JP2011131157A - 描画データ補正方法および描画データ補正装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの温度変化による膨張・収縮を正確に認識し、ワークに描画する描画データを正しく補正する描画データ補正方法等を提供する。
【解決手段】ワークＷの温度を測定する温度測定工程Ｓ１１と、ワークＷ上の離間した２点間の距離を測定する距離測定工程Ｓ１２と、温度測定工程Ｓ１１で測定した測定温度と、予め記憶されている描画時の基準温度Ｄ２とを比較し、ワークＷが高温状態にあるか低温状態にあるかを判定する温度判定工程Ｓ１３と、距離測定工程Ｓ１２で測定した測定距離と、予め記憶されている２点間の設計上の基準距離とを比較し、ワークＷが膨張状態にあるか収縮状態にあるかを判定する距離判定工程Ｓ１４と、温度判定工程Ｓ１３での判定結果および距離判定工程Ｓ１４での判定結果が、高温状態且つ膨張状態にある場合および低温状態且つ収縮状態にある場合にのみ、描画データＤ１を補正するデータ補正工程Ｓ１５と、を備えた。
【選択図】図８

Description

本発明は、インクジェット方式により機能液滴を吐出して、ワーク上に画像を描画する液滴吐出装置における描画データ補正方法および描画データ補正装置に関する。

従来、インクジェット方式により機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置において、ワーク認識カメラ（撮像手段）を用いてワーク上に形成された一対のアライメントマークの間隔を測定する工程と、測定された間隔と制御部（制御手段）が格納した設計値情報（基準距離）とを比較して、ワークの伸縮率を確認する工程と、その伸縮率に基づいてワークへの描画に用いる液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジユニットの位置を調整する工程と、備えた伸縮率補正方法が知られている（特許文献１参照）。

特開２００７−１３０６０５号公報

上述した伸縮率補正方法では、ワーク認識カメラ（撮像手段）を用いてワーク上の各アライメントマークを撮像しているため、実測された間隔と基準距離とのずれが、温度変化による膨張（または収縮）なのか、各アライメントマークの形成時の誤差なのかを判断することができない。このため、各アライメントマークの形成時の誤差であるにもかかわらず、熱膨張していると判定され、誤った補正が行われる虞があった。この場合、ワークに対して、誤った位置へ機能液滴が吐出されるため、描画不良が生じる。

本発明は、ワークの温度変化による膨張または収縮を正確に認識することで、ワークに描画する描画データを正しく補正することのできる描画データ補正方法および描画データ補正装置を提供することを課題としている。

本発明の描画データ補正方法は、描画データに基づいて、インクジェット方式により機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置における描画データ補正方法であって、ワークの温度を測定する温度測定工程と、ワーク上の離間した２点間の距離を測定する距離測定工程と、温度測定工程で測定した測定温度と、予め記憶されている描画時の基準温度とを比較し、ワークが高温状態にあるか低温状態にあるかを判定する温度判定工程と、距離測定工程で測定した測定距離と、予め記憶されている２点間の設計上の基準距離とを比較し、ワークが膨張状態にあるか収縮状態にあるかを判定する距離判定工程と、温度判定工程での判定結果および距離判定工程での判定結果が、高温状態且つ膨張状態にある場合および低温状態且つ収縮状態にある場合にのみ、描画データを補正するデータ補正工程と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、ワークの温度変化による膨張または収縮を正確に認識することができる。例えば、実測したワーク上の２点間の距離が基準距離より長く且つ実測した温度が基準温度よりも高ければ、ワーク形成時の誤差ではなく、確実にワークが熱により膨張していると確定することができる。逆に、２点間の距離が基準距離より長くなっているにもかかわらず、実測した温度が基準温度と同等或いは低い場合には、温度変化に起因した膨張ではないと考えられる。つまり、ワークが、温度変化により、膨張または収縮のどちらの傾向にあるのかを正確に把握することができる。これにより、ワークに描画する描画データを正しく補正することができる。なお、ワーク形成時の誤差として、ワークがガラス基板等の場合には、フォトリソグラフィー技術におけるマスク移動に伴う誤差が考えられる。

この場合、データ補正工程では、測定温度と基準温度との温度差、および測定距離と基準距離との寸法差、の少なくとも一方のパラメーターに基づいて、描画データを補正することが好ましい。

この構成によれば、実測値に基づいて、描画データの補正を行うことができる。これにより、膨張または収縮の傾向にあるワークに対し、適切な描画を行うことができる。

この場合、温度差のパラメーターと寸法差のパラメーターとを所定の割合で案分した値をパラメーターとすることが好ましい。

この構成によれば、温度差によるパラメーターと、寸法差によるパラメーターと、に誤差が生じたとしても、その誤差をある程度吸収した形で描画データを補正することができる。これにより、理想的な描画データからのズレを最小限に抑えた補正を行なうことができ、描画処理の正確性を担保することができる。

この場合、パラメーターと描画データの補正値とを対応付けた補正テーブルが定められ、データ補正工程では、補正テーブルに基づいて、描画データを補正することが好ましい。

この構成によれば、簡単な手順（処理）で、すなわち短時間で描画データを適切に補正することができる。

また、この場合、温度測定工程では、ワークの複数箇所の温度を計測し、温度判定工程では、複数箇所の温度の平均値を用いて比較、判定を行うことが好ましい。

この構成によれば、ワーク上の各位置において温度差が生じていても、その差をある程度吸収し、描画データに対し、平均的な補正を行うことができる。

この場合、距離測定工程では、ワーク上の平面内で任意の１の方向であるＸ軸方向において離間した２点間の距離と、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向において離間した２点間の距離と、を各々計測し、距離判定工程では、ワークのＸ軸方向について膨張状態か収縮状態かを判定すると共に、ワークのＹ軸方向について膨張状態か収縮状態かを判定し、描画補正工程では、Ｘ軸方向とＹ軸方向とについて描画データを補正することが好ましい。

この構成によれば、ワークのＸ軸方向とＹ軸方向との膨張状態（または収縮状態）が異なる場合であっても、適切な補正を行うことができる。

また、この場合、温度測定工程では、ワークに代えて、ワークをセットするテーブルの温度を測定することが好ましい。

液滴吐出装置では、描画処理の開始・終了によってワークの給除材が頻繁に行われる。このため、ワークの温度を把握するために、ワークに対して温度計測手段を取り付けることは現実的ではない。
しかし、この構成によれば、ワークの給除材を妨げることなく、間接的にワークの温度を簡単に確認することができる。

本発明の描画データ補正装置は、描画データに基づいて、インクジェット方式により機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置における描画データ補正装置であって、ワークの温度を測定する温度測定手段と、ワーク上の離間した２点間の距離を測定する距離測定手段と、温度測定手段が測定した測定温度と、予め記憶されている描画時の基準温度とを比較し、ワークが高温状態にあるか低温状態にあるかを判定する温度判定手段と、距離測定手段が測定した測定距離と、予め記憶されている描画時の基準距離とを比較し、ワークが膨張状態にあるか収縮状態にあるかを判定する距離判定手段と、温度判定手段の判定結果および距離判定手段の判定結果が、高温状態且つ膨張状態にある場合および低温状態且つ収縮状態にある場合にのみ、描画データを補正するデータ補正手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、ワーク形成時のワーク自体の誤差ではなく、確実にワークが熱の影響により膨張（または収縮）していると確定することができる。これにより、ワークが、膨張または収縮のどちらの傾向にあるのかを正しく見定めることができるため、描画データの補正の傾向を誤ることが無い。

ワーク上に形成されたパネル部を模式的に示した平面図（ａ）、パネル部の一部拡大図（ｂ）およびワークおよびマスクの側面図（ｃ）である。 第１実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した斜視図である。 第１実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した平面図である。 第１実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した側面図である。 キャリッジユニットを模式的に示した平面図である。 機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。 制御装置のブロック図である。 第１実施形態に係る描画データ補正方法のフローチャートである。

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る描画データ補正方法を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルターのフィルターエレメント等を形成するものである。

先ず、液滴吐出装置１の説明に先立ち、図１を参照して、ワークＷについて簡単に説明する。ワークＷは、例えば、大型液晶テレビ用のカラーフィルターパネルを複数枚取りする、いわゆるマザー基板であり、その表面には、カラーフィルターパネルとなるパネル部１００が、マトリクス状に複数作り込まれている（図１（ａ）参照）。各パネル部１００には、ブラックマトリクスとなる格子状のバンク部１０１により仕切られた多数の画素領域１０２がマトリクス状に形成されている（図１（ｂ）参照）。各画素領域１０２は、バンク部１０１に対し窪入形成されている。すなわち、ワークＷには、格子状の非描画部で区画するようにして、複数のパネル部１００が形成されており、各パネル部１００には、格子状のバンク部１０１で区画するようにして、複数の画素領域１０２が形成されている。一方、ワークＷの４隅には、非描画部に位置して、４つのアライメントマークＡＭが形成されている（図１（ａ）参照）。

そして、本実施形態の液滴吐出装置１は、アライメントマークＡＭを基準に、ワークＷを位置決めセットし、全パネル部１００の複数の画素領域１０２に対し、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色の機能液を所定の描画パターンに従って描画し、Ｒ・Ｇ・Ｂのフィルターエレメントを形成する。

マザー基板としてのワークＷは、フォトリソグラフィー法を主体とする半導体製造技術により製造されるものであり、半導体製造技術の分野では破格の大きさとなる。このため、本実施形態のワークＷでは、寸法精度を加味した大きさのマスクＭを用い、これを複数回移動（図１（ｃ）では、左右２回）してワークＷの全域に対して、フォトリソグラフィー法によるレジストの除去（画素領域１０２の形成）を実施している。

（第１実施形態）
続いて、図２ないし図４を参照して、第１実施形態に係る液滴吐出装置１について説明する。液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱３３を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース３１上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、複数の機能液滴吐出ヘッド４４が搭載された１０個のキャリッジユニット４と、Ｘ軸テーブル２に給材されたワークＷの位置校正（アライメント）を行うアライメントユニット５と、を備えている。また、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー（図示省略）と、チャンバーを貫通して各機能液滴吐出ヘッド４４に機能液を供給する機能液供給ユニット（図示省略）と、装置全体を統括制御する制御装置６と、を備えている。チャンバーの側壁の一部には、機能液供給ユニットの主要部を為す複数のメインタンクユニット（図示省略）が配設されている。

さらに、液滴吐出装置１には、フラッシングユニット７１、吸引ユニット７２、ワイピングユニット７３および吐出性能検査ユニット７４を有するメンテナンス装置７が設けられている。機能液滴吐出ヘッド４４は、メンテナンス装置７により、その機能維持・機能回復を図るようになっている。

この液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３が交わる部分（描画エリアＡ１）において、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とを同期駆動して、機能液供給ユニットから供給された複数色の機能液を各機能液滴吐出ヘッド４４から吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。また、Ｙ軸テーブル３およびメンテナンス装置７（吸引ユニット７２、ワイピングユニット７３）が交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませて、各機能液滴吐出ヘッド４４の機能維持・機能回復を行う。

Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットすると共に、θ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル２２と、セットテーブル２２をＸ軸方向に移動自在に支持するＸ軸第１スライダー２３と、上記のフラッシングユニット７１および吐出性能検査ユニット７４をＸ軸方向に移動自在に支持するＸ軸第２スライダー２４と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２３およびＸ軸第２スライダー２４のＸ軸方向への移動をガイドする左右一対のガイドレール２５と、Ｘ軸第１スライダー２３およびＸ軸第２スライダー２４をＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。

セットテーブル２２のＹ軸方向の両側面には、セットテーブル２２の温度を測定するための熱電対２６（温度測定手段）が配設されている。各熱電対２６は、セットテーブル２２のＹ軸方向の両側面において、Ｘ軸方向略中央部分に埋め込まれている。詳細は後述するが、本実施形態において描画処理前に実施される描画データ補正方法では、２つの熱電対２６を用いて、セットテーブル２２の温度を測定することにより、セットテーブル２２上に吸着固定されたワークＷの温度を間接的に計測している。これは、描画処理の開始・終了によってワークＷの給除材が頻繁に行われることを考慮し、ワークＷの給除材を妨げることのないようにしたものである。なお、熱電対２６の配設数、配設場所は、任意である。

Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を吊設した１０個のブリッジプレート３２と、各ブリッジプレート３２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース３１上に設置されたＹ軸ステーター（Ｙ軸リニアモーター（図示省略））と、を備えている。Ｙ軸テーブル３は、描画時に、各キャリッジユニット４（各機能液滴吐出ヘッド４４）を個別に副走査させる。また、メンテナンス装置７に臨ませる。

図４および図５に示すように、各キャリッジユニット４は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４４を搭載したヘッドユニット４０と、ヘッドユニット４０をθ回転自在に支持するθ回転機構４１と、θ回転機構４１を介して、ヘッドユニット４０をＹ軸テーブル３に支持させる昇降機構付の吊設部材４２と、を備えている。各キャリッジユニット４を吊設した各ブリッジプレート３２上には、各メインタンクユニットに連なるサブタンクユニット（図示省略）が配設されている。サブタンクユニットは、自然水頭を利用して各機能液滴吐出ヘッド４４に機能液を供給するようになっている。

図５に示すように、ヘッドユニット４０は、略方形のキャリッジプレート４３に対し、機能液滴吐出ヘッド４４が、左右に６個ずつ二分して組み付けられている。左右１組（２個）の機能液滴吐出ヘッド４４は、同一種類の機能液を吐出し、上下に６組の機能液滴吐出ヘッド４４が相互に階段状に位置ずれして配設されている。なお、各組内の同色の２つの機能液滴吐出ヘッド４４は、そのノズル列ＮＬがＹ軸方向に連続して１の部分描画ラインを構成している。なお、キャリッジユニット４の個数およびキャリッジユニット４に搭載される機能液滴吐出ヘッド４４の数は任意である。

図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド４４は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針４５ａを有する機能液導入部４５と、機能液導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板４６と、ヘッド基板４６の下方に連なる２連のポンプ部４７と、ポンプ部４７に連なるノズルプレート４８と、を備えている。各接続針４５ａには、上記したサブタンクユニットに連なる供給チューブ（図示省略）が接続されており、機能液滴吐出ヘッド４４には、この供給チューブを介して機能液が供給される。ノズルプレート４８のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた複数の吐出ノズル４９で構成されている（図６（ｂ）参照）。ヘッド基板４６は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記した制御装置６が接続されており、制御装置６から出力された駆動波形が各ポンプ部４７（の圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル４９から機能液が吐出される。

図２ないし図４に示すように、アライメントユニット５は、図３において下側（給除材エリアＡ２）から、Ｘ軸テーブル２（のセットテーブル２２）上に給材されたワークＷのＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向の各々のずれを認識、修正するものであり、給除材エリアＡ２においてＸ軸テーブル２を跨ぐように設けられたブリッジフレーム５１と、ブリッジフレーム５１に支持された２台のアライメントカメラ５２と、を備えている。

ブリッジフレーム５１は、Ｘ軸支持ベース２１から立設した一対の橋脚部５３と、一対の橋脚部５３に水平に架け渡されたカメラ支持部５４と、を備えている。

２台のアライメントカメラ５２は、カメラ支持部５４のＹ軸方向両端において描画エリアＡ１方向（図３において上側）に向けた状態で、ワークＷを撮像可能に支持されている。つまり、２台のアライメントカメラ５２は、セットテーブル２２上のワークＷに形成されたブリッジフレーム５１側の２つのアライメントマークＡＭに対応するように配設されており、各アライメントマークＡＭを撮像することができるように位置調整（アライメント）されている。

ワークＷのアライメントを行うには、ワークＷがセットテーブル２２上に吸着固定された状態で、２台のアライメントカメラ５２を用いて２つのアライメントマークＡＭを画像認識する。そして、制御装置６は、その認識結果のずれ量に応じて、Ｘ軸テーブル２、Ｙ軸テーブル３およびセットテーブル２２を各々駆動してＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向の各々のずれを修正する。なお、セットテーブル２２には、給材されたワークＷをプリアライメントするための一対の位置規制突起（図示省略）が配設されている。

また、他のアライメントの方法（手段）として、上記した２台のアライメントカメラ５２と、図３において下側のＹ軸支持ベース３１に支持された５台のサンプル撮像カメラ８３のうち、Ｙ軸方向両端のサンプル撮像カメラ８３（２台）と、を用いて、ワークＷに形成された４つのアライメントマークＡＭを同時に画像認識するようにしてもよい。そして、制御装置６は、４箇所の認識結果を用いてセットテーブル２２上のワークＷをアライメントする。なお、詳細な説明は省略するが、５台のサンプル撮像カメラ８３は、パネル部１００相互間の位置ずれの有無を抜き打ち的に判定する際に用いるものである。
また、他のプリアライメントの方法（手段）として、視野角の広いプリアライメントカメラ（図示省略）を、ブリッジフレーム５１またはＹ軸支時ベース３１等に配設し、このカメラでの画像認識結果を用いてプリアライメントを実施してもよい。

図７に示すように、制御装置６は、各ユニット等を駆動制御する各種ドライバーを有する駆動部６１と、駆動部６１に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部６２と、を備えている。

制御部６２には、駆動部６１に接続するためのインターフェース６３と、制御処理の作業領域であるＲＡＭ６４と、制御プログラムやデータ等を記憶するＲＯＭ６５と、描画データＤ１等の処理プログラム等を記憶するＨＤＤ６６と、ＲＯＭ６５やＨＤＤ６６に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ６７と、これらを互いに接続するバス６８と、が備えられている。そして、制御部６２は、各手段からの各種データを、インターフェース６３を介して入力すると共に、ＨＤＤ６６に記憶されたプログラムに従ってＣＰＵ６７に演算処理させ、その処理結果を、駆動部６１を介して各ユニット等に出力する。これにより、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。

また、ＨＤＤ６６には、ワークＷに描画する描画データＤ１と、描画時の理想的な温度である基準温度Ｄ２と、Ｘ軸方向の一対２組のアライメントマークＡＭ間の設計上の距離であるＸ軸基準距離Ｄ３と、Ｙ軸方向の一対２組のアライメントマークＡＭ間の設計上の距離であるＹ軸基準距離Ｄ４と、後述する、特定の温度差とワークＷの伸縮距離（変換寸法差）とを対応付けた温度距離変換テーブルＤ５と、後述する、特定のパラメーターと描画データＤ１の補正値とを対応付けた補正テーブルＤ６と、が記憶されている。詳細は後述するが、ＨＤＤ６６に記憶された各種データは、ＲＡＭ６４上に展開されて、ＣＰＵ６７による各種演算処理に供される。なお、基準温度Ｄ２は、上記したチャンバーにより管理される描画エリアＡ１の目標温度である。また、Ｘ軸基準距離Ｄ３およびＹ軸基準距離Ｄ４は、基準温度Ｄ２におけるマスタワーク（図示省略）、すなわちアライメントマスク（図示省略）におけるものである。

ところで、上述したように、ワークＷは、大型液晶テレビのカラーフィルターパネル等に用いられるものであり、近年の液晶テレビの大型化に伴い、ワークＷの大型化も進んでいる。このため、僅かな温度変化であっても、ワークＷの膨張または収縮による誤差が無視できないものとなっている。例えば、±０．１℃の温度変化が生じた場合、３ｍ角のワークＷ（線膨張係数８μｍ／ｍ℃）では、±２．４μｍの伸縮が生じる。このようなワークＷに対して適切な描画を行うためには、その伸縮に合わせて、伸縮（膨張または収縮）させた描画データＤ１（ビットマップデータ）に基づき描画を行えばよい。その伸縮を認識する方法としては、各アライメントマークＡＭを画像認識するものが考えられる。
しかし、画像認識では、例えば、各アライメントマークＡＭの形成時（ワークＷ製造時）の誤差を、温度変化による伸縮であると、誤った判断がされる虞があった。この場合、誤った描画データＤ１の補正が行われ、ワークＷに対する描画処理は不良となる。

そこで、本実施形態に係る描画データ補正方法では、ワークＷの温度の計測およびワークＷに形成された各アライメントマークＡＭ間の距離を計測することで、ワークＷの温度変化による膨張または収縮を正確に認識することを可能としている。これにより、ワークＷに描画する描画データＤ１の補正を正しく行うことができる。

図８に示すように、描画データ補正方法は、ワークＷの温度を測定する温度測定工程Ｓ１１と、ワークＷ上に形成された複数のアライメントマークＡＭ相互間の距離を測定する距離測定工程Ｓ１２と、ワークＷが高温状態にあるか低温状態にあるかを判定する温度判定工程Ｓ１３と、ワークＷが膨張状態にあるか収縮状態にあるかを判定する距離判定工程Ｓ１４と、温度判定工程Ｓ１３での判定結果および距離判定工程Ｓ１４での判定結果に基づき描画データＤ１を補正するデータ補正工程Ｓ１５と、を備えている。

温度測定工程Ｓ１１では、セットテーブル２２に設けられた２つの熱電対２６を用いてセットテーブル２２の温度を計測し、計測した２つの温度値を制御装置６に送る。制御装置６は、２つの温度値の平均値を計算し、この平均値をワークＷの測定温度として設定する。複数箇所の温度を計測することで、ワークＷ上において温度斑が生じていても、その斑（差）をある程度平均化できるため、この後の工程において、平均的な描画データＤ１の補正を行うことができる。なお、ワークＷは、給材されてから温度計測までの間にセットテーブル２２の温度に馴染むため、セットテーブル２２の温度を、ワークＷの温度とみなすことができる。

距離測定工程Ｓ１２では、ワークＷの四隅に形成されたアライメントマークＡＭを２台のアライメントカメラ５２および２台のサンプル撮像カメラ８３（Ｙ軸方向両端の２台）で画像認識し、その画像認識結果を制御装置６に送る。制御装置６は、各アライメントマークＡＭの画像認識結果と設計上の位置座標（ＸＹ座標）との差を計測し、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の各アライメントマークＡＭ間のそれぞれの距離を算出する。つまり、４つのアライメントマークＡＭを結んでできる四角形の各辺の長さが計測される。制御装置６は、Ｘ軸方向に並んだ一対２組のアライメントマークＡＭ間の距離の平均値をワークＷのＸ軸方向の測定距離（Ｘ軸測定距離）として設定する。同様に、制御装置６は、Ｙ軸方向に並んだ一対２組のアライメントマークＡＭ間の距離の平均値をワークＷのＹ軸方向の測定距離（Ｙ軸測定距離）として設定する。
なお、位置座標とは、Ｘ座標およびＹ座標の直交座標を指すものであり、各座標の値は、１つのアライメントマークＡＭからのＸ軸方向およびＹ軸方向の差をいうものとする。本実施形態では図２または図３において左上のアライメントマークＡＭを基準としている。

温度判定工程Ｓ１３では、制御装置６において、温度測定工程Ｓ１１により測定（設定）された測定温度と、ＲＡＭ６４に展開された基準温度Ｄ２と、を比較する。制御装置６は、測定温度が基準温度Ｄ２よりも高いときは高温状態にあると判定し、一方、測定温度が基準温度Ｄ２よりも低いときには低温状態にあると判定する。また、測定温度と基準温度Ｄ２との温度差は、ＲＡＭ６４に一時記録される。

距離判定工程Ｓ１４では、制御装置６において、距離測定工程Ｓ１２により測定（設定）されたＸ軸測定距離およびＹ軸測定距離と、ＲＡＭ６４に展開されたＸ軸基準距離Ｄ３およびＹ軸基準距離Ｄ４と、を各々比較する。Ｘ軸を例に説明すると、制御装置６は、Ｘ軸測定距離がＸ軸基準距離Ｄ３よりも長いときはＸ軸方向に膨張状態にあると判定し、一方、Ｘ軸測定距離がＸ軸基準距離Ｄ３よりも短いときはＸ軸方向に収縮状態にあると判定する。Ｙ軸方向に関しても同様である。また、Ｘ軸測定距離とＸ軸基準距離Ｄ３とのＸ軸寸法差およびＹ軸測定距離とＹ軸基準距離Ｄ４とのＹ軸寸法差は、ＲＡＭ６４に一時記録される。

データ補正工程Ｓ１５では、温度判定工程Ｓ１３での判定結果および距離判定工程Ｓ１４での判定結果が、高温状態且つ膨張状態にある場合および低温状態且つ収縮状態にある場合にのみ描画データＤ１を補正する。詳細には、データ補正工程Ｓ１５は、温度判定工程Ｓ１３での判定結果が高温状態で、且つ距離判定工程Ｓ１４での判定結果が、Ｘ軸方向およびＹ軸方向共に膨張状態である場合には、ワークＷは確実に温度変化により膨張していると判断する（膨張傾向）。一方、温度判定工程Ｓ１３での判定結果が低温状態で、且つ距離判定工程Ｓ１４での判定結果が、両方向において収縮状態である場合には、ワークＷは確実に温度変化により収縮していると判断する（収縮傾向）。これにより、アライメントマークＡＭの形成時の誤差ではなく、確実にワークＷが温度変化により膨張または収縮していると確定することができる。つまり、ワークＷが、膨張または収縮のどちらの傾向にあるのかを正確に把握することができる。

ところで、高温状態で且つ両軸方向またはいずれか一方の軸方向が収縮状態である場合および低温状態で且つ両軸方向またはいずれか一方の軸方向が膨張状態である場合には、温度変化に起因した膨張または収縮ではないと考えられるため、データ補正工程Ｓ１５において、描画データＤ１の補正は行わない。

上記のようにワークＷが、膨張または収縮していると判断された場合、制御装置６（ＣＰＵ６７）は、ＨＤＤ６６に記憶されている温度距離変換テーブルＤ５を参照して、ＲＡＭ６４に一時記憶された温度差に対応する変換寸法差をパラメーターＡとしてＲＡＭ６４上に展開する。
一方、制御装置６（ＣＰＵ６７）は、Ｘ軸寸法差とＹ軸寸法差との平均値（寸法差）をパラメーターＢとして算出し、これをＲＡＭ６４に一時記録する。これにより、ワークＷのＸ軸方向とＹ軸方向との膨張状態または収縮状態が異なる場合であっても、平均的な補正を行うことができる。

そして、制御装置６は、パラメーターＡとパラメーターＢとの平均値をパラメーターＣとして算出した後、ＨＤＤ６６に記憶されている補正テーブルＤ６を参照して、パラメーターＣに対応する補正値をＲＡＭ６４上に展開する。最後に、この補正値を用いて描画データＤ１（ビットマップデータ）を補正（膨張または伸縮）する。具体的な描画データＤ１の補正方法としては、各機能液滴吐出ヘッド４４からの機能液滴の吐出タイミングを補正することでＸ軸方向（主走査方向）の位置ずれ量を補正している。また、各キャリッジユニット４（機能液滴吐出ヘッド４４）のＹ軸方向（副走査方向）の位置を移動することでＹ軸方向の位置ずれ量を補正している。また、ある特定の吐出ノズル４９から吐出した機能液滴が、１の画素領域１０２からはみ出し、バンク部１０１に乗り上げてしまう虞がある場合には、その吐出ノズル４９から機能液の吐出を停止し、乗り上げの虞のない他の吐出ノズル４９により補完する。すなわち、他の吐出ノズル４９は、自らが吐出すべき量の機能液と、吐出を停止した吐出ノズル４９が吐出するはずだった量の機能液と、を合わせた量の機能液を吐出する。以上により、実測値との温度差に基づくパラメーターＡと、実測値との寸法差に基づくパラメーターＢと、に誤差が生じたとしても、その誤差をある程度吸収した形で描画データＤ１を補正することができるため、理想的な描画データＤ１からの誤差を最小限に抑えた補正を行なうことができ、描画処理の正確性を担保することができる。また、補正テーブルＤ６を参照するという簡単な手順（処理）で補正値の算出が可能であるため、短時間で適切な描画データＤ１の補正が可能となる。

なお、本実施形態では、補正テーブルＤ６を参照するにあたり、パラメーターＡとパラメーターＢとの平均値（パラメーターＣ）を用いたが、パラメーターＡまたはパラメーターＢのいずれかを用いて補正テーブルＤ６を参照した補正値を使用してもよい。また、補正テーブルＤ６を省略して、補正値の参照ではなく、パラメーターＣを用いて新たな描画データＤ１を生成してもよい。

以上の構成によれば、ワークＷ形成時のワークＷ自体の誤差ではなく、確実にワークＷが熱の影響により膨張（または収縮）していると確定することができる。これにより、ワークＷが、膨張または収縮のどちらの傾向にあるのかを正しく見定めることができるため、描画データＤ１の補正の傾向を誤ることが無い。

なお、請求項に言う「距離測定手段」は、各アライメントカメラ５２および制御装置６を指し、請求項に言う「温度判定手段」、「距離判定手段」および「データ補正手段」は、制御装置６を指す。すなわち、請求項に言う「描画データ補正装置」とは、各熱電対２６、各アライメントカメラ５２および制御装置６が相互に作用して構成されている。

（第２実施形態）
また、第１実施形態では、パラメーターＡとパラメーターＢとの単純な平均値をパラメーターＣとしているが、パラメーターＡおよびパラメーターＢに各々重み付けをしてパラメーターＣを算出してもよい。すなわち、所定の割合で案分した値をパラメーターＣと設定してもよい。例えば、寸法差に基づくパラメーターＢを重視するのであれば、重み付けを、パラメーターＢを「６」、パラメーターＡを「４」の割合に案分して算出したパラメーターＣを用いて描画データＤ１を補正する。これにより、熱電対２６やアライメントカメラ５２の精度に応じてパラメーターＣを算出することができ、より正確な描画データＤ１の補正を担保することができる。

（第３実施形態）
第３実施形態では、Ｘ軸寸法差とＹ軸寸法差との平均値であるパラメーターＢを算出せず、Ｘ軸寸法差をパラメーターＢ１とし、Ｙ軸寸法差をパラメーターＢ２としている。また、パラメーターＢ１（Ｘ軸方向）用およびパラメーターＢ２（Ｙ軸方向）用の補正テーブルＤ６が個別に用意されている。この場合、制御装置６は、温度差に基づくパラメーターＡとパラメーターＢ１とからパラメーターＣ１を算出すると共に、パラメーターＡとパラメーターＢ２とからパラメーターＣ２を算出する。そして、制御装置６は、パラメーターＣ１に対応する補正値により描画データＤ１のＸ軸方向の補正を行い、パラメーターＣ２に対応する補正値により描画データＤ１のＹ軸方向の補正を行う。これにより、Ｘ軸方向およびＹ軸方向について個別に補正を行うことができるため、より精密な描画データＤ１の補正を行うことができる。

１：液滴吐出装置、２２：セットテーブル、２６：熱電対、４４：機能液滴吐出ヘッド、５２：アライメントカメラ、ＡＭ：アライメントマーク、Ｄ２：基準温度、Ｄ３：Ｘ軸基準距離、Ｄ４：Ｙ軸基準距離、Ｄ６：補正テーブル、Ｗ：ワーク

Claims (8)

1. 描画データに基づいて、インクジェット方式により機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置における描画データ補正方法であって、
   前記ワークの温度を測定する温度測定工程と、
   前記ワーク上の離間した２点間の距離を測定する距離測定工程と、
   前記温度測定工程で測定した測定温度と、予め記憶されている描画時の基準温度とを比較し、前記ワークが高温状態にあるか低温状態にあるかを判定する温度判定工程と、
   前記距離測定工程で測定した測定距離と、予め記憶されている２点間の設計上の基準距離とを比較し、前記ワークが膨張状態にあるか収縮状態にあるかを判定する距離判定工程と、
   前記温度判定工程での判定結果および前記距離判定工程での判定結果が、
   前記高温状態且つ前記膨張状態にある場合および前記低温状態且つ前記収縮状態にある場合にのみ、前記描画データを補正するデータ補正工程と、を備えたことを特徴とする描画データ補正方法。
2. 前記データ補正工程では、前記測定温度と前記基準温度との温度差、および前記測定距離と前記基準距離との寸法差、の少なくとも一方のパラメーターに基づいて、前記描画データを補正することを特徴とする請求項１に記載の描画データ補正方法。
3. 前記温度差の前記パラメーターと前記寸法差の前記パラメーターとを所定の割合で案分した値を前記パラメーターとすることを特徴とする請求項２に記載の描画データ方法。
4. 前記パラメーターと前記描画データの補正値とを対応付けた補正テーブルが定められ、
   前記データ補正工程では、前記補正テーブルに基づいて、前記描画データを補正することを特徴とする請求項２に記載の描画データ補正方法。
5. 前記温度測定工程では、前記ワークの複数箇所の温度を計測し、
   前記温度判定工程では、前記複数箇所の温度の平均値を用いて比較、判定を行うことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の描画データ補正方法。
6. 前記距離測定工程では、前記ワーク上の平面内で任意の１の方向であるＸ軸方向において離間した２点間の距離と、前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向において離間した２点間の距離と、を各々計測し、
   前記距離判定工程では、前記ワークの前記Ｘ軸方向について前記膨張状態か前記収縮状態かを判定すると共に、前記ワークの前記Ｙ軸方向について前記膨張状態か前記収縮状態かを判定し、
   前記描画補正工程では、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向とについて前記描画データを補正することを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の描画データ補正方法。
7. 前記温度測定工程では、前記ワークに代えて、前記ワークをセットするテーブルの温度を測定することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の描画データ補正方法。
8. 描画データに基づいて、インクジェット方式により機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置における描画データ補正装置であって、
   前記ワークの温度を測定する温度測定手段と、
   前記ワーク上の離間した２点間の距離を測定する距離測定手段と、
   前記温度測定手段が測定した測定温度と、予め記憶されている描画時の基準温度とを比較し、前記ワークが高温状態にあるか低温状態にあるかを判定する温度判定手段と、
   前記距離測定手段が測定した測定距離と、予め記憶されている描画時の基準距離とを比較し、前記ワークが膨張状態にあるか収縮状態にあるかを判定する距離判定手段と、
   前記温度判定手段の判定結果および前記距離判定手段の判定結果が、
   前記高温状態且つ前記膨張状態にある場合および前記低温状態且つ前記収縮状態にある場合にのみ、前記描画データを補正するデータ補正手段と、を備えたことを特徴とする描画データ補正装置。

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