JP2011143549A - スクリーン印刷機及びスクリーン印刷機の異物検出方法 - Google Patents
スクリーン印刷機及びスクリーン印刷機の異物検出方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板保持部24よりも上方に位置するプレート支持部31の下面にばね部材32を介してプレート部材33を水平に取り付け、プレート部材33には上方に突出した突起状部材34を設ける。基板保持部24により保持した基板2を昇降部22によってプレート部材33に下方から押し付け、基板2に反りがある場合にその反りが矯正される高さまでばね部材32を押し縮めながら基板保持部24を押し上げた後、突起状部材34の一部(上端)がプレート支持部31の上方の所定位置(光センサ37の検査光Lの高さの位置)に達したことの検出を行い、その検出時における基板保持部24の高さに基づいて、基板2の上面に異物Pがあるか否かの判定を行う。
【選択図】図9
Description
2 基板
3 電極
13 マスクプレート
14 スキージ
22 昇降部
24 基板保持部
31 プレート支持部
32 ばね部材
33 プレート部材
34 突起状部材
37 光センサ(突起状部材検出手段)
40 制御装置(突起状部材検出手段)
40a 判定部(判定手段)
ph パターン孔
Pst ペースト
P 異物
Claims (2)
- 基板を保持する基板保持部と、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクプレートと、基板を保持した基板保持部をマスクプレートに対して昇降させて基板をマスクプレートの下方から接触させる昇降部と、基板と接触されたマスクプレート上を摺動し、マスクプレート上に供給されたペーストをマスクプレート上で掻き寄せることにより、マスクプレートのパターン孔を介してペーストを基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機であって、
基板保持部よりも上方に位置するプレート支持部の下面にばね部材を介して水平に取り付けられ、昇降部によって基板保持部に保持された基板が下方から押し付けられるプレート部材と、
プレート部材から上方に突出して設けられた突起状部材と、
昇降部により基板保持部に保持された基板がプレート部材に下方から押し付けられ、基板に反りがある場合にその反りが矯正される高さまでばね部材を押し縮めながら基板保持部が押し上げられた後、突起状部材の一部がプレート支持部の上方の所定位置に達したことの検出を行う突起状部材検出手段と、
突起状部材検出手段により突起状部材の一部がプレート支持部の上方の所定位置に達したことが検出されたときの基板保持部の高さに基づいて、基板の上面に異物があるか否かの判定を行う判定手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。 - 基板を保持する基板保持部と、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクプレートと、基板を保持した基板保持部をマスクプレートに対して昇降させて基板をマスクプレートの下方から接触させる昇降部と、基板と接触されたマスクプレート上を摺動し、マスクプレート上に供給されたペーストをマスクプレート上で掻き寄せることにより、マスクプレートのパターン孔を介してペーストを基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機において、基板をマスクプレートに接触させる前に基板の上面の異物検出を行うスクリーン印刷機の異物検出方法であって、
基板保持部により保持した基板を、基板保持部よりも上方に位置するプレート支持部の下面にばね部材を介して水平に取り付けられたプレート部材に下方から押し付け、基板に反りがある場合にその反りが矯正される高さまでばね部材を押し縮めながら基板保持部を押し上げて基板の反りを矯正する工程と、
基板保持部を押し上げた後、プレート部材から上方に突出して設けられた突起状部材の一部がプレート支持部の上方の所定位置に達したことの検出を行う工程と、
突起状部材の一部がプレート支持部の上方の所定位置に達したことが検出されたときの基板保持部の高さに基づいて、基板の上面に異物があるか否かの判定を行う工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機の異物検出方法。
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