JP2011151019A - 位相コントラスト結像及び位相コントラスト結像のためのtemの調整 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本方法は、結像電子ビーム自体を使用して、事実上の位相板として使用するための無孔薄膜を調整し、場合によっては、孔をその場以外で製作する必要をなくし、ZPPハードウェアの精度に対する要件を低減させる。ZPPハードウェアの電子光学的特性は、電子ビームを使用して孔を開けること、及び/又は1次ビームによって引き起こされる帯電によって電気光学的特性を修正することという2つの方法で主に修正される。さらに、ZPPハードウェアから下流のレンズによってサンプルに集束させる方法が開示される。対物レンズの後側焦点面を選択領域の開口面及び対物レンズの後側焦点面と共役の任意の平面へ移動させる方法も提供される。
【選択図】図7
Description
[0023]使用中の無孔薄膜が帯電を受けやすく、帯電は位相コントラスト結像に適した位相コントラスト伝達関数(CTF)をもたらすことができることを実証するいくつかの実験が実行された。入射ビームに対して散乱されたビームが受ける位相シフトの差のみが、位相コントラストを生じさせるため、孔のない均一の膜が位相コントラストを生じさせることは予期されなかった。簡単な無孔薄膜で位相コントラスト結像が提供されるということは、驚くべき、且つ直感に反した結果である。本明細書では、無孔薄膜とは、たとえばTEM内で薄膜の位置合せ又は保持を行う目的で何らかの周辺縁部に1つ又は複数の孔が存在しうる場合でも、電子ビームに対して孔を提示しない膜である。
[0032]さらに、スルーホールをもつ従来技術のZPPは帯電を受けやすいことを示す。出願人らは、単層の炭素及び3層の炭素−クロム−炭素を積層した薄膜内に孔が製作されたZPPを試験した。
[0052]TEM内でその場で位相コントラスト結像のために無孔薄膜を調整できる別の方法は、サンプルがビーム内に配置されていない間に電子ビームを薄膜上に集束させ、薄膜内に孔を開けるように高いビーム電流で動作して、標準的なZPPを事実上形成することである。強い電子ビームは、TEMの中心を自然に画定し、したがって、作製される孔の位置は、動作中に電子ビームと位置合せされる。さらに、適切な条件下では、孔の寸法は、入射ビームの角度幅にうまく整合させることができ、また孔の位置は、逆(q)空間内の入射ビームの位置で決まる。実際には、適切な孔の寸法(切り口空間周波数q)からビームの収束角及び位置決めなどの光学条件の忠実度の整合は、薄膜ZPPを作製する集束イオンビーム技法の製作上の制限を超えることができる。これは、TEM内で薄膜を位置合せ及び位置決めするという点で、重要な利点である。孔をその場で製作することができると、ZPPのGaイオン汚染を引き起こすことが知られている製作ステップである集束イオンビームによる孔開けの必要がなくなる。入射ビームに対してZPPデバイスを位置決めするのに、高精度のハードウェアは必要とされない。
[0058]上述のように、本出願人は、対物レンズの後に、対物ミニレンズによって引き起こされるクロスオーバーによってもたらされる後側焦点面に対する共役面にZPP又は無孔薄膜を配置する利点を見出した。従来技術によれば、ZPPは通常、対物レンズの後側焦点面(BFP)内に配置され、又は顕微鏡カラム内に特殊な転写レンズを組み込んで、ZPPを収容する。図7は、SAAでZPP又は無孔薄膜を有するTEMに対する光線経路図を示す。図7の(a)では、対物ミニレンズ(OM)は、位相コントラスト結像のためにオンになっており、図7の(b)では、対物ミニレンズは、標準的な位相コントラスト又は回折コントラスト結像モードを実現するためにオフになっている。
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Claims (11)
- 電子ビーム放射器及び集光器レンズと、サンプルホルダと、対物レンズアセンブリと、少なくとも1つの中間レンズと、物体面とを含む透過型電子顕微鏡(TEM)を用いる位相コントラスト結像の方法であって、
前記対物レンズアセンブリの後側焦点面に、又は前記後側焦点面に対する共役の平面に無孔薄膜を配置するステップと、
電子ビームを使用して位相コントラスト結像のために前記無孔薄膜を調整するステップであり、前記電子ビームは、その少なくとも1つの成分が該電子ビームの中心にて前記無孔薄膜上の小さい領域に集束される、ステップと、
その後、散乱された波が前記無孔薄膜全体に分散する一方、前記電子ビームの散乱されなかった波を前記無孔薄膜上の小さい領域上に集束させて、前記散乱された波と前記散乱されなかった波との間に位相オフセットを与えることによって、前記サンプルホルダ内のサンプルを結像するステップと
を含む、方法。 - 前記無孔薄膜を調整するステップが、前記電子ビームを使用して、帯電によって前記TEMによる位相伝達の効率を増大させるように、前記無孔薄膜の電気光学的特性を修正するサブステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記無孔薄膜を調整するステップが、前記電子ビームを使用して、該無孔薄膜に孔を開けて、その場でゼルニケ位相板を作製するサブステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記電子ビーム放射器及び前記集光器が、100eV〜1MeVの入射電子エネルギーを放出し、前記無孔薄膜が、π/2+nπの位相遅延を加えるように選択された厚さを有し、上式でnが整数である、請求項1に記載の方法。
- 前記無孔薄膜を調整するステップが、前記電子ビームを使用して、帯電によって前記TEMによる位相伝達の効率を増大させるように、前記ゼルニケ位相板の電気光学的特性を修正するサブステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記透過型電子顕微鏡が、前記電子ビームが最大約1mradの収束角を有するケーラー照明である透過型電子顕微鏡である、請求項1に記載の方法。
- 位相コントラスト結像のために透過型電子顕微鏡を調整する方法であって、
後側焦点面(BFP)又は前記BFPに対して共役の平面に無孔薄膜を配置するステップと、
次いで、前記無孔薄膜上の帯電率と放散率が均衡していない初期期間にわたって、位相コントラスト結像のための前記透過型電子顕微鏡の電子ビームを集束させるステップと
を含む、方法。 - 電子ビーム源と、サンプルホルダと、対物レンズと、投射システムとを備える透過型電子顕微鏡であって、
後側焦点面に、又は前記後側焦点面の共役面に非晶質又は結晶質の無孔薄膜が配置され、散乱されなかったビームが前記後側焦点面上に集束するように前記対物レンズが動作される、透過型電子顕微鏡。 - 透過型電子顕微鏡の結像のための方法であって、
対物レンズの後側焦点面に、又は前記後側焦点面に対する共役の平面に、前記透過型電子顕微鏡内に位相板を挿入するステップと、
前記位相板が孔又は開口を有する場合、前記孔を前記透過型電子顕微鏡の電子ビームの中心と位置合せするステップと、
前記透過型電子顕微鏡の対物レンズに電界を印加して、前記透過型電子顕微鏡内のサンプルからの散乱された波が前記位相板の中心全体を通って進み、前記サンプルからの散乱されなかった波が前記位相板の残り部分を通過するように、前記電子ビームを集束させるステップと、
画像内のコントラストを改善するように、前記透過型電子顕微鏡の集光器設定を調整するステップと
を含む、方法。 - 前記位相板が、静電レンズ型ZPP、薄膜型ZPP、その場で開けた孔をもつ薄膜型ZPP又は無孔薄膜である、請求項9に記載の方法。
- ZPPから下流のレンズを使用して前記サンプルに集束させるステップをさらに含む、請求項9に記載の方法。
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