JP2011108846A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】セルライブラリ作成時における工数を削減し、回路設計処理を短時間で行うことのできる、半導体集積回路装置を提供する。
【解決手段】半導体集積回路装置は、同一のレイアウト構造を有する、第1セル及び第2セルと、電源層に配置され、第1電源電圧が常時印加される、常時第1電源配線と、前記電源層に配置された、一時的第1電源配線と、前記常時第1電源配線と前記一時的第1電源配線との間の導通及び非導通を切り替える、スイッチセルとを具備する。前記第1セル及び前記第2セルのそれぞれは、前記第1電源電圧が印加される端子として、常時第1電源端子及び一時的第1電源端子を有する。前記常時第1電源端子及び前記一時的第1電源端子は、前記電源層とは別の層に配置される。前記第1セルでは、前記常時第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記常時第1電源配線に接続される。前記第2セルでは、前記一時的第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記一時的第1電源配線に接続される。
【選択図】図2

Description

本発明は、半導体集積回路装置に関する。
半導体集積回路装置は、それぞれが所望する論理機能を実現する複数の論理セル、各論理セルに電源電圧を供給する電源配線群、及び、複数の論理セルに接続された信号配線群、などを含んでいる。
半導体集積回路装置に対しては、低消費電力化が強く要求されている。半導体集積回路装置が動作している場合、必ずしも全ての論理セルが動作しているわけではない。複数の論理セルの中には、常に動作すべきセルと、必要のないときには休止していてもよいセルとが含まれていることがある。低消費電力化を実現するために、休止していてもよいセルに対しては、電源電圧の供給を一時的に止めることが考えられる。
関連技術として、特許文献1(特開2005−259879号公報)に記載された半導体集積回路が挙げられる。この半導体集積回路は、複数の回路セルを有する半導体集積回路であり、縞状に配置された複数の電源線群と、その電源線群から分岐して、少なくとも1つの回路セルに電源を供給する複数の分岐線群と、上記分岐線群に挿入され、入力される制御信号に応じて上記回路セルへの電源の供給を遮断する電源スイッチセルと、を有する。図1A及び図1Bは、この半導体集積回路で用いられる回路セルの構成を示す図である。図1Aに示される回路セル101は、インバータ回路、配線103、配線104、及び配線105を含んでいる。配線103は、電源線VDDに接続される配線である。配線105は、常に電源線VSSに接続される配線である。配線104は、電源スイッチセルがオン状態のときにだけ、電源線VSSに接続される配線である。回路セル101では、インバータ回路のVSS端子が、配線104に接続されている。従って、この回路セル101は、電源スイッチセルがオンのときにだけ、動作する。一方、図1Bに示される回路セル102は、回路セル101と同様に、インバータ回路、配線103、配線104、及び配線105を含んでいる。但し、回路セル102では、インバータ回路のVSS端子が、配線105に接続されている。従って、回路セル102は、電源スイッチセルのオン/オフに関係なく、常に動作する。
特開2005−259879号公報
特許文献1に記載された半導体集積回路では、電源スイッチセルのオン/オフを制御することにより、論理セル(回路セル101)を必要なときにだけ動作させることができる。しかしながら、同じ論理機能を有する論理セルであっても、一時的に動作させる論理セルの構成は、常に動作させる論理セルの構成と異なっている。このことは、半導体集積回路を設計する際の負担になる。半導体集積回路を設計する場合には、予め、セルライブラリが準備される。セルライブラリには、論理機能と、その論理機能を実現するための論理セルの構成とが対応付けられている。設計時には、セルライブラリを参照することにより、所望する論理機能に対応する論理セルが抽出され、抽出された論理セルがレイアウトされる。ここで、常に動作する論理セルと一時的に動作させる論理セルとの間で構成が異なる場合には、それらが同じ論理機能を有していたとしても、セルライブラリにおいては別々のセルとして記述される。従って、セルライブラリ作成時における工数が増加し、その結果、回路設計時における設計工数が増加してしまう、という問題点があった。
本発明に係る半導体集積回路装置は、同一のレイアウト構造を有する、第1セル及び第2セルと、電源層に配置され、第1電源電圧が常時印加される、常時第1電源配線と、前記電源層に配置された、一時的第1電源配線と、前記常時第1電源配線と前記一時的第1電源配線との間の導通及び非導通を切り替える、スイッチセルとを具備する。前記第1セル及び前記第2セルのそれぞれは、前記第1電源電圧が印加される端子として、常時第1電源端子及び一時的第1電源端子を有している。前記常時第1電源端子及び前記一時的第1電源端子は、前記電源層とは別の層に配置されている。前記第1セルでは、前記常時第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記常時第1電源配線に接続される。前記第2セルでは、前記一時的第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記一時的第1電源配線に接続されている。
この発明によれば、第1セルに対しては、常に、常時第1電源配線から第1電源電圧が供給される。従って、第1セルは、常に動作する。一方、第2セルに対しては、一時的電源配線が接続されている。一時的電源配線は、スイッチセルにより、一時的に常時第1電源配線と導通する。すなわち、スイッチセルがオンのときにだけ、第2セルに対して第1電源電圧が供給され、第2セルが動作する。これにより、第2セルを必要なときにだけ動作させることができ、消費電力を抑えることが可能である。加えて、上述の発明では、第1セルと第2セルとが同一のレイアウト構造を有している。従って、設計時に、第1セルの構成と第2セルの構成とを区別する必要がない。従って、セルライブラリ作成時における工数を削減することができ、回路設計を短時間で行うことができる。
本発明に係る半導体集積回路のレイアウト装置は、電源層に電源配線群をレイアウトし、前記電源配線群のレイアウト結果を示す電源データを生成する、電源レイアウト部と、同一のレイアウト構造を有し、それぞれが第1電源電圧が印加される端子として常時第1電源端子及び一時的第1電源端子を有する、第1セル及び第2セルをレイアウトし、前記第1セル及び前記第2セルのレイアウト結果を示すセルデータを生成する、セル配置部と、前記第1セル及び前記第2セルのそれぞれが前記電源配線群と電気的に接続されるように、コンタクトホール群をレイアウトし、前記コンタクトホール群のレイアウト結果を示すコンタクトホールデータを生成する、コンタクトホール配置部と、前記電源データ、前記セルデータ、及び前記コンタクトホールデータに基づいて、設計対象回路の配線構造を示すレイアウトデータを生成する、レイアウト決定部とを具備する。前記電源レイアウト部は、前記電源配線群として、第1電源電圧が常時印加される、常時第1電源配線と、前記電源層に配置された、一時的第1電源配線と、前記常時第1電源配線と前記一時的第1電源配線との間の導通及び非導通を切り替える、スイッチセルとをレイアウトする。前記セル配置部は、前記常時第1電源端子及び前記一時的第1電源端子が前記電源層とは別の層に配置されるように、前記第1セル及び前記第2セルをレイアウトする。前記コンタクトホール配置部は、前記第1セルでは、前記常時オン第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記常時第1電源配線に接続され、前記第2セルでは、前記一時的オン第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記一時的第1電源配線に接続されるように、前記コンタクトホール群をレイアウトする。
本発明に係る半導体集積回路のレイアウト方法は、コンピュータにより、電源層に電源配線群をレイアウトし、前記電源配線群のレイアウト結果を示す電源データを生成するステップと、コンピュータにより、同一のレイアウト構造を有し、それぞれが第1電源電圧が印加される端子として常時第1電源端子及び一時的第1電源端子を有する、第1セル及び第2セルをレイアウトし、前記第1セル及び前記第2セルのレイアウト結果を示すセルデータを生成するステップと、コンピュータにより、前記第1セル及び前記第2セルのそれぞれが前記電源配線群と電気的に接続されるように、コンタクトホール群をレイアウトし、前記コンタクトホール群のレイアウト結果を示すコンタクトホールデータを生成するステップと、コンピュータにより、前記電源データ、前記セルデータ、及び前記コンタクトホールデータに基づいて、設計対象回路の配線構造を示すレイアウトデータを生成するステップとを具備する。前記電源データを生成するステップは、前記電源配線群として、第1電源電圧が常時印加される、常時第1電源配線をレイアウトするステップと、一時的第1電源配線をレイアウトするステップと、前記常時第1電源配線と前記一時的第1電源配線との間の導通及び非導通を切り替える、スイッチセルをレイアウトするステップとを含む。前記セルデータを生成するステップは、前記電源層とは別の層に、前記常時第1電源端子及び前記一時的第1電源端子が配置されるように、前記第1セル及び前記第2セルをレイアウトするステップを含む。前記コンタクトホールデータを生成するステップは、前記第1セルに含まれる前記常時オン第1電源端子が前記常時第1電源配線に接続され、前記第2セルに含まれる前記一時的オン第1電源端子が前記一時的第1電源配線に接続されるように、前記コンタクトホール群をレイアウトするステップを含む。
本発明に係る半導体集積回路のレイアウトプログラムは、上述の半導体集積回路のレイアウト方法を、コンピュータにより実現するためのプログラムである。
本発明によれば、セルライブラリ作成時における工数を削減することができ、回路設計を短時間で行うことができる、半導体集積回路装置が提供される。
特許文献1に記載された半導体集積回路で用いられる回路セルの構成を示す図である。 特許文献1に記載された半導体集積回路で用いられる回路セルの構成を示す図である。 第1の実施形態に係る半導体集積回路装置を示すレイアウト図である。 図2の一部を示す拡大図である。 第1セルの構成を示すレイアウト図である。 第2セルの構成を示すレイアウト図である。 第1の実施形態に係る半導体集積回路のレイアウト装置を示すブロック図である レイアウト装置の動作方法を示すフローチャートである。 第2の実施形態に係る半導体集積回路装置を示すレイアウト図である。 セル7を示すレイアウト図である。
以下に、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
(第1の実施形態)
図2は、本実施形態に係る半導体集積回路装置1を示すレイアウト図である。この半導体集積回路装置1では、チップ上に、複数の配線層が形成されている。図2は、複数の配線層を上層側から見たときの図を示しており、各層の構成が重ねられて示されている。
図2に示されるように、半導体集積回路装置1は、複数のセル7(7−1、7−2)、電源配線群(2、3、4、5)、及びコンタクトホール6を有している。また、図示されていないが、複数のセル7同士は、信号配線群により、結線されている。
複数のセル7は、第1セル7−1と、第2セル7−2とを有している。第1セル7−1と第2セル7−2とは、同じ論理機能を実現するセルである。但し、第1セル7−1は常に動作するセルである。一方、第2セル7−2は常に動作する必要はなく、必要がないときにはその動作を休止するセルである。後述するように、第1セル7−1は、第2セル7−2と構成が同じである。
電源配線群は、複数の配線層のうちの電源層に配置されている。電源配線群は、複数のセル7のそれぞれに対して電源電圧を供給するために設けられた配線群である。電源配線群は、VSS配線2(常時第1電源配線)、VSS配線3(一時的第1電源配線)、VDD配線4(第2電源配線)、及び電源スイッチセル5を備えている。
VSS配線2には、常に、第1電源電圧としてVSS電圧が印加される。また、VDD配線4には、常に、第2電源電圧としてVDD電圧が印加される。
VSS配線2、VSS配線3、及びVDD配線4のそれぞれは、第1方向に沿って伸びている。また、VSS配線2及びVDD配線4は、第1方向に直交する第2方向に沿っても延びている。
図3は、図2に示される半導体集積回路装置の一部を示す拡大図である。電源スイッチセル5は、第1方向に沿って伸びるVSS配線2及びVDD配線4が、第2方向に沿って伸びるVSS配線2、VSS配線3、及びVDD配線4と交わる部分に配置されている。電源スイッチセル5は、VSS配線3を、VSS配線2及びVDD配線4のどちらかと導通させるように、構成されている。VSS配線3の電圧は、VSS配線2と導通している場合にはVSS電圧に維持され、VDD配線2と導通している場合にはVDD電圧に維持される。尚、電源スイッチセル5の動作は、図示しない制御信号によって切り替えられる。電源スイッチセル5は、例えばトランジスタを含むスイッチ回路などにより、実現される。
ここで、各セル7は、電源電圧(VSS電圧及びVDD電圧)が印加される電源端子群(図2では図示されていない)を備えている。この電源端子群は、電源配線群が配置された電源層とは異なる層に配置されている。そして、第1セル7−1の電源端子群は、コンタクトホール6を介して、VSS配線2及びVDD配線4に接続されている。一方、第2セル7−2の電源端子群、コンタクトホール6を介して、VSS配線3及びVDD配線4に接続されている。
本実施形態では、第1セル7−1のレイアウト構成が、第2セル7−2のレイアウト構成を同じである。図4A及び図4Bを参照して、各セル7の構成について詳細に説明する。図4Aは、第1セル7−1の構成を示すレイアウト図である。一方、図4Bは、第2セル7−1の構成を示すレイアウト図である。図4A及び図4Bでは、第1セル7−1及び第2セル7−2として、インバータ回路10を含むセルが例示されている。
第1セル7−1及び第2セル7−2は、ともに、電源端子群として、VDD接続端子8、常時第1電源接続端子9−1、及び一時的第1電源接続端子9−2を含んでいる。VDD接続端子8は、VDD配線4と重なる位置に配置されている。常時第1電源接続端子9−1は、VSS配線2と重なる位置に配置されている。一時的第1電源接続端子9−2は、VSS配線3と重なる位置に配置されている。
第1セル7−1及び第2セル7−2のそれぞれにおいて、VDD接続端子8は、コンタクトホール6を介して、VDD配線4に接続されている。図4Aに示されるように、第1セル7−1においては、常時第1電源接続端子9−1にコンタクトホール6が接続されている。すなわち、第1セル7−1では、常時第1電源接続端子9−1が、コンタクトホール6を介して、VSS配線2(図2参照)に接続されている。一方、図4Bに示されるように、第2セル7−2においては、一時的第1電源端子9−2に対してコンタクトホール6が接続されている。すなわち、第2セル7−2では、一時的第1電源接続端子9−2が、コンタクトホール6を介して、VSS配線3(図2参照)に接続されている。尚、第1セル7−1に含まれる一時的第1電源端子9−2は、コンタクトホール6と接続されておらず、VSS配線3とは電気的に遮断されている。また、尚、第2セル7−2に含まれる常時第1電源端子9−1は、コンタクトホール6と接続されておらず、VSS配線2とは電気的に遮断されている。
上述のような構成を採用することにより、第1セル7−1に対しては、常に、VDD電圧及びVSS電圧が供給される。従って、第1セル7−1は、常に動作する。一方、第2セル7−2に対しては、VSS配線3の電圧がVSS電圧に維持されているときにだけ、VDD電圧及びVSS電圧の双方が供給される。すなわち、第2セル7−2は、一時的に動作する。VSS配線3の電圧がVDD電圧に維持されている場合には、第2セル7−2は動作せず、休止状態になる。すなわち、第2セル7−2が動作するか否かは、電源スイッチセル5により、切り替えられる。これにより、必要のないときに第2セル7−2に対する電源電圧の供給を遮断することができ、消費電力を低減することが可能である。
また、本実施形態では、第1セル7−1と第2セル7−2とのレイアウト構成が同じであることによって、設計時における処理負担を軽減することが可能である。以下に、この点について、本実施形態に係る半導体集積回路のレイアウト装置及びその動作方法を説明することにより、詳述する。
図5は、本実施形態に係る半導体集積回路のレイアウト装置11を示すブロック図である。このレイアウト装置11は、CPU、ROM(Read Only Memory)、及びRAM(Random Access Memory)などを有するコンピュータにより実現される。レイアウト装置11は、ROMに、レイアウトプログラムがインストールされている。このレイアウトプログラムにより、電源レイアウト部12、セル配置部13、コンタクトホール配置部14、信号配線配置部15、及びレイアウト決定部16が実現される。また、レイアウト装置11は、ハードディスクなどの記憶媒体を備えており、この記憶媒体にセルライブラリ17が格納されている。セルライブラリ17は、論理機能とその論理機能を実現する論理セルの構成とを、対応付けて示している。
以下に、レイアウト装置11の動作方法について説明する。図6は、レイアウト装置11の動作方法を示すフローチャートである。
ステップS1;電源配線及びスイッチセルのレイアウト
まず、レイアウト装置11に、予め準備された設計情報が入力される。設計情報は、レイアウト対象回路に用いられる複数の論理機能、及びその論理機能の接続関係などを示す情報である。電源レイアウト部12が、電源層に、電源配線群(2、3、4、5)をレイアウトし、そのレイアウト結果を示す電源データを生成する。
ステップS2;論理セルのレイアウト
次いで、セル配置部13が、図2に示したように、複数のセル7をレイアウトし、そのレイアウト結果を示すセルデータを生成する。この際、セル配置部13は、電源データ及び設計情報を取得する。更に、セル配置部13は、セルライブラリ17を参照する。そして、セルライブラリ17から、設計情報に記載された論理機能に対応するセル7を抽出し、抽出したセル7をレイアウトする。ここで、セル配置部13は、各セル7の電源端子群が電源層とは異なる層に配置されるように、複数のセル7をレイアウトする。また、各セル7は、VDD接続端子8がVDD配線4と重なり、常時第1電源接続端子9−1がVSS配線2と重なり、一時的第1電源接続端子9−2がVSS配線3と重なるように、レイアウトされる。
本ステップにおいて、セル配置部13は、第1セル7−1と第2セル7−2との違いを考慮してレイアウトを行う必要はない。第1セル7−1と第2セル7−2との違いを考慮する必要がないので、複数のセル7をレイアウトする際の処理に要する負担が軽減されている。
ステップS3;コンタクトホールのレイアウト
次いで、コンタクトホール配置部14が、電源データ、セルデータ、及び設計情報に基づいて、コンタクトホール6をレイアウトする。コンタクトホール配置部14は、そのレイアウト結果を示すコンタクトホールデータを生成する。この際、コンタクトホール配置部14は、設計情報等に基づいて、ステップS2で配置された複数のセル7のうち、どのセルを第1セル7−1に設定し、どのセルを第2セル7−2に設定するかを、決定する。そして、コンタクトホール配置部14は、第1セル7−1に対しては、常時第1電源接続端子9−1とVSS配線2とが接続されるように、コンタクトホール6をレイアウトする。また、第2セル7−2に対しては、一時的第1電源接続端子9−2がVSS配線3と接続されるように、コンタクトホール6がレイアウトされる。すなわち、本ステップでコンタクトホール6の配置が決定されることにより、第1セル7−1と第2セル7−2とが区別されることになる。
ステップS4;信号配線のレイアウト
次いで、信号配線配置部15が、セルデータに基づいて、複数のセル7間で信号の入出力などを行うための信号配線をレイアウトする。信号配線配置部15は、そのレイアウト結果を示す信号配線データを生成する。
ステップS5;レイアウトデータの生成
次いで、レイアウト決定部16が、電源データ、セルデータ、コンタクトホールデータ、及び信号配線データを組み合わせて、レイアウトデータを生成する。レイアウトデータは、本レイアウト装置11による処理結果として出力される。
以上のステップS1〜S5の処理により、半導体集積回路装置が設計される。
以上説明したように、本実施形態では、第1セル7−1と第2セル7−2とが同一のレイアウト構造を有しているので、セルライブラリ17において、第1セル7−1と第2セル7−2とを区別する必要がない。セルライブラリ17の作成時における工数を削減することができる。その結果、回路設計処理を短時間で行うことができる。
また、本実施形態では、コンタクトホール6によって、第1セル7−1と第2セル7−2とが区別される。複数のセル7を配置する際(ステップS2)においては第1セル7−1と第2セル7−2との違いを考慮する必要がない。これにより、複数のセル7を配置する際に要する処理負担を軽減することができる。
尚、本実施形態では、VSS配線として、常時VSS電圧が印加される配線(VSS配線2)と一時的にVSS電圧が印加される配線(VSS配線3)とが設けられる場合について説明した。但し、VSS配線ではなく、VDD配線として、常時VDD電圧が印加される配線と一時的にVDD電圧が印加される配線とが用いられてもよい。2系統の電源電圧が用いられる場合、高電圧側の電源電圧を遮断することによりセルを休止状態にする方が、低電圧側の電源電圧を遮断する場合と比較して、休止時におけるリーク電流をより少なくすることが可能になり、消費電力をより低減できる。
また、本実施形態では、電源配線群が電源層に配置される場合について説明した。ここで、電源層は、各セル7に含まれる電源端子群とは別の層であればよく、複数の層によって形成されていてもよい。例えば、VSS配線2とVDD配線4とが、別々の層に配置されていてもよい。
(第2の実施形態)
続いて、第2の実施形態について説明する。図7は、本実施形態に係る半導体集積回路装置1を示すレイアウト図である。本実施形態では、第1の実施形態に対して、第3セル7−3、第3セル用一時的第1電源配線18が追加されている。また、第1セル7−1及び第2セル7−2の構成が変更されている。その他の点については、第1の実施形態と同様であるので、詳細な説明は省略する。尚、図7では、電源スイッチセル5の図示が省略されているが、第1の実施形態と同様に、本実施形態においても、電源スイッチセル5は設けられている。
第3セル用一時的第1電源配線18は、VSS配線3と同様に、第1方向に沿って伸びている。また、VSS配線3と同様に、第3セル用一時的第1電源配線18は、電源スイッチセル5により、VSS配線2との間の導通及び非導通が切り替えられる。第3セル用一時的第1電源配線18は、VSS配線2と非導通であるとき、VDD配線4と接続される。ここで、電源スイッチセル5は、VSS配線3とVSS配線2との間の導通及び非導通を切り替えるタイミングとは独立したタイミングで、第3セル用一時的電源配線18とVSS配線2との間の導通及び非導通を切り替えるように構成されている。
本実施形態においても、第1セル7−1と第2セル7−2とのレイアウト構成は同じである。また、第3セル7−3は、第1セル7−1及び第2セル7−2と同じレイアウト構成を有している。図8は、各セル7を示すレイアウト図である。本実施形態では、各セル7は、VSS電圧が印加される端子として、第3セル用第1電源接続端子9−3を備えている。第3セル用第1電源接続端子9−3は、第3セル用一時的電源配線18と重なるように、配置されている。
図7に示されるように、第3セル7−3は、コンタクトホール6を介して、第3セル用一時的電源配線18に接続される。具体的には、第3セル7−3においては、第3セル用第1電源接続端子9−3がコンタクトホール6を介して、第3セル用一時的電源配線18に接続される。これにより、第3セル7−3は、第3セル用一時的電源配線18がVSS配線2と導通しているときにだけ、動作する。
上述のような構成により、第2セル7−2とは別のタイミングで、第3セル7−3を休止状態に設定することが可能である。従って、各セル7を休止状態にするタイミングを、第1の実施形態よりもより細かく設定することが可能である。
また、本実施形態における半導体集積回路装置1を設計する場合においても、第1の実施形態と同様に、第1セル7−1乃至第3セル7−3の違いを考慮することなく、複数のセル7がレイアウトされる。その後、コンタクトホール6のレイアウトを決定することにより、第1セル7−1乃至第3セル7−3が区別される。第1の実施形態と同様に、第1セル7−1乃至第3セル7−3のレイアウト構成が同じであるので、セルライブラリ17において第1セル7−1乃至第3セル7−3を区別する必要がない。セルライブラリ作成時における工数を削減することができ、回路設計を短時間で行うことができる。また、第1セル7−1乃至第3セル7−3の違いを考慮する必要がないので、複数のセル7をレイアウトする際の処理負担を軽減することが可能である。
以上、本発明について、第1の実施形態及び第2の実施形態を用いて説明した。尚、これらの実施形態は互いに独立するものではなく、矛盾のない範囲内で互いに組み合わせて用いることも可能である。
1 半導体集積回路装置
2 VSS配線(常時第1電源配線)
3 VSS配線(一時的第1電源配線)
4 VDD配線(第2電源配線)
5 電源スイッチセル
6 コンタクトホール
7 セル
7−1 第1セル
7−2 第2セル
7−3 第3セル
8 VDD接続端子
9−1 常時第1電源接続端子
9−2 一時的第1電源接続端子
9−3 第3セル用第1電源接続端子
10 インバータ回路
11 半導体集積回路のレイアウト装置
12 電源レイアウト部
13 セル配置部
14 コンタクトホール配置部
15 信号配線配置部
16 レイアウト決定部
17 セルライブラリ
18 第3セル用一時的第1電源配線
101 回路セル
102 回路セル
103 コンタクト配線
104 コンタクト配線
105 コンタクト配線

Claims (9)

  1. 同一のレイアウト構造を有する、第1セル及び第2セルと、
    電源層に配置され、第1電源電圧が常時印加される、常時第1電源配線と、
    前記電源層に配置された、一時的第1電源配線と、
    前記常時第1電源配線と前記一時的第1電源配線との間の導通及び非導通を切り替える、スイッチセルと、
    を具備し、
    前記第1セル及び前記第2セルのそれぞれは、前記第1電源電圧が印加される端子として、常時第1電源端子及び一時的第1電源端子を有し、
    前記常時第1電源端子及び前記一時的第1電源端子は、前記電源層とは別の層に配置されており、
    前記第1セルでは、前記常時第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記常時第1電源配線に接続され、
    前記第2セルでは、前記一時的第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記一時的第1電源配線に接続されている
    半導体集積回路装置。
  2. 請求項1に記載された半導体集積回路装置であって、
    前記第1セルに含まれる前記一時的第1電源端子は、前記一時的第1電源配線から電気的に遮断されており、
    前記第2セルに含まれる前記常時第1電源端子は、前記常時第1電源配線から電気的に遮断されている
    半導体集積回路装置。
  3. 請求項1又は2に記載された半導体集積回路装置であって、
    更に、
    電源層に配置され、第2電源電圧が印加され、前記第1セル及び前記第2セルに第2電源電圧を供給する、第2電源配線群、
    を具備する
    半導体集積回路装置。
  4. 請求項3に記載された半導体集積回路装置であって、
    前記スイッチセルは、前記常時第1電源配線群と前記第2電源配線群とのうちのどちらに前記一時的第1電源配線を接続するかを切り替えるように構成されている
    半導体集積回路装置。
  5. 請求項3又は4に記載された半導体集積回路装置であって、
    前記常時第1電源配線には、前記第1電源電圧として、前記第2電源電圧よりも高い電圧が印加される
    半導体集積回路装置。
  6. 請求項1乃至5の何れかに記載された半導体集積回路装置であって、
    更に、
    前記第1セル及び前記第2セルと同一のレイアウト構造を有する、第3セルと、
    前記電源層に配置された、第3セル用一時的第1電源配線群と、
    を具備し、
    前記スイッチセルは、前記一時的第1電源配線群とは独立して、前記第3セル用一時的電源配線と前記常時第1電源配線との間の導通及び非導通を切り替え、
    前記第1セル、前記第2セル、及び前記第3セルのそれぞれは、前記第1電源電圧が印加される端子として、更に、第3セル用一時的第1電源端子を備え、
    前記第3セルに含まれる前記第3セル用一時的第1電源端子は、コンタクトホールを介して、前記第3セル用一時的電源配線に接続されている
    半導体集積回路装置。
  7. 電源層に電源配線群をレイアウトし、前記電源配線群のレイアウト結果を示す電源データを生成する、電源レイアウト部と、
    同一のレイアウト構造を有し、それぞれが第1電源電圧が印加される端子として常時第1電源端子及び一時的第1電源端子を有する、第1セル及び第2セルをレイアウトし、前記第1セル及び前記第2セルのレイアウト結果を示すセルデータを生成する、セル配置部と、
    前記第1セル及び前記第2セルのそれぞれが前記電源配線群と電気的に接続されるように、コンタクトホール群をレイアウトし、前記コンタクトホール群のレイアウト結果を示すコンタクトホールデータを生成する、コンタクトホール配置部と、
    前記電源データ、前記セルデータ、及び前記コンタクトホールデータに基づいて、設計対象回路の配線構造を示すレイアウトデータを生成する、レイアウト決定部と、
    を具備し、
    前記電源レイアウト部は、前記電源配線群として、
    第1電源電圧が常時印加される、常時第1電源配線と、
    前記電源層に配置された、一時的第1電源配線と、
    前記常時第1電源配線と前記一時的第1電源配線との間の導通及び非導通を切り替える、スイッチセルとをレイアウトし、
    前記セル配置部は、前記常時第1電源端子及び前記一時的第1電源端子が前記電源層とは別の層に配置されるように、前記第1セル及び前記第2セルをレイアウトし、
    前記コンタクトホール配置部は、前記第1セルでは、前記常時オン第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記常時第1電源配線に接続され、前記第2セルでは、前記一時的オン第1電源端子が、コンタクトホールを介して、前記一時的第1電源配線に接続されるように、前記コンタクトホール群をレイアウトする
    半導体集積回路のレイアウト装置。
  8. コンピュータにより、電源層に電源配線群をレイアウトし、前記電源配線群のレイアウト結果を示す電源データを生成するステップと、
    コンピュータにより、同一のレイアウト構造を有し、それぞれが第1電源電圧が印加される端子として常時第1電源端子及び一時的第1電源端子を有する、第1セル及び第2セルをレイアウトし、前記第1セル及び前記第2セルのレイアウト結果を示すセルデータを生成するステップと、
    コンピュータにより、前記第1セル及び前記第2セルのそれぞれが前記電源配線群と電気的に接続されるように、コンタクトホール群をレイアウトし、前記コンタクトホール群のレイアウト結果を示すコンタクトホールデータを生成するステップと、
    コンピュータにより、前記電源データ、前記セルデータ、及び前記コンタクトホールデータに基づいて、設計対象回路の配線構造を示すレイアウトデータを生成するステップと、
    を具備し、
    前記電源データを生成するステップは、前記電源配線群として、
    第1電源電圧が常時印加される、常時第1電源配線をレイアウトするステップと、
    一時的第1電源配線をレイアウトするステップと、
    前記常時第1電源配線と前記一時的第1電源配線との間の導通及び非導通を切り替える、スイッチセルをレイアウトするステップとを含み、
    前記セルデータを生成するステップは、前記電源層とは別の層に、前記常時第1電源端子及び前記一時的第1電源端子が配置されるように、前記第1セル及び前記第2セルをレイアウトするステップを含み、
    前記コンタクトホールデータを生成するステップは、
    前記第1セルに含まれる前記常時オン第1電源端子が前記常時第1電源配線に接続され、前記第2セルに含まれる前記一時的オン第1電源端子が前記一時的第1電源配線に接続されるように、前記コンタクトホール群をレイアウトするステップを含む
    半導体集積回路のレイアウト方法。
  9. 請求項8に記載された半導体集積回路のレイアウト方法を、コンピュータにより実現するための、半導体集積回路のレイアウトプログラム。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108292629A (zh) * 2015-11-25 2018-07-17 株式会社索思未来 半导体集成电路装置
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