JP2011129522A - イオンビーム源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】非導電ターゲットとともに使用するイオンビーム源であって、イオンを抽出するグリッド1〜4と、このグリッドにパルス電力を供給する電源(直流電源16およびビーム制御装置17)とからなり、前記電源は、グリッド1電源〜グリッド3電源と、前記グリッドに対する電力の供給を接続および遮断するスイッチのセット19と、このスイッチを制御する電力スイッチング装置21と、スイッチの切替を行うためのパルス発生器20とを有する。
【選択図】図5
Description
Claims (15)
- 非導電ターゲットとともに使用するイオンビーム源であって、イオンを抽出するグリッドと、前記イオンを抽出するために前記グリッドにパルス電力を供給する電源と、を有することを特徴とするイオンビーム源。
- 前記電源は、直流電源と、前記グリッドに対する電力の供給を接続し及び遮断する電源スイッチと、前記電源スイッチの切替を行うためのパルス発生器と、を有する請求項1に記載のイオンビーム源。
- 前記グリッドに対する電力を切り替えるための電源は、直流電源電圧と接地点との間で前記グリッドを切り替える請求項1に記載のイオンビーム源。
- 回路は、直流電源レールと中間点との間に接続された第1のFETと、前記中間点と接地点との間に接続された第2のFETと、互いに直列接続され及び各FETに並列に接続された一対のダイオードと、前記中間点に接続され及び前記グリッドに関連したコンデンサに接続されたインダクタと、前記FETを交互にオンにするパルス発生器と、を有し、これによって、前記回路は、前記FETがオンに切り替わったときに前記グリッドをレール電圧に十分に保持し、前記FETがオフに切り替わったときに前記グリッドを接地電圧にする請求項3に記載のイオンビーム源。
- アーク放電が生成する過電流を検出するとともに前記グリッドを一時的に接地電圧に維持するために一時的な禁止信号を生成する検出器を更に有する請求項1から4のうちのいずれか1項に記載のイオンビーム源。
- 前記検出器は、グリッド電源の電流及び/又は電圧の変化率を検出し、それを一つ以上の基準と比較する請求項5に記載のイオンビーム源。
- 前記検出器は変圧器を有する請求項6に記載のイオンビーム源。
- 各グリッドに対する電源を有し、前記電源は、共通のパルス発生器によって制御される請求項1から7のうちのいずれか1項に記載のイオンビーム源。
- 非導電材料をスパッタリングする装置であって、非導電ターゲットと、請求項1から8のうちのいずれか1項に記載のイオンビーム源と、を有し、前記電源は、所定の期間のパルスを生成し、前記パルスがオフであるときに前記ターゲットの電荷を十分に放出できるようにしたことを特徴とする装置。
- 出力部を有するハーフブリッジ直流電源であって、直流電源レールと中間点との間に接続された第1のFETと、前記中間点と接地点との間に接続された第2のFETと、互いに直列に接続され及び各FETに並列に接続された一対のダイオードと、前記中間点に接続され及び前記出力部に関連したコンデンサに接続されたインダクタと、前記FETを交互にオンにするパルス発生器と、を有し、これによって、回路は、前記FETがオンに切り替わったときに前記出力部をレール電圧に十分に保持し、前記FETがオフに切り替わったときに前記出力部を接地電圧にすることを特徴とするハーフブリッジ直流電源。
- 前記第1のFET及び前記第2のFETは、1対のFETによって構成され、前記回路は、過剰な電圧を関連のコンデンサに充電できるようにするとともに各FET対が次にオンになるときに前記コンデンサが放電できるようにすることによって、オフであるときの各FETの両端間の電圧降下を予め決定された値に保持するために一連の安定電圧点を維持する電圧バランサーを更に有する請求項10に記載のハーフブリッジ直流電源。
- 前記出力部の過電流を検出するとともに前記出力部を一時的に接地電圧に維持するために一時的な禁止信号を生成する検出器を更に有する請求項10又は11に記載のハーフブリッジ直流電源。
- 前記検出器は、前記出力部の電流及び/又は電圧の変化率を検出し、それを一つ以上の基準と比較する請求項12に記載のハーフブリッジ直流電源。
- 前記検出器は変圧器を有する請求項13に記載のハーフブリッジ直流電源。
- 非導電ターゲットをスパッタリングする方法であって、パルス状イオンビーム源を使用するステップを有し、前記パルスのオフ期間の持続時間は、前記ターゲットを十分に放電することができるようにするのに十分である方法。
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