JP2011140241A

JP2011140241A - アクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッド

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Publication number: JP2011140241A
Application number: JP2011094797A
Authority: JP
Inventors: Munehide Kanetani; 宗秀金谷
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2011-04-21
Filing date: 2011-04-21
Publication date: 2011-07-21
Anticipated expiration: 2020-06-05
Also published as: JP4788845B2

Abstract

【課題】端子列の数の増加を極力抑えながらノズル開口列の数を増加させることができるインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル開口に連通する複数の圧力室６が少なくとも３列に形成された圧力室形成基板７と、複数の圧力室６の上面開口を封止するように圧力室形成基板７上に形成された弾性膜と、複数の圧力室６に対応して弾性膜上に形成された複数のアクチュエータ６０と、複数のアクチュエータ６０に接続される複数の端子２０、２１から成る複数の端子列２２と、を備える。複数のアクチュエータ６０は、弾性膜上に形成された下部電極膜と、下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有する。複数の端子列２２のうちの少なくとも１列には、複数列のアクチュエータ６０のうちの少なくとも２列が接続されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、アクチュエータユニット及び同ユニットを備えたインクジェット式記録ヘッドに係わり、特に、圧力室の一部を構成する弾性膜を圧電体膜の変位により振動させ、これにより圧力室内のインクの圧力を変化させてノズル開口からインク滴を吐出させるアクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッドに関する。

一般に、圧力発生手段によって圧力室内のインクを加圧してノズルプレートのノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドとして、軸方向に伸縮する縦振動モードの圧電振動子を圧力発生手段として利用するものと、たわみ振動モードの圧電振動子を圧力発生手段として利用するものとがある。

前者は、圧電振動子の端面を弾性板に当接させて圧電振動子の伸縮動作により圧力室の容積を変化させるものであり、高密度印刷に適した記録ヘッドの製作が可能である反面、圧電振動子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電振動子を圧力室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。

これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で弾性膜に圧電振動子（圧電体膜）を作りつけることができる。

図１３及び図１４は、たわみ振動モードの圧電振動子（圧電体膜）を備えた従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図及び透視図である。このアクチュエータユニットは、互いに対向する一対の縁部に、複数の端子１００、１０１から成る一対の端子列１０２を備えている。端子１００は互いに分離されたセグメント端子であり、端子１０１はコモン端子である。また、このアクチュエータユニットは、後述する連通孔形成基板１０５（図１５（ａ））を備えており、この連通孔形成基板１０５は、複数のノズル開口に連通するノズル連通孔１０３を列状に配置して成るノズル連通孔列１０４を２列備えている。

図１５及び図１６は、図１３及び図１４に示したアクチュエータユニットの各層を示した図である。図１５（ａ）は連通孔形成基板１０５を示し、図１５（ｂ）は圧力室形成基板１０６を示している。連通孔形成基板１０５には複数のノズル開口に連通する複数のノズル連通孔１０３が２列形成されており、また、リザーバに連通する複数のリザーバ連通孔１０８が２列形成されている。

圧力室形成基板１０６には、ノズル連通孔１０３及びリザーバ連通孔１０８に連通する複数の圧力室１０９がノズル連通孔１０３及びリザーバ連通孔１０８の各列に対応して２列形成されている。図１５（ｃ）に示したように圧力室形成基板１０６の上面には弾性膜１１０が形成されており、この弾性膜１１０によって複数の圧力室１０９の上面開口が封止されている。弾性膜１１０の上面には、図１５（ｄ）に示したように圧力室形成基板１０６の対向する両縁部に端子形成用の台座部１１１が形成されている。

さらに、図１６（ａ）に示したように弾性膜１１０の上面及び台座部１１１の上面には、複数の圧力室１０９の上方を通るようにして所定のパターンにて一対の下部電極膜１１２が、白金等の導電材料を用いた印刷工程によって形成されている。なお、図１６（ａ）において符号１１３は次述する複数の圧電体膜１１４の一部を支持する台座部である。

図１６（ｂ）に示したように、下部電極膜１１２の上面には、複数の圧力室１０９に対応して複数の圧電体膜１１４が印刷工程にて形成されている。複数の圧電体膜１１４の上面には、図１６（ｃ）に示したように複数の上部電極膜１１５が形成されている。

図１６（ｄ）に示したように、各上部電極膜１１５に接続するようにして各セグメント端子１００が台座部１１１上に形成されている。また、台座部１１１上には下部電極膜１１２に接続されたコモン端子１０１も形成されており、圧力室１０９の各列の両端に位置するコモン端子１０１同士の間は端子延長部１１６によって連結されている。なお、コモン端子１０１に対応する位置にある上部電極膜１１５は端子延長部１１６で覆われており、この位置にある圧力室１０９は使用されない。

上述したように従来の記録ヘッドにおいては、１つのアクチュエータユニットあたりに複数の圧力室１０９を２列配置して、２列のノズル開口列からインク滴を吐出するように構成されている。

ところが、上述した従来の記録ヘッドでは３列以上のノズル開口列を形成することが困難であった。つまり、図１３乃至図１６に示したアクチュエータユニットの構成を単純に２つ組み合わせてノズル開口列を４列にすると、それと同時に端子列１０２も４列になってしまうために、記録ヘッドの実装工程の際の端子列１０２への配線が困難となってしまう。

本発明は、上述した事情を考慮して成されたものであって、その目的とするところは、端子列の数の増加を極力抑えながらノズル開口列の数を増加させることができるインクジェット式記録ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明によるインクジェット式記録ヘッドは、複数のノズル開口に連通する複数の圧力室が少なくとも３列に形成された圧力室形成基板と、前記複数の圧力室の上面開口を封止するようにして前記圧力室形成基板上に形成された弾性膜と、前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成された複数のアクチュエータと、前記複数のアクチュエータに接続される複数の端子から成る複数の端子列と、を備え、前記複数のアクチュエータは、前記複数の圧力室の上方を通るようにして前記弾性膜上に形成された下部電極膜と、前記複数の圧力室に対応して前記下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、前記複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有し、前記複数の端子列のうちの少なくとも１列には、複数列の前記アクチュエータのうちの少なくとも２列が接続されていることを特徴とする。

また、好ましくは、前記複数の端子列は前記圧力室形成基板の互いに対向する一対の縁部に形成されている。

また、好ましくは、少なくとも１列の前記端子列に接続された複数列の前記アクチュエータのうち、接続先の前記端子列から遠い側の列に属する前記アクチュエータは、接続先の前記端子列と前記上部電極とを接続するための連絡導線をさらに有し、前記連絡導線は、前記下部電極膜と同一平面上に形成されると共に、接続先の前記端子列に近い側の列に属する前記アクチュエータ同士の間を通って延設されている。

また、好ましくは、前記連絡導線は、前記下部電極膜を形成する際に同時に形成されたものである。

また、好ましくは、前記連絡導線の線幅は、前記圧力室間の隔壁の幅よりも狭い。

また、好ましくは、少なくとも１列の前記端子列に接続された複数列の前記アクチュエータは、接続先の前記端子列に近い側の列と遠い側の列に属する前記アクチュエータのそれぞれが互い違いになるように配置されている。

また、好ましくは、少なくとも１列の前記端子列に接続された複数列の前記アクチュエータのうち、接続先の前記端子列に近い側の列に属する前記アクチュエータから延びる前記下部電極膜の一部は、前記少なくとも１列の端子列から遠い側の列に属する前記アクチュエータ同士の間を通って延設されている。

また、好ましくは、前記下部電極膜の一部の線幅は、前記圧力室間の隔壁の幅よりも狭い。

また、好ましくは、前記複数の端子列のうちの少なくとも１列は、前記アクチュエータの列同士の間に配置されると共にその両側に位置する一対の前記アクチュエータの列の両方が接続されている。

また、好ましくは、前記複数の端子列のすべてが、前記アクチュエータの列同士の間に配置されると共にその両側に位置する一対の前記アクチュエータの列の両方に接続されている。

また、好ましくは、前記複数の端子列は、前記圧力室形成基板の互いに対向する一対の縁部に形成された一対の端子列と、前記一対の端子列の間に配置された中央の端子列とから成り、前記中央の端子列の両側に位置する一対の前記アクチュエータの列の両方が前記中央の端子列に接続されている。

また、好ましくは、共通の前記端子列に接続された一対の前記アクチュエータの列に属する複数の前記アクチュエータは、共通の前記端子列の一方の側の列に属する前記アクチュエータと他方の側の列に属する前記アクチュエータとが互い違いになるように配置されている。

また、好ましくは、前記下部電極膜は、隣接する前記アクチュエータの列同士の間で連続的に形成されている。

また、好ましくは、前記複数の圧力室が４列に形成されている。

本発明によるインクジェット式記録ヘッドは、上述したいずれかのアクチュエータユニットと、前記複数のノズル開口が形成されたノズルプレートと、を備えたことを特徴とする。

本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドにおける１つのアクチュエータ及びその周辺を拡大して示した縦断面図。本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの透視図。本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのノズル開口の配列を示した平面図。本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平面図。本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平面図。本発明の第２実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。本発明の第２実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの透視図。本発明の第２実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平面図。本発明の第２実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平面図。本発明の第３実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。本発明の第３実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの透視図。従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの透視図。従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平面図。従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平面図。

以下、本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドについて図１乃至図６を参照して説明する。

図１は本実施形態による記録ヘッドにおける１つのアクチュエータ及びその周辺を拡大して示した縦断面図であり、図１に示したようにこの記録ヘッドは、ノズル開口１を有するノズルプレート２と、このノズルプレート２に積層された流路形成基板３と、この流路形成基板３に積層された供給口形成基板１７と、この供給口形成基板１７に積層されたアクチュエータユニット５とを備えている。

アクチュエータユニット５は、圧力室６が形成された圧力室形成基板７を有し、この圧力室形成基板７の上面には弾性膜８が形成されている。弾性膜８の上面には下部電極膜９及び連絡導線１０が所定のパターンにて形成されており、下部電極膜９の上面には圧電体膜１１が形成されている。圧電体膜１１の上面には複数の上部電極膜１２が各圧力室６に対応して形成されており、この上部電極膜１２は連絡導線１０の一端に接続されている。１つの圧電体膜１１、１つの上部電極膜１２及びそれに対応する部分の下部電極膜９によって１つのアクチュエータ６０が構成される。アクチュエータユニット５の一部を構成する連通孔形成基板４には、複数のノズル連通孔１３及び複数のリザーバ連通孔１４が形成されている。

供給口形成基板１７には、ノズル連通孔１３に連通する第２のノズル連通孔１８と、リザーバ連通孔１４に連通するインク供給口１９とが形成されている。流路形成基板３には、ノズル開口１及び第２のノズル連通孔１８に連通する接続孔１５と、インク供給口１９に連通するリザーバ１６が形成されている。リザーバ１６には、複数の圧力室６に供給されるインクが貯留されている。なお、圧力室６からノズル開口１に連通するノズル連通孔１３と、リザーバ１６に連通するリザーバ連通孔１４とは、２つある孔のうちどちらかがそれぞれの役目を果たせば良い。

図２及び図３は、本実施形態による記録ヘッドのアクチュエータユニット５の平面図及び透視図である。このアクチュエータユニット５は、互いに対向する一対の縁部に、複数の端子２０、２１から成る一対の端子列２２を備えている。端子２０は互いに分離されたセグメント端子であり、端子２１はコモン端子である。

また、この連通孔形成基板４には、複数のノズル開口１に連通する複数のノズル連通孔１３が合計４列形成されている。つまり、本実施形態による記録ヘッドは、図４に示したように複数のノズル開口１から成るノズル開口列２３を、１つのアクチュエータユニット５あたり４列備えている。

図２乃至図４から分かるように、端子列２２に近い側の列に属するアクチュエータ６０と、端子列２２から遠い側の列に属するアクチュエータ６０のそれぞれが互い違いに配置されている。

図５及び図６は、アクチュエータユニット５の各層を示した図である。図５（ａ）は連通孔形成基板４を示し、図５（ｂ）は連通孔形成基板４に積層される圧力室形成基板７を示している。連通孔形成基板４には、４列のノズル開口１に対応して４列のノズル連通孔１３が形成されており、ノズル連通孔１３に対応して４列のリザーバ連通孔１４が形成されている。

一方、圧力室形成基板７には、ノズル連通孔１３及びリザーバ連通孔１４に連通する複数の圧力室６が、ノズル連通孔１３及びリザーバ連通孔１４の各列に対応して４列形成されている。図５（ｃ）に示したように圧力室形成基板７の上面には弾性膜（振動板）８が形成されており、この弾性膜８によって複数の圧力室６の上面開口が封止されている。弾性膜８の上面には、図５（ｄ）に示したようにアクチュエータユニット５の両縁部に端子形成用の台座部２４が形成されている。

さらに、図６（ａ）に示したように弾性膜８の上面及び台座部２４の上面には、複数の圧力室６の上方を通るようにして所定のパターンにて一対の下部電極膜９が、白金等の導電材料を用いた印刷工程にて形成されている。なお、図６（ａ）において符号２５は複数の圧電体膜１１の一部を支持する台座部である。

また、弾性膜８の上面には、下部電極膜９に加えて連絡導線１０も形成されており、連絡導線１０及び下部電極膜９は白金等の導電材料を用いた同時印刷にて形成される。連絡導線１０は、外側の列に属するアクチュエータ６０の合間をぬって延設されており、その一端は台座部２４に接続され、他端は内側の列に属するアクチュエータ６０の近傍に位置している。連絡導線１０の線幅は、圧力室６間の隔壁の幅よりも狭くなっている。連絡導線１０及び下部電極膜９を同時印刷で形成することにより、２度に分けて印刷する場合に生じるマスクの位置合わせの問題を回避することができる。

図６（ｂ）に示したように、下部電極膜９の上面には、複数の圧力室６に対応して複数の圧電体膜１１が印刷工程にて形成されている。複数の圧電体膜１１の上面には、図６（ｃ）に示したように複数の上部電極膜１２が形成されている。
ここで、圧電体膜１１及び上部電極膜１２を形成する前に連絡導線１０が形成されているので、圧電体膜１１同士の合間をぬって連絡導線１０を形成するというような困難な作業を回避することができる。

図６（ｄ）に示したように、台座部２４上には複数のセグメント端子２０が形成されており、外側の列に属するアクチュエータ６０の上部電極膜１２に対してはセグメント端子２０が直接接続されている。一方、内側の列に属するアクチュエータ６０の上部電極膜１２に対しては連絡導線１０にセグメント端子２０が接続されており、これによりセグメント端子２０と上部電極膜１２とが電気的に接続されている。

また、台座部２４上には下部電極膜９に接続されたコモン端子２１が両端に形成されており、コモン端子２１同士の間は端子延長部２６によって連結されている。なお、コモン端子２１に対応する位置にある上部電極膜１２は端子延長部２６で覆われており、この位置にある圧力室６は使用されない。

図６（ｄ）から分かるように、１列の端子列２２に対して２列のアクチュエータ列が接続されており、このため、アクチュエータ６０を４列備えるにもかかわらず、端子列２２を２列とすることができる。

以上述べたように本実施形態によるインクジェット式記録ヘッドによれば、１列の端子列２２に対して２列のアクチュエータ６０を接続するようにしたので、４列のアクチュエータ６０に対して２列の端子列２２で対応することが可能であり、このため、従来は１つのアクチュエータユニットあたり２列であったノズル開口列を４列にしたにもかかわらず、記録ヘッドの実装工程の際の端子列２２への配線が困難となることがない。

また、本実施形態によれば、各端子列２２がアクチュエータユニット５の縁部に配置されているので、端子列２２へのテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）等の接続が容易である。

次に、本発明の第２実施形態によるインクジェット式記録ヘッドについて図７乃至図１０を参照して説明する。

図７及び図８は、本実施形態による記録ヘッドのアクチュエータユニット３５の平面図及び透視図である。このアクチュエータユニット３５は、互いに対向する一対の縁部に、複数の端子５０、５１から成る一対の端子列５２を備えると共に、内側２列のアクチュエータ７０同士の間に中央の端子列５２を１列備えている。端子５０は互いに分離されたセグメント端子であり、端子５１はコモン端子である。

図９（ａ）は連通孔形成基板３４を示し、この連通孔形成基板３４には、複数のノズル開口に連通する複数のノズル連通孔４３が合計４列形成されている。つまり、本実施形態による記録ヘッドは、上述した第１実施形態と同様に複数のノズル開口から成るノズル開口列を合計４列備えている。

図７及び図８から分かるように、外側の列に属するアクチュエータ７０とそれに隣接する内側の列に属するアクチュエータ７０とは互いに整合する位置に配置されており、一方、内側２列に属するアクチュエータ７０は互い違いに配置されている。

図９及び図１０は、アクチュエータユニット３５の各層を示した図である。図９（ａ）は連通孔形成基板３４を示し、図９（ｂ）は連通孔形成基板３４に積層される圧力室形成基板３７を示している。連通孔形成基板３４には、４列のノズル開口に対応して４列のノズル連通孔４３が形成されており、ノズル連通孔４３に対応して４列のリザーバ連通孔４４が形成されている。

圧力室形成基板３７には、ノズル連通孔４３及びリザーバ連通孔４４に連通する複数の圧力室３６が、ノズル連通孔４３及びリザーバ連通孔４４の各列に対応して４列形成されている。図９（ｃ）に示したように圧力室形成基板３７の上面には弾性膜（振動板）３８が形成されており、この弾性膜３８によって複数の圧力室３６の上面開口が封止されている。弾性膜３８の上面には、図９（ｄ）に示したようにアクチュエータユニット３５の両縁部及び中央部に端子形成用の台座部５４が形成されている。

さらに、図１０（ａ）に示したように弾性膜３８の上面及び台座部５４の上面には、複数の圧力室３６の上方を通るようにして所定のパターンにて一対の下部電極膜３９が、白金等の導電材料を用いた印刷工程にて形成されている。各下部電極膜３９は、隣接する一対のアクチュエータ列同士の間で共用されている。なお、図１０（ａ）において符号５５は複数の圧電体膜５１の一部を支持する台座部である。

図１０（ｂ）に示したように、下部電極膜３９の上面には、複数の圧力室３６に対応して複数の圧電体膜４１が印刷工程にて形成されている。複数の圧電体膜４１の上面には、図１０（ｃ）に示したように複数の上部電極膜４２が形成されている。

図１０（ｄ）に示したように、３列の台座部５４上には複数のセグメント端子５０が形成されており、中央に位置する複数のセグメント端子５０は１列状を成している。また、台座部５４上には下部電極膜３９に接続されたコモン端子５１が両端に形成されており、外側の列とそれに隣接する内側の列に属するアクチュエータ７０の４つのコモン端子５１は、略Ｈ状の端子延長部５６によって連結されている。なお、コモン端子５１に対応する位置にある上部電極膜４２は端子延長部５６で覆われており、この位置にある圧力室３６は使用されない。

図１０（ｄ）から分かるように、中央の１列の端子列５２に対して２列のアクチュエータ７０が接続されており、このため、アクチュエータ７０を４列備えるにもかかわらず、端子列５２を合計３列とすることができる。

以上述べたように本実施形態によるインクジェット式記録ヘッドによれば、中央の１列の端子列５２に対して２列のアクチュエータ７０を接続するようにしたので、４列のアクチュエータ７０に対して合計３列の端子列５２で対応することが可能であり、このため、従来は１つのアクチュエータユニットあたり２列であったノズル開口列を４列にしたにもかかわらず、記録ヘッドを組み立てる際の端子列５２への配線が困難となることを極力抑えることができる。

次に、本発明の第３実施形態によるインクジェット式記録ヘッドについて図１１及び図１２を参照して説明する。なお、本実施形態による記録ヘッドも、上述した第１及び第２実施形態と同様に複数のノズル開口から成るノズル開口列を合計４列備えている。

図１１及び図１２は、本実施形態による記録ヘッドのアクチュエータユニット７５の平面図及び透視図である。このアクチュエータユニット７５は、複数の端子８０、８１から成る一対の一対の端子列８２を備えており、各端子列８２は、外側の各列のアクチュエータ９０と内側の各列のアクチュエータ９０との間にそれぞれ配置されている。隣り合う列に属するアクチュエータ９０同士は互い違いに配設されている。

端子８０は互いに分離されたセグメント端子であり、端子８１はコモン端子である。コモン端子８１同士は、端子延長部８６によって互いに連結されている。
図１２において符号８３はノズル連通孔を示し、符号８４はリザーバ連通孔を示し、符号７６は圧力室を示している。図１１及び図１２から分かるように、本実施形態においては、圧力室７６間の隔壁の上の部分、つまり共通の列に属するアクチュエータ９０同士の間の部分には配線がなされていない。

以上述べたように本実施形態によるインクジェット式記録ヘッドによれば、一対の端子列８２のそれぞれに対して各２列のアクチュエータ９０を接続するようにしたので、４列のアクチュエータ９０に対して合計２列の端子列８２で対応することが可能であり、このため、従来は１つのアクチュエータユニットあたり２列であったノズル開口列を４列にしたにもかかわらず、記録ヘッドを組み立てる際の端子列８２への配線が困難となることを極力抑えることができる。

また、本実施形態によれば、共通の列に属するアクチュエータ９０同士の間には配線がなされていないので、配線のはみ出しによるアクチュエータ９０間のショートやアクチュエータ９０の変形阻害の可能性が排除され、配線作業の容易化を図ることができる。

（発明の効果）
以上述べたように本発明によれば、１列の端子列に対して複数列のアクチュエータを接続するようにしたので、従来２列のノズル開口列を３列以上にした場合でも、端子列の数の増加を抑えることが可能であり、このため、記録ヘッドの実装工程の際の端子列への配線が困難となることがない。

１…ノズル開口、２…ノズルプレート、３…流路形成基板、４，３４…連通孔形成基板、５，３５，７５…アクチュエータユニット、６，３６，７６…圧力室、７，３７…圧力室形成基板、８，３８…弾性膜、９，３９…下部電極膜、１０…連絡導線、１１，４１…圧電体膜、１２，４２…上部電極膜、１３，４３…ノズル連通孔、１４，４４，８４…リザーバ連通孔、１５…接続孔、１６…リザーバ、１７…供給口形成基板、１８…第２のノズル連通孔、１９…インク供給口、２０，５０…端子（セグメント端子）、２１，５１…端子（コモン端子）、２２，５２…端子列、２３…ノズル開口列、２６，５６，８６…端子延長部、６０，７０，９０…アクチュエータ。

Claims

複数のノズル開口に連通する複数の圧力室が少なくとも３列に形成された圧力室形成基板と、
前記複数の圧力室の上面開口を封止するようにして前記圧力室形成基板上に形成された弾性膜と、
前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成された複数のアクチュエータと、
前記複数のアクチュエータに接続される複数の端子から成る複数の端子列と、を備え、
前記複数のアクチュエータは、前記複数の圧力室の上方を通るようにして前記弾性膜上に形成された下部電極膜と、前記複数の圧力室に対応して前記下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、前記複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有し、
前記複数の端子列のうちの少なくとも１列には、複数列の前記アクチュエータのうちの少なくとも２列が接続されていることを特徴とするアクチュエータユニット。
前記複数の端子列は前記圧力室形成基板の互いに対向する一対の縁部に形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘッド。
少なくとも１列の前記端子列に接続された複数列の前記アクチュエータのうち、接続先の前記端子列から遠い側の列に属する前記アクチュエータは、接続先の前記端子列と前記上部電極とを接続するための連絡導線をさらに有し、前記連絡導線は、前記下部電極膜と同一平面上に形成されると共に、接続先の前記端子列に近い側の列に属する前記アクチュエータ同士の間を通って延設されていることを特徴とする請求項２記載のアクチュエータユニット。
前記連絡導線は、前記下部電極膜を形成する際に同時に形成されたものであることを特徴とする請求項３記載のアクチュエータユニット。
前記連絡導線の線幅は、前記圧力室間の隔壁の幅よりも狭いことを特徴とする請求項３又は４に記載のアクチュエータユニット。
少なくとも１列の前記端子列に接続された複数列の前記アクチュエータは、接続先の前記端子列に近い側の列と遠い側の列に属する前記アクチュエータのそれぞれが互い違いになるように配置されていることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか一項に記載のアクチュエータユニット。
少なくとも１列の前記端子列に接続された複数列の前記アクチュエータのうち、接続先の前記端子列に近い側の列に属する前記アクチュエータから延びる前記下部電極膜の一部は、前記少なくとも１列の端子列から遠い側の列に属する前記アクチュエータ同士の間を通って延設されていることを特徴とする請求項２乃至６のいずれか一項に記載のアクチュエータユニット。
前記下部電極膜の一部の線幅は、前記圧力室間の隔壁の幅よりも狭いことを特徴とする請求項７記載のアクチュエータユニット。
前記複数の端子列のうちの少なくとも１列は、前記アクチュエータの列同士の間に配置されると共にその両側に位置する一対の前記アクチュエータの列の両方が接続されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータユニット。
前記複数の端子列のすべてが、前記アクチュエータの列同士の間に配置されると共にその両側に位置する一対の前記アクチュエータの列の両方に接続されていることを特徴とする請求項９記載のアクチュエータユニット。
前記複数の端子列は、前記圧力室形成基板の互いに対向する一対の縁部に形成された一対の端子列と、前記一対の端子列の間に配置された中央の端子列とから成り、前記中央の端子列の両側に位置する一対の前記アクチュエータの列の両方が前記中央の端子列に接続されていることを特徴とする請求項９記載のアクチュエータユニット。
共通の前記端子列に接続された一対の前記アクチュエータの列に属する複数の前記アクチュエータは、共通の前記端子列の一方の側の列に属する前記アクチュエータと他方の側の列に属する前記アクチュエータとが互い違いになるように配置されていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のアクチュエータユニット。
前記下部電極膜は、隣接する前記アクチュエータの列同士の間で連続的に形成されていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか一項に記載のアクチュエータユニット。
前記複数の圧力室が４列に形成されていることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか一項に記載のアクチュエータユニット。
請求項１乃至請求項１４のいずれか一項に記載のアクチュエータユニットと、
前記複数のノズル開口が形成されたノズルプレートと、を備えたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。