JP2011148618A

JP2011148618A - 基板検査装置のための基板幅寄せ搬送機構

Info

Publication number: JP2011148618A
Application number: JP2010012760A
Authority: JP
Inventors: Manabu Yamanouchi; 学山之内
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2010-01-25
Filing date: 2010-01-25
Publication date: 2011-08-04
Anticipated expiration: 2030-01-25
Also published as: JP5558124B2

Abstract

【課題】コストを削減でき、被検査基板を幅寄せしながら安定的に、かつ、汚すことなく搬送することができる基板検査装置のための基板幅寄せ搬送機構の提供。
【解決手段】無端搬送ベルト１３と、その往路側搬送面１４を間に挟んでその一方の側に配置される基準側基板ガイド２３と、他方の側に配置される可動側基板ガイド３３とを備え、基準側基板ガイド２３には、被検査基板５１の導入端２５から下流側へと向かう内側面２４に急な前上がり勾配θ_１のもとで傾斜させた一側ガイド斜面部２６を設け、可動側基板ガイド３３には、被検査基板５１の導入端３５から下流側へと向かう内側面３４に緩い前上がり勾配θ_２のもとで傾斜させた他側ガイド斜面部３６を設け、検査カメラＣのもとを通過させる際に、一側ガイド斜面部２６と他側ガイド斜面部３６とを介して被検査基板５１の向きと位置とを安定させるようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、被検査基板のキズ、汚れ、異物等の欠陥の有無を検査カメラを用いて外観検査する際に必要な基板検査装置のための基板幅寄せ搬送機構に関する技術である。

プリント基板からなる被検査基板の外観上の適否を検査する外観検査手法には、人間が目視確認する検査手法のほか、例えば特許文献１に開示されている「プリント基板の穴充填部欠陥検査システム」などのような被検査基板外観検査用撮像ユニットを用いる検査手法もある。

特開２００８−１２４３０６号公報

そして、特許文献１に開示されている被検査基板外観検査用撮像ユニットによる検査手法は、スルーホールに充填材料が充填されたプリント基板を被検査基板とし、該被検査基板の穴充填部に形成される凹部の深さを高精度に検出して、欠陥の有無を高精度に判定できるようにしようとするものである。

この場合、搬送手段を介して検査位置を通過するように搬送される被検査基板は、検査位置にてライン状照射体からのライン状の照射光を受け、その反射光を検査カメラによりライン状に撮像した上で欠陥の有無が判定されることになる。

また、この場合、被検査基板外観検査用撮像ユニットが備える検査カメラに対しては、撮像される画像に位置ずれが生じないように被検査基板を幅寄せして正確に位置決めして送り込む必要がある。

特許文献２には、特許文献１の被検査基板外観検査用撮像ユニットなどのために必要な基板搬送装置が開示されている。

そして、該基板搬送装置は、基板を幅寄せして正確に位置決めするための幅寄せ機構を備えている。この場合における幅寄せ機構は、基板の幅方向端部に接触する基板押し治具と、該基板押し治具を幅方向中央に向けて押すバネとを備えて構成されている。

特開２００９−８５７１９号公報

一方、特許文献３には、大形の液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネルに用いられるガラス基板に適用される基板搬送装置ではあるが、搬送方向とは直交する方向での一方の側から基準側である他方の側へと押し込んで幅寄せして正確に位置決めするための幅寄せローラを備える幅寄せ機構が開示されている。

特開２００２−１７６０９１号公報

しかし、特許文献２に開示されている幅寄せ機構による場合には、搬送手段とは別途に用意されて１枚以上の被検査基板を載置して昇降するフラップ部に基板押し治具とバネとからなる幅寄せ機構を配設する必要があり、それだけ機構自体が複雑化してコスト上昇を招いてしまう不都合があった。

また、特許文献３に示されているような幅寄せローラを用いる場合は、搬送されてくる被検査基板の向きによっては、幅寄せローラにより被検査基板が搬送路から飛び出してしまったり、該幅寄せローラで被検査基板を基準側の基板ガイドに押し付けることから、該基板ガイドの消耗が早くなるなどの不都合があるほか、幅寄せ機構自体が高価であるという問題もあった。

また、上記幅寄せローラを用いる場合には、搬送される被検査基板の厚さや面サイズに合わせるために、幅寄せローラの向きや高さの調整が必要になるという作業的な煩雑さや、幅寄せローラに接触した際に被検査基板が汚されてしまうなどという不具合もあった。

本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、被検査基板の幅寄せに必要な機構を簡素化することで、コスト削減を図りつつ、被検査基板を幅寄せしながら安定的に、かつ、汚すことなく搬送することができるほか、耐久性にも富む基板検査装置のための基板幅寄せ搬送機構を提供することを目的とする。

本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、エンドレスで回転制御されて被検査基板を搬送するされる無端搬送ベルトと、該無端搬送ベルトの移動方向での往路側搬送面を間に挟んでその一方の側に固定配置される基準側基板ガイドと、他方の側に前記基準側基板ガイドとの間で幅調整を可能に配置される可動側基板ガイドとを少なくとも備え、前記基準側基板ガイドには、前記被検査基板の導入端から下流側へと向かう内側面に斜面長さの短い急な前上がり勾配のもとで傾斜させた一側ガイド斜面部を設け、前記可動側基板ガイドには、前記被検査基板の導入端から下流側へと向かう内側面に斜面長さの長い緩い前上がり勾配のもとで傾斜させた他側ガイド斜面部を設け、前記往路面上の所定位置に設置されている検査カメラのもとを通過させる際に、前記一側ガイド斜面部と前記他側ガイド斜面部とを介して前記被検査基板の向きと位置とを安定させるようにしたことを最も主要な特徴とする。

この場合、前記他側ガイド斜面部は、予め用意される各種サイズの前記被検査基板のうち、搬送方向での長さが最も長いものの前端が前記検査カメラの位置に到達した際に、その後端が前記他側ガイド斜面部の終端側に未達となる斜面長さを付与して形成するのが好ましい。

請求項１に係る発明によれば、被検査基板のサイズの如何に拘わらず、単に一側ガイド斜面部と他側ガイド斜面部とを介することで、その向きと位置とを安定させた状態のもとで検査カメラを通過させることができる。また、被検査基板の幅寄せに必要な機構構成も簡素化されているので、コスト削減を図りつつ、被検査基板を安定的に、かつ、汚すことなく幅寄せすることができるほか、耐久性にも富んだものとすることができる。

請求項２に係る発明によれば、搬送方向での長さが例えば３３０ｍｍとなるような最も長い被検査基板であっても、その向きと位置とを安定させた状態のもとで検査カメラを通過させることができる。

本発明の概略構成例を示す平面図。

図１は、本発明の概略構成例を示す平面図であり、基板検査装置１１の一部を構成する基板幅寄せ搬送機構１２は、エンドレスで回転制御されて被検査基板５１を搬送する無端搬送ベルト１３と、該無端搬送ベルト１３の移動方向での往路側搬送面１４を間に挟んでその一方の側に固定配置される基準側基板ガイド２３と、他方の側に基準側基板ガイド２３との間で幅調整を可能に配置される可動側基板ガイド３３とを少なくとも備えて構成されている。

このうち、無端搬送ベルト１３は、基準側基板ガイド２３の内側に配置される基準側ベルト部１３ａと、可動側基板ガイド３３の内側に配置されて該可動側基板ガイド３３の幅方向への動きに従動する可動側ベルト部１３ｂとで構成されている。これら基準側ベルト部１３ａと可動側ベルト部１３ｂとからなる無端搬送ベルト１３は、例えば布ベルトなどのように摩擦係数の高い素材を用いて形成されているものを好適に用いることができ、図示しない駆動側ベルト車と従動側ベルト車との間に架け渡されてエンドレスで回転させることができるようにして配設されている。

また、基板検査装置１１の装置本体側に固定配置される基準側基板ガイド２３は、被検査基板５１の導入端２５から下流側へと向かう内側面２４に斜面長さの短い急な前上がり勾配θ_１のもとで傾斜させて形成された一側ガイド斜面部２６を備えている。

この場合、基準側基板ガイド２３は、例えば前上がり勾配θ_１が５．９度前後の一側ガイド斜面部２６が導入端２５を始端２６ａとし、例えば送り方向での斜面長さが１００ｍｍ程度の下流側位置をその終端２６ｂとし、該終端２６ｂが内側面２４における一側ガイド垂直面２７側へと続くようにして形成されている。

一方、基板検査装置１１の装置本体側に位置移動可能に配置される可動側基板ガイド３３は、被検査基板５１の導入端３５から下流側へと向かう内側面３４に斜面長さの長い緩やかな前上がり勾配θ_２のもとで傾斜させて形成された他側ガイド斜面部３６を備えている。

この場合、可動側基板ガイド３３は、例えば前上がり勾配θ_２が１．２度前後の他側ガイド斜面部３６が導入端３５を始端３６ａとし、被検査基板５１の搬送方向での長さが最も長い例えば３３０ｍｍとすれば、送り方向での斜面長さが５００ｍｍ程度の下流側位置をその終端３６ｂとし、該終端３６ｂが内側面３４における他側ガイド垂直面３７側へと続くようにして形成されている。

また、他側ガイド斜面部３６は、予め用意される各種サイズの被検査基板５１のうち、搬送方向での長さが最も長い被検査基板５１の前端５１ａが図１に示すように検査カメラＣの位置に到達した際に、その後端５１ｂが他側ガイド斜面部３６の終端３６ｂ側にやや未達の状態となる程度の斜面長さを付与して形成されている。

さらに、可動側基板ガイド３３の位置移動は、基準側基板ガイド２３との間に確保される横幅をその時々の被検査基板５１の横幅に対応させるために行うものであり、例えばボールネジを回転させることで基準側基板ガイド２３に対し平行に進退移動させるなどして行われる

つまり、被検査基板５１は、往路側搬送面１４上の所定位置に設置されている検査カメラＣのもとを通過させる際に、一側ガイド斜面部２６と他側ガイド斜面部３６とを介して幅寄せすることができるので、その向きと位置とを常に安定させて送り込むことができることになる。

次に、上記構成からなる本発明の作用効果を説明すれば、まず、可動側基板ガイド３３を位置移動させて基準側基板ガイド２３との間の間隔を今回検査分の被検査基板５１の横幅に対応させておく。

基準側基板ガイド２３に対する可動側基板ガイド３３側の間隔調整を終えた後は、導入端２５，３５の内側に被検査基板５１をその先端５１ａ側から送り込み、無端搬送ベルト１３の上流側に位置する往路側搬送面１４に載置する。

往路側搬送面１４に載置された被検査基板５１は、無端搬送ベルト１３の動きに応じて下流方向への移動を開始する。

この場合における被検査基板５１の移動には、基準側基板ガイド２３の一側ガイド斜面部２６にその前端５１ａの一側角部５２側を接触させつつ移動する第１のパターンと、基準側基板ガイド２３の一側ガイド斜面部２６にその前端５１ａの一側角部５２側を接触させることなく移動していく第２のパターンとの２パターンがある。

このうち第１のパターンの場合には、基準側基板ガイド２３における一側ガイド斜面部２６の始端２６ａにて被検査基板５１の一側角部５２側が接触した状態で斜面長さの短い急な前上がり勾配θ_１の一側ガイド斜面部２６に案内される結果、被検査基板５１が可動側基板ガイド３３側へと寄せられながら搬送される。

そして、可動側基板ガイド３３側へと寄せられた被検査基板５１は、やがてその前端５１ａの他側角部５３が斜面長さの長い緩やかな前上がり勾配θ_２からなる他側ガイド斜面部３６と接触するに至り、徐々に基準側基板ガイド２３側に寄せられながら搬送される。

このため、被検査基板５１は、可動側基板ガイド３３の他側ガイド斜面部３６の終端３６ｂをその後端５１ｂが通過する際に基準側基板ガイド２３の一側垂直面２７に沿うようにして搬送され、その後は、平行に配置されている基準側基板ガイド２３の一側垂直面２７と可動側基板ガイド３３の他側垂直面３７とに案内されてその向きと位置とを安定させた状態のもとで搬送され、検査カメラＣを通過させることができることになる、

一方、第２のパターンの場合には、搬入された被検査基板５１が可動側基板ガイド３３における他側ガイド斜面部３６にその前端５１ａにおける他側角部５３が始めて接触する。

そして、被検査基板５１は、斜面長さの長い緩やかな前上がり勾配θ_２からなる他側ガイド斜面部３６に他側角部５３が案内される結果、徐々に基準側基板ガイド２３側に寄せられながら搬送される。

このため、被検査基板５１は、可動側基板ガイド３３の他側ガイド斜面部３６の終端３６ｂをその後端５１ｂが通過する際に基準側基板ガイド２３の一側垂直面２７に沿うようにして搬送され、その後は、平行に配置されている基準側基板ガイド２３の一側垂直面２７と可動側基板ガイド３３の他側垂直面３７とに案内されてその向きと位置とを安定させた状態のもとで搬送され、検査カメラＣを通過させることができることになる。

しかも、搬送方向での長さが最も長い被検査基板５１の前端５１ａが検査カメラＣの位置に到達した際に、その後端５１ｂが他側ガイド斜面部３６の終端３６ｂ側に未達となる斜面長さを付与して他側ガイド斜面部３６が形成されている場合には、上記した第１のパターンと第２のパターンとのいずれにおいても、搬送方向での長さが例えば３３０ｍｍとなるような最も長い被検査基板５１を、その向きと位置とを安定させた状態のもとで検査カメラＣを通過させることができる。

１１基板検査装置
１２基板幅寄せ搬送機構
１３無端搬送ベルト
１３ａ基準側ベルト部
１３ｂ可動側ベルト部
１４往路側搬送面
２３基準側基板ガイド
２４内側面
２５導入端
２６一側ガイド斜面部
２６ａ始端
２６ｂ終端
２７一側垂直面
３３可動側基板ガイド
３４内側面
３５導入端
３６他側ガイド斜面部
３６ａ始端
３６ｂ終端
３７他側垂直面
５１被検査基板
５１ａ前端
５１ｂ後端
Ｃ検査カメラ

Claims

エンドレスで回転制御されて被検査基板を搬送する無端搬送ベルトと、該無端搬送ベルトの移動方向での往路側搬送面を間に挟んでその一方の側に固定配置される基準側基板ガイドと、他方の側に前記基準側基板ガイドとの間で幅調整を可能に配置される可動側基板ガイドとを少なくとも備え、
前記基準側基板ガイドには、前記被検査基板の導入端から下流側へと向かう内側面に斜面長さの短い急な前上がり勾配のもとで傾斜させた一側ガイド斜面部を設け、
前記可動側基板ガイドには、前記被検査基板の導入端から下流側へと向かう内側面に斜面長さの長い緩い前上がり勾配のもとで傾斜させた他側ガイド斜面部を設け、
前記往路搬送面上の所定位置に設置されている検査カメラのもとを通過させる際に、前記一側ガイド斜面部と前記他側ガイド斜面部とを介して前記被検査基板の向きと位置とを安定させるようにしたことを特徴とする基板検査装置のための基板幅寄せ搬送機構。
前記他側ガイド斜面部は、予め用意される各種サイズの前記被検査基板のうち、搬送方向での長さが最も長いものの前端が前記検査カメラの位置に到達した際に、その後端が前記他側ガイド斜面部の終端側に未達となる斜面長さを付与して形成した請求項１に記載の基板検査装置のための基板幅寄せ搬送機構。