JP2011112509A - サーモパイル型赤外線検出装置 - Google Patents

サーモパイル型赤外線検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2011112509A
JP2011112509A JP2009269168A JP2009269168A JP2011112509A JP 2011112509 A JP2011112509 A JP 2011112509A JP 2009269168 A JP2009269168 A JP 2009269168A JP 2009269168 A JP2009269168 A JP 2009269168A JP 2011112509 A JP2011112509 A JP 2011112509A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermopile
infrared
infrared detector
chip
type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009269168A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Kawaguchi
浩二 川口
Motoki Tanaka
基樹 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Ceramic Co Ltd
Original Assignee
Nippon Ceramic Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Ceramic Co Ltd filed Critical Nippon Ceramic Co Ltd
Priority to JP2009269168A priority Critical patent/JP2011112509A/ja
Publication of JP2011112509A publication Critical patent/JP2011112509A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

【課題】サーモパイルセンサ型赤外線検出器に於いて、サーモパイル型赤外線検出器内の容積に対し、実装部材が少なく、熱容量が小さい事から、急激な環境温度変化が加わった際に、サーモパイルチップが受ける熱影響が大きく、環境温度変化に対し、信号出力がドリフトしてしまうという課題がある。
【解決手段】サーモパイル型赤外線検出器に於ける回路部分である抵抗、コンデンサ、オペアンプ等を部材実装した基板を格納し、内部部材体積・熱容量を増加させする事を特徴としている。
【選択図】図1

Description

本発明は、サーモパイル型赤外線検出装置に関する。
従来のサーモパイル型赤外線検出装置は、図4に示すように、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップと、自己温度測定用のサーミスタを、赤外線透過窓を具備した金属缶ケースと電気的接続を成すリード端子を備えたヘッダーにハーメチックシールされたTO−5型サーモパイル型赤外線検出器と、サーモパイルチップより生じた起電力を増幅する増幅回路を構成する部品を実装した外付け接続用基板とを接続した構成が従来技術として知られている。
また、図5に示すように、サーモパイルチップより生じた起電力を増幅する増幅回路をサーモパイルチップと同一チップ上にパターン配線により構成したCMOS回路搭載サーモパイルチップとし、赤外線透過窓を具備した金属缶ケースと電気的接続を成すリード端子を備えたヘッダーにハーメチックシールされたTO−5型サーモパイル型赤外線検出装置も存在する。
特願2002―943
しかしながら従来技術は、サーモパイル型赤外線検出器内の容積に対し、実装部材が少なく、熱容量が小さい事から、急激な温度変化が加わった際に、サーモパイルチップが受ける熱影響が大きく、温度変化に対し、信号出力がドリフトしてしまうという課題がある。
また前記従来の、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップと、自己温度測定用のサーミスタを、赤外線透過窓を具備した金属缶ケースと電気的接続を成すリード端子を備えたヘッダーにハーメチックシールされたTO−5型サーモパイル型赤外線検出器と、サーモパイルチップより生じた起電力を増幅する増幅回路を構成する部品を実装した外付け接続用基板とを接続した構成に於いては、立体的に大きく構成されている事により、アプリケーション装置内に取り付けの際、スペース上の格納性に於いての課題がある。
また、サーモパイルチップより生じた起電力を増幅する回路部分を構成する部品を実装した外付け接続用基板とを接続した構成とする事で、外来ノイズの影響を受けやすいという課題がある。
また、高温高湿環境下への長時間の放置において、サーモパイルチップより生じた起電力を増幅する回路部分が湿度の影響を受ける事で電気的リークが発生し、信号出力が減衰し検出温度性能が悪化するという課題がある。
上記の課題を解決するために、サーモパイル型赤外線検出器内部へ、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップとサーモパイルチップの起電力を増幅する回路部分を構成する抵抗、コンデンサ、オペアンプ等を部材実装した基板を格納し、赤外線透過材を具備する金属缶ケースと電気的接続を成すリード端子を備えたヘッダーにハーメチックシールされたTO−5型パッケージに格納する事で内部部材体積・熱容量を増加させる事を特徴としている。
本発明は、サーモパイル型赤外線検出器内部へ、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップとサーモパイルチップの起電力を増幅する回路部分である抵抗、コンデンサ、オペアンプ等を部材実装した基板として格納し、赤外線透過材を具備する金属缶ケースと電気的接続を成すリード端子を備えたヘッダーにハーメチックシールされたTO−5型パッケージに格納する事で内部部材体積を増加、つまりは、サーモパイル型赤外線検出器自身の熱容量を増加させる事が可能となり、環境温度変化耐力を有する事で、温度ドリフト性能が向上する。
実施例1のサーモパイル型赤外線検出装置を示す分解外観図である。 実施例1のサーモパイル型赤外線検出装置の外観図である。 実施例1のTO−5型パッケージ内の回路構成図である。 従来の外付け基板を用いたサーモパイル型赤外線検出装置である。 従来のCMOS回路搭載サーモパイルチップ搭載型サーモパイル型赤外線検出装置の分解概略図である。 実施例2のサーモパイル型赤外線検出装置を示す分解外観図である。 実施例3のサーモパイル型赤外線検出装置を示す分解外観図である。 本発明の実施例1のサーモパイル型赤外線検出装置、及び、従来の赤外線検出装置の急激な周囲温度変化時の出力変化を示したグラフである。 実施例1及び従来方式による外来ノイズ印加時の影響確認特性である。 実施例1及び従来方式による長時間の湿度付加時の影響確認特性である。
以下実施例により本発明を詳細に説明する。
図1は、本発明に関わるサーモパイル型赤外線検出装置の分解外観図である。
赤外線を入射透過させるフィルター材1を具備した金属缶ケース2と、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップ3、及び、サーモパイルチップの起電力を増幅する回路部分である抵抗5、コンデンサ6、オペアンプ4等を部材実装した基板7、前記基板との電気的接続を成すリード端子10を備えたヘッダー9により、外来からの環境温度変化や、電磁障害を防止する為にハーメチックシールとした構造となっている。
実施例1に於いては、赤外線を入射透過させるフィルター材1を用いているが、レンズ形状の赤外線透過材でもかまわない。
これらは一般的なTO−5型パッケージに格納可能な為、サーモパイルチップ3の受光部へ赤外線を集光させる光学レンズ及び、ミラーのデザイン並びに、使用自由度が格段にアップし、既存製品との置き換え等も可能な構造となる。
この際に使用する光学レンズ及びフィルター1は透過依存性がある5μmカットオン、8〜14μmバンドパス、ARコート等のコーティングが施されていてもかまわない。
また、増幅回路をTO−5型パッケージ内に格納する事により、小型化が可能となり、設置スペースの制約にも余裕を持つ事が可能となる。
さらには、金属缶ケース2及び、前記基板との電気的接続を成すリード端子10を備えたヘッダー9が、サーモパイル型赤外線検出装置のグランドと接続されており、アースへ接地されている為、外来からの電磁障害に対して、シールドされている構造となる。
図2は、本実施例に関わるサーモパイル型赤外線検出装置の外観形状図である。
図3は、本実施例に関わるサーモパイル型赤外線検出装置のTO−5型パッケージ内の回路構成図である。
図2に示すように、一般的なTO−5型パッケージに格納した構造となっている。
基板7は、パターン配線により増幅回路を構成しているが、図が煩雑となるため、パターン配線は割愛する。
図8は本発明によるサーモパイル型赤外線検出装置、従来のサーモパイル型赤外線検出装置へ急激な温度変化(約2℃/min.)を与えた場合の出力変化を示したグラフである。図8に見られるように、本発明のサーモパイル型赤外線検出装置において、環境温度変化時の出力信号のドリフトが従来のサーモパイル型赤外線検出装置に対し約1/8の変動に抑制され改善されていることを確認した。
図9は実施例1の外来ノイズ印加時の影響確認特性である。
図4に示す従来のTO−5型サーモパイル型赤外線検出器12と、サーモパイルチップより生じた起電力を増幅する回路を構成する部品を実装した外付け接続用基板13とを接続した構成でのサーモパイル型赤外線検出装置では、アンプ増幅前信号が外来ノイズの影響を受けやすく、出力特性に影響を及ぼし、検出温度として温度ズレが発生するのに対し、本発明の実施例1においては、赤外線を入射透過させるフィルター材1を具備した金属缶ケース2と、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップ3、及び、サーモパイルチップ3の起電力を増幅する回路部分である抵抗5、コンデンサ6、オペアンプ7等を部材実装した基板7、前記基板7との電気的接続を成すリード端子10を備えたヘッダー9が、サーモパイル型赤外線検出装置のグランドと接続されており、アースへ接地された構造にてハーメチックシールされている事で、アンプ増幅前信号がグランド部材によりシールドされた構造となっている事から外来ノイズに対し、出力変動が約1/10となり影響を受けにくい事を確認した。
図10は実施例1の長時間の湿度付加時の影響確認特性である。
図4に示す従来のTO−5型サーモパイル型赤外線検出器12と、サーモパイルチップより生じた起電力を増幅する増幅回路を構成する部品を実装した外付け接続用基板13とを接続した構成でのサーモパイル型赤外線検出装置では、アンプ増幅前信号出力ラインが長時間の高温高湿環境下に放置する事で湿度の影響を受け、信号出力に影響を及ぼし、検出温度として出力ズレが発生するのに対し、本発明の実施例1において、赤外線を入射透過させるフィルター材1を具備した金属缶ケース2と、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップ3、及び、サーモパイルチップ3の起電力を増幅する回路部分である抵抗5、コンデンサ6、オペアンプ4等を部材実装した基板7、前記基板7との電気的接続を成すリード端子10を備えたヘッダー9が、サーモパイル型赤外線検出装置のグランドと接続されており、アースへ接地された構造にてアンプ増幅前信号がハーメチックシールされたパッケージ内に格納された構造となっている事から湿度に対し、影響を受けにくい事を確認した。
図6は、本発明に関わるサーモパイル型赤外線検出装置の別構造分解外観図である。
赤外線を入射透過させるフィルター材1を具備した金属缶ケース2と、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップ3、及び、サーモパイルチップ3の起電力を増幅する回路部分である抵抗5、コンデンサ6を実装配置した基板7とし、別途、オペアンプ4をヘッダー9へ実装し、前記基板7との電気的接続を成すリード端子10を備えたヘッダー9により、外来からの環境温度変化や、電磁障害を防止する為にハーメチックシールとした構造となっている。
こちらの形状に於いても、実施例1と同様、図8に見られるように、本発明のサーモパイル型赤外線検出装置において、環境温度変化時の出力信号のドリフトが約1/8の変動へ改善されていることを確認した。
また、実施例1と同様、アンプ増幅前信号がグランド部材によりシールドされた構造となっている事から外来ノイズ及び湿度に対し、影響を受けにくい事を確認した。
図7は、本発明に関わるサーモパイル型赤外線検出装置の別構造分解外観図である。
赤外線を入射透過させるフィルター材1を具備した金属缶ケース2と、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップ3、及び、サーモパイルチップ3の起電力を増幅する回路部分である抵抗5、コンデンサ6、オペアンプ4を積層にて実装配置した基板7、前記基板7との電気的接続を成すリード端子10を備えたヘッダー9により、外来からの環境的変化や、電磁障害を防止する為にハーメチックシールとした構造となっている。

こちらの形状に於いても、実施例1と同様、図8に見られるように、本発明のサーモパイル型赤外線検出装置において、環境温度変化時の出力信号のドリフトが約1/8の変動へ改善されていることを確認した。
また、実施例1と同様、アンプ増幅前信号がグランド部材によりシールドされた構造となっている事から外来ノイズ及び湿度に対し、影響を受けにくい事を確認した。
1 フィルター材
2 金属缶ケース
3 サーモパイルチップ
4 オペアンプ
5 抵抗
6 コンデンサ
7 基板
8 サーミスタ
9 ヘッダー
10 リード端子
11 AUワイヤー
12 TO−5型サーモパイル型赤外線検出装置
13 外付け接続用基板
14 CMOS回路搭載サーモパイルチップ

Claims (2)

  1. サーモパイル型赤外線検出器内部へ、赤外線を受光することにより対象物の放射赤外線量を測定し対象物の温度を検出する事を可能にするサーモパイルチップとサーモパイルチップの起電力を増幅する回路部分を配置し、赤外線透過材を具備する金属缶ケースと電気的接続を成すリード端子を備えたヘッダーにハーメチックシールされたTO−5型パッケージに格納する事により内部部材体積・熱容量を増加させる事を特徴とするサーモパイル型赤外線検出装置。
  2. 請求項1のサーモパイル型赤外線検出装置に於いて、サーモパイルチップの起電力を増幅する回路部分である、抵抗、コンデンサ、オペアンプ等を部材実装した基板を格納する事を特徴とするサーモパイル型赤外線検出装置。
JP2009269168A 2009-11-26 2009-11-26 サーモパイル型赤外線検出装置 Pending JP2011112509A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009269168A JP2011112509A (ja) 2009-11-26 2009-11-26 サーモパイル型赤外線検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009269168A JP2011112509A (ja) 2009-11-26 2009-11-26 サーモパイル型赤外線検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011112509A true JP2011112509A (ja) 2011-06-09

Family

ID=44234951

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009269168A Pending JP2011112509A (ja) 2009-11-26 2009-11-26 サーモパイル型赤外線検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2011112509A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111504476A (zh) * 2019-01-31 2020-08-07 众智光电科技股份有限公司 红外线温度传感器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000503122A (ja) * 1996-01-10 2000-03-14 エンジェルハード・センサー・テクノロジーズ・インコーポレイテッド 受動赤外線分析ガスセンサおよびこれを応用したマルチチャンネル検知装置
JP2003518615A (ja) * 1999-12-24 2003-06-10 ペルキンエルメル オプトエレクトロニクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 赤外放射多重素子センサの出力信号の補正方法および赤外放射多重素子センサ・システム
JP2006047085A (ja) * 2004-08-04 2006-02-16 Denso Corp 赤外線センサ装置およびその製造方法
JP2008128912A (ja) * 2006-11-22 2008-06-05 Matsushita Electric Works Ltd 赤外線検出装置およびその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000503122A (ja) * 1996-01-10 2000-03-14 エンジェルハード・センサー・テクノロジーズ・インコーポレイテッド 受動赤外線分析ガスセンサおよびこれを応用したマルチチャンネル検知装置
JP2003518615A (ja) * 1999-12-24 2003-06-10 ペルキンエルメル オプトエレクトロニクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 赤外放射多重素子センサの出力信号の補正方法および赤外放射多重素子センサ・システム
JP2006047085A (ja) * 2004-08-04 2006-02-16 Denso Corp 赤外線センサ装置およびその製造方法
JP2008128912A (ja) * 2006-11-22 2008-06-05 Matsushita Electric Works Ltd 赤外線検出装置およびその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111504476A (zh) * 2019-01-31 2020-08-07 众智光电科技股份有限公司 红外线温度传感器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110121634B (zh) 支持smd的红外热电堆传感器
JP2016194525A (ja) 電磁放射を検出するための装置
JPH11132857A (ja) 赤外線検出器
US11754492B2 (en) Photoacoustic gas sensor device
WO2011083593A1 (ja) 非接触温度センサ
JP2011149920A (ja) 赤外線センサ
WO2012117568A1 (ja) 赤外線温度センサ、電子機器、および赤外線温度センサの製造方法
US7276697B2 (en) Infrared apparatus
US10436647B2 (en) Non-contact temperature measurement sensor
JP2006317232A (ja) 赤外線センサ
US20220236230A1 (en) Photoacoustic gas sensor device
US5311019A (en) Pyroelectric hybridized long-wave infrared laser radiation detector assembly
JP2015137862A (ja) 赤外線検出器
JP2008519972A (ja) 赤外線検出器
JP2007085840A (ja) 赤外線検出装置
JP2011112509A (ja) サーモパイル型赤外線検出装置
JP2005195435A (ja) 非接触型温度検出器
JP6860755B1 (ja) 光検出装置
CN110887806B (zh) 基于超材料的无滤波片型红外热辐射气体浓度传感器
CN112945398A (zh) 一种温度补偿红外热电堆传感器及红外体温计
JP5296353B2 (ja) センサ
KR101437437B1 (ko) Fbg 센서 시스템 및 그의 광 신호처리 모듈
JP2012215431A (ja) 赤外線センサ
JP5985909B2 (ja) ガスセンサ
JP6194799B2 (ja) 赤外線センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20121126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140325

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20141028