JP2011134840A - インプリント材及び処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インプリント材11は、テンプレート20の凹凸パターンと接触された状態でエネルギーを受けて、液体の状態から硬化される樹脂11と、樹脂11中に固体の状態で複数含有され、エネルギーを受けたときの体積収縮率が樹脂11とは異なる微粒子13と、を備えた。
【選択図】図3
Description
また、本発明の他の一態様によれば、液体の樹脂と、前記樹脂中に固体の状態で複数含有され、前記樹脂を硬化させるエネルギーを受けたときの体積収縮率が前記樹脂とは異なる微粒子とを含むインプリント材を、下地層上に供給する工程と、前記インプリント材に、テンプレートの凹凸パターンを接触させる工程と、前記テンプレートと接触した状態で前記液体の樹脂に対して前記エネルギーを加えて前記樹脂を硬化させ、前記インプリント材に前記テンプレートの前記凹凸パターンの反転パターンを転写する工程と、前記樹脂の硬化後、前記テンプレートと前記インプリント材とを分離する工程と、前記テンプレートと前記インプリント材との分離後、前記インプリント材をマスクにして前記下地層に対する処理を行う工程と、を備えたことを特徴とする処理方法が提供される。
図2は、本実施形態に係る処理方法において、インプリント材11へのパターン転写工程を示す模式断面図である。
図3(a)は、テンプレート20とインプリント材11との接触部の拡大模式断面を示す。
Claims (5)
- テンプレートの凹凸パターンと接触された状態でエネルギーを受けて、液体の状態から硬化される樹脂と、
前記樹脂中に固体の状態で複数含有され、前記エネルギーを受けたときの体積収縮率が前記樹脂とは異なる微粒子と、
を備えたことを特徴とするインプリント材。 - 前記微粒子の体積収縮率は、前記樹脂の体積収縮率よりも小さいことを特徴とする請求項1記載のインプリント材。
- 前記複数の微粒子は、前記体積収縮率が異なるものを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のインプリント材。
- 前記複数の微粒子は、粒子径が異なるものを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のインプリント材。
- 液体の樹脂と、前記樹脂中に固体の状態で複数含有され、前記樹脂を硬化させるエネルギーを受けたときの体積収縮率が前記樹脂とは異なる微粒子とを含むインプリント材を、下地層上に供給する工程と、
前記インプリント材に、テンプレートの凹凸パターンを接触させる工程と、
前記テンプレートと接触した状態で前記液体の樹脂に対して前記エネルギーを加えて前記樹脂を硬化させ、前記インプリント材に前記テンプレートの前記凹凸パターンの反転パターンを転写する工程と、
前記樹脂の硬化後、前記テンプレートと前記インプリント材とを分離する工程と、
前記テンプレートと前記インプリント材との分離後、前記インプリント材をマスクにして前記下地層に対する処理を行う工程と、
を備えたことを特徴とする処理方法。
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