JP2011153027A - 粉体供給装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 粉体を真空、あるいは密閉雰囲気中の供給対象に微少量安定的に供給するのに適した粉体供給装置を提供する。
従来は、大気中での使用を前提とした大型で開放的な構造であったため、密閉構造を適用するのが困難であった。 また、粉体中で回転する可動部品や軸、摺動部品を多く持ち、噛みこみやすい金属粉体や金属酸化物粉体を安定的に供給するのに適していなかった。
【解決手段】粉体を貯留するホッパーの開口部から粉体を定量排出させるため、粉体がホッパー以外の、他のメカニズムに触れることなく供給対象に移送されることが可能になる。
ホッパーに直接、加速度あるいは、角加速度を与えて粉体を排出させ、この頻度、強度を可変することで供給速度を制御するようにした。
以上により、密閉しやすいコンパクトな構成と、可動部が直接粉体と接触しないことによる稼働の安定性を得られる。
【選択図】図1
従来は、大気中での使用を前提とした大型で開放的な構造であったため、密閉構造を適用するのが困難であった。 また、粉体中で回転する可動部品や軸、摺動部品を多く持ち、噛みこみやすい金属粉体や金属酸化物粉体を安定的に供給するのに適していなかった。
【解決手段】粉体を貯留するホッパーの開口部から粉体を定量排出させるため、粉体がホッパー以外の、他のメカニズムに触れることなく供給対象に移送されることが可能になる。
ホッパーに直接、加速度あるいは、角加速度を与えて粉体を排出させ、この頻度、強度を可変することで供給速度を制御するようにした。
以上により、密閉しやすいコンパクトな構成と、可動部が直接粉体と接触しないことによる稼働の安定性を得られる。
【選択図】図1
Description
本発明は粉体の慣性力を利用して粉体を定量供給する粉体フィーダーに関するものである。
新規材料の開発や、超微粒子の製造など、特殊な条件で粉体を扱う必要性が増えてきている。本発明は、真空中や、大気の混入を嫌う密閉雰囲気中に置かれた供給対象にも微少量の粉体を安定的に供給する、粉体供給装置を提供するものである。
例えば、特許文献1のように振動フィーダーを用いてホッパーから供給対象に粉体を供給する従来の粉体供給装置では、粉体の供給速度を、トラフ上を移動する粉体の移送速度によって制御していた。このため、移送速度を安定化するためには長い樋状の移送路であるトラフを必要とし、小型化が困難であった。また、開放的な構造にならざるを得ず、真空あるいは、密閉雰囲気での使用が困難であった。
また、特許文献2のように多数の回転体によって粉体を定量供給しようとするものでは、粉体中で回転する回転体の軸受けや回転体と筺体の隙間に粉体が噛みこんで、動作が不安定になりやすいという問題があった。 とくに、かたい金属酸化物、や金属の粉体を使用する場合では、噛み込も起きやすく、回転体や、容器の摩耗という問題も生じる。
長い樋状の移送路や、回転体を用いず、密閉容器中に置かれたホッパーを直接駆動して、ホッパーの駆動方向に開口した、面積を調節可能な開口部から、粉体を排出する。
ホッパーの駆動は、周期的に衝撃、打撃、あるいは加速度を与えることにより行う。
排出量は、衝撃、打撃あるいは加速度の大きさ、開口部の面積によりが定まる。この排出された粉体が、導入されたガスと共に供給対象に搬送されることになる。
ホッパーの駆動は、周期的に衝撃、打撃、あるいは加速度を与えることにより行う。
排出量は、衝撃、打撃あるいは加速度の大きさ、開口部の面積によりが定まる。この排出された粉体が、導入されたガスと共に供給対象に搬送されることになる。
ここでいう、粉体供給装置における供給速度とは、上記排出量(重量:g)を単位時間(例えば、1分間)積算したものであり、単位時間当たりの粉体供給量(例えば、g/min)である。
本発明によれば、衝撃、打撃、加速度を与える要素とホッパーだけによる構成であり、粉体が回転体や、長い樋状の移送路に接触することがなく、滞留や噛みこみの危険性がなく、小型で安定性の高い粉体供給装置を構成することができる。
ここでは、「衝撃」、「打撃」、「加速度」と併記したが、衝撃、打撃を含む外部からの駆動力の変化によってホッパーが移動する際の「加速度」が、排出量を制御するより基本的な変数である。
本発明は、ホッパーが加速度をもって移動または停止した際に、ホッパー中の粉体の慣性力で粉体がホッパーの開口部から飛び出す現象を利用している。
本発明は、ホッパーが加速度をもって移動または停止した際に、ホッパー中の粉体の慣性力で粉体がホッパーの開口部から飛び出す現象を利用している。
ホッパーの加速度の再現性が良ければ、他の要因は、ほとんど固定されてしまうので、打撃当たりの排出量の再現性の良い、粉体の排出が可能である。
本発明では、微少量の供給を目的にしているため、ホッパー容量が小さくても長時間の連続運転が可能であり、ホッパー重量に対して、貯留する粉体の重量が小さくできる。そのため、粉体の排出に伴うホッパー重量の変化も小さく、加速度の再現性に与える影響を小さくできる。
本発明では、微少量の供給を目的にしているため、ホッパー容量が小さくても長時間の連続運転が可能であり、ホッパー重量に対して、貯留する粉体の重量が小さくできる。そのため、粉体の排出に伴うホッパー重量の変化も小さく、加速度の再現性に与える影響を小さくできる。
また、加速度を受けるホッパー(以下一次ホッパーと呼称する。)とは別に、このホッパーへの粉体の供給を行う別の大型のホッパー(以下、二次ホッパーと呼称する。)を用意して、一次ホッパーの粉体の貯留量を一定に保つこともできる。
二次ホッパーの排出口を一次ホッパーの内部に設置することで、二次ホッパー排出口のレベルより、一次ホッパーの粉体レベルが下がると、粉体の自発的流れにより、二次ホッパーから一次ホッパーへの粉体の移動が行われる。
このため、一次ホッパーの粉体貯留量が一定に保持されるので、一次ホッパーの加速度の再現性が高まり、粉体排出量の再現性が、さらに高まると共に、粉体貯留量の増大を図ることもできる。
二次ホッパーの排出口を一次ホッパーの内部に設置することで、二次ホッパー排出口のレベルより、一次ホッパーの粉体レベルが下がると、粉体の自発的流れにより、二次ホッパーから一次ホッパーへの粉体の移動が行われる。
このため、一次ホッパーの粉体貯留量が一定に保持されるので、一次ホッパーの加速度の再現性が高まり、粉体排出量の再現性が、さらに高まると共に、粉体貯留量の増大を図ることもできる。
小型で密閉性が高く、動作の安定性の高い粉体供給装置を提供することができる。
本発明の実施形態の一つは、直方体のホッパーと、直方体長手方向にある端面の下端に開口したスリット状の開口部を持ち、スリット幅は調節可能に構成されている。容器を構成する隔壁の外部に設置された、ソレノイドコイルの電磁力により駆動されるノッカーの打撃により、ホッパーに加速度が与えられる。
ホッパーに加速度を与える手段には、ソレノイドコイルにより駆動されるノッカーのほかに、ヴォイスコイルモーター、回転カムを用いることができる。
ホッパーに加速度を与える手段には、ソレノイドコイルにより駆動されるノッカーのほかに、ヴォイスコイルモーター、回転カムを用いることができる。
ホッパーに与える加速度は、角加速度であってもよい。中心軸周りに回転、あるいは揺動可能なホッパーの外周部に回転、あるいは、揺動運動の接線方向に開口した粉体排出口を設けることにより、粉体排出口の角加速度により、粉体が排出させられる。
以下、本発明を図面に基づいて説明する。図1は第一実施例の概略構成の断面図である。1は一次ホッパーであり、粉体2が貯留されている。粉体排出のためのスリット4が一次ホッパー1の下部に開口している。3はスリット4の開口面積を調整するためのシャッターである。ソレノイドコイル8に電流を流すことによって、鉄心9はソレノイドコイル8の中心に吸引される。第一実施例では、鉄心9は、通常、バネ7によりソレノイドコイル上端付近にあって、電流を流した時に鉄心9はソレノイドコイル8の中心部に(下方向に)吸引され、ノッカー5を押し出して一次ホッパー1に打撃を与える。
これによってホッパーは打撃の方向に加速度を受けるが、内部の粉体2は慣性力により同じ位置に留まろうとする。その結果、一次ホッパー1に貯留されている粉体の中で、スリット4中にある少量の粉体だけ、スリット4から飛び出し、一次ホッパー1から排出されることになる。
鉄心9は非磁性の金属シース10によって外気と遮断されるので容器13中を真空に排気したとしても鉄心9の駆動がリークの原因になることはない。ノッカー5は、軸6を中心に揺動運動をする。バネ7はソレノイドコイル8に駆動電流が流れていない時にノッカーを定位置に保持するために付加されている。
鉄心9は非磁性の金属シース10によって外気と遮断されるので容器13中を真空に排気したとしても鉄心9の駆動がリークの原因になることはない。ノッカー5は、軸6を中心に揺動運動をする。バネ7はソレノイドコイル8に駆動電流が流れていない時にノッカーを定位置に保持するために付加されている。
打撃当たりの粉体排出量は、スリット4の開口面積と打撃の強さ(ホッパーの加速度の大きさ)に依存する。単位時間当たりの粉体供給量(粉体供給速度)を設定するには、スリット幅をシャッター4によって調整することで開口面積を変化させて、大まかに排出量を調整し、その後は打撃の頻度を電気的に可変して供給速度の精度を上げるのがよい。
打撃の頻度はタイマーを使った繰り返し接点信号や、パルス発振機による電圧パルス信号でソレノイドコイル8を駆動することで容易に設定できる。
打撃の頻度はタイマーを使った繰り返し接点信号や、パルス発振機による電圧パルス信号でソレノイドコイル8を駆動することで容易に設定できる。
一次ホッパー1はダンパー15により支持されている。ダンパー15はノッカー5による打撃の振動を速やかに収束させるためにポリウレタン製のスポンジやゴムなどの粘弾性を持つ材料が用いられる。
ガス導入口12により容器中にガスを導入することで、ホッパーから排出された粉体を、フィードパイプ11を通してガス流で供給対象に移送することができる。
ガス導入口12により容器中にガスを導入することで、ホッパーから排出された粉体を、フィードパイプ11を通してガス流で供給対象に移送することができる。
一次ホッパー1は底部に加速度センサー32を固定している。図示していないリード線により容器13の外部に信号を引き出し、前記センサーの検出した加速度のピークを示す波高値をモニターする。
一般に、粉体残量が大きいときには、波高値は僅かに低く、残量が減ると波高値が高くなると共に、ノッカー5によるノック後の振動の収束が遅くなる。
これにより一次ホッパーの加速度の大きさを予想することができ、粉体残量の目安や、ノッカー機構の異常を知ることができ、安定に稼働するために役立てることができる。
一般に、粉体残量が大きいときには、波高値は僅かに低く、残量が減ると波高値が高くなると共に、ノッカー5によるノック後の振動の収束が遅くなる。
これにより一次ホッパーの加速度の大きさを予想することができ、粉体残量の目安や、ノッカー機構の異常を知ることができ、安定に稼働するために役立てることができる。
図2は、第一実施例に、二次ホッパー16を付加する場合の構成例である。
一次ホッパー1よりも大型のホッパーを付加することにより、供給時間あるいは、供給速度を大きくすることができる。二次ホッパー16に貯留された粉体2は、二次ホッパー排出口レベル18より一次ホッパー1の粉体レベルが低下した場合、レベルが等しくなるまで、一次ホッパー1に自発的に移動する。
一次ホッパー1よりも大型のホッパーを付加することにより、供給時間あるいは、供給速度を大きくすることができる。二次ホッパー16に貯留された粉体2は、二次ホッパー排出口レベル18より一次ホッパー1の粉体レベルが低下した場合、レベルが等しくなるまで、一次ホッパー1に自発的に移動する。
等圧化配管17は、二次ホッパー16の粉体上部空間の圧力を容器13内部の圧力と均一化するためものである。この配管は図では明示していないが二次ホッパーの取り付け、粉体のホッパーへの投入などの作業性の点から、例えば金属ベローズを使った、脱着可能な可撓性のある配管が好ましい。
図3は第一実施例の一次ホッパー1の粉体排出口の構成例である。
図3aはスリット状であり、シャッター3により、スリットを部分的に塞いで実効的なスリット幅dを調節する。これによりノッカー5による一回の打撃当たりの粉体の排出量を調節することができる。
図3aはスリット状であり、シャッター3により、スリットを部分的に塞いで実効的なスリット幅dを調節する。これによりノッカー5による一回の打撃当たりの粉体の排出量を調節することができる。
図3bは複数の細孔が開口しており、シャッターにより細孔のいくつかを塞ぐことにより、排出量を調節することができる。開口している細孔の個数と打撃あたりの粉体の排出量が比例するので、排出量がステップ的に変化するが、再現性の良い調節ができるのが特徴である。
図3c、c´ は排出口がパイプ状になっている例である。粉体が所定の長さのパイプ中を移動する抵抗の大きさにより、打撃当たりの粉体の排出量が決まるので、一次ホッパー1中の粉体の残量などによる、排出量の変動が少ないという特徴がある。打撃当たりの排出量を変更するためには、数種類の直径、長さのパイプを用意しておき、所定の排出量に合わせて交換する。
一次ホッパー1に貯留された粉体を効率よく使用するには、前記の排出口を、いずれもホッパー下端付近に形成するのが望ましい。また、停止時に自重で粉体が流れ出さないように、水平方向か若干上向きに開口しているのが望ましい。
図3c、c´の場合は、パイプの角度が水平方向からずれても、自重による流れ出しは、少ない。
図3c、c´の場合は、パイプの角度が水平方向からずれても、自重による流れ出しは、少ない。
図4は、第二実施例であり、図1で示した実施例が使っていたノッカー5の代わりに、ヴォイスコイルモーター20を用いた例である。ヴォイスコイルモーター20のヴォイスコイルに結合された一次ホッパー1をヴォイスコイルに発生する推力で直接駆動する。
ヴォイスコイルにパルス状の電流を流すことにより、一次ホッパー1に電流変化に応じた加速度を与えることができる。1パルス当たりの粉体の排出量は電流変化の大きさに比例し、粉体の供給速度は、パルス電流の周波数に比例する。板バネ19は、一次ホッパー1を前後に揺動可能に支持する。ダンパー19は、一次ホッパー1が加速度を加えられた後の振動を速やかに減衰させるため、ポリウレタンやゴムなど粘弾性物質で作られている。
ヴォイスコイルにパルス状の電流を流すことにより、一次ホッパー1に電流変化に応じた加速度を与えることができる。1パルス当たりの粉体の排出量は電流変化の大きさに比例し、粉体の供給速度は、パルス電流の周波数に比例する。板バネ19は、一次ホッパー1を前後に揺動可能に支持する。ダンパー19は、一次ホッパー1が加速度を加えられた後の振動を速やかに減衰させるため、ポリウレタンやゴムなど粘弾性物質で作られている。
一次ホッパー1に、加速度センサー32を付加して、検出した加速度の大きさと、設定した加速度の値との偏差を小さくするように、ヴォイスコイルモーター20の駆動電流をフィードバック制御して、粉体排出量の変動を安定化することも可能である。
また、ヴォイスコイルモーター20を所定のパルス電流で駆動した時の、一次ホッパー1の加速度から、一次ホッパー1の質量を概算し、ホッパーに残留している粉体量や、残留している粉体量の変化から、粉体の供給速度を概算することも可能である。
また、ヴォイスコイルモーター20を所定のパルス電流で駆動した時の、一次ホッパー1の加速度から、一次ホッパー1の質量を概算し、ホッパーに残留している粉体量や、残留している粉体量の変化から、粉体の供給速度を概算することも可能である。
図5は、第三実施例であり、カム23により一次ホッパー1に加速度を与える構成例である。粉体の1回転当たりの排出量はカム形状に依存し、粉体の供給速度はモーター22の回転数に比例する。
カム23は、モーター22の回転に伴い不必要な振動を生じさせないため、偏芯荷重がないように設計することが望ましい。図5の例では、一回転で2回の排出を行うように軸対象に設計している。一次ホッパー1はカムフォロアー24によりカム23の回転により推力を受ける。
カム23は、モーター22の回転に伴い不必要な振動を生じさせないため、偏芯荷重がないように設計することが望ましい。図5の例では、一回転で2回の排出を行うように軸対象に設計している。一次ホッパー1はカムフォロアー24によりカム23の回転により推力を受ける。
バネ25は一次ホッパー1をカム23に押しつけて、カム23の形状に沿わせて動かすために必要である。また、図4による例と同様に、一次ホッパー1の支持用の板バネ19とダンパー21を持っている。
図4、図5とも粉体排出のためのメカニズムを密閉するための容器は、明示していないが、実際に本発明の粉体供給装置を作成するにあたって、密閉容器をこれに合わせて構成することは当該業者には容易である。
図6aは第四実施例であり、略円形のホッパー26を間欠的に回転させることにより、ホッパー外周部の粉体に接線方向の加速度を与え、排出口の回転運動の軌跡の接線方向に開口したスリット4から粉体を排出する。図6bは、ホッパー26の切断面31による断面図である。スリット4は軸対象の位置に2か所開口している。
接線方向の加速度は、回転軸28を介して接続されたパルスモーター30により発生する。パルスモーター30は図示されてないパルスモータードライバーに所定の電圧パルスを加えることで、所定の角度だけモーター軸が瞬間的に回転する。これにより、ホッパー26の接線方向に大きな加速度が発生する。ホッパー26から排出された粉体2は、ガス導入口12から導入されたガスに搬送されてフィードチューブ11から図示していない供給対象まで移送される。
回転軸28は軸受けユニット27に保持されていて、ベアリングと真空シール部品を組み合わせたものである。回転軸28が低速で回転すること、シール部が粉体と接触しないことにより、シールの信頼性が高く、内部を真空状態にしてもリークの心配がない。
この方式は、第一実施例と同様に、二次ホッパーを付加することができる。この構成では、大きな供給速度で長時間運転するような場合に好適である。
排出速度は電圧パルス当たりのパルスモーター30の回転角、パルスモーター30のトルク、排出口の回転半径で決まる角加速度の大きさと、スリット4の開口面積で決まり、供給速度はパルスモータードライバーに加える電圧パルスの周波数によりコントロールできる。
排出速度は電圧パルス当たりのパルスモーター30の回転角、パルスモーター30のトルク、排出口の回転半径で決まる角加速度の大きさと、スリット4の開口面積で決まり、供給速度はパルスモータードライバーに加える電圧パルスの周波数によりコントロールできる。
第四実施例では、パルスモーターを用いたが、他にも間欠的な回転運動を駆動可能なゼネバ機構や、ホッパー26の周辺部をノッカーで接線方向に打撃する方法も同様の効果を持つ。また、パルスモーターを使用した場合でも周期的に回転方向を変化させてホッパー26に揺動運動を起こさせることができる。このような揺動運動や、ノッカーによる打撃の場合には、リード線の問題がなくなるので、ホッパー26に加速度センサー32を付加することにより、加速度の大きさをモニターすることができる。
図7は第一実施例の構成で、実際に真空中(130Pa、Arガス)で粉体(小麦粉)を供給した時の特性である。
条件は、図3aにおけるスリット幅d:0.2mm、スリット長さL:10mm、ノッカーの駆動周期:0.2sec(5回/1sec)、ガス導入口には、Arガスを1L/min(大気圧)供給した。供給対象は真空チャンバー内にあり、懸るチャンバーは真空ポンプにより排気されている。供給速度は、定時的にホッパー1を取り外し、ホッパーごと残留粉体を含めて重量を測定し、その減少量を記録して得た。
図7より、微少量の供給が安定して行われていることが分かる。
条件は、図3aにおけるスリット幅d:0.2mm、スリット長さL:10mm、ノッカーの駆動周期:0.2sec(5回/1sec)、ガス導入口には、Arガスを1L/min(大気圧)供給した。供給対象は真空チャンバー内にあり、懸るチャンバーは真空ポンプにより排気されている。供給速度は、定時的にホッパー1を取り外し、ホッパーごと残留粉体を含めて重量を測定し、その減少量を記録して得た。
図7より、微少量の供給が安定して行われていることが分かる。
第二、第三実施例においては、一次ホッパーの排出口に内径2mm、長さ5mmのステンレス製パイプを用いて実験を行った。駆動周期はどちらも0.05secであった。
ヴォイスコイルモーター20の駆動電流や、カム23の形状を調整することにより、図7と、ほぼ同様の供給速度と安定性を確認できた。
ヴォイスコイルモーター20の駆動電流や、カム23の形状を調整することにより、図7と、ほぼ同様の供給速度と安定性を確認できた。
第四実施例においては、排出口の形成された最外周の直径60mmの回転ホッパーを用い、排出口は2か所、排出口形状は0.5mm*5mmL、1パルス当たり7.5度変位するパルスモーターを用いた。
平均粒径40μmのSi粉末を使い、パルスモータードライバーに10Hzでパルスを入力して、供給速度を測定したところ、0.2g/分の供給速度を得た。長時間の運転でも、噛みこみや、詰まりはなく安定に動作した。
平均粒径40μmのSi粉末を使い、パルスモータードライバーに10Hzでパルスを入力して、供給速度を測定したところ、0.2g/分の供給速度を得た。長時間の運転でも、噛みこみや、詰まりはなく安定に動作した。
本発明によれば、真空中に安定して、微少量の粉体を供給できる。
コンパクトで、密閉化が容易であり、粉体中で駆動しなければならない回転部品や、摺動真空シールもないため、金属粉末や酸化物粉末など硬くて噛み込やすい粉末に対しても安定して動作できる。
このような特性は、例えば、真空中、あるいは不活性ガスプラズマ中で金属粉末や、金属酸化物粉末を蒸発させて、ナノメートルサイズの微粒子を作る、金属微粒子製造装置に好適である。
コンパクトで、密閉化が容易であり、粉体中で駆動しなければならない回転部品や、摺動真空シールもないため、金属粉末や酸化物粉末など硬くて噛み込やすい粉末に対しても安定して動作できる。
このような特性は、例えば、真空中、あるいは不活性ガスプラズマ中で金属粉末や、金属酸化物粉末を蒸発させて、ナノメートルサイズの微粒子を作る、金属微粒子製造装置に好適である。
1・・一次ホッパー、2・・粉体、3・・シャッター、4・・スリット、5・・ノッカー、6・・軸受け、7・・バネ、8・・ソレノイドコイル、9・・鉄心、10・・金属シース、11・・フィードパイプ、12・・ガス導入口、13・・容器、14・・粉体充填口の蓋、15・・ダンパー、16・・二次ホッパー、」17・・等圧化配管、18・・一次ホッパーの粉体レベル、19・・板バネ、20・・ヴォイスコイルモーター、21・・ダンパー、22・・モーター、23・・カム、24・・カムフォロアー、25・・バネ、d・・スリット幅、L・・スリット長さ、26・・回転式ホッパー、27・・軸受けユニット、28・・回転軸、29・・カップリング、30・・パルスモーター、31・・図6bを与える切断面、32・・加速度センサー
Claims (8)
- 粉体の排出口が、その略下端部に、略水平方向に開口しているホッパーと、前記ホッパーに、排出口の開口方向と略平行な方向に加速度を付与する機構を備え、前記ホッパーに加速度を与えた時に、排出口から粉体を排出させることを特徴とする粉体供給装置。
- 前記ホッパーと、これに加速度を付与するノッカーと、ノッカーを駆動する鉄心と、を密閉容器中に有し、密閉容器外に鉄心を駆動するコイルを有する、請求項1に記載の粉体供給装置。
- 粉体の排出口の開口方向と略平行な方向に可動な、前記ホッパーと、ホッパーと結合した、ヴォイスコイルモーターを有する、請求項1に記載の粉体供給装置。
- 粉体の排出口の開口方向と略平行な方向に可動な、前記ホッパーと、ホッパーの可動範囲で、その位置を規定する回転カムと、カムを回転させるモーターを有する、請求項1に記載の粉体供給装置。
- 回転可能であり、周辺部に、それ自体の回転運動軌跡の略接線方向に開口を有する粉体の排出口を形成したホッパーと、前記ホッパーに角加速度を付与する駆動機構を有することを特徴とする粉体供給装置
- ホッパーに角加速度を付与する駆動機構がパルスモーターであることを特徴とする請求項5記載の粉体供給装置。
- 加速度、あるいは角加速度を付与する前記ホッパー(一次ホッパーと呼ぶ)と、直接加速度を付与されない、より大型のホッパー(二次ホッパーと呼ぶ)を有し、前記二次ホッパーの下端にある粉体排出口が一次ホッパーの内部に挿入されてあることを特徴とする請求項1及び5に記載の粉体供給装置。
- 前記ホッパー(一次ホッパー)に加速度センサーが固定されている請求項1及び5に記載の粉体供給装置
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013039558A (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-28 | Tna Australia Pty Ltd | 振動器 |
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CN113697528A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-11-26 | 江西江南新材料科技股份有限公司 | 磷铜加工自动配磷装置 |
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