JP2011114052A - 半導体基板の製造方法及びレーザアニール装置 - Google Patents
半導体基板の製造方法及びレーザアニール装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011114052A JP2011114052A JP2009267169A JP2009267169A JP2011114052A JP 2011114052 A JP2011114052 A JP 2011114052A JP 2009267169 A JP2009267169 A JP 2009267169A JP 2009267169 A JP2009267169 A JP 2009267169A JP 2011114052 A JP2011114052 A JP 2011114052A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- laser beam
- surface layer
- layer portion
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体基板の、不純物を含む表層部に、波長390nm以下の高調波レーザビームを照射し、前記不純物を活性化させるので、波長400〜650nmの光吸収係数よりも大きな吸収係数を持つレーザ光を使用して半導体基板の表面を集中的に加熱することができ、半導体基板の100nmよりも浅い領域に導入した不純物を効率よく活性化できる。また、波長390nm以下の固体レーザ発振器を使用することで、エキシマレーザと同様の紫外域の波長のレーザを、固体レーザならではの6〜12kHzの高い繰返し周波数、高いパルス間安定性で照射することができ、高いスループットで安定した品質の半導体基板を製造できる。
【選択図】なし
Description
従来、この種の製造方法及び装置としては、特許文献1に「半導体装置の製造方法及びレーザアニーリング装置」で提案されているものがある。この発明によれば、半導体基板の表層部にイオンを注入してアモルファス化させ、アモルファス化された領域に不純物を注入する。半導体基板の表面温度が、半導体基板の表層部を構成するアモルファス半導体の融点を超えない条件で、半導体基板の表面に波長400〜650nmのパルスレーザビームを入射させて、注入された不純物を活性化させている。
アモルファスシリコンは、図3に同様に示すように、波長390nm以下では単結晶シリコンに比べて吸収係数が低い。上記レーザビーム照射に先立っては、半導体基板の表層部に不純物を導入する工程が実施される。この工程に際し、表層部が非晶質化されないように配慮をして単結晶シリコンの状態で該工程を完了することが望ましい。これによりアモルファス状態と結晶化状態の光吸収状態の変化を考慮せずに安定して活性化できるというメリットがある。なお、不純物導入工程で表層部を非晶質化させないためにはアモルファス化が起こる臨界ドーズ量以下にとどめる必要がある。
また、半導体基板の表面荒れとして、最大高低差として6nm以下が挙げられる。
また、波長390nm以下のレーザダイオード励起型全固体レーザ発振器を使用することで、エキシマレーザと同様の紫外域の波長のレーザを、固体レーザならではの6〜12kHzの高い繰返し周波数、高いパルス間安定性で照射することができ、高いスループットで安定した品質の半導体基板を製造できるという効果を有する。
図1は、本発明のレーザアニール装置1を示すものであり、以下に説明する。
レーザアニール装置1は、レーザ光を半導体基板20に照射して処理する処理室2を備えており、該処理室2は、室内雰囲気を窒素または真空にしてレーザ照射を行うことにより、シリコン半導体基板20の不純物層を活性化するものである。半導体基板20は、100nmよりも浅い領域の表層部21に適宜の不純物が導入されている。不純物の導入方法は本発明としては特に限定をされるものではないが、表層部が非晶質化されることなく単結晶シリコンの状態が維持されるように、例えばB(ボロン)を10keVのエネルギーで、1×1014〜1×1016/cm2のドーズ量の範囲でイオン注入することが望ましい。
レーザ発振器12からは第三高調波で波長355nm前後のレーザビームが6〜12kHzの繰返し周波数で出射され、減衰器10aで、エネルギー密度が調整される。なお、エネルギー密度は、光学系11を経て半導体基板20の表層部21に照射された際に、該表層部21表面で一パルス当たり1300mJ/cm2よりも小さくなるように調整される。
本実施例におけるシリコン半導体基板では、上記表層部21に導入する不純物としてB(ボロン)をイオン注入した。イオン注入は、10keVのエネルギー、1×1015/cm2のドーズ量で行った。
この基板に、波長355nm、発振周波数8kHzのレーザビームを短軸オーバーラップ率90%として、エネルギー密度を変化させて照射した。
図4に照射エネルギー密度とシート抵抗の関係を示す。本試験結果では、0.9J/cm2以上のエネルギー密度ではレーザ照射によってシリコン基板表層部が活性化され、シート抵抗の数値が下がりきっている。しかし、レーザ照射の加熱によるシリコン基板表層部の溶融で、図6に示したものと同様の凹凸が形成される。しかし、本試験結果では0.8J/cm2前後では最表層のみ溶融しており、図5に示すように表面形状は極めてフラットであり、最大高低差は1.5nm以下である。このように最表面のみの溶融で表面荒れが少なく、なおかつ熱伝導によって不純物の活性化が起こるエネルギー密度としては、本試験では0.7〜0.9J/cm2の範囲であった。また、最表層をまったく溶融させずに、レーザ光吸収による加熱と表層からの熱伝導のみで活性化が起こり、レーザ照射前の半導体基板と同一の表面形状のままで処理できるエネルギー密度としては、本試験では0.5〜0.8J/cm2の範囲であった。範囲が重複している理由は、最表層のみの溶融が起きているか、判別が難しいためである。
2 処理室
3 ステージ
7 制御部
10 レーザ発振器
10a 減衰器
11 光学系
12 レーザビーム
20 半導体基板
21 表層部
Claims (14)
- 半導体基板の、不純物を含む表層部に、波長390nm以下の高調波レーザビームを照射し、前記不純物を活性化させることを特徴とする半導体基板の製造方法。
- 前記表層部が、半導体基板の表面から100nmより浅い領域であることを特徴とする請求項1記載の半導体基板の製造方法。
- 前記高調波レーザビームがレーザダイオード励起型全固体レーザ発振器から出射されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記表層部が単結晶シリコンからなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体基板の製造方法。
- 前記表層部に不純物を導入する工程を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体基板の製造方法。
- 前記不純物導入工程において、前記表層部を非晶質化しないことを特徴とする請求項5記載の半導体基板の製造方法。
- 前記高調波レーザビームが第三高調波のレーザビームであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の半導体基板の製造方法。
- 前記高調波レーザビームの照射に際し、前記表層部表面におけるパルスエネルギー密度を1300mJ/cm2よりも小さくすることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記高調波レーザビームの照射に際し、前記表層部の温度が、該表層部を形成する材料の融点付近になるように前記レーザビームのパルスを複数回照射し、該複数回照射による熱伝導と最表層のみの溶融によって、前記不純物を活性化させることを特徴とする請求項1〜8のにいずれかに記載の半導体基板の製造方法。
- 高調波レーザビームの照射によって前記不純物の活性を行った後の前記最表層の最大高低差が6nm以下であることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の半導体基板の製造方法。
- 前記高調波レーザビームの照射に際し、前記表層部の温度が、該表層部を形成する材料の融点付近になるように前記レーザビームのパルスを複数回照射し、該複数回照射による熱伝導によって、表層部を溶融させることなく前記不純物を活性化させることを特徴とする請求項1〜8のにいずれかに記載の半導体基板の製造方法。
- 前記レーザビームの照射によって不純物が活性化された表層部の表面が、平坦であることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の半導体基板の製造方法。
- 前記高調波レーザビームが、前記表層部表面のレーザビーム断面において一方向に長い形状を有し、該レーザビームの入射位置を、レーザビーム断面の長手方向と交差する方向に前記半導体基板に対し相対的に移動させることを特徴とする請求項1〜12いずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 波長390nm以下のパルスレーザビームを出射するレーザ光源と、半導体基板を保持し、該半導体基板の表面に平行な2次元方向に該半導体基板を移動させることが可能なステージと、前記ステージに保持された前記半導体基板の表面に照射された前記パルスレーザビーム断面が、一方向に長い形状を有するように、前記レーザ光源から出射されたパルスレーザビームを整形し、該半導体基板に入射させる光学系と、前記ステージに保持された前記半導体基板が前記パルスレーザビーム断面の短軸方向に移動するように前記ステージの移動を制御する制御装置とを有し、前記パルスレーザによって前記半導体基板に導入された不純物を活性化することが可能なレーザアニール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009267169A JP5246716B2 (ja) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | 半導体基板の製造方法及びレーザアニール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009267169A JP5246716B2 (ja) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | 半導体基板の製造方法及びレーザアニール装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011114052A true JP2011114052A (ja) | 2011-06-09 |
JP5246716B2 JP5246716B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=44236174
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009267169A Active JP5246716B2 (ja) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | 半導体基板の製造方法及びレーザアニール装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5246716B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016063743A1 (ja) * | 2014-10-23 | 2016-04-28 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法および熱処理装置 |
JP2016085265A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法および熱処理装置 |
JP2016115830A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法 |
JP2017028008A (ja) * | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体装置 |
WO2017154597A1 (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | 三菱電機株式会社 | 熱処理装置、熱処理方法、レーザアニール装置、および、レーザアニール方法 |
KR20200140702A (ko) | 2019-06-07 | 2020-12-16 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 레이저어닐링방법 및 레이저제어장치 |
WO2021256434A1 (ja) | 2020-06-18 | 2021-12-23 | 住友重機械工業株式会社 | レーザアニール装置の制御装置及びレーザアニール方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0669149A (ja) * | 1992-08-13 | 1994-03-11 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003332258A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Sony Corp | レーザアニール装置、半導体デバイス、及び半導体デバイスの製造方法。 |
JP2004363168A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2008066410A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその製造方法、並びに半導体装置及びその製造方法 |
JP2008251839A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Ihi Corp | レーザアニール方法及びレーザアニール装置 |
JP2009535850A (ja) * | 2006-05-04 | 2009-10-01 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | insituまたはexsitu熱処理と組み合わされた改良型電界効果トランジスタ向けのイオン注入(FETデバイスを製造する方法およびFETデバイス) |
JP2009267095A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Japan Steel Works Ltd:The | 半導体製造方法 |
-
2009
- 2009-11-25 JP JP2009267169A patent/JP5246716B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0669149A (ja) * | 1992-08-13 | 1994-03-11 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003332258A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Sony Corp | レーザアニール装置、半導体デバイス、及び半導体デバイスの製造方法。 |
JP2004363168A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2009535850A (ja) * | 2006-05-04 | 2009-10-01 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | insituまたはexsitu熱処理と組み合わされた改良型電界効果トランジスタ向けのイオン注入(FETデバイスを製造する方法およびFETデバイス) |
JP2008066410A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその製造方法、並びに半導体装置及びその製造方法 |
JP2008251839A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Ihi Corp | レーザアニール方法及びレーザアニール装置 |
JP2009267095A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Japan Steel Works Ltd:The | 半導体製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016063743A1 (ja) * | 2014-10-23 | 2016-04-28 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法および熱処理装置 |
JP2016085265A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法および熱処理装置 |
US10437153B2 (en) | 2014-10-23 | 2019-10-08 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Heat treatment method and heat treatment apparatus |
JP2016115830A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法 |
JP2017028008A (ja) * | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体装置 |
WO2017154597A1 (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | 三菱電機株式会社 | 熱処理装置、熱処理方法、レーザアニール装置、および、レーザアニール方法 |
JPWO2017154597A1 (ja) * | 2016-03-09 | 2018-09-20 | 三菱電機株式会社 | 熱処理装置、熱処理方法、レーザアニール装置、および、レーザアニール方法 |
KR20200140702A (ko) | 2019-06-07 | 2020-12-16 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 레이저어닐링방법 및 레이저제어장치 |
WO2021256434A1 (ja) | 2020-06-18 | 2021-12-23 | 住友重機械工業株式会社 | レーザアニール装置の制御装置及びレーザアニール方法 |
KR20230028284A (ko) | 2020-06-18 | 2023-02-28 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 레이저어닐링장치의 제어장치 및 레이저어닐링방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5246716B2 (ja) | 2013-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7943534B2 (en) | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device manufacturing system | |
JP5246716B2 (ja) | 半導体基板の製造方法及びレーザアニール装置 | |
EP2674967B1 (en) | Laser annealing method and laser annealing apparatus | |
US8309474B1 (en) | Ultrafast laser annealing with reduced pattern density effects in integrated circuit fabrication | |
US9653299B2 (en) | Semiconductor device producing method | |
KR20120080255A (ko) | 레이저 어닐링 장치 및 레이저 어닐링 방법 | |
JP6910742B2 (ja) | レーザアニール方法及びレーザアニール装置 | |
KR101572717B1 (ko) | 반도체장치의 제조방법 및 레이저어닐링장치 | |
CN1706028A (zh) | 薄膜半导体的制造方法及制造装置 | |
JP2010283325A (ja) | 半導体素子の製造方法及びレーザアニール装置 | |
JP2006344909A (ja) | レーザ照射装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP4614747B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2013058610A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010272587A (ja) | 半導体不純物の活性化方法 | |
JP6000015B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5203348B2 (ja) | 半導体基板の製造方法および半導体基板製造装置 | |
TW201605138A (zh) | 掃描脈衝退火裝置及方法 | |
JP5660880B2 (ja) | レーザアニール方法 | |
JP2014195004A (ja) | 半導体素子の製造方法及び半導体素子の製造装置 | |
JP2015115401A (ja) | レーザアニール方法およびレーザアニール装置 | |
WO2022176443A1 (ja) | 半導体素子の製造方法及び半導体素子 | |
JP2011187603A (ja) | 半導体材料の熱処理方法及び半導体レーザ光遮蔽板 | |
JP2008306211A (ja) | 半導体装置の製造方法及びレーザアニーリング装置 | |
JP2008306210A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121219 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130403 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5246716 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |