時間ｔｒに相当するクロック信号をカウントしたときに、同期信号ａを出力する。これを、各周期Ｔａ毎に行う。

（ii）同期信号生成手段１６の例は、図４（ｃ）のマーク（星印）に示すように、予め、波形データ記憶手段１２ａに、周期Ｔａの立ち上がりタイミングから時間ｔｒ経過後に読み出されるであろうデジタルデータにマークを付しておく（同じアドレスで読み出し可能な印を記憶しておく）。そして、同期信号生成手段１６は、波形データ記憶手段１２ａからデータを読み出すときに、マーク（印）も同時に読み出されていないかどうか監視していて、マークを見つけたときは、それを分離し、図４（ｆ）に示すように、そのマークを見つけたときのタイミングｔｒの同期信号ａを生成する。それを、各周期Ｔａ毎に行う。

上記で各信号のタイミングは主として、図３を用いて説明してきた。図３は、各信号のタイミングは同期関係にあるが、開始を任意に設定した例である。それに対して、図４は、図３におけるΔｔ１、Δｔ２のいずれをも０にして、各信号のタイミングの始まりをほぼ一致させた例である。ここで「ほぼ」というのは、相互に回路間の遅延がある場合があるので、それを考慮した表現である。なお、重要なタイミングの遅延は、一般的にその遅延を補償して使用するのが通例であるので、ここでは述べていない。一般には、図４のタイミングの方が、図３に比べ、作り安い。

図１、図２のＲＦ変調手段１３は、ミキサ１３ａが、ベースバンド信号生成手段１２から受けたベースバンド信号を、ローカル信号生成手段１３ｂが出力するＲＦ信号で混合することで、ＲＦ変調し、変調した変調信号を可変利得手段１４へ送る。

可変利得手段１４は、一般には可変利得増幅器、或いは可変減衰素子（回路）をもって構成されており、ＲＦ変調手段１３から受けた変調信号の振幅（レベル）を、レベル制御部５０からの利得制御信号ｂに応じて可変してバースト手段１５へ送る。

なお、図１、２における可変利得手段１４は、ＲＦ変調手段１３とバースト手段１５の間で機能しているが、バースト手段１５とＤＵＴ８０との間、或いは、ベースバンド信号生成手段１２とＲＦ変調手段１３との間、で機能するように構成しても良い。ただし、可変利得手段１４がＲＦ変調手段１３、以降に在る場合は、ＲＦ信号に応答する周波数特性を有する必要があり、ベースバンド信号生成手段１２とＲＦ変調手段１３との間にある場合は、ベースバンド信号に応答する周波数特性があればよい。

レベル測定部３０は、ＤＵＴ８０から出力されるバースト信号の出力レベルを測定する。ＤＵＴ８０が増幅器である場合は、増幅されたバースト信号が出力されてくる。このとき、レベル測定部３０は、信号発生部１０から同期信号を受け、バースト信号のオン区間Ｔｏ間に存在する変調されたＲＦ信号をサンプリングして区間（Ｔｏ−ｔｒ）（以下、Ｔｍ＝Ｔｏ−ｔｒとする。）のレベルをレベル測定対象として抽出し（図３（ｅ）（ｆ）（ｇ）を参照）、それを積分手段で積分する、或いは平均値検波し、バースト信号の出力レベルの測定値として、出力する。或いは、区間Ｔｍ内のレベルの最大値、最小値、実効値、瞬時値のいずれかを測定値として出力しても良い。

オン区間Ｔｏ内の区間Ｔｍ（＝Ｔｏ−ｔｒ）にあるレベル測定対象信号を抽出するためには、同期信号ａ（タイミングｔｒ）とオン区間Ｔｏの終了タイミングとを基に、抽出する（図３（ｅ）（ｆ）（ｇ）の一点鎖線を参照）。そのとき、オン区間Ｔｏの終了タイミングは、レベル測定部３０がＤＵＴ８０から受けたバースト信号と所定の閾値とを比較し、そのバースト信号がその所定の閾値以下になったことを検出したタイミングでも良いし、信号発生部１０から同期信号ａとともに、バースト信号を生成するためのゲート信号を受けて、そのオン区間Ｔｏの終了を終了タイミングとして利用しても良い。

上記のように、レベル測定部３０は、バースト信号のうち区間Ｔｍ（＝Ｔｏ−ｔｒ）にある変調信号の出力レベルを測定し、平均値を示す測定値を求めるが、そのときタイミングｔｒは小さいほど、つまり区間Ｔｍ（＝Ｔｏ−ｔｒ）が長い程、安定な確度のよい平均値が得られるので、タイミングｔｒは、０が好ましい。また、タイミングｔｒの値により測定値が異なることがあるので、その場合は、例えば、オン区間Ｔｏ（ｔｒ＝０）における変調信号の出力レベルの測定値を基準に、区間Ｔｍ（＝Ｔｏ−ｔｒ、ｔｒ≠０）で測定した測定値を、あたかもオン区間Ｔｏで測定した値に校正（或いは換算）できる構成にする。これら校正（換算）は、後記する判定部４０が判定する時の基準である目標値が、区間Ｔｏにおける平均値に対応する値で設定されていれば、上記の校正（換算）でよい。つまり、目標値と測定値は比較対象になるように単位を合わせておく。

判定部４０は、目標レベル管理手段４１が予め有する所望のレベル範囲である許容範囲とその許容範囲内の一点を特定レベル値とする目標値を比較手段４２へ送る。比較手段４２は、レベル測定部３０から送られてくるバースト信号の出力レベルの測定値と、許容範囲、及び特定レベル値と比較し、次の（I）（II）の判定結果ｄを出力する。
（I）測定値が許容範囲に入っていなければ、特定レベル値と測定値の差分値を判定結果として出力する。
（II）測定値が許容範囲に入っていれば、ＯＫを示す信号と、特定レベル値と測定値の差分値を判定結果として出力する。
なお、判定結果（I）（II）における差分値は、特定レベル値と測定値との差の絶対値とともに、特定レベル値に対して測定値が多きか小さいかを示す情報（例；＋／−）が含まれる。

目標レベル管理手段４１は、測定部２０による検査項目に対応して、許容範囲と特定レベル値を選択的に設定可能にすることもできる。さらには、その検査項目における検査結果のバラツキを考慮して、許容範囲と特定レベル値を選択的に設定できる構成とすることもできる。

特に、測定部２０によるＤＵＴ８０の検査は、ＤＵＴ８０の出力レベルを所望の目標値に設定することを条件に検査するので、その目標値如何により、検査結果がバラツク虞がある。その例を図５（Ｂ）に示す。図５（Ｂ）は、過去の測定例であって、試験項目Ａについて、ＤＵＴ８０の出力レベルを特定レベルＡＬ１、ＡＬ２、ＡＬ３のそれぞれの値にしたときの、許容範囲（ＡＷ）対試験結果のバラツキ（σ）を示す図である。一般に、特定レベルがＤＵＴ８０の直線領域であれば、特定レベルがＡＬ１、ＡＬ２、ＡＬ３のそれぞれの値であっても、図５（Ｂ）の特性は、一本の特性に近くなるが、特定レベルが非直線性領域にあると、それぞれ異なった特性になる可能性が大きい。図５（Ｂ）の例では、同じバラツキの範囲σＡに入れるためには、許容範囲を特定レベルＡＬに応じて、それぞれ、ＡＷ１、ＡＷ２、ＡＷ３に変える必要があることを示す。

そこで、目標レベル管理手段４１を次のように構成にすることがより好ましい。図５を基に、目標レベル管理手段４１の一例について説明する。

図５（Ａ）で、試験結果分布特性記憶部４１ａは、図５（Ｂ）示すような予め過去の検査時における許容範囲対試験結果のバラツキ（試験結果分布）の関係を示す特性（以下、「試験結果分布特性」と言う。）を記憶しておく。そして、特性表示データ生成手段４１ｃは、試験結果分布特性記憶部４１ａから試験結果分布特性を読み出し、図５（Ｂ）のようなグラフを生成して表示部６２へ表示させる。そして、試験開始時（消費電流特性の試験等の本試験前に、ＤＵＴ８０の出力レベルを目標値に追い込ための追込開始時；以下、「試験開始時」と言う。区別して、消費電流特性の試験等の本試験の開始を「本試験開始」と言う。）時に、操作部６１から、特定レベルＡＬ、試験結果のバラツキσ、又は／及び許容範囲が設定されたときは、それらの値も表示する。そうすることにより、操作者から、例えば、特定レベルとしてＡＬ２、バラツキσＡが指定されたときは、許容範囲設定手段４１ｂが、試験結果分布特性記憶部４１ａを参照して、許容範囲ＡＷ２を求める。このとき、特性表示データ生成手段４１ｃは、表示部６２のグラフに、それらの値ＡＬ２、σＡ、ＡＷ２を識別可能に表示させる。それを見た操作者がＯＫを指示を出したことを受けた許容範囲設定手段４１ｂが、比較手段４２にＡＬ２±［ＡＷ２／２］（特定レベル±許容範囲／２）を目標値として設定する。なお、目標値の設定の仕方としては、［特定レベル±許容範囲／２］の形態（以下、この形態で説明する。）以外にも、［絶対値ＡＬＸ（＝ＡＬ２−［ＡＷ２／２］）〜絶対値ＡＬＺ（＝ＡＬ２＋［ＡＷ２／２］）（この場合、特定レベルを自動的に（ＡＬＸ＋ＡＬＺ）／２にする。）、や［絶対値ＡＬＸ〜（絶対値ＡＬＸ＋許容範囲）］の形態での設定の仕方がある。

なお、操作者が、目標値として、特定レベルＡＬ２、許容範囲ＡＷ２を指定したときは、許容範囲設定手段４１ｂは、試験結果分布特性記憶部４１ａを参照して、バラツキσＡを求め、特性表示データ生成手段４１ｃを通して、表示部６２のグラフに、それらの値ＡＬ２、ＡＷ２、σＡを識別可能に表示させる。操作部６１から、操作者によるＯＫ（確定）の指示がきたときに、許容範囲設定手段４１ｂは、比較手段４２にＡＬ２±［ＡＷ２／２］を目標値として設定できるようにすると、より良い。

上記のように図５の目標レベル管理手段４１の構成を採用することにより、操作者は、特定レベル、許容範囲、試験結果のバラツキを考慮して、目標値を設定することができる。

レベル制御部５０は、判定部４０からの判定結果を受けて、ＤＵＴ８０の出力レベルの測定値が、許容範囲に入るように、可変利得手段１４にバースト信号のレベルを可変させることで、ＤＵＴ８０の出力レベル（レベル測定部３０の測定値）を目標値の許容範囲へ追い込む手段である。レベル制御部５０は、可変利得手段１４に、レベルを可変させようとする制御量を反映した利得制御信号ｂを送って制御する。以下の説明では、その制御量を主として説明する。

レベル制御部５０は、主として、次の（イ）〜（ハ）の動作を行う構成を有する。（イ）はその追い込みの初期の制御量の設定の仕方に関し、（ロ）はその後の追い込み制御における制御量の推定の仕方に関し、（ハ）は追い込んだときの動作に関する。

試験開始時の初期設定；追い込み制御の開始
試験開始時に、次の初期制御量管理手段５２が次のいずれかの初期値を記憶・管理し、制御量推定手段５１を介して可変利得手段１４に設定する。
（イ−１）予め、図１の初期制御量管理手段５２に試験項目に対応した初期値を記憶しておいて、試験項目に応じた初期値を設定する。
（イ−２）図６の初期制御量管理手段５２の詳細（この場合、上記（イー１）とは異なった動作をする）を基に説明する。図６の初期制御量管理手段５２のロットデータ記憶手段５２ａが、予め、試験項目毎に、過去のロットおける試験の結果として、ＤＵＴ８０の出力レベルの測定値が許容範囲内になったときに、制御量推定手段５１（設定手段５１ｃ）が可変利得手段１４を制御したときの制御量の平均値を記憶しておく（図７（Ｂ）を参照）。平均値は、平均値算出手段５２ｂが算出する。そして、設定手段５１ｃを介して、試験開始時に、試験項目に対応する平均値を可変利得手段１４に設定する。そのとき、全ロットの平均値でも良いし、操作部６１から該当するロットＮｏの指定を受け、その該当するロットの平均値でも良い。なお、該当するロットが例えば、５台まで試験が終了していて、６台目を試験するときは、５台目までの平均値を設定すると良い。

判定部４０による判定結果が上記（I）の場合の制御；追い込み制御
レベル制御部５０の制御量推定手段５１は、判定部４０が測定値が許容範囲に入っていないと判定したとき、特定レベル値と測定値の差分値だけ判定結果として受けて、次の制御量を推定して、その推定した制御量で可変利得手段１４を制御する場合である。この場合、次の例があり、いずれかを採用できる。
（ロ−１）制御量推定手段５１のレファレンス管理手段５１ａは、予め、図７（Ａ）
に示すように試験項目に対応する制御量対ＤＵＴ８０の出力レベル特性の代表的な特性（以下、「代表的特性」と言う。）を記憶しておく。そして、設定手段５１ｃが試験の初期に上記（イ−２）に記載のように過去のロットの平均値（上記（イ−１）における初期値でも良い）を初期制御量として設定する。次に以下の各段階を実行する。（段階１）判定部４０が、そのときにレベル測定部３０がＤＵＴ８０の出力レベルを測定した初期測定値と目標値における特定レベルとのレベル差ΔＬ（図７（Ｃ）を参照）を判定結果として、設定手段５１ｃへ送る。（段階２）設定手段５１ｃは、初期制御量と初期測定値に合うように、代表的特性を移動させる（図７（Ｃ）の点線で示した推定特性）。そして、（段階３）設定手段５１ｃは、図７（Ｃ）における移動した代表的特性（推定特性）上で、上記算出されたレベル差ΔＬを打ち消すのに相当する次の制御量を決定し、これを可変利得手段１４へ送って制御する。以下、レベル測定部３０による測定値が目標値の許容範囲に入ったと判定部４０が判定するまで、上記の段階１、２、３の動作を繰り返す。
（ロ−２）上記（ロ−１）は、予め代表的特性を有して、それを基に次の制御量を推定したが、代表的特性は、多項式で表せるし、また、変曲点のない滑らかな曲線であれば３点あれば推定できることが知られている。そこで、例えば、設定手段５１ｃは、ＳＬ１、ＳＬ２、ＳＬ３の制御量で測定したときのレベル測定部３０による測定値ＭＬ１、ＭＬ２、ＭＬ３を制御量記憶手段５１ｂに記憶し、これら３つの制御量を基に、代表的特性を推定（演算）し、かつその推定した代表的特性から、目標値の特定レベルと測定値ＭＬ３とのレベル差［ＭＬ３−特定レベル］を打ち消すべき制御量ＳＬ４を推定（演算）して設定し、測定して測定値ＭＬ４を得る。測定値ＭＬ４が許容範囲にないときは、制御量ＳＬ２、ＳＬ３、ＳＬ４で測定したときの測定値ＭＬ２、ＭＬ３、ＭＬ４を基に、代表的特性を推定し、かつその推定した代表的特性から、目標値の特定レベルと測定値ＭＬ４とのレベル差［ＭＬ４−特定レベル］を打ち消すべき制御量ＳＬ５を推定して設定し、測定し、判定する。以下、判定部４０でＯＫがでるまで、繰り返す。
（ロ−３）上記（ロ−１）（ロ−２）は、いわば多項式で近似される代表的特性で、制御量を推定していたが、制御範囲が狭い範囲では、或いは狭くなるほど、直線的な近似が可能となる。その場合、上記（ロ−２）で多項式で代表的特性を近似していたのを直線で近似することもできる。つまり、上記（ロ−２）で最寄りの３つの制御量と３つの測定値で制御量を推定していたのに代えて、最寄りの２つの制御量と２つの測定値から、直線的な代表的特性を近似して、次の制御量を推定できる。

判定部４０による判定結果が上記（II）の場合の制御；追い込み制御の終了
上記（イ）（ロ）における周期Ｔａ毎の制御及び動作により、レベル測定部３０による測定値は、図７（Ｄ）に示すように目標値へ近づき、判定部４０は、測定値が許容範囲に入り、ＯＫを示す信号と、特定レベル値と測定値の差分値を判定結果として出力する。これを受けた図６の設定手段５１ｃは、そのときに可変利得手段１４を制御していた制御量を維持し（制御量の更新を停止）、制御量記憶手段５１ｂを介してその維持している制御量をロットデータ記憶手段５２ａへ送り、該当するロットの該当する台番に記録する（図７（Ｂ）を参照）。そして、平均値算出手段５２ｂは、同一ロットで先に記録した制御量と今回記録した制御量を基に平均値を求めて、ロットデータ記憶部手段５２ａに記憶させておく。そうすることで、上記（イ−２）のように利用できる。なお、上記（イー１）に記載のように、いつも予め記憶された初期値で制御を開始する場合は、ロットデータの記憶、平均値の算出等は不要である。
さらに設定手段５１ｃは、判定部４０が、ＯＫを出したことを制御部７０へ伝える。つまり、追い込み制御が完了し、ＤＵＴ８０の出力レベルが目標値に維持されていることを伝える。

制御部７０は、そのＯＫを示す信号を受けた後に、測定部２０を制御して、所望の試験項目についてＤＵＴ８０の本試験を開始する。例えば試験項目として、消費電力特性、ＥＶＭ特性、隣接チャンネル漏洩電力特性、高調波歪特性、等がある。測定部２０は、これら試験項目の試験に測定機器、電流計、スペクトラムアナライザ等を有する。また、測定部２０は、上記信号発生部１０を兼ね備えた信号発生器を備え、ローカル信号生成手段１３ｂの周波数を変更できる構成であっても良い。或いは、測定部２０は、レベル測定部３０を兼ね備えた信号解析器であって、レベル測定を行うとともに、ＥＶＭ特性、隣接チャンネル漏洩電力特性、高調波歪特性等を測定する構成であっても良い。

制御部７０は、一つの試験項目が完了したときは、レベル制御部５０に指示して、次の試験項目について、ＤＵＴ８０の出力レベルが目標値に入るように制御させる。試験項目が違ってもＤＵＴ８０の出力レベルが同一の場合は、改めて制御させる必要はなく、違った試験項目について試験する。

次に一連の動作を図８を基に説明する。

ステップＳ００；ユーザインターフェース６０は、電源オン後、消費電力特性、ＥＶＭ特性、隣接チャンネル漏洩電力特性、高調波歪特性、等の各種の試験項目について案内画面を表示部６２に表示して、ＤＵＴ８０についての試験をガイドする。操作者はそのガイドに従って、操作部６１により所望の試験項目を選択することで指定する。

ステップＳ０１；次に、目標レベル管理手段４１は、指定された試験項目に係る、予め記憶していた過去の検査時における試験結果分布特性を図５（Ｂ）のようなグラフにして表示部６２へ表示させる。そして、操作者は、操作部６１により試験結果のバラツキσを考慮した目標値；ＡＬ２±［ＡＷ２／２］（特定レベル±許容範囲／２）を設定する。なお、上記のグラフを表示してバラツキσを考慮することなく、直接に、目標値を設定することもできる。

ステップＳ０２；さらに、上記（イー２）に記載のように（（イー２）が採用された場合）、レベル制御部５０は、予め、過去の試験でＤＵＴ８０の出力レベルの測定値が許容範囲内になったときに、制御量推定手段５１（設定手段５１ｃ）が可変利得手段１４を制御したときの制御量の平均値をロット毎に記憶しておく。そして、レベル制御部５０は、初期制御量の設定として、操作者により操作部６１から該当するロットＮｏの指定を受けたとき、その該当するロットの該当する試験項目に制御量の平均値を基に、ＤＵＴ８０の出力レベルの測定値が、許容範囲に入るように、可変利得手段１４にバースト信号のレベルを可変制御する。つまり、上記（ロ）に記載のように追い込み制御を開始する。

ステップＳ１；一方で、信号発生部１０は、周期Ｔａを有するベースバンド信号であって、かつ該各周期Ｔａ内の区間Ｔｓの期間中は、時間とともに変化する振幅が何れの周期Ｔａにおいても同一に変化するベースバンド信号を生成し、ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を周期Ｔａに同期して第１の区間Ｔｓ内のオン区間Ｔｏの信号を抜き出し周期Ｔａを有するバースト信号として生成し、ＤＵＴ８０へ出力する。さらに信号発生部１０は、周期Ｔａに同期し、かつオン区間Ｔｏ内のタイミングｔｒにおける同期信号ａを出力する。

ステップＳ２；そのとき、信号発生部１０は、可変利得手段１４により、初期時（追い込み制御の開始時）には、バースト信号をレベル制御部５０からの利得制御信号で示される初期制御量に応じたレベルにしてＤＵＴ８０へ出力する。その後、可変利得部１４は、バースト信号のレベルを判定部４０の判定結果に基づいてレベル制御部５０から指示される制御量に応じたレベルに可変して、ＤＵＴ８０へ出力する。

ステップＳ３；レベル測定部３０は、ＤＵＴ８０が出力するバースト信号を受けて、その出力レベルを測定する。測定値としてＤＵＴ８０が出力するバースト信号の区間Ｔｍ＝Ｔｏ―ｔｒに在る信号を積分して平均値を求める。

ステップＳ４；判定部４０は、レベル測定部３０が測定した出力レベルの測定値が設定された目標値内かどうか判定する。具体的には、出力レベルが、目標値；ＡＬ２±［ＡＷ２／２］の範囲内かどうか判定する。判定部４は、出力レベルが目標値の範囲外と判断したときは、判定結果としてレベル差［出力レベルーＡＬ２］及び特定レベルＡＬ２をレベル制御部５０へ送る。測定値が目標値の範囲内と判断したときは、判定結果として「ＯＫ」とレベル差［出力レベルーＡＬ２］をレベル制御部５０へ送る。

ステップＳ５；レベル制御部５０は、判定部４０による判定結果としてレベル差ΔＬ＝［出力レベルーＡＬ２］、特定レベルＡＬ２を受けて、追い込み制御を行う。つまり、上記（ロー１）に記載の方法では、設定手段５１ｃは、上記ステップＳ０２で設定した初期制御量とレベル測定部３０が測定した出力レベルの測定値を基に、レファレンス管理手段５１ａに記憶しておいた代表的特性を移動させる（図７（Ｃ）の点線で示した推定特性）て、初期制御量と測定値が対応するようにする。さらに、設定手段５１ｃは、図７（Ｃ）における移動した代表的特性（推定特性）上で、上記レベル差ΔＬ＝［出力レベルーＡＬ２］を打ち消すのに相当する次の制御量を決定し、これを可変利得手段１４へ送って制御する。以下、ステップＳ４で、レベル測定部３０による測定値が目標値の許容範囲に入ったと判定部４０が判定するまで、上記のステップＳ２〜ステップＳ５の追い込み制御動作を繰り返す。

ステップＳ６；レベル制御部５０は、上記のステップＳ２〜ステップＳ５の動作を繰り返す、そして判定部４０から判定結果として「ＯＫ」とレベル差［出力レベルーＡＬ２］を受ける。つまり、上記ステップＳ５に記載のように周期Ｔａ毎に、ステップＳ２〜ステップＳ５の追い込み制御動作を繰り返した結果、レベル測定部３０による測定値が目標値へ近づき、レベル制御部５０の設定手段５１ｃは、判定部４０から判定結果として「ＯＫ」とレベル差［出力レベルーＡＬ２］を受ける。設定手段５１ｃは、そのときに可変利得手段１４を制御していた制御量を維持して更新を停止し、その維持している制御量及びレベル差［出力レベルーＡＬ２］をロットデータ記憶手段５２ａに記憶させる（なお、レベル差［出力レベルーＡＬ２］は、後に参考に利用することがあるかもしれないので、記憶する程度である）。そして、平均値算出手段５２ｂは、同一ロットで先に記録した制御量と今回記録した制御量を基に平均値を求めて、ロットデータ記憶部手段５２ａに記憶させておく。そうすることで、次の試験時の上記ステップＳ０２で初期制御量設定に利用できる。

そして、ＤＵＴ８０の出力レベルが目標値内に保持されている状態で、制御部７０は、ステップ００で選択設定された測定項目について測定部２０を制御して、指定された測定項目について本試験を実行する。

図１の構成における判定部４０、レベル制御部５０、及び制御部７０は、図８における動作フローを記述したプログラムと、それを実行するＣＰＵで構成することができる。

以上の実施形態では、試験信号が変調信号のバースト信号である場合について説明したが、試験信号がバーストではなく連続波であっても良い。その場合は、バースト手段１５、バーストタイミング生成手段１１ｂは、省略できる。又、その場合、上記した各時間Ｔａ、Ｔｓ、Ｔｏの関係は、Ｔａ＝Ｔｓ＝Ｔｏになる。すなわち、ベースバンド信号生成手段１２は、周期Ｔａ内でのレベル変化がいずれの各周期Ｔａでも同じベースバンド信号の連続波を生成し、このベースバンド信号がＲＦ信号で変調されてできた変調信号の連続波が信号発生部１０から生成され、出力される。

１０ 信号発生部、
１１ タイミング生成手段、 １１ａ クロック生成手段、
１１ｂ バーストタイミング生成手段、 １１ｃ 同期信号生成手段、
１２ ベースバンド信号生成手段、 １２ａ 波形データ記憶手段、
１２ｂ 読出制御手段、 １２ｃ Ｄ／Ａ変換手段、
１３ ＲＦ変調手段、 １３ａ ミキサ、 １３ｂ ローカル信号生成手段、
１４ 可変利得手段、
１５ バースト手段、
１６ 同期信号生成手段、
２０ 測定部、
３０ レベル測定部、
４０ 判定部、
４１ 目標レベル管理手段、 ４１ａ 試験結果分布特性記憶部、
４１ｂ 許容範囲設定手段、 ４１ｃ 特性表示データ生成手段、
４２ 比較手段、
５０ レベル制御部、
５１ 制御量推定手段、 ５１ａ レファレンス管理手段、
５１ｂ 制御量記憶手段、 ５１ｃ 設定手段、
５２ 初期制御量管理手段、 ５２ａ ロットデータ記憶手段、
５２ｂ 平均値算出手段、
６０ ユーザインターフェース、
６１ 操作部、 ６２ 表示部、
７０ 制御部、
８０ ＤＵＴ（ＲＦ通信用デバイス）
１００ 試験装置

Claims (10)

1. ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を伝送するのに用いられるＲＦ通信用デバイスの試験をするＲＦ通信用デバイス試験装置であって、
   周期Ｔａを有するとともに、何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を前記ＲＦ通信用デバイスへ出力する信号発生部（１０）と、
   該周期Ｔａに同期して、該ＲＦ通信用デバイス出力レベルを測定するレベル測定部（３０）と、
   該レベル測定部で測定した出力レベルと予め設定された目標値とを比較する判定部（４０）と、
   測定された出力レベルが目標値外であると該判定部が判定したとき、該測定した出力レベルと該目標値内となるように、該信号発生部が出力する前記変調信号のレベルを制御するレベル制御部（５０）と、を備え、
   前記測定された出力レベルが目標値内であると前記判定部が判定した後に、前記試験を行うことを特徴とするＲＦ通信用デバイス試験装置。
2. 前記信号発生部は、前記各周期Ｔａ内の第１の区間Ｔｓ（≦Ｔａ）において、時間とともに変化するレベルが何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を該周期Ｔａに同期して前記第１の区間Ｔｓ内の第２の区間Ｔｏ（≦Ｔｓ）の信号を抜き出し該周期Ｔａを有するバースト信号としてＲＦ通信用デバイスへ出力し、
   前記レベル測定部は、該ＲＦ通信用デバイスからの出力を受けて、該周期Ｔａに同期して、前記第２の区間Ｔｏ内の所定タイミングｔｒ（０≦tｒ≦Ｔｏ）から該第２の区間Ｔｏの残り区間（Ｔｏ−ｔｒ）における出力レベルを測定することを特徴とする請求項１に記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
3. 前記レベル測定部は、前記ＲＦ通信用デバイスからの出力を、前記所定タイミングｔｒから前記第２の区間Ｔｏの終了までの前記残り区間（Ｔｏ−ｔｒ）に亘って積分して前記出力レベルを測定することを特徴とする請求項２に記載ＲＦ通信用デバイス試験装置。
4. 前記レベル制御部は、前記周期Ｔａ毎に、前記信号発生部に対して前記変調信号のレベルを制御する制御量を反映した利得制御信号を送って制御しており、前回の周期Ｔａに送った利得制御信号と、そのときの前記判定部の比較結果とを基に、前記目標値内となるように前記信号発生部を制御すべき新たな制御量を推定し、該新たな制御量を反映した前記利得制御信号を前記信号発生部に送る制御量推定手段（５１）とを備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つ記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
5. 前記制御量推定手段は、前記ＲＦ通信用デバイスの代表的な前記制御量対前記出力レベルを示す特性情報を予め保有していて、前記判定部からの判定結果と前記レベル設定手段が前回の周期Ｔａにおける前記利得制御信号とを基に、前記特性情報を参照して、前記制御量を推定することを特徴とする請求項４に記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
6. 前記レベル制御部は、予め、過去の試験時において測定された出力レベルが目標値内であると該判定部が判定したときに前記制御量推定手段が前記利得制御信号に反映した過去の制御量を管理する初期制御量管理手段（５２）を有し、前記制御量推定手段は、前記制御を開始するときに、前記信号発生部に対して該過去の制御量を反映した前記利得制御信号を送り、次の周期Ｔａでは、該過去の制御量を反映した前記利得制御信号を、前回の周期Ｔａにおける前記利得制御信号として、次の制御量を推定することを特徴とする請求項４又は５に記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
7. 操作部（６１）と、表示部（６２）と、を有し、
   前記判定部は、前記目標値の変化に対する前記試験の結果の分布を示す代表的な試験結果分布特性を記憶しており、該試験の開始前に、該試験結果分布特性を、該試験結果分布特性の目標値又は該試験の結果の分布のいずれかを前記操作部で指定可能に前記表示部に表示させるとともに、該試験結果分布特性上で、該目標値が指定されたときはその指定された値の目標レベル、又は、前記試験の結果が指定されたときは該代表的分布特性から該指定された該試験の結果に対応する目標値を、前記測定した出力レベルと比較するために設定することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
8. 前記目標値は、許容レベル範囲と該許容レベル範囲内の特定レベルとを含み、 前記判定部は、該レベル測定部で測定した出力レベルと該特定レベルとを比較し、
   前記レベル制御部は、前記測定された出力レベルが目標値外であると該判定部が判定したときに、前記測定された出力レベルと該特定レベルとの前記レベル差がなくなるように、該信号発生部が出力する前記変調信号のレベルを制御し、前記測定された出力レベルが前記許容レベル範囲内にあると該判定部が判定したときに、そのときの前記変調信号のレベルを維持することを特徴とする１〜７のいずれか一つに記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
9. ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を伝送するのに用いられるＲＦ通信用デバイスの試験をするＲＦ通信用デバイス試験方法であって、
   周期Ｔａを有するとともに何れの該周期Ｔａにおいても同一にレベルが変化するベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を前記ＲＦ通信用デバイスへ出力する信号発生段階と、
   該周期Ｔａに同期して、該ＲＦ通信用デバイス出力レベルを測定するレベル測定段階と、
   該レベル測定部で測定した出力レベルと予め設定された目標値とを比較する判定段階と、
   測定された出力レベルが目標値外であると該判定段階で判定されたとき、該測定した出力レベルと該目標値内となるように、該信号発生部が出力する前記変調信号のレベルを制御するレベル制御段階と、
   前記測定された出力レベルが目標値内であると前記判定段階で判定された後に、前記試験を行う試験段階と、を備えたことを特徴とするＲＦ通信用デバイス試験方法。
10. 前記信号発生段階は、前記各周期Ｔａ内の第１の区間Ｔｓ（≦Ｔａ）において、時間とともに変化するレベルが何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を該周期Ｔａに同期して前記第１の区間Ｔｓ内の第２の区間Ｔｏ（≦Ｔｓ）の信号を抜き出し該周期Ｔａを有するバースト信号としてＲＦ通信用デバイスへ出力し、
    前記レベル測定段階は、該ＲＦ通信用デバイスからの出力を受けて、該周期Ｔａに同期して、前記第２の区間Ｔｏ内の所定タイミングｔｒ（０≦tｒ≦Ｔｏ）から該第２の区間Ｔｏの残り区間（Ｔｏ−ｔｒ）における出力レベルを測定することを特徴とする請求項９に記載のＲＦ通信用デバイス試験方法。

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