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US13/500,284 US9238250B2 (en) 2009-12-11 2010-11-16 Control apparatus for capacitive electromechanical transducer, and method of controlling the capacitive electromechanical transducer
CN201510504147.9A CN105170434B (zh) 2009-12-11 2010-11-16 电容式机电变换器的控制设备及其控制方法
EP10788148.4A EP2509721B1 (en) 2009-12-11 2010-11-16 Control apparatus for capacitive electromechanical transducer, and method of controlling the capacitive electromechanical transducer
CN201080055218.7A CN102639258B (zh) 2009-12-11 2010-11-16 用于电容式机电变换器的控制设备以及控制电容式机电变换器的方法
PCT/JP2010/006717 WO2011070729A1 (en) 2009-12-11 2010-11-16 Control apparatus for capacitive electromechanical transducer, and method of controlling the capacitive electromechanical transducer
US14/956,316 US10084394B2 (en) 2009-12-11 2015-12-01 Control apparatus for capacitive electromechanical transducer, and method of controlling the capacitive electromechanical transducer

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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5424847B2 (ja) 2009-12-11 2014-02-26 キヤノン株式会社 電気機械変換装置
JP5603739B2 (ja) 2010-11-02 2014-10-08 キヤノン株式会社 静電容量型電気機械変換装置
JP5947511B2 (ja) 2011-09-08 2016-07-06 キヤノン株式会社 電気機械変換装置
JP5842533B2 (ja) * 2011-10-26 2016-01-13 コニカミノルタ株式会社 超音波プローブおよび超音波検査装置
JP5893352B2 (ja) 2011-11-14 2016-03-23 キヤノン株式会社 電気機械変換装置
JP6321980B2 (ja) * 2013-03-09 2018-05-09 キヤノン株式会社 検出回路、駆動方法、プローブ、及び被検体情報取得装置
JP6234073B2 (ja) * 2013-06-07 2017-11-22 キヤノン株式会社 静電容量型トランスデューサの駆動装置、及び被検体情報取得装置
WO2015028949A2 (en) * 2013-08-27 2015-03-05 Koninklijke Philips N.V. A cmut-based ultrasound imaging system for wide frequency range imaging
JP6513674B2 (ja) * 2013-08-27 2019-05-15 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． デュアルモードｃｍｕｔトランスデューサ
KR102331437B1 (ko) * 2013-09-27 2021-11-26 코닌클리케 필립스 엔.브이. 초음파 변환기 어셈블리 및 초음파들을 송신하고 수신하기 위한 방법
JP6472313B2 (ja) 2015-04-16 2019-02-20 キヤノン株式会社 探触子及び情報取得装置
JP6590601B2 (ja) 2015-09-04 2019-10-16 キヤノン株式会社 トランスデューサユニット、トランスデューサユニットを備えた音響波用プローブ、音響波用プローブを備えた光音響装置
JP6429759B2 (ja) * 2015-10-24 2018-11-28 キヤノン株式会社 静電容量型トランスデューサ及びそれを備える情報取得装置
US11529120B2 (en) * 2016-04-26 2022-12-20 Koninklijke Philips N.V. Ultrasound device contacting
US10856840B2 (en) * 2016-06-20 2020-12-08 Butterfly Network, Inc. Universal ultrasound device and related apparatus and methods
US11712221B2 (en) * 2016-06-20 2023-08-01 Bfly Operations, Inc. Universal ultrasound device and related apparatus and methods
JP7132915B2 (ja) 2016-10-27 2022-09-07 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 組織型分析器を備える超音波システム
US11061000B2 (en) * 2016-12-01 2021-07-13 Koninklijke Philips N.V. CMUT probe, system and method
CN110325293B (zh) * 2016-12-22 2021-06-22 皇家飞利浦有限公司 电容式射频微机电开关的系统和操作方法
US10573482B2 (en) * 2017-01-30 2020-02-25 International Business Machines Corporation Piezoelectric vacuum transistor
EP3482835A1 (en) * 2017-11-14 2019-05-15 Koninklijke Philips N.V. Capacitive micro-machined ultrasound transducer (cmut) devices and control methods
US12253391B2 (en) 2018-05-24 2025-03-18 The Research Foundation For The State University Of New York Multielectrode capacitive sensor without pull-in risk
JP7516009B2 (ja) 2019-02-20 2024-07-16 キヤノン株式会社 発振器、撮像装置
US10756644B1 (en) * 2019-08-22 2020-08-25 Cypress Semiconductor Corporation Controlled gate-source voltage N-channel field effect transistor (NFET) gate driver
CN112565993A (zh) * 2020-11-16 2021-03-26 歌尔微电子有限公司 骨声纹传感器和电子设备
CN114759826B (zh) * 2021-01-08 2025-09-09 荆门市探梦科技有限公司 一种换能组件以及一种库伦循环发电机
CN115575455B (zh) * 2022-10-08 2025-07-22 山东大学 一种同步进行材料电阻信号测量和性能调控的装置及方法

Family Cites Families (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5144466A (en) 1988-10-04 1992-09-01 Canon Kabushiki Kaisha Optical fiber communication method and multimedia optical fiber network using the same
JP2787820B2 (ja) 1990-07-20 1998-08-20 キヤノン株式会社 波長多重光通信システム及びそこで用いられる光増幅装置
JP3210159B2 (ja) 1993-12-10 2001-09-17 キヤノン株式会社 半導体レーザ、光源装置、光通信システム及び光通信方法
US5659560A (en) 1994-05-12 1997-08-19 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus and method for driving oscillation polarization selective light source, and optical communication system using the same
CA2185880C (en) 1995-09-19 2000-04-25 Masao Majima Communication system for performing wavelength division multiplexing communications, and wavelength control method used in the system
US5998924A (en) 1996-04-03 1999-12-07 Canon Kabushiki Kaisha Image/forming apparatus including an organic substance at low pressure
US5945768A (en) * 1997-05-08 1999-08-31 Alliedsignal Inc. Piezoelectric drive circuit
JPH11153665A (ja) * 1997-11-21 1999-06-08 Sony Corp 超音波センサ
US6443901B1 (en) * 2000-06-15 2002-09-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Capacitive micromachined ultrasonic transducers
US7547283B2 (en) * 2000-11-28 2009-06-16 Physiosonics, Inc. Methods for determining intracranial pressure non-invasively
US7233097B2 (en) * 2001-05-22 2007-06-19 Sri International Rolled electroactive polymers
US7440117B2 (en) * 2002-03-29 2008-10-21 Georgia Tech Research Corp. Highly-sensitive displacement-measuring optical device
US7087023B2 (en) 2003-02-14 2006-08-08 Sensant Corporation Microfabricated ultrasonic transducers with bias polarity beam profile control and method of operating the same
US7257051B2 (en) * 2003-03-06 2007-08-14 General Electric Company Integrated interface electronics for reconfigurable sensor array
US6836159B2 (en) 2003-03-06 2004-12-28 General Electric Company Integrated high-voltage switching circuit for ultrasound transducer array
US7353056B2 (en) * 2003-03-06 2008-04-01 General Electric Company Optimized switching configurations for reconfigurable arrays of sensor elements
EP1665527B1 (en) * 2003-09-10 2011-05-18 Nxp B.V. Electromechanical transducer and electrical device
US20050124884A1 (en) * 2003-12-05 2005-06-09 Mirsaid Bolorforosh Multidimensional transducer systems and methods for intra patient probes
JP2007527285A (ja) 2004-02-27 2007-09-27 ジョージア テック リサーチ コーポレイション 多要素電極ｃｍｕｔ素子及び製作方法
US7274623B2 (en) 2004-04-06 2007-09-25 Board Of Trustees Of The Deland Stanford Junior University Method and system for operating capacitive membrane ultrasonic transducers
WO2005120359A1 (ja) 2004-06-11 2005-12-22 Olympus Corporation 超音波プローブ装置及び超音波診断装置
JP2006003131A (ja) 2004-06-15 2006-01-05 Canon Inc 電位センサ
US20060004289A1 (en) 2004-06-30 2006-01-05 Wei-Cheng Tian High sensitivity capacitive micromachined ultrasound transducer
JP4885211B2 (ja) * 2005-05-18 2012-02-29 コロ テクノロジーズ インコーポレイテッド 微細電子機械変換器
CA2607885A1 (en) * 2005-05-18 2006-11-23 Kolo Technologies, Inc. Through-wafer interconnection
US7382137B2 (en) 2005-05-27 2008-06-03 Canon Kabushiki Kaisha Potential measuring apparatus
JP5128470B2 (ja) * 2005-06-17 2013-01-23 コロ テクノロジーズ インコーポレイテッド 絶縁延長を有する微小電気機械変換器
JP4523879B2 (ja) * 2005-06-20 2010-08-11 株式会社日立製作所 電気・音響変換素子、アレイ型超音波トランスデューサおよび超音波診断装置
WO2007015218A2 (en) * 2005-08-03 2007-02-08 Kolo Technologies, Inc. Micro-electro-mechanical transducer having an optimized non-flat surface
JP2007046981A (ja) * 2005-08-09 2007-02-22 Canon Inc 電位測定装置、及び画像形成装置
JP2007244415A (ja) 2006-03-13 2007-09-27 Fujifilm Corp 超音波プローブ、および超音波診断装置
JP4756642B2 (ja) * 2006-03-16 2011-08-24 オリンパス株式会社 可変形状鏡
US7956510B2 (en) * 2006-04-04 2011-06-07 Kolo Technologies, Inc. Modulation in micromachined ultrasonic transducers
JP5159062B2 (ja) 2006-08-09 2013-03-06 キヤノン株式会社 角速度センサ
US7883446B2 (en) 2007-04-25 2011-02-08 Bravo Sports Trampoline enclosure with access door
JP5105949B2 (ja) 2007-04-27 2012-12-26 キヤノン株式会社 センサ
JP5432440B2 (ja) 2007-07-04 2014-03-05 キヤノン株式会社 揺動体装置
EP2170531A2 (en) 2007-07-31 2010-04-07 Koninklijke Philips Electronics N.V. Cmuts with a high-k dielectric
JP2009053031A (ja) 2007-08-27 2009-03-12 Canon Inc 音波センサ、音波センサアレイ及び超音波撮像装置
EP2215968A4 (en) 2007-11-28 2017-08-02 Hitachi, Ltd. Ultrasonic probe and ultrasonic imaging apparatus
JP5337813B2 (ja) * 2007-12-03 2013-11-06 コロ テクノロジーズ インコーポレイテッド デュアルモード動作マイクロマシン超音波トランスデューサ
US8301262B2 (en) * 2008-02-06 2012-10-30 Cardiac Pacemakers, Inc. Direct inductive/acoustic converter for implantable medical device
JP5247182B2 (ja) * 2008-02-19 2013-07-24 キヤノン株式会社 角速度センサ
JP2009282278A (ja) 2008-05-22 2009-12-03 Fujifilm Corp フォトレジスト層の加工方法および曲面状部材の製造方法
JP5473253B2 (ja) 2008-06-02 2014-04-16 キヤノン株式会社 複数の導電性領域を有する構造体、及びその製造方法
JP5414546B2 (ja) 2010-01-12 2014-02-12 キヤノン株式会社 容量検出型の電気機械変換素子
JP5603739B2 (ja) 2010-11-02 2014-10-08 キヤノン株式会社 静電容量型電気機械変換装置

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